JP2006060015A - 電極保護構造を有するセンサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサとしての感知部1を備えるチップ部2と、該チップ部2が搭載される基板部3とがボンディングワイヤ4を介して電気的に接続される。そして、この電気的な接続部が硬化したゲル5によって選択的に覆われる。ここで、硬化したゲル5は、例えば直方体状に形成され、ボンディングワイヤ4も含めて、それら電気的な接続部が外部雰囲気から遮断される。
【選択図】 図1
Description
(イ)直方体状に形成されてなるもの。
あるいは、請求項3に記載の発明によるように、
(ロ)少なくともその一面が所定の曲率をもって湾曲形成されてなるもの。
(ハ)少なくともその一面が鋭角をもって傾斜して形成されてなるもの。
あるいは、請求項5に記載の発明によるように、
(ニ)電極の各々がワイヤボンディングにて接続されているとするときに、ボンディングワイヤの接続形状に沿う形状にて形成されてなるもの。
等々が採用可能である。特に、上記(イ)の形状は、その実現が容易であり、また上記(ロ)および(ハ)の形状は、より少量のゲルで上記電気的な接続部の保護を図ることが可能となる。そして、特に上記(ニ)の形状は、無駄のない最も理想的なかたちで、同電気的な接続部を的確に保護することができる形状でもある。
(a)前記チップ部が搭載された基板部を前記チップ部の感知部が重力方向上方となり前記電気的な接続部が重力方向下方となるように立てた状態で、同基板部に前記電気的な接続部の周囲を重力方向下方から覆う態様でその上部が開口されているポケット状の治具を取り付ける工程。
(b)前記治具と前記基板部との間に前記電気的な接続部が完全に浸されるように硬化可能なゲルを注入する工程。
(c)前記硬化可能なゲルを硬化させる工程。
(d)前記ゲルが硬化したのち前記治具を取り外す工程。
といった各工程を備えることとしている。このような製造方法によれば、先の請求項1に記載の発明にかかる電極保護構造を有するセンサについてこれを、容易に、しかも極めて安定に製造することができるようになる。また、こうした製造方法によれば、同電極保護構造を有するセンサの量産も容易である。
(イ’)直方体状のポケット形状を有するもの。
(ロ’)重力方向下方の面がその下方から上方にかけて所定の曲率をもって湾曲形成されたポケット形状を有するもの。
(ハ’)重力方向下方の面が鋭角に傾斜されたポケット形状を有するもの。
あるいは、請求項18に記載の発明によるように、
(ニ’)前記チップ部の前記基板部への搭載に際し、前記電極の各々がワイヤボンディングにて接続されるものであるときに、ボンディングワイヤの接続形状に沿うかたちのポケット形状に形成されたもの。
等々が採用可能である。これら(イ’)〜(ニ’)の形状を有する治具を用いることで、それぞれ上記(イ)〜(ニ)として示した形状にて硬化されたゲルを容易に形成することができる。
以下、この発明にかかる電極保護構造を有するセンサおよびその製造方法の第1の実施の形態を図1および図2に従って説明する。
はじめに、図1を参照して、この湿度センサの構造について説明する。なお、この図1において、図1(a)は、この湿度センサの側断面構造を、また図1(b)は、同湿度センサの正面構造をそれぞれ示している。
(ステップA1)
まず、図2(a)および(b)に示すように、チップ部2が搭載された基板部3をチップ部2の感知部1が重力方向上方となり上記電気的な接続部が重力方向下方となるように立てた状態で、同基板部3に電気的な接続部の周囲を重力方向下方から覆う態様でその上部が開口されているポケット形状の治具6を取り付ける。なお、この治具6の取り付けに際しては、例えば接合用クランプ(図示略)等を用いて上記基板部3と治具6とを外側から挟み込むようにして固定する。
(ステップA2)
次に、図2(a)に示すように、治具6と基板部3との間に電気的な接続部が完全に浸されるように硬化可能なゲル5を注入する。
(ステップA3)
次に、この硬化可能なゲル5を硬化させる。なお、この実施の形態において、硬化可能なゲル5には、例えば上述のような熱硬化性のゲルを用い、該ゲル5を加熱することによって硬化させるようにしている。
(ステップA4)
そして、ゲル5が硬化したのち、上記接合用クランプを外して、治具6を取り外す。
