JPH0646323U - 電磁流量計 - Google Patents

電磁流量計

Info

Publication number
JPH0646323U
JPH0646323U JP8045092U JP8045092U JPH0646323U JP H0646323 U JPH0646323 U JP H0646323U JP 8045092 U JP8045092 U JP 8045092U JP 8045092 U JP8045092 U JP 8045092U JP H0646323 U JPH0646323 U JP H0646323U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
measuring
measuring tube
detection
guard
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP8045092U
Other languages
English (en)
Inventor
清 西山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP8045092U priority Critical patent/JPH0646323U/ja
Publication of JPH0646323U publication Critical patent/JPH0646323U/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検出電極の構成を安定性があるように改良し
た電磁流量計を提供するにある。 【構成】 セラミックス性の測定管の外側から磁場を印
加しこの磁場の方向に対して直角方向に配置された検出
電極と測定流体の間に形成される静電容量を介して先の
測定流体の流量に対応する信号電圧を測定する電磁流量
計において、先の検出電極を先の測定管の外表面に導電
性セラミックスでコーテイングして形成するようにした
ものである。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、セラミックス性の測定管の外側から磁場を印加しこの磁場の方向に 対して直角方向に配置された検出電極と測定流体の間に形成される静電容量を介 して測定流体の流量に対応する信号電圧を測定する電磁流量計に係り、特に、こ の検出電極の構成を安定性があるように改良した電磁流量計に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3は従来のセラミックスを用いた電磁流量計の測定管近傍の構成を示す縦断 面図である。10はセラミックス製の円筒形の測定管であり、この中に測定流体 Qが流される。
【0003】 一方、この測定管10の断面に直角方向から交流の磁場Bが印加されており、 この磁場Bとは直交する方向であってこの測定管10の外表面には金属性の円弧 状の検出電極11A、11Bがエポキシ樹脂などの絶縁性の接着剤12A、12 Bで固定されている。
【0004】 これらの検出電極11A、11Bからは、それぞれ電極リード線13A、13 Bが引き出されている。そして、コの字形に形成された金属性のガード電極14 A、14Bが検出電極11Aと11Bとを外部から覆って測定管10の外面に配 置されている。
【0005】 さらに、これらの検出電極11Aと11Bを結ぶ方向とは直角方向、つまり磁 場Bと同じ方向の測定管10の外表面には、円弧状の金属性のガード電極15A 1 、15A2、及び15B1、15B2がエポキシ樹脂などの絶縁性の接着剤16、 17で固定されている。
【0006】 これ等のガード電極15A1と15A2はガード電極14Aにより、15B1と 15B2はガード電極14Bにより、それぞれと半田付けなどにより電気的に結 合されている。
【0007】 以上のように構成された電磁流量計は、次のように動作する。磁場Bが測定管 10の外側から印加され、この測定管10に測定流体Qが流れると、この磁場B と測定流体Qが流れる方向とに直角方向に、つまり図3の構成でいくと測定管1 0の内面で左右方向に信号電圧eが発生する。
【0008】 一方、測定流体Qと検出電極11A、11Bとの間にあるセラミックス製の測 定管10が介在しているので、これらの間に静電容量CA、CBがそれぞれ形成さ れている。
【0009】 そこで、この信号電圧eはこれらの静電容量CA、CBを介して電極リード線1 3A、13Bから取り出される。取り出された信号電圧eは、高入力インピーダ ンスの増幅器で受信され増幅されて低インピーダンスの信号電圧として信号処理 回路に伝送されここで信号処理がなされる。
【0010】
【考案が解決しようとする課題】
しかしながら、以上のような電磁流量計は、測定管10、検出電極11A、1 1Bの材料、接着剤12A、12Bなどの熱膨張係数がそれぞれ異なっているの で、測定流体Qの温度が高いときには、測定管10と検出電極11A、11Bと の間に空気層が形成され、このため一定の静電容量CA、CBを維持することがで きず、ゼロ点の変動、或いはスパン変動などを引き起こし、高信頼性を確保する ことができないという問題がある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本考案は、以上の課題を解決するための主な構成として、セラミックス性の測 定管の外側から磁場を印加しこの磁場の方向に対して直角方向に配置された検出 電極と測定流体の間に形成される静電容量を介して先の測定流体の流量に対応す る信号電圧を測定する電磁流量計に係り、先の検出電極を先の測定管の外表面に 導電性セラミックスでコーテイングして形成するようにしたものである。
【0012】
【作 用】
測定流体が流されるセラミックス性の測定管の外表面に材料的に同質な導電性 セラミックスでコーテイングして検出電極を形成するようにしたので、高温の測 定流体を流しても検出電極が測定管からはがれて検出電極と測定流体の間に形成 される静電容量が変化することがなく、長期に亘って安定な測定を継続すること ができる。
【0013】
【実施例】
以下、本考案の実施例について図を用いて説明する。図1は本考案の1実施例 の構成を示す縦断面図である。 20はセラミックス(AL23)製の円筒状の測定管であり、測定流体Qが流 される。
【0014】 この測定管20の外周面には一対のセラミッスの検出電極21A、21Bがコ ーテイングにより形成されている。このセラミッスは、例えばTiC、TiN、 SiCなどの導電性を持つものが選定されて密着固定されている。さらに、検出 電極21A、21Bからはそれぞれ電極リード22A、22Bが引き出されてい る。
【0015】 したがって、測定管20とこれ等のコーテイングされた検出電極21A、21 Bはぼ同材質のセラミックスで構成されることとなるので、その温度係数もほぼ 等しく、このため高温の測定流体Qを流しても何等問題が生じない。
【0016】 図2はこの測定管20にガードを施したときの構成を示す縦断面図である。検 出電極21A、21Bと測定流体Qとの間に形成される静電容量CA´、CB´は 極めて小さい値であるので、電極リード22A、22Bで取り出される信号電圧 e´はハイインピーダンスで取り出される。
【0017】 このため、周囲からノイズの影響を受け易くなる。そこで、この影響を低減す るために、コの字形に形成された金属性のガード電極23A、23Bが検出電極 21Aと21Bとを外部から覆って測定管20の外面に配置される。
【0018】 さらに、これらの検出電極21Aと21Bを結ぶ方向とは直角方向、つまり磁 場Bと同じ方向の測定管20の外表面には、円弧状に導電性のセラミックスのガ ード電極24A1、24A2、及び24B1、24B2がコーテイングにより固定さ れている。
【0019】 これ等のガード電極24A1と24A2はガード電極23Aにより、24B1と 24B2はガード電極23Bにより、それぞれ電気的に接続されている。ガード 電極23A、ガード電極24A1、及び24A2が一体となったガード電極には検 出電極21Aの電位と同一の電位が外部回路(図示せず)から低インピーダンス で供給され、実質的これらの間に静電容量が生じないようにされている。
【0020】 また、ガード電極23B、ガード電極24B1、及び24B2が一体となったガ ード電極には検出電極21Bの電位と同一の電位が外部回路(図示せず)から低 インピーダンスで供給され、実質的これらの間にも静電容量が生じないようにさ れている。
【0021】
【考案の効果】
以上、実施例と共に具体的に説明したように本考案によれば、測定流体が流さ れるセラミックス性の測定管の外表面に材料的に同質な導電性セラミックスでコ ーテイングして検出電極を形成するようにしたので、高温の測定流体を流しても 検出電極が測定管からはがれて検出電極と測定流体の間に形成される静電容量が 変化することがなく、長期に亘って安定な測定を継続することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の1実施例の構成を示す縦断面図であ
る。
【図2】本考案の他の実施例の構成を示す縦断面図であ
る。
【図3】従来の電磁流量計の構成を示す縦断面図であ
る。
【符号の説明】
10、20 測定管 11A、11B、21A、21B 検出電極 12A、12B 接着剤 14A、15A1、15A2、14B、15B1、15B2
ガード電極 23A、24A1、24A2、23B、24B1、24B2
ガード電極

