JPH0653042U - 移動テーブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低コストで水平方向と垂直方向との移動が可
能なコンパクトなサイズでかつ高剛性の移動テーブルを
提供する。 【構成】 この考案に基づく移動テーブルは、ベース６
と、ベース６上を水平方向に移動し上面に傾斜面１１を
有する第１テーブル１と、第１テーブルを移動させるモ
ータ５ａと、第１テーブル１上面の傾斜面１１に沿って
移動する第２テーブル３と、この第２テーブル３を移動
させるモータ５ｂとを備えている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ワークの搬送装置、位置決め用装置などに設置される移動テーブ ルに関し、特に、簡単な構造で水平方向の移動と上下方向の移動とを可能にする 構造を有する移動テーブルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来から、移動テーブルは、物品の表面検査装置の作業テーブルや、ＩＣチッ プなどの配線パターンを露光するテープ露光装置などにおいて作業テーブルとし て用いられてきた。

【０００３】 以下、図４を用いて、上記のような従来の移動テーブルの一例について説明す る。図４は、従来の移動テーブルの一例を示す模式図である。図４を参照して、 この図に示される移動テーブルは、水平方向と上下方向との動きが可能なタイプ のものである。

【０００４】 図４に示されるように、ベース２０の上には、第１ガイド２１が配設されてい る。この第１ガイド２１上には水平スライダ部２６が配置される。この水平スラ イダ部２６には、第１駆動機構２２が接続される。この第１駆動機構２２によっ て水平スライダ部２６は水平方向に移動する。水平スライダ部２６上にはテーブ ル２５が配置される。この場合であれば、テーブル２５は、第１ガイド２１に対 して垂直方向に設けられた第２ガイド２３に沿って上下方向に移動する。テーブ ル２５の駆動手段としては、第２駆動機構２４が設けられる。この第２駆動機構 ２４は、この場合であれは、水平スライダ部２６内に設けられている。この第２ 駆動機構２４によって、テーブル２５は第２ガイド２３に沿って上下方向に移動 する。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】 以上説明したように、従来の移動テーブルにおいては、テーブル２５を上下方 向に移動させるための第２ガイド２３あるいはテーブル２５を上下方向に移動さ せるための駆動手段（第２駆動機構２４）などを備えなければならなかった。そ のため、装置全体の高さが高くなる、あるいは剛性が低いといった問題点が生じ ていた。また、部品点数も増えそれに伴い製造コストも増大するといった問題点 も生じていた。

【０００６】 この考案は、上記の内容に鑑みてなされたものであり、部品点数を少なくする ことによって製造コスト低減を実現し、かつ装置全体の高さを低く抑えることに よって装置の縮小化が可能となり、しかも高剛性の移動テーブルを提供すること を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

この考案に基づく移動テーブルは、ベース部と、このベース部上に設けられベ ース部上を水平方向に移動し上面に傾斜面を有する第１テーブルと、ベース部上 に設けられ第１テーブルを移動させる第１駆動機構と、第１テーブル上に設けら れ第１テーブル上面の傾斜面に沿って移動する第２テーブルと、第１テーブルに 設けられ第２テーブルを移動させる第２駆動機構とを備えている。

【０００８】

【作用】

この考案に基づく移動テーブルにおいては、第１駆動機構によって第１テーブ ルを水平方向に移動させる。このとき、第２テーブルは第１テーブルとともに移 動する。それにより、第２テーブルの水平方向の移動が可能となる。第２テーブ ルを上下方向に移動させるには、第２駆動機構によって、第２テーブルを第１テ ーブル上面の傾斜面に沿って移動させる。それにより、第２テーブル上面の高さ が上下方向に変化する。その結果、第２テーブルの上下方向の移動が可能となる 。

【０００９】

【実施例】 以下、図１〜図３を用いて、この考案に従った移動テーブルの実施例について 説明する。図１は、この考案に従った第１の実施例における移動テーブルの概略 構成を示す構成図である。

