JPH0648166B2

JPH0648166B2 - 検知装置

Info

Publication number: JPH0648166B2
Application number: JP61227099A
Authority: JP
Inventors: リュートヒワルター
Original assignee: Tesa SARL
Current assignee: Tesa SARL
Priority date: 1985-10-14
Filing date: 1986-09-24
Publication date: 1994-06-22
Anticipated expiration: 2009-06-22
Also published as: EP0223970B1; DE3667848D1; DE223970T1; US4679332A; EP0223970A1; JPS6293602A; CH664216A5

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、例えば加工精度のオンライン計測用のタッ
チセンサとして、製品の寸法精度の測定、加工基準位置
の確認等に用いられ、その検出を被測定物への電荷の移
動により行なうことによって、小型化と精度の向上とを
図った検知装置に関する。

〔従来の技術〕

測定台の支持アームに取り付けられ、測定台に載置され
た被測定物に徐々に接近させて、その被測定物と接触子
とが接触すると、検出回路により、コンピュータ等への
検出パルスを出力するタッチ式の検知装置として、例え
ば第３図に示すフランス特許公報第 2,303,267号に記載
されたものが従来から知られている。

この検知装置では、接触子３がチューブ４０先端に固定
され、そのチューブ４０は、軸受け装置４１によって検
知装置本体に取り付けられている。

軸受け装置４１は、一端がチューブ４０に固定され、他
端が検知装置に固定された蛇腹状のバネ材からなり、そ
の軸受け装置４１は、チューブ４０を検知装置本体に前
後、左右及び上下方向に伸縮自在に支持する。

また、チューブ４０の接触子３と対向する端部４２は、
マイクロスイッチ４３の作動用のプランジャーに当接し
ており、接触子３と被測定物とが接触して、チューブ４
０が少しでも変位すると、マイクロスイッチ４３が作動
して検出パルスを発生するようになっている。

さらに、この検知装置は検出パルス発生時にチューブ４
０が変位し過ぎると、軸受け装置４１がチューブ４０を
検知装置の内側に当接させて弾性的に支持することによ
り、破損を防止する。

ところで、上記の検知装置は、測定用の接触子３の取り
付けられたチューブ４０を、回動可能として３軸Ｘ、
Ｙ、Ｚ方向の測定を行なうため、従来必要であった球状
の旋回軸による軸受けを、単一の弾性部材により軸受け
装置４１で構成したシンプルな設計である点で興味深い
ものである。

しかし、この装置の精度と信頼性とを確保するために
は、軸受け装置４１のバネの固さが、軸受け装置４１の
弾性復帰の固さ以下で、かつ、マイクロスイッチ４３の
復帰圧以上でなければならない。

また、マイクロスイッチ４３の作動プランジャーとその
プランジャーを動かすチューブ４０のストロークと、チ
ューブ４０端部４２の当接部と前記プランジャーとのギ
ャップとは、クリティカルな作動をするマイクロスイッ
チ４３を、チューブ４０の変位に対しては確実に作動さ
せ、かつ、振動その他の外乱に対しては、作動させない
ように設定しなければならないため、その組み立てに高
い精度が要求される。

このため、このような装置の信頼性は、非常に微細な調
整とデリケートな構造に左右され、その構造の複雑さ故
に、当技術分野で求められている小型化にはほとんど役
立たない。

さらに、その精度自体が高いといっても、その測定の精
度は、検知装置本体に、チューブ４０を支持している軸
受け装置４１が、使用中に塑性変形（たとえばどんなに
小さくても）を起こすことにより、検出パルスの検出位
置が狂ってしまい、例えばこのパルスをトリガパルスと
して測定値の演算の開始や終了を行なうコンピュータで
は、演算誤差を生じてしまう。

また、この場合の塑性変形の大きさは、必ずしも再現性
がなく、従ってこれを確実に定量化することができない
ため、補正データによってコンピュータに正確な値を算
出させることはできない等の問題がある。

一方、アメリカ特許 3,945,124号に開示された、第４図
に示すもう一つの公知の検知装置では、ロッド４４に設
けられた接触子３が、第５図に示すように３つの基軸座
標軸に対してそれぞれ弾性変形をする３つの平行四辺形
体４５、４６、４７を組み合わせた軸受け装置４１を介
して検知装置本体に取り付けられており、それら平行四
辺形体４５、４６、４７が、被測定物に接触子３が接触
した際に、変形することにより、検出パルスを出力する
ようになっている。

