JPH06454Y2 - スタンパー洗浄用電解脱脂装置 - Google Patents
スタンパー洗浄用電解脱脂装置Info
- Publication number
- JPH06454Y2 JPH06454Y2 JP9106688U JP9106688U JPH06454Y2 JP H06454 Y2 JPH06454 Y2 JP H06454Y2 JP 9106688 U JP9106688 U JP 9106688U JP 9106688 U JP9106688 U JP 9106688U JP H06454 Y2 JPH06454 Y2 JP H06454Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stamper
- electrode
- electrolytic solution
- electrolytic
- rod
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 この考案はスタンパー洗浄用電解脱脂装置に関し、特に
スタンパーの中央通孔周辺の表面における傷の発生を少
なくでき、それによって高品質の情報記録用ディスクの
複製を可能にするスタンパー洗浄用電解脱脂装置に関す
る。
スタンパーの中央通孔周辺の表面における傷の発生を少
なくでき、それによって高品質の情報記録用ディスクの
複製を可能にするスタンパー洗浄用電解脱脂装置に関す
る。
（ロ）従来の技術 スタンパー洗浄用電解脱脂装置は、基本構成として、電
解液のアルカリ脱脂液を充填した電解槽と、電解液中に
差し込まれ、洗浄対象としての情報記録用ディスク複製
用スタンパーを電解液中で吊下保持できる電極治具と、
電解液中に差し込まれた対向電極と、この対向電極と前
記電極治具との間に電解用電力を供給する電源とからな
る。
解液のアルカリ脱脂液を充填した電解槽と、電解液中に
差し込まれ、洗浄対象としての情報記録用ディスク複製
用スタンパーを電解液中で吊下保持できる電極治具と、
電解液中に差し込まれた対向電極と、この対向電極と前
記電極治具との間に電解用電力を供給する電源とからな
る。
前記電極治具は、例えば、第５〜６図のごとく、棒状で
略垂直に電解液中に差し込まれ、上部から電解用電力の
供給を受ける金属性電極棒２ａと、この電極棒の下部に
螺着され（ネジ部１１ａ）、対向電極（図示省略）に向
かって水平に同径にて延びる金属製連結軸部１０ａ及び
その軸頭部９ａとからなる。
略垂直に電解液中に差し込まれ、上部から電解用電力の
供給を受ける金属性電極棒２ａと、この電極棒の下部に
螺着され（ネジ部１１ａ）、対向電極（図示省略）に向
かって水平に同径にて延びる金属製連結軸部１０ａ及び
その軸頭部９ａとからなる。
かくしてスタンパーＳは、その中央通孔Ｈを軸頭部９ａ
に通し、次いで中央通孔Ｈの周縁を連結軸部１０ａに引
掛けて、保持され、更に前記電極棒２ａ及び連結軸部１
０ａを介して極性(-)が付与される。かくして電源（図
示省略）により両電極に電解用電力が供給され、スタン
パーＳの感光性樹脂膜は電解脱脂により除去される。
に通し、次いで中央通孔Ｈの周縁を連結軸部１０ａに引
掛けて、保持され、更に前記電極棒２ａ及び連結軸部１
０ａを介して極性(-)が付与される。かくして電源（図
示省略）により両電極に電解用電力が供給され、スタン
パーＳの感光性樹脂膜は電解脱脂により除去される。
（ハ）考案が解決しようとする課題 第６図において、スタンパー引掛用連結軸部１０ａは略
水平で同径である。従ってスタンパーＳは、中央通孔Ｈ
の内周面で連結軸部１０ａに、少なくとも線接触以上の
接触をし、中央通孔Ｈの内周面を傷つける可能性があ
る。
水平で同径である。従ってスタンパーＳは、中央通孔Ｈ
の内周面で連結軸部１０ａに、少なくとも線接触以上の
接触をし、中央通孔Ｈの内周面を傷つける可能性があ
る。
この中央通孔は、情報記録用ディスクでは、回転中心を
決める孔であるから、その傷によって回転中心が変わ
り、情報の再生が不十分となるおそれがある。
決める孔であるから、その傷によって回転中心が変わ
り、情報の再生が不十分となるおそれがある。
（ニ）課題を解決するための手段及びその作用 この考案は、電解液としてアルカリ脱脂液を充填した電
解槽と、電解液中に差し込まれ、洗浄対象としての情報
記録用ディスク複製用スタンパーを電解液中で吊下保持
できる電極治具と、電解液中に差し込まれた対向電極
と、この対向電極と前記電極治具との間に電解用電力を
供給する電源とを備え、 前記電極治具が、棒状で、略垂直に電解液中に差し込ま
れ、上部から電解用電力の供給を受ける金属製電極棒
と、スタンパーの中央通孔に挿通可能な軸頭部と、この
軸頭部と前記電極棒との間を一体に連結し、前記軸頭部
