JPH0642947A - 回転振れ又は輪郭の測定方法及び装置 - Google Patents
回転振れ又は輪郭の測定方法及び装置Info
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- JPH0642947A JPH0642947A JP3203331A JP20333191A JPH0642947A JP H0642947 A JPH0642947 A JP H0642947A JP 3203331 A JP3203331 A JP 3203331A JP 20333191 A JP20333191 A JP 20333191A JP H0642947 A JPH0642947 A JP H0642947A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M1/00—Testing static or dynamic balance of machines or structures
- G01M1/14—Determining imbalance
- G01M1/16—Determining imbalance by oscillating or rotating the body to be tested
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Of Balance (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 測定器又は被検査物品の精密支持体が不要
な、物品の回転振れ又は輪郭を測定する方法及び装置を
提供する。 【構成】 第１及び第２の追跡軸線（１７，１９）に沿
う物品上の１又は２以上の基準表面（９，１１）の位置
の変化を、物品の複数の回転位置について測定する。回
転振れ及び輪郭を測定すべきターゲット表面（１３）の
位置変化を、実質的に第１及び第２の追跡軸線と共通の
平面（２３）内に位置する第３の追跡軸線（２１）に沿
って測定する。第３の追跡軸線に沿う物品の回転軸線の
位置変化を、１又は２以上の基準表面の位置の変化及び
追跡軸線の相互離隔距離から測定し、この測定値を第３
の追跡軸線に沿うターゲット表面の位置変化の測定値か
ら減算して、回転振れ及び輪郭を求める。
な、物品の回転振れ又は輪郭を測定する方法及び装置を
提供する。 【構成】 第１及び第２の追跡軸線（１７，１９）に沿
う物品上の１又は２以上の基準表面（９，１１）の位置
の変化を、物品の複数の回転位置について測定する。回
転振れ及び輪郭を測定すべきターゲット表面（１３）の
位置変化を、実質的に第１及び第２の追跡軸線と共通の
平面（２３）内に位置する第３の追跡軸線（２１）に沿
って測定する。第３の追跡軸線に沿う物品の回転軸線の
位置変化を、１又は２以上の基準表面の位置の変化及び
追跡軸線の相互離隔距離から測定し、この測定値を第３
の追跡軸線に沿うターゲット表面の位置変化の測定値か
ら減算して、回転振れ及び輪郭を求める。
Description
本発明は、精密支持体を用いる必要なく、物品の回転振
れ及び輪郭を測定する方法及び装置に関する。
れ及び輪郭を測定する方法及び装置に関する。
【０００１】カム、クランクねじ及び他のかかる類似物
品の輪郭を検査して測定する現在用いられている方法で
は、物品のしんだしまたは基準表面を定めるのに検査物
品または測定器の何れかを回転させる精密支持体を用い
る必要がある。これら支持体の例としては、Ｖブロッ
ク、精密センタ、花崗岩製の検査テーブル、計器のスピ
ンドル、旋盤、回転テーブル又は他の精密機器が挙げら
れる。これら精密機器の段取り及び取扱いにあたり、一
人又は二人以上の高度熟練技術者が必要になる。検査作
業は、非常に時間がかかり、大きな労働力を有し、費用
がかかり、しかも長たらしい。大きな物品、例えば発電
機回転子及びタービン組立体については現行の検査方法
が使用できない場合もある。
品の輪郭を検査して測定する現在用いられている方法で
は、物品のしんだしまたは基準表面を定めるのに検査物
品または測定器の何れかを回転させる精密支持体を用い
る必要がある。これら支持体の例としては、Ｖブロッ
ク、精密センタ、花崗岩製の検査テーブル、計器のスピ
ンドル、旋盤、回転テーブル又は他の精密機器が挙げら
れる。これら精密機器の段取り及び取扱いにあたり、一
人又は二人以上の高度熟練技術者が必要になる。検査作
業は、非常に時間がかかり、大きな労働力を有し、費用
がかかり、しかも長たらしい。大きな物品、例えば発電
機回転子及びタービン組立体については現行の検査方法
が使用できない場合もある。
【０００２】従って、測定器具又は被検査物品の精密支
持体が不要な物品の回転振れまたは輪郭を測定する方法
及び装置に対する要望がある。
持体が不要な物品の回転振れまたは輪郭を測定する方法
及び装置に対する要望がある。
【０００３】また、高度熟練技術者を必要としない上記
測定方法及び装置に対する要望がある。
測定方法及び装置に対する要望がある。
【０００４】さらに、段取り及び検査時間が短い上記測
定方法及び装置に対する要望がある。
定方法及び装置に対する要望がある。
【０００５】これらの要望及び他の要望は、精密支持体
を必要としない、物品の表面の回転振れまたは輪郭を検
出し測定する装置及び方法にかかる本発明によって達成