この装置は、その構造の複雑さから小型化に対しては、
先のものと同様の欠点がある。さらに、この場合にも測
定精度は、軸受け装置４１の平行四辺形体の４５、４
６、４７の塑性変形により、誤差を生じる問題がある。

これらの問題の一つの解決策として、例えばスイス特許
第599,534 号で示された検知装置がある。この検知装置
では、接触子と導電性の被測定物とが給電回路に接続さ
れていて、接触子が被測定物に接触したその瞬間に、給
電回路が閉じて検出パルスを発生するようになってい
る。

このため、この装置は、前述の２つの装置と異って、検
出パルスの発生の際に、軸受け装置が変位する必要がな
く、高い精度を得ることができ、さらに、構造も簡単な
ため、小型化にも有利である。

ところで、上記の接触子が導電性の被測定物に接触する
と、給電回路が閉じて、検出パルスを出力するもので
は、給電回路が閉じたことによって測定信号を発生させ
るため、導電性の被測定物をケーブルによって給電回路
に接続しなければならないが、このケーブルによる接続
は、信頼性が低く、また、測定する被測定物が変わる度
ごとに、ケーブルの付け換えを行なわなければならない
ため、煩わしいという問題がある。

この問題の一つの解決策として特開昭５８−１５１５０
４号公報に記載された位置検出装置がある。

この位置検出装置では、導電性の接触針と導伝性の測定
台とが検出回路に接続されており、測定台に載置された
導電性の被測定物に接触針が接触すると、検出回路→接
触針→被測定物→測定台→検出回路の閉回路が形成さ
れ、この閉回路を流れる電流を検出することにより被測
定物を検出している。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記の閉回路を形成するものでは、測定
台の載置面は被測定物が置かれるため、汚れやすく、ま
た、測定台の載置面と接触する被測定物の接触面の凹凸
や酸化膜の形成などのため、測定台と被測定物との接触
抵抗が大きくなったり、絶縁状態となって閉回路が形成
できずに被測定物の検出ができなくなったり、検出ミス
を生じるため、信頼性の低い問題が考えられる。

そこで、この発明の課題は、簡単な構造で、精度も高
く、小型に適し、かつ、煩雑なケーブルの付け換え作業
を必要とせず、しかも、測定台の汚れや接触抵抗に関係
なく、検出の行える信頼性の高い検知装置を提供するこ
とである。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題を解決するため、この発明では、導電性被測
定物を絶縁状態で載置する測定台と、その測定台に設け
た支持アームあるいは、走行ガントリに移動自在に取り
付けられる導電性ケーシングと、そのケーシングの端面
より突出され、かつ、先端に導電性の接触子を有する接
触針と、前記接触針を前記ケーシングに絶縁状態で、か
つ、前後・左右及び上下方向に弾性変形可能に支持する
連結装置と、前記接触子とケーシングとを充電する充電
用電源を有し、かつ、前記測定台に載置された導電性被
測定物に接触針の接触子が接触し、前記被測定物が帯電
する際に流れる電荷の移動を検出し、検出パルスを出力
する検出回路と、前記連結装置が弾性変形を生じたこと
をパルス出力により報知する報知手段とを備えた構成と
したのである。

また、上記検出回路がオフセット調整回路の設けられた
ＦＥＴ誤差増幅器とオペアンプ増幅器を用いたコンパレ
ータからなる構成とすることもできる。このとき、上記
検出パルスが出力されると、上記接触子と被測定物とに
蓄えられた電荷を放電する放電調整回路を上記検出回路
に備えた構成としてもよい。

さらに、上記報知手段を、上記ケーシング内に上記接触
針と対向し、前記接触針と電気的に接続され、かつ、導
電性の弾性材により形成された突起を設け、その突起が
上記連結装置の弾性変形により、ケーシングに当接し
て、短絡によるパルス出力を出力するように構成しても
よく、その際、上記ケーシング内の上記突起の対向面
に、テーパー孔を設け、そのテーパー孔の内壁に、上記
連結装置の弾性変形により、上記突起が当接するように
してもよい。

〔作用〕

このように構成される検知装置では、ケーシングとのそ
ケーシングに連結装置によって絶縁状態に支持される接
触針の接触子とは、検出回路の充電用電源に接続される
ことにより、両部材間に形成される静電容量に見合った
電荷が与えられ、充電される。