の径より小径で、且つ前記電極棒に向かって縮径され、
前記軸頭部から離れた位置にてスタンパーをその中央通
孔周縁で引掛けて電解液中で垂直に保持できる連結軸部
とからなるスタンパー洗浄用電解脱脂装置である。
解槽と、電解液中に差し込まれ、洗浄対象としての情報
記録用ディスク複製用スタンパーを電解液中で吊下保持
できる電極治具と、電解液中に差し込まれた対向電極
と、この対向電極と前記電極治具との間に電解用電力を
供給する電源とを備え、 前記電極治具が、棒状で、略垂直に電解液中に差し込ま
れ、上部から電解用電力の供給を受ける金属製電極棒
と、スタンパーの中央通孔に挿通可能な軸頭部と、この
軸頭部と前記電極棒との間を一体に連結し、前記軸頭部
の径より小径で、且つ前記電極棒に向かって縮径され、
前記軸頭部から離れた位置にてスタンパーをその中央通
孔周縁で引掛けて電解液中で垂直に保持できる連結軸部
とからなるスタンパー洗浄用電解脱脂装置である。
すなわち、この考案は、スタンパー引掛用連結軸部を軸
頭部から電極棒の方向に縮径させスタンパーが軸頭部か
ら常に離れて電極棒の方へすべり降りて引掛けられるよ
うにすることによって、スタンパーとその引掛用連結軸
部との接触をスタンパーの中央通孔におけるコーナー部
の略一点とし、それによって、中央通孔の内周面を傷つ
けずに残るようにして複製される情報記録用ディスクの
中心軸がずれるのを防止する。また情報記録用ディスク
の表面（情報記録面）が軸頭部に接触して傷つけられる
おそれも少なくなり、いずれも情報の正確な再生を可能
にする。
頭部から電極棒の方向に縮径させスタンパーが軸頭部か
ら常に離れて電極棒の方へすべり降りて引掛けられるよ
うにすることによって、スタンパーとその引掛用連結軸
部との接触をスタンパーの中央通孔におけるコーナー部
の略一点とし、それによって、中央通孔の内周面を傷つ
けずに残るようにして複製される情報記録用ディスクの
中心軸がずれるのを防止する。また情報記録用ディスク
の表面（情報記録面）が軸頭部に接触して傷つけられる
おそれも少なくなり、いずれも情報の正確な再生を可能
にする。
この考案において、連結軸部は、軸頭部から電極棒の方
向に縮径されるが、具体的には、複製された情報記録用
ディスクが150mmφのコンパクトディスクの場合に、連
結軸部の長さ２〜５mmに対して傾斜角を、10〜45゜にす
るのが好ましく、20〜30゜にするのがより好ましい。な
お、連結軸部の最大直径（軸頭部との隣接部分のそれ）
は通常10〜50mmであり、軸頭部自身の直径は20〜50mmで
ある。
向に縮径されるが、具体的には、複製された情報記録用
ディスクが150mmφのコンパクトディスクの場合に、連
結軸部の長さ２〜５mmに対して傾斜角を、10〜45゜にす
るのが好ましく、20〜30゜にするのがより好ましい。な
お、連結軸部の最大直径（軸頭部との隣接部分のそれ）
は通常10〜50mmであり、軸頭部自身の直径は20〜50mmで
ある。
（ホ）実施例 以下図に示す実施例に基づいてこの考案を詳述する。な
お、これによってこの考案が限定されるものではない。
お、これによってこの考案が限定されるものではない。
まず第４図において、スタンパー洗浄用電解脱脂装置１
は、電解液としてアルカリ脱脂液４を充填した電解槽５
と、電解液中に差し込まれた電解治具６及び対向電極７
と、これら電極治具及び対向電極間に電解用電力を供給
する直流電源（図示省略）とから主としてなる。なお、
８は電解液加温用ヒータ、Ｋは電解液の攪拌器である。
は、電解液としてアルカリ脱脂液４を充填した電解槽５
と、電解液中に差し込まれた電解治具６及び対向電極７
と、これら電極治具及び対向電極間に電解用電力を供給
する直流電源（図示省略）とから主としてなる。なお、
８は電解液加温用ヒータ、Ｋは電解液の攪拌器である。
前記電極治具６は、特に第１〜３図において、棒状で、
略垂直に電解液中に差し込まれ、上部から電解用電力の
供給を受ける金属性電極棒２と、この電極棒の下部から
前記対向電極７（第４図参照）に向かって一体で水平に
突出するように螺着されたスタンパー引掛軸部３とから
なる。なお、１２，１３，１４は、いずれも電極棒２か
ら延びる、スタンパーＳの保持を垂直状態に安定させる
細棒である。
略垂直に電解液中に差し込まれ、上部から電解用電力の
供給を受ける金属性電極棒２と、この電極棒の下部から
前記対向電極７（第４図参照）に向かって一体で水平に
突出するように螺着されたスタンパー引掛軸部３とから
なる。なお、１２，１３，１４は、いずれも電極棒２か
ら延びる、スタンパーＳの保持を垂直状態に安定させる
細棒である。
而してこのスタンパー引掛軸部３は、スタンパーＳの中
央通孔Ｈに挿通可能な軸頭部９（直径30mmφ）と、この
軸頭部と前記電極棒２との間を一体に連結し、前記軸頭