される。物品は選択した回転軸線の周りに回転させられ
る。物品をこの軸線の周りに正確に回転させる必要はな
い。物品が回転しているときに、１または２以上の基準
表面を第１及び第２の追跡軸線に沿って追跡する。これ
ら基準表面の輪郭を正確なものと見なす。回転振れまた
は輪郭について検査去れるべき表面は物品が回転してい
る時に第３の追跡軸線に沿って追跡される。これら追跡
軸線は全て実質的に共通の平面内に位置していて、全て
物品の回転軸線に対して横方向に向いている。１または
２以上の基準表面及びターゲット表面の位置の変化は物
品の複数の角度位置についてそれぞれの追跡軸線に沿っ
て測定される。追跡軸線間の距離も測定される。次に、
ターゲット表面の回転振れ又は輪郭を、第１及び第２の
追跡軸線に沿う１または２以上の基準表面の位置の変
化、第３の追跡軸線に沿うターゲット表面の位置の変化
及び追跡軸線間の距離の関数として判定する。
を必要としない、物品の表面の回転振れまたは輪郭を検
出し測定する装置及び方法にかかる本発明によって達成
される。物品は選択した回転軸線の周りに回転させられ
る。物品をこの軸線の周りに正確に回転させる必要はな
い。物品が回転しているときに、１または２以上の基準
表面を第１及び第２の追跡軸線に沿って追跡する。これ
ら基準表面の輪郭を正確なものと見なす。回転振れまた
は輪郭について検査去れるべき表面は物品が回転してい
る時に第３の追跡軸線に沿って追跡される。これら追跡
軸線は全て実質的に共通の平面内に位置していて、全て
物品の回転軸線に対して横方向に向いている。１または
２以上の基準表面及びターゲット表面の位置の変化は物
品の複数の角度位置についてそれぞれの追跡軸線に沿っ
て測定される。追跡軸線間の距離も測定される。次に、
ターゲット表面の回転振れ又は輪郭を、第１及び第２の
追跡軸線に沿う１または２以上の基準表面の位置の変
化、第３の追跡軸線に沿うターゲット表面の位置の変化
及び追跡軸線間の距離の関数として判定する。
【０００６】物品の各回転位置について回転振れ又は輪
郭を求める際に、第３の追跡軸線に沿う回転軸線の位置
の変化を、第１及び第２の追跡軸線に沿う１また２以上
の基準表面の位置の変化の関数として求め、次に回転振
れ又は輪郭を、第３の追跡軸線に沿うターゲット表面の
位置の変化の測定値と第３の追跡軸線に沿う回転軸線の
位置の変化の計算値との差から求める。
郭を求める際に、第３の追跡軸線に沿う回転軸線の位置
の変化を、第１及び第２の追跡軸線に沿う１また２以上
の基準表面の位置の変化の関数として求め、次に回転振
れ又は輪郭を、第３の追跡軸線に沿うターゲット表面の
位置の変化の測定値と第３の追跡軸線に沿う回転軸線の
位置の変化の計算値との差から求める。
【０００７】本発明の別の特徴によれば、各追跡軸線に
沿って追跡される表面の位置の変化を、追跡された表面
に向かって輻射エネルギを放出し、それにより輻射エネ
ルギの遮断状態を検出することによって測定する。より
詳細に述べると、平面状の輻射エネルギを全ての追跡軸
線が位置する共通平面と垂直な平面内で追跡された表面
の移動範囲に亘って追跡軸線に沿って伝送する。この平
面状の輻射エネルギの一部は追跡された表面の所で物品
によって遮断される。物品が回転しているときに、追跡
表面によって遮断される平面状輻射エネルギの部分の変
化を検出することにより、追跡表面の位置の変化を求め
る。変形例として、追跡された表面の位置変化の測定に
他の装置を用いてもよく、かかる他の装置としては、例
えば線形可変差動変成器（以下、「ＬＶＤＴ」とも言
う。）が挙げられ、ＬＶＤＴはそのコアに取り付けられ
ていて、追跡されるべき表面に押し付けられるブレード
を有する。
沿って追跡される表面の位置の変化を、追跡された表面
に向かって輻射エネルギを放出し、それにより輻射エネ
ルギの遮断状態を検出することによって測定する。より
詳細に述べると、平面状の輻射エネルギを全ての追跡軸
線が位置する共通平面と垂直な平面内で追跡された表面
の移動範囲に亘って追跡軸線に沿って伝送する。この平
面状の輻射エネルギの一部は追跡された表面の所で物品
によって遮断される。物品が回転しているときに、追跡
表面によって遮断される平面状輻射エネルギの部分の変
化を検出することにより、追跡表面の位置の変化を求め
る。変形例として、追跡された表面の位置変化の測定に
他の装置を用いてもよく、かかる他の装置としては、例
えば線形可変差動変成器（以下、「ＬＶＤＴ」とも言
う。）が挙げられ、ＬＶＤＴはそのコアに取り付けられ
ていて、追跡されるべき表面に押し付けられるブレード
を有する。
【０００８】本発明の特定の用途は、発電機回転子の多
くの表面の回転振れの測定である。回転子の基準表面及
びターゲット表面について水平の追跡軸線を選択するこ
とにより、測定器を、公知の市販のレベラー又はレベリ
ング装置を用いて鉛直方向に差し向けられる平面状輻射
エネルギ、好ましくはレーザ・エネルギと個々に整列状
態にすることができる別個のスタンド上に取り付ける。
第３の追跡軸線についての測定装置を回転子に沿って移
動させれば回転子に沿う任意所望の位置における回転振
れを測定することができる。回転子は、動力ローラ上で
の組立て及び回転振れの測定が可能な状態で支持され
る。その理由は、回転子を回転振れの測定のために長さ