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】セラミックス性の測定管の外側から磁場を
    印加しこの磁場の方向に対して直角方向に配置された検
    出電極と測定流体の間に形成される静電容量を介して前
    記測定流体の流量に対応する信号電圧を測定する電磁流
    量計において、前記検出電極を前記測定管の外表面に導
    電性セラミックスでコーテイングして形成したことを特
    徴とする電磁流量計。
  2. 【請求項2】前記測定管の外表面であって前記検出電極
    以外の部分を導電性セラミックスでコートして形成され
    た第1ガード電極とこの第1ガード電極と電気的に結合
    されて前記検出電極を覆う金属性の第2ガード電極とを
    有することを特徴とする請求項1記載の電磁流量計。
JP8045092U 1992-11-20 1992-11-20 電磁流量計 Withdrawn JPH0646323U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8045092U JPH0646323U (ja) 1992-11-20 1992-11-20 電磁流量計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8045092U JPH0646323U (ja) 1992-11-20 1992-11-20 電磁流量計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0646323U true JPH0646323U (ja) 1994-06-24

Family

ID=13718600

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8045092U Withdrawn JPH0646323U (ja) 1992-11-20 1992-11-20 電磁流量計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0646323U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7021136B2 (en) Mass flow meter with symmetrical sensors
US6828806B1 (en) Electrostatic capacitance sensor, electrostatic capacitance sensor component, object mounting body and object mounting apparatus
KR102167578B1 (ko) 용량식 전자기 유량계
US4539853A (en) Magnetic flowmeter
JP6940435B2 (ja) 電磁流量計
JPH0646323U (ja) 電磁流量計
JP2004301786A (ja) センサ素子パッケージおよび角速度センサ
KR102243759B1 (ko) 용량식 전자기 유량계
JP7294875B2 (ja) 容量式電磁流量計
JP3456647B2 (ja) 液体用流量センサー
JP3423083B2 (ja) 流量計センサ
JP2894011B2 (ja) 電磁流量計検出器
JP2006060015A (ja) 電極保護構造を有するセンサおよびその製造方法
JPH0572008A (ja) 静電容量式電磁流量計
JP2003065815A (ja) 容量式電磁流量計
JP3130729B2 (ja) 電磁流量計
JPS6032809B2 (ja) 流速流量測定装置
JP2003106884A (ja) 気流センサ
JPH10189627A (ja) 素子、半導体回路基板及びセンサ
JPS63298066A (ja) ガスレ−トセンサ本体
JPS60131466A (ja) 半導体流速検出器
JPH0545932Y2 (ja)
JPS5953489B2 (ja) 流速流量測定装置
RU2105372C1 (ru) Резисторный элемент
JP2021042958A (ja) 静電容量式電磁流量計

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19970306