部に隣接する部分の径がその軸頭部の径と同一で、更に
前記電極棒２に向かってなめらかに縮径された連結軸部
１０（最大直径30mmφ、最小直径10mmφ、長さ５mm）と
からなる。なお、１１はこの連結軸部を電極棒２に螺着
するためのネジ部である。
央通孔Ｈに挿通可能な軸頭部９（直径30mmφ）と、この
軸頭部と前記電極棒２との間を一体に連結し、前記軸頭
部に隣接する部分の径がその軸頭部の径と同一で、更に
前記電極棒２に向かってなめらかに縮径された連結軸部
１０（最大直径30mmφ、最小直径10mmφ、長さ５mm）と
からなる。なお、１１はこの連結軸部を電極棒２に螺着
するためのネジ部である。
さて、スタンパーＳ（外径138mmφ、内径37.4mmφ、ニ
ッケル製）を電極治具６に引掛けて電解液４中に吊下す
る場合に、第１〜３図において、スタンパーＳは、ま
ず、その中央通孔Ｈが連結軸部１０に引掛けられる。こ
の際、スタンパーＳは、この連結軸部１０が電極棒２に
向かって縮経されているので、連結軸部１０をすべって
電極棒２に密着した状態となり、ニッケル製の電極棒２
及び連結軸部１０を介して極性(+)を与えられる。
ッケル製）を電極治具６に引掛けて電解液４中に吊下す
る場合に、第１〜３図において、スタンパーＳは、ま
ず、その中央通孔Ｈが連結軸部１０に引掛けられる。こ
の際、スタンパーＳは、この連結軸部１０が電極棒２に
向かって縮経されているので、連結軸部１０をすべって
電極棒２に密着した状態となり、ニッケル製の電極棒２
及び連結軸部１０を介して極性(+)を与えられる。
ここでスタンパーＳは連結軸部１０とほとんど点に近い
接触をし、しかもその接触個所がスタンパーＳの表面と
中央通孔Ｈの内周面とが交差する角部に限られるので、
スタンパーＳの表面や中央通孔Ｈの内周面自体を傷つけ
ることが少ない。更にスタンパーＳは、その表面（情報
記録面）が常に軸頭部９から離れた状態にて連結軸部１
０に引掛けられ吊下されるので、接触による損傷が防止
できる。
接触をし、しかもその接触個所がスタンパーＳの表面と
中央通孔Ｈの内周面とが交差する角部に限られるので、
スタンパーＳの表面や中央通孔Ｈの内周面自体を傷つけ
ることが少ない。更にスタンパーＳは、その表面（情報
記録面）が常に軸頭部９から離れた状態にて連結軸部１
０に引掛けられ吊下されるので、接触による損傷が防止
できる。
ここで簡単に本装置１による電解脱脂方法を説明する。
まず洗浄対象のスタンパーＳを洗浄用電極治具６に引掛
けて電解液中に吊下し、その電極治具（陽極）６と対向
電極（陰極）７との間に電源を介して直流電圧を印加す
る。かくして電解によって、激しく発生するガスとアル
カリ脱脂液とがもつケン化、浸透、分散、乳化などの化
学的、物理的作用がスタンパーＳに作用し、スタンパー
Ｓが効果的に洗浄される。なお、アルカリ脱脂液の交換
は積算通電時間が所定値に至ると行われる。
まず洗浄対象のスタンパーＳを洗浄用電極治具６に引掛
けて電解液中に吊下し、その電極治具（陽極）６と対向
電極（陰極）７との間に電源を介して直流電圧を印加す
る。かくして電解によって、激しく発生するガスとアル
カリ脱脂液とがもつケン化、浸透、分散、乳化などの化
学的、物理的作用がスタンパーＳに作用し、スタンパー
Ｓが効果的に洗浄される。なお、アルカリ脱脂液の交換
は積算通電時間が所定値に至ると行われる。
なお、本装置１で脱脂洗浄されたスタンパーＳは電解槽
５から取り出され、流し台（図示省略、以下同様）上で
シャワーにより超純水にさらされる。洗い程度（表面に
残留する微粒子または塵埃の有無）は、照射器の導光体
によって、スタンパーＳの角度を調整しつつ照射し、そ
の反射光を見て判断し、不十分であれば再度超純水を当
て、十分であれば乾燥室に挿入して、クリーン化され加
温（例：40℃）されたエアに当て乾燥させる。
５から取り出され、流し台（図示省略、以下同様）上で
シャワーにより超純水にさらされる。洗い程度（表面に
残留する微粒子または塵埃の有無）は、照射器の導光体
によって、スタンパーＳの角度を調整しつつ照射し、そ
の反射光を見て判断し、不十分であれば再度超純水を当
て、十分であれば乾燥室に挿入して、クリーン化され加
温（例：40℃）されたエアに当て乾燥させる。
かくして所望の洗浄度（残留微粒子又は塵埃：0.1μm以
下）のスタンパーが得られる。
下）のスタンパーが得られる。
（ヘ）考案の効果 この考案によれば、スタンパー引掛用連結軸部を軸頭部
から電極棒の方向に縮経させてスタンパーが軸頭部から
常に離れて電極棒の方へすべり降りて引掛けられるよう
にすることによって、スタンパーとその引掛用連結軸部
との接触をスタンパーの中央通孔におけるコーナー部の
略一点とし、それによって、中央通孔の内周面を傷つけ
ずに残るようにし、複製される情報記録用ディスクの中