【００１０】 図１を参照して、第１のねじ軸２は、固定部材７ａ，７ｂによってベース６上 に固定されている。第１のねじ軸２の一方端には、モータ５ａが設置されている 。このモータ５ａによって第１のねじ軸２が回転させられる。第１のねじ軸２に は、この第１のねじ軸２上に設置される第１ステージ１を保持する保持部材８が 取付けられる。この保持部材８は、第１のねじ軸２の回転に連動して水平方向に 移動する。

【００１１】 第１ステージ１の上面には、傾斜加工が施されることによって傾斜面１１が形 成される。この傾斜面１１上に、固定部材９ａおよび９ｂによって、第２のねじ 軸４が設置される。この第２のねじ軸４の一方端には、モータ５ｂが取付けられ る。このモータ５ｂによって、第２のねじ軸４が回転する。第２のねじ軸４上に は、第２ステージ３が設けられる。この第２ステージ３は、第２のねじ軸４に取 付けられた保持部材１０によって保持される。保持部材１０は、第２のねじ軸４ の回転に連動して移動する。それにより、保持部材１０に取付けられている第２ ステージ３も、保持部材１０の移動とともに移動する。

【００１２】 上記の構造を有する移動テーブルの動作について詳しく説明する。まず、第２ ステージ３を上昇させる動作について説明する。

【００１３】 まず、モータ５ａを作動させることによって第１のねじ軸２を所定方向に回転 させる。それにより、保持部材８および第１ステージ１を図１における矢印Ａの 方向に移動させる。その結果、図１に示されるように、第１ステージ１は、第１ の位置１ａに移動する。このとき、第２ステージ３は、第１ステージ１とともに 動き、第２の位置３ａに移動する。

【００１４】 次に、モータ５ｂを作動させることによって、第２のねじ軸４を所定方向に回 転させる。それにより、保持部材１０を矢印Ｂ方向に移動させる。その結果、第 ２ステージ３も矢印Ｂ方向に移動し、第２の位置３ｂに位置することになる。こ のとき、保持部材１０および第２ステージ３は、傾斜面１１を上昇する方向に移 動するので、結果として第２ステージ３の上面は上昇することとなる。それによ り、第２ステージ３の上下方向の移動が可能となる。

【００１５】 第２ステージ３を下降させようとする場合には、第２のねじ軸４の回転方向を 上記の第２ステージ３を上昇させる際の回転方向に対して逆転させる。それによ り、保持部材１０および第２ステージ３は、傾斜面１１に沿って下降する方向に 移動する。その結果、第２ステージ３の上面は下降する。以上の構成によって第 ２ステージ３の上下方向の移動が可能となるため、従来のように上下方向にのび るガイド等が必要なくなる。それにより、装置自体の高さも低くなり、部品点数 も減少する。

【００１６】 次に、図２および図３を用いて、この考案に従った第２の実施例について説明 する。図２は、この発明に従った第２の実施例における移動テーブルを示す構成 図である。図３は、第２の実施例において使用されるガイド１５の断面図である 。

【００１７】 まず図２を参照して、上記の第１の実施例と異なる点は、第１ステージ１内に 貫通するように第１のねじ軸２が設けられている点である。この第１のねじ軸２ には、フランジ１２が取り付けられている。そして、この第１のねじ軸２の一方 端近傍には、ベース６と第１のねじ軸２とを固定する固定部材７が設けられる。 なお、図２にはベース６上にガイド１５が図示されており、図１には図示されて いない。しかし、図１に示される移動テーブルに図２に示されているようなガイ ド１５を設けてもよい。

