DE223970T1 - Messmaschinensonde fuer das messen von auf einem messtisch befestigten leitenden artikeln. - Google Patents

Messmaschinensonde fuer das messen von auf einem messtisch befestigten leitenden artikeln.

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DE223970T1
DE223970T1 DE198686113324T DE86113324T DE223970T1 DE 223970 T1 DE223970 T1 DE 223970T1 DE 198686113324 T DE198686113324 T DE 198686113324T DE 86113324 T DE86113324 T DE 86113324T DE 223970 T1 DE223970 T1 DE 223970T1
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Germany
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sensor
measuring
measuring head
workpiece
measured
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Walter Ch-9642 Ebnat-Kappel Luethi
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Tesa SARL
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Tesa SARL
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    • G01B3/002—Details
    • G01B3/008—Arrangements for controlling the measuring force
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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Claims (5)

P A TENTAN SPRÜCHE:
1. Abtastvorrichtung für eine Maschine zum Vermessen von auf einem Meßtisch montierten leitenden Werkstücken, mit einem auf einem beweglichen Halter der Maschine befestigbaren Gehäuse, einem mit dem Gehäuse fest verbundenen Fühler mit Meßkopf, der zum Abtasten eines zu vermessenden Werkstücks durch Verschieben des beweglichen Halters bestimmt ist, einem Verbindungsmechanismus zur räumlichen Verbindung des Fühlers mit dem Gehäuse, der bei Überschreitung eines vorbestimmten Druckes des Meßkopfes des Fühlers gegen das zu vermessende Werkstück elastisch verformbar ist, und einer durch den Kontakt des Meßkopfes des Fühlers mit dem zu vermessenden Werkstück beeinflußten elektrischen Einrichtung zur Erzeugung eines elektrischen Impulses,
!5 dadurch gekennzeichnet, daß
die elektrische Einrichtung (5) aufweist: einen kapazitiven Verstärker (25), der mit dem Meßkopf (3) des Fühlers (2) verbunden ist zum Voraufladen desselben mit einer bestimmten Spannung und der elektronische Vorrichtungen (28,29) enthält, die auf eine Ladungsyerschiebung zwischen dem Meßkopf des Fühlers und dem zu vermessenden Werkstück ansprechen, zur Erzeugung eines elektrischen Meßimpulses, der signifikant ist für das Inkontaktkommen des Meßkopfes des Fühlers mit dem zu vermessenden Werkstück, eine Isolierung des zu vermessenden Werkstücks gegenüber dem Meßtisch und eine Sicherheitseinrichtung (17,18), die auf die elastische Verformung des Verbindungsmechanismus anspricht, zur Erzeugung eines elektrischen Sicherheits-Impulses, der für eine eventuelle elastische Verformung dieses Verbindungsmechanismus signifikant ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der kapazitive Verstärker (25) eine differential Ie Sensoreinrichtung mit Feldeffekt (28) aufweist, welche in versetzter Balance angeordnet und mit den Eingängen eines Operationsverstärkers (29) verbunden ist, zum Nachweis der Ladungsverschiebung von dem Meßkopf des Fühlers zum zu vermessenden Werkstück hin durch Kippen des Potentials an diesen Eingängen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Eingang der differentiellen Sensoreinrichtung mit Feldeffekt (28) mit einer durch eine Logik (31) gesteuerten Entladungs- und Regelvorrichtung (30) für die Ladespannung des Meßkopfes des Fühlers verbunden ist, um den Meßkopf des Fühlers und das zu .vermessende-Werkstück- anschließend an die durch die Sensoreinrichtung mit Feldeffekt nachgewiesene Ladungsverschiebung elektrisch zu entladen und den Meßkopf von der Unterbrechung seines Kontaktes mit dem zu vermessenden Werkstück an und innerhalb einer vorbestimmten Zeitkonstante progressiv auf die vorbestimmte Spannung wieder aufzuladen,
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßkopf (3) des Fühlers (2) gegenüber dem Gehäuse (1) isoliert ist, daß das Gehäuse mit.einem Pol der elektrischen Einrichtung verbunden ist und daß die Sicherheitseinrichtung einen elastischen Taster (17) aufweist, der an dem Fühler derart befestigt ist, daß er von diesem bei einer elastischen Deformation des Verbindungsmechanismus mitgenommen wird und durch Kontakt mit dem Gehäuse ein Kurzschlußsignal erzeugt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der elastische Taster (17) aus einem flexiblen Stift gebildet ist, der sich mit radialem Spiel in eine Bohrung (18) des Gehäuses erstreckt.
DE198686113324T 1985-10-14 1986-09-27 Messmaschinensonde fuer das messen von auf einem messtisch befestigten leitenden artikeln. Pending DE223970T1 (de)

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EP0223970B1 (de) 1989-12-27
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