心軸がずれるのを防止する。また情報記録用ディスクの
表面（情報記録面）が軸頭部に接触して傷つけられるお
それも少なくなり、いずれも情報の正確な再生を可能に
する。
から電極棒の方向に縮経させてスタンパーが軸頭部から
常に離れて電極棒の方へすべり降りて引掛けられるよう
にすることによって、スタンパーとその引掛用連結軸部
との接触をスタンパーの中央通孔におけるコーナー部の
略一点とし、それによって、中央通孔の内周面を傷つけ
ずに残るようにし、複製される情報記録用ディスクの中
心軸がずれるのを防止する。また情報記録用ディスクの
表面（情報記録面）が軸頭部に接触して傷つけられるお
それも少なくなり、いずれも情報の正確な再生を可能に
する。
第１図はこの考案に係るスタンパー洗浄用電解脱脂装置
の一実施例を示す要部構成説明図、第２図はそのＣ部拡
大説明図、第３図は要部側面構成説明図、第４図はこの
実施例の全体構成説明図、第５図は従来例を示す第１図
相当図、第６図はそのCa部の拡大説明図である。 １……スタンパー洗浄用電解脱脂装置、 ２……電極棒、 ４……アルカリ脱脂液、 ５……電極槽、 ６……電極治具、 ７……対向電極、 ９……軸頭部、 １０……連結軸部。
の一実施例を示す要部構成説明図、第２図はそのＣ部拡
大説明図、第３図は要部側面構成説明図、第４図はこの
実施例の全体構成説明図、第５図は従来例を示す第１図
相当図、第６図はそのCa部の拡大説明図である。 １……スタンパー洗浄用電解脱脂装置、 ２……電極棒、 ４……アルカリ脱脂液、 ５……電極槽、 ６……電極治具、 ７……対向電極、 ９……軸頭部、 １０……連結軸部。
Claims (1)
- 【請求項１】電解液としてアルカリ脱脂液を充填した電
解槽と、電解液中に差し込まれ、洗浄対象としての情報
記録用ディスク複製用スタンパーを電解液中で吊下保持
できる電極治具と、電解液中に差し込まれた対向電極
と、この対向電極と前記電極治具との間に電解用電力を
供給する電源とを備え、 前記電極治具が、棒状で、略垂直に電解液中に差し込ま
れ、上部から電解用電力の供給を受ける金属製電極棒
と、スタンパーの中央通孔に挿通可能な軸頭部と、この
軸頭部と前記電極棒との間を一体に連結し、前記軸頭部
の径より小径で、且つ前記電極棒に向かって縮径され、
前記軸頭部から離れた位置にてスタンパーをその中央通
孔周縁で引掛けて電解液中で垂直に保持できる連結軸部
とからなるスタンパー洗浄用電解脱脂装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9106688U JPH06454Y2 (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | スタンパー洗浄用電解脱脂装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9106688U JPH06454Y2 (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | スタンパー洗浄用電解脱脂装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0214370U JPH0214370U (ja) | 1990-01-29 |
| JPH06454Y2 true JPH06454Y2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=31315561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9106688U Expired - Lifetime JPH06454Y2 (ja) | 1988-07-08 | 1988-07-08 | スタンパー洗浄用電解脱脂装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06454Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013071062A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Toho Technology Corp | 蒸着マスク洗浄装置、蒸着マスク洗浄システムおよび蒸着マスク洗浄方法 |
-
1988
- 1988-07-08 JP JP9106688U patent/JPH06454Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0214370U (ja) | 1990-01-29 |
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