方向軸線の周りに正確に回転させる必要がないからであ
る。本発明はまた非円筒形の物品、例えばカム・シャフ
トその他の不規則形状の物品又は異形材の輪郭検査にも
役立つ。さらに、本発明を用いると同心度の測定が可能
になる。
くの表面の回転振れの測定である。回転子の基準表面及
びターゲット表面について水平の追跡軸線を選択するこ
とにより、測定器を、公知の市販のレベラー又はレベリ
ング装置を用いて鉛直方向に差し向けられる平面状輻射
エネルギ、好ましくはレーザ・エネルギと個々に整列状
態にすることができる別個のスタンド上に取り付ける。
第３の追跡軸線についての測定装置を回転子に沿って移
動させれば回転子に沿う任意所望の位置における回転振
れを測定することができる。回転子は、動力ローラ上で
の組立て及び回転振れの測定が可能な状態で支持され
る。その理由は、回転子を回転振れの測定のために長さ
方向軸線の周りに正確に回転させる必要がないからであ
る。本発明はまた非円筒形の物品、例えばカム・シャフ
トその他の不規則形状の物品又は異形材の輪郭検査にも
役立つ。さらに、本発明を用いると同心度の測定が可能
になる。
【０００９】本発明を完全に理解するため添付の図面を
参照して以下の実施例の詳細な説明を読むのがよい。
参照して以下の実施例の詳細な説明を読むのがよい。
【００１０】
【実施例】第１図を参照し、本発明を、第１の円筒形端
部分３、第２の円筒形端部分５及び円筒形中央部分７を
備えるローラ１の回転振れ及び輪郭又は形状の測定に適
用されるものとして説明する。端部分３，５はそれぞれ
円筒形の基準表面９，１１を定め、中央部分７は回転振
れ又は輪郭につき検査されるべきターゲット表面１３を
定める。説明を読み進めるにつれて明らかになるよう
に、ローラ１が特定の形体をしていることは重要ではな
い。必要なことは、少なくとも一つの基準表面及び検査
されるべき一つのターゲット表面が存在することであ
る。ローラ１では、これら表面は円筒形であるが、この
ような形状である必要はない。しかしながら、基準表面
の形状は既知でなければならず、また、正確なものであ
ると見做される。
部分３、第２の円筒形端部分５及び円筒形中央部分７を
備えるローラ１の回転振れ及び輪郭又は形状の測定に適
用されるものとして説明する。端部分３，５はそれぞれ
円筒形の基準表面９，１１を定め、中央部分７は回転振
れ又は輪郭につき検査されるべきターゲット表面１３を
定める。説明を読み進めるにつれて明らかになるよう
に、ローラ１が特定の形体をしていることは重要ではな
い。必要なことは、少なくとも一つの基準表面及び検査
されるべき一つのターゲット表面が存在することであ
る。ローラ１では、これら表面は円筒形であるが、この
ような形状である必要はない。しかしながら、基準表面
の形状は既知でなければならず、また、正確なものであ
ると見做される。
【００１１】本発明によれば、ローラ１は全体としてそ
の長さ方向軸線１５の周りに開店される。ローラ１を軸
線１５の周りに正確に回転させる必要が無いことは、本
発明の利点である。ローラ１の回転中、基準表面９，１
１はそれぞれ、互いに間隔を置いて位置した第１と第２
の追跡又はトラッキング軸線１７，１９に沿って追跡さ
れ、ターゲット表面１３は第３の追跡又はトラッキング
軸線２１に沿って追跡される。３つの追跡軸線１７，１
９，２１は全て共通平面２３内に位置し、好ましくは、
ローラ１の長さ方向軸線１５と垂直な関係にある。追跡
軸線が共通平面２３内において互いに正確には平行でな
くても、追跡軸線に沿って行われる測定の正確度が著し
い影響を受けることはない。表面のうち何れかが共通平
面２３内に位置しなければ、不正確度が大幅に生じる場
合がある。
の長さ方向軸線１５の周りに開店される。ローラ１を軸
線１５の周りに正確に回転させる必要が無いことは、本
発明の利点である。ローラ１の回転中、基準表面９，１
１はそれぞれ、互いに間隔を置いて位置した第１と第２
の追跡又はトラッキング軸線１７，１９に沿って追跡さ
れ、ターゲット表面１３は第３の追跡又はトラッキング
軸線２１に沿って追跡される。３つの追跡軸線１７，１
９，２１は全て共通平面２３内に位置し、好ましくは、
ローラ１の長さ方向軸線１５と垂直な関係にある。追跡
軸線が共通平面２３内において互いに正確には平行でな
くても、追跡軸線に沿って行われる測定の正確度が著し
い影響を受けることはない。表面のうち何れかが共通平
面２３内に位置しなければ、不正確度が大幅に生じる場
合がある。
【００１２】ローラ１が回転しているときに、基準表面
及びターゲット表面の運動の測定を追跡軸線１７，１
９，２１に沿って行う。もしローラがその長さ方向軸線
１５の周りに正確に回転していなければ、第２図及び第
４図で誇張して示されているように心振れすることにな
る。これらの図面において、ローラ１の位置は第１の角
度位置では実線で、第２の角度位置では想像線で示され
ている。第２の角度位置では、対応の部分が符号にプラ
イム記号（′）を付けて示されている。第２図に示す場
合では、ローラ１は回転しながら心振れしてその長さ方
向軸線１５がローラ１の両端間に在る点Ａを中心として
歳差運動を行うようになる。他方、第４図は、ローラの
投射長さ方向軸線１５がローラの一端を越えたところに
位置する点Ｂを中心として歳差運動を行う場合を示して
いる。しかしながら、両方の場合において、ローラ１は