【００１８】 ガイド１５の断面構造が、図３に示されている。図３は、図２におけるＡ−Ａ 線に沿って見た断面を示す図である。図３を参照して、本実施例におけるガイド １５は、ガイドレール１４とスライド本体１３とを備えている。ベース６上にガ イドレール１４が設置され、このガイドレール１４を部分的に挟み込むようにガ イドレール１４上にスライド本体１３が配置される。このスライド本体１３がガ イドレール１４の上を移動することによって第１ステージ１が移動する。スライ ド本体１３の構造としては、このスライド本体１３内に多数のボールを循環させ る循環路を設けてスライド本体１３を移動させる構造としてもよい。

【００１９】 次に、上記の第２の実施例の動作について説明する。この場合は、第２ステー ジ３の上面を下降させる場合について説明する。まずモータ５ａを作動させるこ とによって第１のねじ軸２を所定方向に回転させ、第１ステージ１を矢印Ａ′方 向に移動させる。それにより、第１ステージ１を第１の位置１ａに移動させる。 このとき、第２ステージ３も第１ステージ１の移動に伴って移動し、第２の位置 ３ａに移動する。

【００２０】 次に、モータ５ｂを所定方向に回転させることによって、保持部材１０および 第２ステージ３を矢印Ｂ′方向に移動させる。それにより、第２ステージ３は図 ２において示される第３の位置３ｂに移動する。その結果、第２ステージ３の上 面は下降することとなる。第２ステージ３の上面を上昇させるには、上記の第１ の実施例と同様に、第２ステージ３を第１ステージ１の傾斜面１１上を上昇させ る方向に移動させることによって実現する。

【００２１】 以上説明したように、この考案によれば、ステージを上下方向に移動させる際 に、従来のように、垂直方向のガイドレールを必要としない。そのため、装置自 体の高さを低くすることが可能となる。また、簡単な機構の組合わせで装置を構 成することが可能となるため、従来よりも部品点数を少なくすることができる。

【００２２】 なお、上記の実施例においては、第２ステージ３を上下方向に移動させる動作 について説明した。その際に、第１ステージ１と第２ステージ３との動きを適切 に調整することによって、第２ステージがあたかもその場所で上昇あるいは下降 しているような状態を作り出すことも可能となる。

【００２３】 また、たとえば、第１のねじ軸２と直交する方向に別個のねじ軸を設けること によって、ＸＹＺテーブルとして使用してもよい。このＸＹＺテーブルとは、互 いに直交するＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸（上下方向）を考えた場合に、それぞれの方向に 移動し得る移動テーブルのことである。この場合には、第１のねじ軸２の下面へ 第１のねじ軸２と直交する方向に一軸テーブルを追加することによって実現し得 る。

【００２４】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、従来に比べてコンパクトな移動テーブ ルを得ることができる。また、部品点数を少なくすることができるため、低コス トで高剛性の移動テーブルを作製することが可能となる。さらに、組合わせによ っては、テーブルに三次元的な動きをさせることができ、動きのバリエーション が増す。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案に基づく第１の実施例における移動テ
ーブルの概略構成を示す構成図である。

【図２】この考案に基づく第２の実施例における移動テ
ーブルの概略構成を示す構成図である。

【図３】図２におけるＡ−Ａ線に沿って見た断面を示す
図である。

【図４】従来の移動テーブルに水平方向の動作および上
下方向の動作が可能となる機能を付加した場合の移動テ
ーブルの概略構成を示す模式図である。

【符号の説明】

１ 第１ステージ ２ 第１のねじ軸 ３ 第２ステージ ４ 第２のねじ軸 ５ａ，５ｂ モータ ６ ベース １１ 傾斜面

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベース部と、 前記ベース部上に設けられ、前記ベース部上を水平方向
   に移動しその上面に傾斜面を有する第１テーブルと、 前記ベース部上に設けられ、前記第１テーブルを移動さ
   せる第１駆動機構と、 前記第１テーブル上に設けられ、前記第１テーブル上面
   の傾斜面に沿って移動する第２テーブルと、 前記第１テーブルに設けられ、前記第２テーブルを移動
   させる第２駆動機構と、 を備えた移動テーブル。