(1)ボンディングワイヤ4を含む電気的な接続部を硬化したゲル5によって選択的に覆う構造としたことにより、湿度雰囲気等からこの電気的な接続部のみを選択的に腐食等から保護することができるようになる。このため、たとえ集積化されて基板上に実装される湿度センサについても、より簡易且つ的確にその電極保護を図ることができるようになる。
(3)また、上記製造方法によれば、電極保護構造を有する湿度センサを容易に、しかも極めて安定に製造することができるようになる。また、同製造方法によれば、このような湿度センサの量産も容易である。また、電気的な接続部の形状に応じて治具6の形状やゲル5の注入量を調節することによって、様々な電気的接続部にこの電極保護構造を適用することができる。
なお、上記実施の形態は、これを適宜に変更した、例えば次のような形態として実施することもできる。
次に、この発明にかかる電極保護構造を有するセンサおよびその製造方法の第2の実施の形態を図8および図9に従って説明する。
(ステップB1)
まず、図9に示すように、チップ部21が搭載された基板部3をチップ部21の感知部1が重力方向上方となり半田バンプBが重力方向下方となるように立てた状態で、同基板部3にチップ部21の周囲を重力方向下方から覆う態様でその上部が開口されているポケット形状の治具6を取り付ける。なお、この治具6の取り付けに際しては、例えば接合用クランプ(図示略)等を用いて上記基板部3と治具6とを外側から挟み込むようにして固定する。
(ステップB2)
次に、同じく図9に示すように、治具6と基板部3との間に半田バンプBが完全に浸されるようにチップ部2の基板部3に対する搭載面の裏面側から上記硬化可能なゲル55を注入する。
(ステップB3)
次に、この硬化可能なゲル55を硬化させる。なおここでも、硬化可能なゲル55には、熱硬化性のゲルを用い、該ゲル55を加熱することによって硬化させるようにしている。
(ステップB4)
そして、ゲル55が硬化したのち、上記接合用クランプを外して、治具6を取り外す。
なお、上記実施の形態は、これを適宜に変更した、例えば次のような形態として実施することもできる。
・また、図10(a)、(b)に示すように、感知部1が基板部3と対向する面に設けられる場合、この感知部1と金属バンプとの間にゲル55を堰き止めるべく金属バンプと同じ厚さを有するダミー電極Dが設けられたチップ部22を用いることもできる。具体的には図10(b)に示すように、チップ部22の感知部1と金属バンプ(例えば半田バンプB)との間に、同金属バンプと同じ厚さを有して水平方向に延設されるダミー電極Dを設けておく。そして、基板部3に治具6を取り付けたのちの硬化可能なゲル55の注入に際しては、チップ部22の基板部3に対する搭載面の裏面側からゲル55を注入するとともに、ダミー電極Dを堰として、この注入されたゲル55を堰き止めるようにする。これにより、注入されたゲル55が感知部1に這い上がるようなことも的確に抑制できるようになる。なおこの場合、上記ダミー電極Dは基板部3側に設けられる構造としてもよい。
(他の実施の形態)
その他、上記各実施の形態に共通して変更可能な要素としては、次のようなものがある。
Claims (19)
- センサとしての感知部を備えるチップ部と該チップ部が搭載される基板部とが電極を介して電気的に接続されてなり、それら電気的な接続部が硬化したゲルによって選択的に覆われてなる電極保護構造を有するセンサ。
- 前記硬化したゲルが直方体状に形成されてなる
請求項1に記載の電極保護構造を有するセンサ。 - 前記硬化したゲルは、少なくともその一面が所定の曲率をもって湾曲形成されてなる
請求項1に記載の電極保護構造を有するセンサ。 - 前記硬化したゲルは、少なくともその一面が鋭角をもって傾斜して形成されてなる
請求項1に記載の電極保護構造を有するセンサ。 - 前記電極の各々はワイヤボンディングにて接続されてなり、前記硬化したゲルは、ボンディングワイヤの接続形状に沿う形状にて形成されてなる
請求項1に記載の電極保護構造を有するセンサ。 - 前記チップ部の電極と前記基板部の電極とは金属バンプによって電気的に接続されてなり、前記硬化したゲルは、少なくとも前記チップ部と前記基板部との間の前記金属バンプを覆う態様で形成されてなる
請求項1に記載の電極保護構造を有するセンサ。 - 前記感知部は前記チップ部の前記基板部と対向する面に設けられてなり、前記感知部と前記金属バンプとの間には前記ゲルを堰き止める態様で前記金属バンプと同じ厚さを有する堰が設けられてなる