この長さ方向軸線の周りに正確には回転しないので、基
準表面９は第１の追跡軸線１７に沿って測ってΔ１の量
だけ変位し、第２の基準表面１１は第２の追跡軸線１９
に沿って測ってΔ２の量だけ変位し、そして、ターゲッ
ト表面１３の変位量は第３の追跡軸線２１に沿って測っ
てΔ３であることが分かる。第３図で分かるように、第
１の追跡軸線１７と第２の追跡軸線１９との間の距離Ｘ
を測定すれば、第２図に示す場合についてのローラ１の
２つの角度位置間の長さ方向軸線１５の角度αの正接は
次の数３で求まる。
及びターゲット表面の運動の測定を追跡軸線１７，１
９，２１に沿って行う。もしローラがその長さ方向軸線
１５の周りに正確に回転していなければ、第２図及び第
４図で誇張して示されているように心振れすることにな
る。これらの図面において、ローラ１の位置は第１の角
度位置では実線で、第２の角度位置では想像線で示され
ている。第２の角度位置では、対応の部分が符号にプラ
イム記号（′）を付けて示されている。第２図に示す場
合では、ローラ１は回転しながら心振れしてその長さ方
向軸線１５がローラ１の両端間に在る点Ａを中心として
歳差運動を行うようになる。他方、第４図は、ローラの
投射長さ方向軸線１５がローラの一端を越えたところに
位置する点Ｂを中心として歳差運動を行う場合を示して
いる。しかしながら、両方の場合において、ローラ１は
この長さ方向軸線の周りに正確には回転しないので、基
準表面９は第１の追跡軸線１７に沿って測ってΔ１の量
だけ変位し、第２の基準表面１１は第２の追跡軸線１９
に沿って測ってΔ２の量だけ変位し、そして、ターゲッ
ト表面１３の変位量は第３の追跡軸線２１に沿って測っ
てΔ３であることが分かる。第３図で分かるように、第
１の追跡軸線１７と第２の追跡軸線１９との間の距離Ｘ
を測定すれば、第２図に示す場合についてのローラ１の
２つの角度位置間の長さ方向軸線１５の角度αの正接は
次の数３で求まる。
【００１３】
【数３】 なお、第２図の例において、Δ１及びΔ２は負であると
考えられる。というのは、これらは軸線１５の元の位置
から下方に延びているからである。また、αの正接は次
に示す数４によっても求められる。
考えられる。というのは、これらは軸線１５の元の位置
から下方に延びているからである。また、αの正接は次
に示す数４によっても求められる。
【００１４】
【数４】 上式において、Ｙは追跡軸線１７，２１間の距離、Ｊは
角αと対向した辺の長さである。
角αと対向した辺の長さである。
【００１５】数３を数４に代入して整理すると、次の数
５を得る。
５を得る。
【００１６】
【数５】 すると、追跡軸線２１に沿う軸線１５の位置の変化分
（ｄｅｖ）は次の数６で表される。
（ｄｅｖ）は次の数６で表される。
【００１７】
【数６】 ここにおいても、第２図の例ではΔ１はｄｅｖと同様、
負であると考えられるが、Ｊは正である。数５を数６に
代入すると、次の数７が得られる。
負であると考えられるが、Ｊは正である。数５を数６に
代入すると、次の数７が得られる。
【００１８】
【数７】 そこで、回転振れ又は輪郭εは、第３の追跡軸線２１に
沿う追跡軸線の位置の変化分と、追跡軸線２１に沿うタ
ーゲット表面１３の位置変化の測定値の差である。これ
は、次の数８で表される。
沿う追跡軸線の位置の変化分と、追跡軸線２１に沿うタ
ーゲット表面１３の位置変化の測定値の差である。これ
は、次の数８で表される。
【００１９】
【数８】 同様に、第５図に図式的に示すように、数７及び数８を
用いると、回転軸線の位置変化及び回転軸線が物品の外
部の点を中心として回転するような回転振れ又は輪郭を
求めることが出来る。上記の式において、追跡軸線１７
は原点であると考えられ、従って、ターゲット表面を追
跡中の軸線２１が第２図及び第４図で見て軸線１７の左
側に在れば、軸線１７，２１間の距離Ｙの符号は負であ
る。
用いると、回転軸線の位置変化及び回転軸線が物品の外
部の点を中心として回転するような回転振れ又は輪郭を
求めることが出来る。上記の式において、追跡軸線１７
は原点であると考えられ、従って、ターゲット表面を追
跡中の軸線２１が第２図及び第４図で見て軸線１７の左
側に在れば、軸線１７，２１間の距離Ｙの符号は負であ
る。
【００２０】同様な測定及び計算を、ローラ１の一回転
における複数の角度位置について行う。回転軸線の位置
変化と第３の軸線に沿うターゲット表面の変位量の測定
値の最大差はターゲット表面の回転振れに等しい。所望
ならば、これら偏差をプロットすれば、回転振れを視覚
的に表示できる。
における複数の角度位置について行う。回転軸線の位置
変化と第３の軸線に沿うターゲット表面の変位量の測定
値の最大差はターゲット表面の回転振れに等しい。所望
ならば、これら偏差をプロットすれば、回転振れを視覚
的に表示できる。
【００２１】回転振れの測定技術はロータの各円筒形部
分の何れの直径をも測定する必要は無いことは注目され
るべきである。その上、種々の部分が互いに異なる直径
のものであっても良い。また、もし第１及び第２の追跡
軸線が第１図に示すように十分に間隔を置いていれば、
基準表面９の軸方向長さが第２の追跡軸線１９′を用い
れば基準表面９を追跡できるほどの長さである場合、２
つの別々の基準表面を備える必要は無い。第１及び第２
の追跡軸線の間の距離が増大すれば増大するほど、それ
だけ一層、数３及び数４による計算の正確度が増す。