このように充電されることにより、帯電した接触子が、
測定台に絶縁状態で載置された導電性の被測定物に接近
すると、被測定物の接触子との対向面に接触子と逆極性
の電荷が集まる。

このため、接触子がさらに、被測定物に接近し、接触す
ると、両者の間で電荷の移動が起こり、被測定物が帯電
する。

この電荷の移動は、検出回路により、検出され、パルス
信号として出力される。

また、この接触子と被測定物とが接触した際に、例え
ば、接触子が汚れや絶縁材と接触して検出パルスが出力
されず、接触後に加わる押圧により、連結装置が弾性変
形を起こすと、その弾性変形によりパルス信号が発生さ
れるため、そのパルス信号で前記接触子の被測定物への
接近を停止することにすれば、連結装置の塑性変形を防
止できる。

さらに、検出回路をオフセット調整回路の設けられたＦ
ＥＴ差動増幅器とオペアンプを用いたコンパレータとし
たものでは、上記接触子とケーシングにより出力される
検出出力は、容量性で出力インピーダンスの低い低レベ
ルの検出出力であるため、オフセット調整回路により、
ドリフトを小さく調整した入力インピーダンスの大きな
ＦＥＴ差動増幅器で増幅することによって、誤差の少な
い検出電圧を得ることができる。

この出力された検出電圧は、コンパレータにより波形成
形が行なわれ、検出パルスに生成される。

このとき、検出回路に放電調整回路を備えたものでは、
接触子が被測定物と接触し、検出パルスが出力される
と、放電調整回路が、その検出パルスにより、被測定物
と接触子とに蓄えられた電荷を直ちに放電してしまうた
め、接触子が被測定物と接触した際に発生する接触子の
バウンスによって、接触子が何度も被測定物と接触をく
り返しても、検出パルスをくり返し発生することはな
い。

また、この放電が行なわれると、検出パルスは出力され
なくなって、放電調整回路は放電を停止し、今度は、検
出回路の充電用電源が充電を開始するが、その充電の時
定数を前記バウンスが終了するまで、検出パルスが出力
されないような十分な長さに設定しておけば、検出パル
スの誤出力が防止される。

また、ケーシング内に、接触針に対向する突起を設けた
ものでは、連結装置の弾性変形により突起がケーシング
に当接して短絡するという簡単な構成で、報知のための
パルスを出力させているため、信頼性が高く、また、小
型化も容易にできる。

その検出の際、ケーシングに放射状のテーパー孔を形成
したものでは、突起がテーパーにより案内されるため、
異常時のケーシングとの接触が確実に行なえる。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図及び第２図に示すように、検知装置は、導電性被
測定物２１を絶縁状態で載置する測定台２２と、ケーシ
ング１と、そのケーシング１の端面より突出し、かつ、
先端に導電性の接触子３を有する導電性の接触針（以下
センサ）２と、このセンサ２をケーシング１に支持する
連結装置４と、検出回路５とからなっている。

ケーシング１は、測定台２２の支持アームまたは走行ガ
ントリ（図示省略）に接続された可動支持部６に固定さ
れるようになっており、これによって少なくとも可動支
持部６を測定方向に移動させると、接触子３は、測定台
２２に載置された被測定物２１に接触する。

連結装置４は、ケーシング１の内部に、一般に“Boys s
upport −type”といわれる３つのボールベアリング１
１によってケーシング１のドーナツ状の環状端面２６に
支持された第２のディスク１０と、その第２のディスク
１０上に、前記同様、３つのボールベアリング９によっ
て支持され、前記第２のディスク１０の中央部を貫通す
るセンサ２の固定された絶縁スリーブ７の取り付けられ
た第１のディスク８と、前記ケーシング１の端部外周に
螺着されたフード１２に保持され、前記ケーシング１の
環状端面２６と当接して第２のディスク１０を支持する
前記ボールベアリング１１に対して押圧力を付勢する第
１圧縮バネ１３と、前記第１のディスク８とケーシング
１の頂部との間に、絶縁ワッシャ１５を介して設けら
れ、第２のディスク１０に前記ボールベアリング９によ
って支持される第１ディスク８に押圧力を付勢する第２
圧縮バネ１４とからなっており、前記第１圧縮バネ１３
を、第２圧縮バネ１４よりも固く設定することにより、
これら２つのバネ１３、１４に加えられる総圧力が許容
測定圧を越えた場合にのみ、連結装置４の弾性変形が起
るように校正されている。

