JPH0649978Y2

JPH0649978Y2 - ダイヤフラム弁構造

Info

Publication number: JPH0649978Y2
Application number: JP1988009935U
Authority: JP
Inventors: 真須夫中野; 広宣松沢
Original assignee: Advance Denki Kogyo KK
Current assignee: Advance Denki Kogyo KK
Priority date: 1988-01-28
Filing date: 1988-01-28
Publication date: 1994-12-14
Anticipated expiration: 2003-01-28
Also published as: JPH01115074U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）この考案はダイヤフラム弁構造の改良に関する。

（従来の技術）従来のダイヤフラム弁の構造は、例えば添付の図面の第
３図にその要部断面図を図示したように、弁体50がエア
シリンダー（図示せず）等の作動部材によって作動され
て流入口55が開き流体を導管部56から弁室60内に送るよ
うになっている。そしてこの際に、弁体50に設けられた
ダイヤフラム51は、流体の圧力によって図のように鎖線
位置51Aから加圧背面となる弁室60の反対側へ膨張す
る。

しかるに、従来のダイヤフラム弁にあっては、このダイ
ヤフラム51が加圧背面側のバルブボディ内壁65に当たっ
て擦れて損傷したり磨耗したりするのを防ぐために、通
常弁室60の反対側のバルブボディ空間部67を大きくとっ
ている。

しかしながら、この空間部67を大きく設けた場合には、
流体の水撃作用等で弁室60内に急激な圧力が加わった場
合にはダイヤフラム51は大きく膨張する。そして、さら
に大きな圧力が加われば膨張したダイヤフラム51はバル
ブボディ内壁65に当たり、その衝撃により損傷しときに
は破損してしまうことさえあり、弁の耐久性能上大きな
問題となっていた。

また近年、半導体のウェハ製造過程では、薬品液の温度
を100〜160度に上げて処理速度を高めることが要請され
ている。この種の工程では流体と接するダイヤフラムに
耐薬品性、耐食性、耐熱性等に優れたフッ素樹脂（例え
ば商品名「テフロン」等）が使用されることが多いので
あるが、しかしながら、フッ素樹脂は熱膨張係数が大き
くかつ弾性係数が小さいものであるから、高温の流体を
弁室に送るとこれと接液するダイヤフラムは大きく膨
張、変形する一方においてもとの形にもどりにくいとい
う問題点を有している。

従って、ダイヤフラムの加圧背面側の空間部を大きく設
けることはこの種ダイヤフラムにおいては膨脹変形を助
長することになり、必ずしも好ましいものではない。

（考案が解決しようとする課題）そこで、この考案は、弁室内の圧力変化や流体の温度上
昇によって膨張したダイヤフラムがバルブボディ内壁に
直接当たって擦れ損傷しないしは磨耗、破損することを
防止することを目的として提案されたものである。ま
た、この考案は弁室の反対側空間部を小さくしてダイヤ
フラムの過大な膨張変形を防ぐとともに、バルブボディ
空間部の省スペース化をもあわせて図ることができるダ
イヤフラム弁構造を提供するものである。

（課題を解決するための手段）すなわち、この考案は、作動部材と結合された弁部と前
記弁部外周に設けられたダイヤフラムおよび弁室側バル
ブボディと作動側バルブボディに挟圧固定された外周端
縁の挟持部を有する弁体が、前記作動部材の作動によっ
て弁室の流入口を開閉するように構成された弁構造にお
いて、前記弁室の作動側バルブボディ内壁面に、前記作
動部材のための貫通孔部を有し、前記弁体のダイヤフラ
ム作動面と当接しその衝撃を緩和し保護するゴムまたは
プラスチックからなる略凹面状の弾性当接部が形成され
ていることを特徴とするダイヤフラム弁構造に係る。

（実施例）以下添付の図面に従ってこの考案の実施例を説明する
と、第１図はこの考案に係るダイヤフラム弁構造の一例
を示す断面図、第２図はその要部の拡大断面図である。

第１図に図示したように、この考案のダイヤフラム弁構
造10は、弁室側バルブボディ11と作動側バルブボディ12
を含み、弁体20をエアシリンダー25等の作動部材によっ
て作動させて弁室30の流入口15を開閉し、導入部16から
弁室30への流体の流入を開閉するように構成されてい
る。

弁体20は、第２図の拡大図からより明らかなように、作
動部材25の作動軸26と結合された弁部21と、前記弁部外
周に設けられたダイヤフラム22、および弁室側バルブボ
ディ12と作動側バルブボディ12に挟圧固定された外周端
縁の挟持部24を有する。