分の何れの直径をも測定する必要は無いことは注目され
るべきである。その上、種々の部分が互いに異なる直径
のものであっても良い。また、もし第１及び第２の追跡
軸線が第１図に示すように十分に間隔を置いていれば、
基準表面９の軸方向長さが第２の追跡軸線１９′を用い
れば基準表面９を追跡できるほどの長さである場合、２
つの別々の基準表面を備える必要は無い。第１及び第２
の追跡軸線の間の距離が増大すれば増大するほど、それ
だけ一層、数３及び数４による計算の正確度が増す。
【００２２】また、本発明の手法を、非円筒形の表面、
例えば第６図に示すカム２７のカム面２５の輪郭の検査
又は測定に用いることができる。この場合、カム２７を
回転自在に取り付けるシャフト３３の両端の基準表面２
９，３１の位置の変化は、それぞれ第１及び第２の追跡
軸線３５，３７に沿って測定され、カム面２５の変位量
は第３の追跡軸線３９に沿って測定される。数７を用い
て計算を行うと、第３の追跡軸線３９における回転軸線
の変位量が求まる。ロータ１の各角度位置における回転
軸線の変位量と、数８を用いて算出される第３の追跡軸
線に沿うカム面２５の変位量の測定値との差はカム面の
実際の輪郭を表わす。この実際の輪郭を設計輪郭と比較
すれば輪郭の誤差を求めることができる。
例えば第６図に示すカム２７のカム面２５の輪郭の検査
又は測定に用いることができる。この場合、カム２７を
回転自在に取り付けるシャフト３３の両端の基準表面２
９，３１の位置の変化は、それぞれ第１及び第２の追跡
軸線３５，３７に沿って測定され、カム面２５の変位量
は第３の追跡軸線３９に沿って測定される。数７を用い
て計算を行うと、第３の追跡軸線３９における回転軸線
の変位量が求まる。ロータ１の各角度位置における回転
軸線の変位量と、数８を用いて算出される第３の追跡軸
線に沿うカム面２５の変位量の測定値との差はカム面の
実際の輪郭を表わす。この実際の輪郭を設計輪郭と比較
すれば輪郭の誤差を求めることができる。
【００２３】本発明の適用例の一つとして、大型発電機
の回転子の種々の表面の回転振れの測定が挙げられる。
第７Ａ図及び第７Ｂ図に示すような回転子４１は一般に
長さが１０．７〜１２．２ｍ（３５〜４０フィート）の
ものである。回転子は鍛造品から機械加工により形成さ
れるが、この回転子は機械加工された鍛造品に焼き嵌め
される多くの構成要素、例えばブロワ・ハブ・接触リン
グ等を備えている。機械加工された表面及び回転子に取
り付けられた付属品の回転振れは初期製造・組立て中及
びオーバーホール中に検査される。かかる方法では、付
属品を組立て領域内で回転子に取り付け、次に完成した
回転子を精密仕上げ旋盤に移送し、回転振れの検査と修
正を行う。次に、回転子を次の付属品取り付けのため組
立て領域に戻す。この手順は非常に時間がかかり、従っ
てコスト高になる。
の回転子の種々の表面の回転振れの測定が挙げられる。
第７Ａ図及び第７Ｂ図に示すような回転子４１は一般に
長さが１０．７〜１２．２ｍ（３５〜４０フィート）の
ものである。回転子は鍛造品から機械加工により形成さ
れるが、この回転子は機械加工された鍛造品に焼き嵌め
される多くの構成要素、例えばブロワ・ハブ・接触リン
グ等を備えている。機械加工された表面及び回転子に取
り付けられた付属品の回転振れは初期製造・組立て中及
びオーバーホール中に検査される。かかる方法では、付
属品を組立て領域内で回転子に取り付け、次に完成した
回転子を精密仕上げ旋盤に移送し、回転振れの検査と修
正を行う。次に、回転子を次の付属品取り付けのため組
立て領域に戻す。この手順は非常に時間がかかり、従っ
てコスト高になる。
【００２４】本発明によれば、回転子４１は一対の間隔
を置いて位置した動力ローラ４３により、組立てと回転
振れの検査の両方が可能なように支持されている。動力
ローラ４３は各々、フレーム４７上に横方向に間隔を置
いて位置したローラ４５の対を有する。ローラ４５はチ
ェーン５１、歯車箱５３及びシャフト５５を介して電動
機４９によって駆動される。ローラ電動機のための電力
は電源５７によって得られる。
を置いて位置した動力ローラ４３により、組立てと回転
振れの検査の両方が可能なように支持されている。動力
ローラ４３は各々、フレーム４７上に横方向に間隔を置
いて位置したローラ４５の対を有する。ローラ４５はチ
ェーン５１、歯車箱５３及びシャフト５５を介して電動
機４９によって駆動される。ローラ電動機のための電力
は電源５７によって得られる。
【００２５】回転子４１は間隔を置いたローラ４５の対
及びローラ支持体４３で支持されている。回転子５８の
大径中央部分には回転子巻線を収容するためのスロット
が長さ方向に設けられているので、回転子を回転させる
ための滑らかな回転表面が得られるようベリーバンド５
９が用いられている。
及びローラ支持体４３で支持されている。回転子５８の
大径中央部分には回転子巻線を収容するためのスロット
が長さ方向に設けられているので、回転子を回転させる
ための滑らかな回転表面が得られるようベリーバンド５
９が用いられている。
【００２６】回転子４１の両端に隣接して支承面６１，
６３が本発明に従って回転振れを測定するための基準表
面として用いられる。回転子が動力ローラ４３によって
長さ方向軸線６５の周りに正確に回転しないことに起因
する基準表面６１，６３の位置の変化は、レーザ計器６