このように、連結装置４は、２組の前記ボールベアリン
グ９、１１と２つのバネ１３、１４とがそれぞれ対向配
置されることにより、前後、左右、上下の３つの基準座
標軸の６方向に弾性変形可能になっている。上記連結装
置４は、ゴム製のキャップ１６によって被われ保護され
ている。

また、センサ２に激しい衝撃を受けた場合に収縮して機
械的なヒューズの役目もする前記絶縁スリーブ７の内部
には、圧縮バネ２７が設けられ、前記センサ２と第１の
ディスク８とは電気的に接続されている。

さらに、連結装置４が弾性変形を生じた際の報知手段と
して、前記第１のディスク８には、柔軟な導電性のロッ
ドにより形成された突起（フィラー）１７が設けられて
おり、この突起１７は、連結装置４が弾性変形した際
に、前記絶縁ワッシャ−１５の奥側のケーシング１の頂
部に形成されたテーパー孔１８に嵌入されるようになっ
ている。

一方、連結装置４の前記ボールベアリング９、１１は、
例えばルビー等の絶縁材で形成されており、その結果、
ケース１と機械的に接続されたセンサ２は、前記突起１
８がテーパー孔１８の壁面に接触した状態とならない限
り絶縁されている。

この検知装置のセンサ２とケーシング１とは、２本のケ
ーブル１９と２０とにより、検出回路５に接続されてい
る。

検出回路５は、第２図に示すように、前記ケーブル１
９、２０を介し、センサ２とケーシング１とに所定の電
圧を印加する充電用電源２５と、前記ケーブル１９と２
０とに接続され、ポテンショメータによって温度ドリフ
ト等のオフセットやバランス調整を行なうオフセット調
整回路の設けられたＦＥＴ差動増幅器２８と、オペアン
プによるコンパレータ２９とを有し、前記充電用電源２
５は、絶縁されたセンサ２とケーシング１とに、両部材
間に形成される静電容量に見合った電荷を与え、両者を
充電する。

このため、充電されることにより、帯電した接触子３
（実施例ではプラス）が、測定台２２に絶縁状態で載置
された導電性の被測定物２１に接近すると、被測定物２
１の接触子３との対向面に、接触子３と逆極性（実施例
ではマイナス）の電荷が集まる。

さらに、接触子３が被測定物２１に接近し、接触する
と、両者の間に電荷の移動が起こり、被測定物２１が帯
電する。

このときの電荷の移動は、一瞬にして行なわれるため、
充電用電源２５の電荷の充電が追いつかず、電圧が低下
する。

ちょうど、この状態は、それぞれ、Ｖ_１、Ｖ_２の電位差
に充電されたＣ_１、Ｃ_２の静電容量を有する２個のコン
デンサを並列につないだ場合と等価に考えられ、例え
ば、一方のコンデンＣ_２（被測定物２１）の電位をＯＶ
とすると、両者を並列に接続、即ち、センサ２が被測定
物２１と接触すると両者の合成容量の増加により、接触
後の電位差はＣ_１Ｖ_１／（Ｃ_１＋Ｃ_２）〔Ｖ〕となって
低下する。

このため、この電圧の変動をケーブル１９、１８に接続
されたＦＥＴ差動増幅器２８が検出し、その検出信号を
コンパレータ２９が波形成形することによって検出パル
スを出力する。

このとき、ＦＥＴ差動増幅器２８の入力インピーダンス
は非常に高抵抗であるので、出力インピーダンスが容量
性で、非常に小さな前記出力電圧を増幅することができ
る。

さらに、検出回路５には、接触子３が被測定物１に接触
した際の、接触子３のバウンス等によって、検出パルス
が多数出力されることを防ぐため、ＦＥＴ差動増幅器２
８の入力と、コンパレータ２９の出力との間に、制御回
路３１と放電調整回路３０が設けられている。

この制御回路３１と放電調整回路３０とは、例えば、Ｆ
ＥＴ差動増幅器２８の入力に設けられ、コンパレータ２
９の検出パルスによって、前記入力を接地するトランジ
スタスイッチ回路３２によって構成されている。

前記スイッチ回路３２は、ＦＥＴ差動増幅回路２８によ
って電荷の移動が検出され、コンパレータ２９から検出
パルスが出力されると作動して、被測定物２１と接触子
３に蓄えられた電荷を放電し、そのバウンスが継続して
いる間にコンパレータ２９のしきい値電圧まで前記電荷
が充電されることを防ぐため、バウンス中に検出パルス
を出力させない。