弁室30の反対側、すなわちダイヤフラム22の加圧背面側
にはダイヤフラム22の作動空間部35が設けられている。
そして、この作動空間部35の作動側バルブボディ内壁面
19には、ゴムまたはプラスチックからなる弾性当接部40
が形成される。

この当接部40は、図のように、中央にエアシリンダ25の
作動軸26のための貫通孔部41を有する略凹面状に形成さ
れる。

弾性当接部40の材質としては、ダイヤフラム22の膨張時
に該ダイヤフラムの作動面と当接してその衝撃を緩和し
保護するようなゴム又は合成樹脂が採用され、安全上、
流体の性質に応じ、耐薬品性、耐浸食性、耐熱性等に優
れた性質を有しているものであることが望ましい。具体
的な例をあげると、例えば硬度が70〜75度のフッ素ゴム
（FKM）や硬度70度のエチレンプロピレンモノマー（EPD
M）等が衝撃に対する緩衝、保護効果を有し、上述の耐
薬品性、耐浸食性、耐熱性に優れているので大変適して
いる。

なお、図示の例のように、ダイヤフラム22の挟持部24の
加圧背面側にゴムまたは合成樹脂よりなる弾性吸収材45
を介装してもよい。この弾性吸収材45は、ダイヤフラム
挟持部24とバルブボディとのシール部に生じることのあ
る温度変化による膨張、収縮のひずみを吸収し、シール
効果の低下を防止し、その耐久性を高めることができ
る。なお、この弾性吸収材45と前記弾性当接部40とは同
一の材料で、しかも両者一体に形成したものを用いても
よいのである。

（作用・効果）以上図示し説明したように、この考案に係る弁にあって
は、弁室のダイヤフラムの加圧背面側となる作動側バル
ブボディ内壁面に、作動部材のための貫通孔部を有し、
前記弁体のダイヤフラムの作動面と当接しその衝撃を緩
和し保護するゴムまたはプラスチックからなる略凹面状
の弾性当接部が形成されているものであるから、流体が
弁室に送り込まれてダイヤフラムが膨張しても、該ダイ
ヤフラムはゴムまたは合成樹脂よりなる弾性当接部に当
接する。

弾性当接部は上のように緩衝保護効果を有する弾性体よ
りなるものであり、ダイヤフラムの加圧背面側となる作
動側バルブボディ内壁面に形成されているものであるか
ら、弁体の作動時に流体の流入圧によってダイヤフラム
が膨張したときにも該弾性当接部に当接することによっ
てその膨張による衝撃を吸収しダイヤフラム作動面を保
護し、ダイヤフラムの損傷、磨耗ないしは破損を防止す
ることができる。

特にこの考案にあっては、弾性当接部が略凹面状に形成
されているので、例えば水撃作用等で弁室内に急激な圧
力が加わった場合にも、該略凹面形状によってダイヤフ
ラムの膨張衝撃を広い面で受け止めることができ、効果
的に緩衝することができる。従って、この考案はダイヤ
フラムの損傷が少ない耐久性の高い弁構造を提供するこ
とができた。

また、この考案は、弾性当接部を設けることによって弁
室反対側のバルブボディ空間部を小さくすることがで
き、ダイヤフラムの過大な膨張変形を防ぐとともに、バ
ルブボディ空間部の省スペース化をもあわせて図ること
ができたものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案に係るダイヤフラム弁構造の一例を示
す断面図、第２図はその要部の拡大断面図、第３図は従
来の弁構造を示す要部の拡大断面図である。 11……弁室側バルブボディ、12……作動側バルブボデ
ィ、19……壁面、20……弁体、21……弁部、22……ダイ
ヤフラム、24……挟持部、25……エアシリンダー、30…
…弁室、40……弾性当接部。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】作動部材（25）と結合された弁部（21）と
前記弁部外周に設けられたダイヤフラム（22）および弁
室側バルブボディ（11）と作動側バルブボディ（12）に
挟圧固定された外周端縁の挟持部（24）を有する弁体
（20）が、前記作動部材の作動によって弁室（30）の流
入口（15）を開閉するように構成された弁構造におい
て、前記弁室の作動側バルブボディ内壁面に、前記作動部材
のための貫通孔部（41）を有し、前記弁体のダイヤフラ
ムの作動面と当接しその衝撃を緩和し保護するゴムまた
はプラスチックからなる略凹面状の弾性当接部（40）が
形成されていることを特徴とするダイヤフラム弁構造。