７ａ，６７ｂで測定される。回転子が回転している時に
回転子４１の選択されたターゲット表面の位置の変化は
可動レーザ計器６７ｃによって測定される。第６図に想
像線で示すように、このレーザ計器６７ｃは回転子４１
の種々の表面のそれぞれの回転振れを連続的に測定でき
るよう移動できる。回転エンコーダ６８が回転子４１の
角度位置を追跡する。
６３が本発明に従って回転振れを測定するための基準表
面として用いられる。回転子が動力ローラ４３によって
長さ方向軸線６５の周りに正確に回転しないことに起因
する基準表面６１，６３の位置の変化は、レーザ計器６
７ａ，６７ｂで測定される。回転子が回転している時に
回転子４１の選択されたターゲット表面の位置の変化は
可動レーザ計器６７ｃによって測定される。第６図に想
像線で示すように、このレーザ計器６７ｃは回転子４１
の種々の表面のそれぞれの回転振れを連続的に測定でき
るよう移動できる。回転エンコーダ６８が回転子４１の
角度位置を追跡する。
【００２７】第８図に示し、第９図で一層詳細に示すよ
うに、レーザ計器６７は、追跡中の表面、例えば表面６
１について追跡軸線７３と垂直に平面状輻射エネルギ７
１を放出するレーザ源６９を有する。平面状輻射エネル
ギ７１はまた第９図の平面と垂直な他のレーザ計器の追
跡軸線を含む共通の表面に対し垂直である。レーザ計器
６７は、回転子４１の表面６１が回転子４１の全ての回
転位置についてレーザ源６９によって生じる平面状輻射
エネルギを部分的に遮断するよう位置決めされている。
レーザ源６９からの輻射エネルギは検出器７５によって
検出される。検出器７５はエッジ７７から測定される表
面６１によって遮断されない平面輻射エネルギ部分のエ
ッジ７７を測定することにより追跡軸線７３に沿う表面
６１の位置を測定する。かくして、第９図に実線で示す
表面６１の位置に関して、幅Ｒの輻射エネルギは検出器
７５によって検出される。回転子４１が回転すると共に
表面６１が第９図に想像線で示す位置へ移動していると
き、検出器は幅Ｓの輻射エネルギを測定する。測定した
幅ＲとＳの差Δは、回転子４１の回転中、表面６１が第
９図に示す２つの位置の間で追跡軸線７３に沿って移動
する量である。適当なレーザ計器６７はレーザ−マイク
・カンパニー（Laser-Mike Company）から入手できる。
うに、レーザ計器６７は、追跡中の表面、例えば表面６
１について追跡軸線７３と垂直に平面状輻射エネルギ７
１を放出するレーザ源６９を有する。平面状輻射エネル
ギ７１はまた第９図の平面と垂直な他のレーザ計器の追
跡軸線を含む共通の表面に対し垂直である。レーザ計器
６７は、回転子４１の表面６１が回転子４１の全ての回
転位置についてレーザ源６９によって生じる平面状輻射
エネルギを部分的に遮断するよう位置決めされている。
レーザ源６９からの輻射エネルギは検出器７５によって
検出される。検出器７５はエッジ７７から測定される表
面６１によって遮断されない平面輻射エネルギ部分のエ
ッジ７７を測定することにより追跡軸線７３に沿う表面
６１の位置を測定する。かくして、第９図に実線で示す
表面６１の位置に関して、幅Ｒの輻射エネルギは検出器
７５によって検出される。回転子４１が回転すると共に
表面６１が第９図に想像線で示す位置へ移動していると
き、検出器は幅Ｓの輻射エネルギを測定する。測定した
幅ＲとＳの差Δは、回転子４１の回転中、表面６１が第
９図に示す２つの位置の間で追跡軸線７３に沿って移動
する量である。適当なレーザ計器６７はレーザ−マイク
・カンパニー（Laser-Mike Company）から入手できる。
【００２８】本発明によれば、回転子を回転自在に高精
度で取り付ける必要はなく、またレーザ計器６７を互い
に正確に位置決めする必要もない。調整上、レーザ計器
６７の全ての追跡軸線７３が共通表面内に位置すると共
に実質的に互いに平行になるようにすることが要求され
るに過ぎない。水平に支持された発電機回転子の回転振
れを測定するためには、レーザ計器６７を地面に対し水
平に置かれたスタンド８１上に載置すれば、この調節作
業を容易に行うことができる。この調節は従来型レベリ
ング装置を用いて容易に行うことができる。
度で取り付ける必要はなく、またレーザ計器６７を互い
に正確に位置決めする必要もない。調整上、レーザ計器
６７の全ての追跡軸線７３が共通表面内に位置すると共
に実質的に互いに平行になるようにすることが要求され
るに過ぎない。水平に支持された発電機回転子の回転振
れを測定するためには、レーザ計器６７を地面に対し水
平に置かれたスタンド８１上に載置すれば、この調節作
業を容易に行うことができる。この調節は従来型レベリ
ング装置を用いて容易に行うことができる。
【００２９】オペレータが測定値Ｒ，Ｓをレーザ計器６
７から読み出して回転子４１の位置のそれぞれの変化に
ついてΔを計算することは可能であるけれども、これら
の計算をコンピュータ７９を用いて行うことが好まし
く、このコンピュータ７９は測定値と、回転エンコーダ
６８によって追跡された回転子の角度位置とを相関させ
ることができる。
７から読み出して回転子４１の位置のそれぞれの変化に
ついてΔを計算することは可能であるけれども、これら
の計算をコンピュータ７９を用いて行うことが好まし
く、このコンピュータ７９は測定値と、回転エンコーダ