このとき、充電用電源２５の時定数は、前記バウンスが
終了するまで、しきい値電圧に達する電荷を充電できな
い値に設定する。

このように、バウンスによる検出エラーを生じないた
め、この検出装置は高い検出精度を有する。

一方、検出回路５は、レベル出力を一定幅のパルス出力
として出力することのできる例えば、周知のワンショッ
トマルチバイブレータなどのパルス発生回路を、ＦＥＴ
差動増幅２８と並列に備えることとすれば、報知手段と
して設けられた突起１７とテーパー孔１８とが、連結装
置４の弾性変形によりケーシング１のテーパー孔１８の
内壁に接触した際、その短絡により、ケーブル１９、２
０から出力されるレベル出力から、一定幅のパルス出力
を安全パルスとして、第２出力２４より出力することが
できる。

この短絡による安全パルスを出力させる方法は、例えば
変位用ピック・アップやスイッチを用いてその本体をケ
ーシング１に固定し、その可動部を連結装置４の適当な
部材に連結して、安全パルスを出力させる方法に比べ、
突起１７とテーパー孔１８という少ない構成による簡単
な方法で、上記パルスを発生させることができるため、
小型化を図る上でも、また信頼性を高める上でも優れた
ものである。

この実施例は、以上の様に構成され、検出回路５により
電圧が印加され、電荷の充電されるケーシング１とセン
サ２とを支持アームに取り付け、測定台２２上に導電性
の被測定物を載置し、その被測定物２１にセンサ２を接
近させ、センサ２の接触子３が測定台２２上の被測定物
２１に接触すると、電荷が被測定物２１へ移動すること
により生じる電圧の低下が、検出回路５のＦＥＴ差動増
幅器２８により検出されて増幅され、その検出電圧がコ
ンパレータ２９によりパルス信号に変換されて検出パル
スとして出力される。

このように、この検知装置では、被測定物２１を絶縁状
態に載置する測定台２２と、互いに絶縁された導電性の
接触子３及びケーシング１とによる簡単な構成で検出が
行なえるため、従来のように、検出にマイクロスイッチ
等のスイッチ類を用いたもののように、クリチカルなス
イッチ類の作動を間違いなく行なわせるため、複雑なメ
カニズムや調整を必要とせず、また長寿命である。

また、ケーブル１９、２０を被測定物２１や測定台２２
に接続しなくてもよいので、測定の度毎に、ケーブル１
９、２０の付け換えを必要とせず、ケーブル付け換えに
よる信頼性の低下や測定台２２の汚れによる検出ミスも
起こさないため信頼性が高い。

このとき、検出パルスは、放電調整回路３０及び制御回
路３１へ入力され、両者によってセンサ２と被測定物２
１に蓄えられた電荷が放電されることにより、接触子３
のバウンスによる検出パルスの誤出力が防がれる。

また、このとき、例えば接触子３が汚れ等のため、被測
定物２１への電荷の移動が行なえず、被測定物２１への
接近が続いた場合、連結装置４が塑性変形を起こす前
に、連結装置４の弾性変形により突起１７がケーシング
１のテーパー孔１８の内壁と接触して、短絡による安全
パルスが出力される。

因に、この安全パルスは、被測定物の汚れや被測定物の
絶縁部分に接触子３が接触したため測定信号が生じない
ことを作業員に知らせる注意信号として利用してもよい
し、或いは、可動支持部の変位をリモートコントロール
する場合、その変位を自動停止させる制御信号として利
用してもよい。また、変位を自動的に停止させるために
安全パルスと検出パルスの両方を用いても良い。実際、
コンピュータ用のデータとしても、ケーシング１の支持
部を自動的に停止させる制御信号としても、両方に検出
パルスを利用すれば、使用される容量性の装置で消費さ
れる相当なエネルギーの節約となる。

また、このとき、この制動は瞬間的に行なわれず、完全
に停止するまでに、連結装置４はある程度変形するはず
である。このため、連結装置４の自由な弾性変形の大き
さと突起１７の弾性変形の大きさを決定する際には、制
動の遅れによって変位が残存することも考慮に入れなけ
ればならない。

電気回路５のもう１つの実施例（図示省略）として、検
出パルスと安全パルスとを同時に受け、これら２つの信
号を区別し、かつ、コンピュータと制動装置とに対して
相当するパルスを送るための電子装置を設けてもよい。

