JPH0645373A

JPH0645373A - 移動物体位置決め方法及び装置

Info

Publication number: JPH0645373A
Application number: JP19801292A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Tonomura; 幸博外村
Original assignee: Nichiden Machinery Ltd
Current assignee: Canon Machinery Inc
Priority date: 1992-07-24
Filing date: 1992-07-24
Publication date: 1994-02-18

Abstract

(57)【要約】【目的】移動物体の位置を光学的に検出して位置決め
する方法及び装置を提供する。【構成】方法は、移動物体１をその移動量に同期して
一次元的に撮像し、その一次元撮像データに移動量を乗
算して物体１の２次元撮像データを算出すると共に、そ
の２次元撮像データを基準データと比較してずれ量を算
出し、物体１の位置を検出して位置調整する。装置は、
移動物体１をパルス移動させ、且つ、移動量を検出する
駆動部５と、駆動部５に同期して作動し、移動物体１を
一次元カメラでパルス毎にスキャニングして撮像する撮
像部６と、撮像部６より出力した一次元撮像データを所
定のパルス量について乗算したデータを物体１の２次元
撮像データとしてメモリに取り込み、メモリ内で基準デ
ータと上記撮像データとを比較してそのずれ量を算出
し、物体１の位置を検出する処理部７とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は移動物体位置決め装置及
び方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体装置の製造において、リー
ドフレームにペレットマウントする際、まず図４に示す
ように、停止位置においてリードフレーム（１）の位置
決め用ピンホール（１ａ）にグリッパ部兼用位置決めピ
ン（３）を挿入し、アイランド部センタ（Ｐａ）（Ｐ
ｂ）間の距離（Ｍ）を一ピッチ送り量として矢印（Ａ）
方向に一定量ずつ搬送駆動する。そして、まず塗布ポジ
ションにアイランド部センタ（Ｐａ）が到達すると、そ
の位置で搬送を停止し、位置決めピン（３）によって位
置決めして押さえ部（２）によりリードフレーム（１）
を押さえる。そこで、リードフレーム（１）上のアイラ
ンド部（１ｂ）に銀ペースト等の接合材を塗布すると、
更に、一定の送り量、搬送してマウントポジションで上
記同様に位置決めし、半導体ペレットをアイランド部
（１ｂ）上にマウントする。そして、そのまま位置決め
ピン（３）をスライドさせて次工程に搬送する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】解決しようとする課題
は、リードフレーム（１）を位置決め搬送する際、停止
位置でピンホール（１ａ）に位置決めピン（３）を機械
的に挿入して精密位置決めしているため、機構が複雑に
なり、又、位置決めピン（３）の挿入不良が生じたり、
更に、ピンホール（１ａ）の遊び、或いは、使用する間
に生じた磨耗によるガタ付きによって位置決め精度が低
下する点である。そうすると、塗布やマウントヘッドの
位置は変わらないため、アイランド部（１ｂ）の位置が
ずれることによりペレットマウント位置がずれて、自動
機が停止することがある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、その方法とし
て、移動する被検出物体をその移動量に同期して一次元
的に撮像し、その一次元撮像データに移動量を乗算して
被検出物体の２次元撮像データを算出すると共に、その
２次元撮像データを基準データと比較してずれ量を算出
し、被検出物体の位置を検出して位置調整することを特
徴とし、

【０００５】又、装置として、被検出物体をパルス移動
させると共に、その移動量を検出する駆動部と、所定位
置にあって上記駆動部に同期して作動し、移動する上記
物体を一次元カメラでパルス毎にスキャニングして撮像
する撮像部と、上記撮像部より出力した一次元撮像デー
タを所定のパルス量について乗算したデータを上記物体
の２次元撮像データとしてメモリに取り込み、メモリ内
で基準データと上記撮像データとを比較してそのずれ量
を算出し、上記物体の位置を検出する処理部と、上記処
理部で検出したずれ量に基づいて被検出物体の位置を調
整する位置調整部とを具備したこと、又、被検出物体は
リードフレームであることを特徴とする。

【０００６】

【作用】上記技術的手段によれば、移動する被検出物
体、例えば製造中のリードフレームを所定位置で移動量
に同期して一次元的に撮像し、そのデータに移動量を乗
算して被検出物体の２次元撮像データを算出する。そし
て、２次元撮像データと基準データとを比較してずれ量
を演算処理して被検出物体の位置を検出する。

【０００７】

【実施例】本発明に係る移動物体位置決め方法及び装置
の実施例を図１乃至図３を参照して以下に説明する。ま
ず図１において、（５）は駆動部、（６）は撮像部、
（７）は処理部、（８）は位置調整部である。上記駆動
部（５）は、図２に示すように、被検出物体、例えばリ
ードフレーム（１）を搬送用レール（１３）上で掴持す
るグリッパ部（９）と、グリッパ部（９）をベルト（１
０）を介してパルス駆動するパルスモータ（１１）と、
パルスモータ（１１）の回転角度（移動量）を検出する
エンコーダ（１２）とを具備し、リードフレーム（１）
をパルス移動させると共に、その移動量を検出する。撮
像部（６）は、定ポジションにあってパルスモータ（１
１）の回転角度に同期して作動する一次元カメラ（ＣＣ
Ｄカメラ）（１４）と、リードフレーム（１）に下方か
ら光を投射するランプ（Ｌ）とを具備し、移動するリー
ドフレーム（１）をレンズ（１５）を介して１パルス毎
に一次元カメラ（１４）でスキャニングして撮像する。
処理部（７）は、上記撮像部（６）より出力した２値化
一次元撮像データの転送手段と、転送したデータを記憶
するメモリと、メモリに蓄えたデータを演算処理する演
算部とを内蔵し、所定のパルス量について乗算したデー
タを上記リードフレーム（１）の２次元撮像データとし
てメモリに取り込むと共に、予めティーチングによりメ
モリ内に蓄積した基準データと上記撮像データとをメモ
リ内で比較してそのずれ量を算出し、上記リードフレー
ム（１）の位置を検出する。又、図２に示すように、撮
像部（６）と駆動部（５）との間に順次、銀ペースト塗
布ヘッド（１６）とマウントヘッド（１７）を配設して
おく。位置調整部（８）は、処理部（７）から出力した
データを受けて塗布ヘッド（１６）とマウントヘッド
（１７）の位置をずれ量に基づいて位置調整する制御ボ
ード（１８）と、同様に処理部（７）から出力したデー
タを受けてパルスモータ駆動調整用ドライバ（１９）を
制御する駆動用ボード（２０）とを具備する。