６８によって追跡された回転子の角度位置とを相関させ
ることができる。
【００３０】コンピュータ７９についての適当なコンピ
ュータプログラムの流れ図が第１０に示されている。最
初に、オペレータはコンピュータに、レーザの相互離隔
距離を入力し（ブロック８５）、次に測定されるべき角
度位置の数を入力する（ブロック８７）。回転子が動力
ローラ４３によって回転している間、光学エンコーダ８
３によって測定された角度位置のそれぞれにおけるレー
ザ計器６７による測定値がコンピュータに読み込まれる
（ブロック８９）。各角度位置で採られたレーザ測定値
の各組について、第１の角度位置についてのレーザ・デ
ータの組を次々にある角度位置のそれぞれについてのレ
ーザ・データの組から引いてΔを求める（ブロック９
１）。次に、レーザＣにおける回転軸線の変位をレーザ
Ａ及びＢについてのレーザ・データから計算する（ブロ
ック９３）。次に、この回転軸線の変位量をレーザＣに
ついて計算したΔから減算してターゲット表面上の回転
振れ／輪郭を測定する（ブロック９５）。これらの計算
を、回転子の各角度位置について繰り返し行う（ブロッ
ク９７）。次いで、回転振れの結果表示する（ブロック
９９）。
ュータプログラムの流れ図が第１０に示されている。最
初に、オペレータはコンピュータに、レーザの相互離隔
距離を入力し（ブロック８５）、次に測定されるべき角
度位置の数を入力する（ブロック８７）。回転子が動力
ローラ４３によって回転している間、光学エンコーダ８
３によって測定された角度位置のそれぞれにおけるレー
ザ計器６７による測定値がコンピュータに読み込まれる
（ブロック８９）。各角度位置で採られたレーザ測定値
の各組について、第１の角度位置についてのレーザ・デ
ータの組を次々にある角度位置のそれぞれについてのレ
ーザ・データの組から引いてΔを求める（ブロック９
１）。次に、レーザＣにおける回転軸線の変位をレーザ
Ａ及びＢについてのレーザ・データから計算する（ブロ
ック９３）。次に、この回転軸線の変位量をレーザＣに
ついて計算したΔから減算してターゲット表面上の回転
振れ／輪郭を測定する（ブロック９５）。これらの計算
を、回転子の各角度位置について繰り返し行う（ブロッ
ク９７）。次いで、回転振れの結果表示する（ブロック
９９）。
【００３１】基準表面変位量及びターゲット表面変位量
を測定するための他型式計器を利用しても良い。例え
ば、可動コアに取り付けられたブレードが追跡されるべ
き表面に押し付けられるようになった線形可変差動変成
器（ＬＶＤＴ）を利用しても良い。
を測定するための他型式計器を利用しても良い。例え
ば、可動コアに取り付けられたブレードが追跡されるべ
き表面に押し付けられるようになった線形可変差動変成
器（ＬＶＤＴ）を利用しても良い。
【００３２】上述したように、本発明は物品のセンター
又は基準表面を定めるために物品又は測定器の精密取付
け具を必要としないで、物品表面の回転振れ及び輪郭を
正確に測定できる。本発明は、シャフト及び回転子の回
転振れまたはカム、クランク、ネジ又は他の類似物品の
輪郭の検査及び測定に適している。
又は基準表面を定めるために物品又は測定器の精密取付
け具を必要としないで、物品表面の回転振れ及び輪郭を
正確に測定できる。本発明は、シャフト及び回転子の回
転振れまたはカム、クランク、ネジ又は他の類似物品の
輪郭の検査及び測定に適している。
【図１】第１図は、ローラの回転振れ又は輪郭を測定す
る本発明の用途を示す等角図である。
る本発明の用途を示す等角図である。
【図２】第２図は、ローラの長さ方向軸線がローラ内の
一点を中心として回転する第１図のローラの回転振れま
たは輪郭を測定する本発明の作動状態を示す略図であ
る。
一点を中心として回転する第１図のローラの回転振れま
たは輪郭を測定する本発明の作動状態を示す略図であ
る。
【図３】第３図は、回転振れまたは輪郭が測定されるべ
き表面を追跡する追跡軸線に沿う第２図のローラの長さ
方向軸線の偏差の測定法を概略的に示す略図である。
き表面を追跡する追跡軸線に沿う第２図のローラの長さ
方向軸線の偏差の測定法を概略的に示す略図である。
【図４】第４図は、ローラの回転軸線がローラの外部に
あるある一点を中心として回転する第２図の略図と同様
な略図である。
あるある一点を中心として回転する第２図の略図と同様
な略図である。
【図５】第５図は、第３図と同様な略図であるが、第４
図に示す状態についてのローラの長さ方向軸線の偏差の
計算を概略的に示す図である。
図に示す状態についてのローラの長さ方向軸線の偏差の
計算を概略的に示す図である。
【図６】第６図は、カムの輪郭を測定する本発明の用途
を示す等角図である。
を示す等角図である。
【図７】第７Ａ図及び第７Ｂ図は端と端とを突き合わせ
た場合、発電機の回転子に関する回転振れを測定するの
に用いられた本発明の平面図である。
た場合、発電機の回転子に関する回転振れを測定するの
に用いられた本発明の平面図である。
【図８】第８図は、第７図の縦断面図である。
【図９】第９図は、本発明に従って発電機回転子の表面
の変位量を測定するのに用いられる方法を示す略図であ
る。
の変位量を測定するのに用いられる方法を示す略図であ
る。
【図１０】第１０図は、本発明の一部を形成する適当な
コンピュータプログラムの流れ図である。
コンピュータプログラムの流れ図である。