請求項6に記載の電極保護構造を有するセンサ。 - センサとしての感知部を備えるチップ部と該チップ部が搭載される基板部とが電極を介して電気的に接続されるとともに、それら電気的な接続部にこれを保護するための保護部材が設けられる電極保護構造を有するセンサの製造方法であって、
前記チップ部が搭載された基板部を前記チップ部の感知部が重力方向上方となり前記電気的な接続部が重力方向下方となるように立てた状態で、同基板部に前記電気的な接続部の周囲を重力方向下方から覆う態様でその上部が開口されているポケット状の治具を取り付ける工程と、前記治具と前記基板部との間に前記電気的な接続部が完全に浸されるように硬化可能なゲルを注入する工程と、前記硬化可能なゲルを硬化させる工程と、前記ゲルが硬化したのち前記治具を取り外す工程とを備える
ことを特徴とする電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記治具として、前記注入される硬化可能なゲルと接触する内壁面に樹脂コーティングが施されたものを用いる
請求項8に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記基板部の前記治具が取り付けられる面には該治具の前記基板部と当接される辺の形状に対応して凹部あるいは凸部を設けておき、前記治具として、前記基板部と当接される辺に前記基板部の前記凹部あるいは凸部と係合される凸部あるいは凹部が設けられたものを用いる
請求項8または9に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記基板部の前記治具が取り付けられる面、および前記治具の前記基板部と当接される辺の少なくとも一方に粘着シートを貼り付けておく
請求項8または9に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記治具として、前記ゲルが硬化したのち同治具の取り外しを補助するための空気孔が設けられたものを用いる
請求項8〜11のいずれか一項に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記基板部には、前記治具の該基板部と当接される辺の形状に沿うかたちで配線を敷設しておく
請求項8〜12のいずれか一項に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記硬化可能なゲルとして熱硬化性のゲルを用いる
請求項8〜13のいずれか一項に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記治具として、直方体状のポケット形状を有するものを用いる
請求項8〜14のいずれか一項に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記治具として、重力方向下方の面がその下方から上方にかけて所定の曲率をもって湾曲形成されたポケット形状を有するものを用いる
請求項8〜14のいずれか一項に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記治具として、重力方向下方の面が鋭角に傾斜されたポケット形状を有するものを用いる
請求項8〜14のいずれか一項に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記チップ部の前記基板部への搭載に際し、前記電極の各々はワイヤボンディングにて接続されるものであり、前記治具として、ボンディングワイヤの接続形状に沿うかたちのポケット形状に形成されたものを用いる
請求項8〜14のいずれか一項に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。 - 前記チップ部は金属バンプによる電気的な接続によって前記基板部に搭載されるとともに、前記感知部は前記チップ部の前記基板部と対向する面に設けられるものであり、前記チップ部および前記基板部のいずれか一方の前記感知部と前記金属バンプとの間には同金属バンプと同じ厚さを有して水平方向に延設されるダミー電極を設けておき、前記基板部に前記治具を取り付けたのちの前記硬化可能なゲルの注入に際しては、前記チップ部の前記基板部に対する搭載面の裏面側から前記ゲルを注入するとともに、前記ダミー電極を堰として、この注入されたゲルを堰き止める
請求項8〜14のいずれか一行に記載の電極保護構造を有するセンサの製造方法。
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