【０００８】上記構成に基づき本発明の動作（方法）を
次に説明する。まずリードフレーム（１）をグリッパ部
（９）により掴持してパルスモータ（１１）を駆動する
と共に、その回転角度をエンコーダ（１２）により検出
する。そこで、図３に示すように、ランプ（Ｌ）の光を
リードフレーム（１）に下方から投射しつつ、パルスモ
ータ（１１）の１パルス毎（例えば４０μｍ毎）に一次
元カメラ（１４）を一回作動させてリードフレーム
（１）を幅方向に一次元的に、且つ、パルス駆動に対応
して定ピッチで撮像する。そうすると、ピンホール（１
ａ）をランプ（Ｌ）の光が透過するため、パルスに対応
した図示鎖線領域（Ｑａ）（Ｑｂ）…が一次元カメラ
（１４）に到達する毎に明暗の一次元データを撮像出来
る。そこで、その一次元撮像データを処理部（７）のメ
モリに転送手段を経て取り込むと共に、パルス量（移動
量）を一次元撮像データに乗じると、パルス量に対応し
た長さのリードフレーム（１）の２次元撮像データが算
出される。この時、リードフレーム（１）の品種が変わ
ってアイランド部間距離等が変わると、それに応じて上
記移動量を適宜選択すれば良い。又、パルス幅を変えて
２次元撮像データの解像度を調節することも出来る。

【０００９】上記２次元撮像データによれば、ピンホー
ル撮像部分が明るいため、その位置を検出出来る一方、
ピンホール（１ａ）に対してアイランド部センタ（Ｐ）
は、常に一定位置にあるため、２次元撮像データのピン
ホール（１ａ）の位置からアイランド部センタ（Ｐ）の
位置を検出出来る。そこで、処理部（７）のメモリにお
いて、予め蓄積していた上記基準データ（例えば図３に
示す点線部分）と上記２次元撮像データとを比較し、ア
イランド部センタ（Ｐ）の基準位置（Ｐｏ）からのずれ
量（Ｐｘ）を算出する。そして、そのずれ量（Ｐｘ）の
データを位置調整部（８）の制御ボード（１８）で受け
てそれにより塗布ヘッド（１６）やマウントヘッド（１
７）の位置を調整し、適宜、ＸＹ方向にずらせて最適位
置に修正すれば良い。又は、ドライバ駆動用ボード（２
０）によってパルスモータ（１１）を調整し、リードフ
レーム（１）の停止位置を修正しても良い。

【００１０】尚、上記実施例においてピンホール（１
ａ）に代えて位置決め用マークをリードフレーム上に付
けておき、リードフレーム（１）に上方から光を投射し
てコントラストによって位置決め用マークを検出しても
良い。又、一次元カメラ（１４）に代えてピンホール
（１ａ）にレーザ光線を透過させてそれをセンサ等にて
検出し、その検出データを処理部（７）に取り込んでも
良い。

【００１１】

【発明の効果】本発明によれば、リードフレーム等の移
動する被検出物体を撮像してその位置を検出して位置決
めするようにしたから、機構が簡単になると共に、位置
決め精度も向上し、更に、自動機停止等を防止出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る移動物体位置決め装置の実施例を
示す概略構成図である。

【図２】本発明に係る移動物体位置決め装置の部分概略
構成図である。

【図３】本発明に係る位置決め方法の実施例を示すリー
ドフレームの部分平面図である。

【図４】従来の移動物体位置決め装置を示す要部平面図
である。

【符号の説明】

１被検出物体５駆動部６撮像部７処理部８位置調整部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】移動する被検出物体をその移動量に同期
して一次元的に撮像し、その一次元撮像データに移動量
を乗算して被検出物体の２次元撮像データを算出すると
共に、その２次元撮像データを基準データと比較してず
れ量を算出し、被検出物体の位置を検出して位置調整す
ることを特徴とする移動物体位置決め方法。
【請求項２】被検出物体をパルス移動させると共に、
その移動量を検出する駆動部と、所定位置にあって上記
駆動部に同期して作動し、移動する上記物体を一次元カ
メラでパルス毎にスキャニングして撮像する撮像部と、
上記撮像部より出力した一次元撮像データを所定のパル
ス量について乗算したデータを上記物体の２次元撮像デ
ータとしてメモリに取り込み、メモリ内で基準データと
上記撮像データとを比較してそのずれ量を算出し、上記
物体の位置を検出する処理部と、上記処理部で検出した
ずれ量に基づいて被検出物体の位置を調整する位置調整
部とを具備したことを特徴とする移動物体位置決め装
置。
【請求項３】被検出物体はリードフレームであること
を特徴とする請求項２記載の移動物体位置決め装置。