連結装置４のもう１つの実施例（図示省略）としては、
弾性変形が可能なものならば他のどんな三次元連結機構
を用いてもよく、例えば先に引用したフランス特許第
2,303,267号とアメリカ特許第 3,945,124号の装置の連
結装置を用いた場合、これらは検出パルスの発生には関
与せず、安全パルスの発生にのみ関与させるようにすれ
ばよいので、その製造に高い精度を必要としない点で前
記特許以上の利点が得られる。

なお、ここに挙げた実施例はこれだけに限定されるもの
でないことは明らかであり、またこの発明は工作機械や
１つまたは２つの基準座標軸に沿って測定する機械にも
使用できる。この場合、センサーをケーシングに連結す
る三次元連結機構は、簡単にする意味から、弾性変位に
おける６つの自由度のうち２つの自由度または４つの自
由度を省いたものに変形してもよい。

〔効果〕

この発明は、以上のように構成し、接触子から被測定物
へ電荷を移動させることによって、被測定物の検出を行
なうようにしたため、簡単な構造で長寿命、小型化に適
した高い信頼性のある検知装置を提供することができ
る。

また、被測定物にケーブルを接続しなくてもよいため、
操作性にも優れている。

さらに、測定台にもケーブルを接続しなくても良いの
で、測定台の汚れや測定台と被測定物との接触状態によ
る検出ミスを起こすことがない。

また、検出回路をオフセット調整回路の設けられたＦＥ
Ｔ差動増幅器とコンパレータからなるものとしたもので
は、ドリフト等による検出誤差を少なくできる。

さらに、放電調整回路を備えたものでは、接触子のバウ
ンスによる誤差出力を防止できる。

また、ケーシング内に突起を設けたものでは、その突起
がケーシングと短絡することによって出力される安全パ
ルスを用いるという簡単な構造で、連結装置の塑性変形
を防止できるため信頼性が高く、またコストも安価にで
きる。

加えて、ケーシングにテーパー孔を設けたものでは、上
記のテーパー孔に前記突起が嵌入され、内壁と接触する
ことにより安全パルスが出力されるため、安全パルスの
検出精度をさらに高くして信頼性の向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例の縦断面図、第２図は実施例のブロック
図、第３図は従来例の縦断面図、第４図は他の従来例の
縦断面図、第５図は第４図の作用図面である。１……ケーシング、２……センサ、３……接触子、４……連結装置、５……検出回路、１７……突起、１８……テーパー孔、２１……被測定物、２２……測定台、２５……充電用電源、２８……ＦＥＴ型差動増幅器、２９……コンパレータ、３０……放電調整回路。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】導電性被測定物２１を絶縁状態で載置する
測定台２２と、その測定台２２に設けた支持アームあるいは走行ガント
リに移動自在に取り付けられる導電性ケーシング１と、そのケーシング１の端面より突出され、かつ、先端に導
電性の接触子３を有する接触針２と、前記接触針２を前記ケーシング１に絶縁状態で、かつ、
前後・左右及び上下方向に弾性変形可能に支持する連結
装置４と、前記接触子３とケーシング１とを充電する充電用電源２
５を有し、かつ、前記測定台２２に載置された導電性被
測定物２１に接触針２の接触子３が接触し、前記被測定
物２１が帯電する際に流れる電荷の移動を検出し、検出
パルスを出力する検出回路５と、前記連結装置４が弾性変形を生じたことをパルス出力に
より報知する報知手段とを備えた検知装置。
【請求項２】上記検出回路５が、オフセット調整回路の
設けられたＦＥＴ差動増幅器２８と、オペアンプ増幅器
を用いたコンパレータ２９からなることを特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載の検知装置。
【請求項３】上記接触子３と被測定物２１とに蓄えられ
た電荷を、上記検出パルスが出力されると放電する放電
調整回路３０を、上記検出回路５に備えたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項に記載の検知装置。
【請求項４】上記報知手段を、上記ケーシング１内に、
上記接触針２と対向し、前記接触針２と電気的に接続さ
れ、かつ、導電性の弾性材により形成された突起１７を
設け、その突起１７が上記連結装置４の弾性変形によ
り、ケーシング１に当接して、短絡によるパルス出力を
出力するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項に記載の検知装置。
【請求項５】上記ケーシング１内の上記突起１７の対向
面に、テーパー孔１８を設け、そのテーパー孔１８の内
壁に、上記突起１７が上記連結装置４の弾性変形によ
り、当接することを特徴とする特許請求の範囲第４項記
載の検知装置。