１ ローラ ３，５ 円筒形端部分 ７ 円筒形中央部分 ９，１１ 円筒形基準表面 １３ ターゲット表面 １５ 長さ方向軸線 １７，１９，２１ 追跡軸線 ２３ 共通平面
【化１】
フロントページの続き (72)発明者 ブルック ケント サモンド アメリカ合衆国 ペンシルベニア州 ピッ ツバーグ ソーンウィック ドライブ 716 (72)発明者 ハンス アーミニオ リューマン アメリカ合衆国 ペンシルベニア州 ワシ ントン ピーオーボックス 91 (72)発明者 ラリー ジョセフ アポロニア アメリカ合衆国 ペンシルベニア州 モノ ンガヒーラ アールディー ナンバー２ ボックス 341
Claims (19)
- 【請求項１】 少なくとも１つの基準表面を備えた物品
のターゲット表面の回転振れ又は輪郭を検出し測定する
方法において、物品を選択した回転軸線の周りに回転さ
せ、物品が回転しているときに、選択した回転軸線に沿
って間隔を置いて位置した第１と第２の追跡軸線に沿っ
て少なくとも１つの基準表面を追跡し、物品が回転して
いるときに第３の追跡軸線に沿ってターゲット表面を追
跡し、第１、第２及び第３の追跡軸線は実質的に共通の
平面内に位置すると共に全て全体として選択した回転軸
線に対し横方向に配向し、追跡軸線間の距離を測定し、
第１及び第２の追跡軸線のそれぞれに沿って少なくとも
１つの基準表面の位置の変化を測定すると共に物品の第
１の回転位置と第２の回転位置との間における第３の追
跡軸線に沿うターゲット表面の位置の変化を測定し、第
１及び第２の追跡軸線に沿う少なくとも１つの基準表面
の位置の変化、第３の追跡軸線に沿うターゲット表面の
位置の変化及び追跡軸線間の距離の関数としてターゲッ
ト表面の回転振れ又は輪郭を測定することを特徴とする
方法。 - 【請求項２】 第１及び第２の追跡軸線に沿う少なくと
も１つの基準表面の位置の変化と、物品の第１の回転位
置と選択した回転軸線での周りでの物品の複数の回転位
置のそれぞれとの間で第３の追跡軸線に沿うターゲット
表面の位置の変化を測定し、選択した回転軸線の周りで
の物品の各回転位置について回転振れ又は輪郭を測定す
ることを特徴とする請求項１の方法。 - 【請求項３】 物品の各回転位置についての回転振れ又
は輪郭を測定する段階では、第１及び第２の追跡軸線に
沿う少なくとも１つの基準表面の位置の変化の関数とし
て、第３の追跡軸線に沿う選択した回転軸線の位置の変
化を求め、ターゲット表面の位置の変化の測定値と、第
３の追跡軸線に沿う選択した回転軸線の位置の変化の差
から回転振れ又は輪郭を測定することを特徴とする請求
項２の方法。 - 【請求項４】 少なくとも１つの基準表面は円筒形であ
り、第１及び第２の追跡軸線に沿う選択した回転軸線の
位置の変化は、第１及び第２の追跡軸線に沿う少なくと
も１つの基準表面の位置の変化の測定値に等しいことを
特徴とする請求項３の方法。 - 【請求項５】 物品は第１及び第２の基準表面を有し、
前記追跡段階では、第１の基準表面を第１の追跡軸線に
沿って追跡し、第２の基準表面を第２の追跡軸線に沿っ
て追跡し、前記測定段階では、第１の追跡軸線に沿って
第１の基準表面の位置の変化を測定し、第２の追跡軸線
に沿って第２の基準表面の位置の変化を測定することを
特徴とする請求項２の方法。 - 【請求項６】 第１の基準表面は円筒形であって第１の
直径を有し、第２の基準表面は円筒形であって第１の直
径とは無関係な第２の直径を有し、前記回転振れ又は輪
郭を次の数１に従って求め、 【数１】 数１において、εは第３の追跡軸線に沿うターゲット表
面の回転振れ又は輪郭に、Δ１は第１の追跡軸線に沿っ
て測った第１の基準表面の位置の変化に、Δ２は第２の
追跡軸線に沿って測った第２の基準表面の位置の変化
に、Δ３は第３の追跡軸線に沿って測ったターゲット表
面の位置の変化に、Ｘは第１と第２の追跡軸線の間の距
離の測定値に、Ｙは第１と第３の追跡軸線の間の距離の
測定値にそれぞれ等しいことを特徴とする請求項５の方
法。 - 【請求項７】 追跡軸線に沿って追跡される表面の位置
の変化を測定する前記段階では、各追跡軸線に関し追跡
軸線に沿って、追跡軸線が追跡される表面の変異の範囲
を越えて位置する共通平面と垂直な平面状輻射エネルギ
を放出し、輻射エネルギの一部を物品により追跡される
表面で遮断させ、物品が複数の回転位置まで回転する
と、追跡された表面によって遮断される平面輻射エネル
ギの一部分の変化を検出することを特徴とする請求項３
の方法。 - 【請求項８】 第１、第２及び第３の追跡軸線の位置す
る共通平面は水平であり、前記方法は、各平面状輻射エ
ネルギを鉛直線に合わせて整列させる段階を含むことを
特徴とする請求項７の方法。 - 【請求項９】 一端近傍に第１の円筒形基準表面、他端
近傍に第２の円筒形基準表面及び回転振れにつき検査さ
れるべき一連の中間回転子部分を有する発電機回転子の
回転振れを測定する装置であって、発電機回転子を長さ
方向軸線の周りに回転自在に支持する手段と、第１の基
準表面を追跡すると共に回転子が長さ方向軸線の周りに
回転しているときに回転子の複数の角度位置のそれぞれ
について第１の追跡軸線に沿う第１の追跡表面の位置の
変化を測定する第１の追跡手段と、第２の基準表面を追
跡すると共に回転子の複数の角度位置のそれぞれについ
て第２の追跡軸線に沿う第２の基準表面の位置の変化を
測定する第２の追跡手段と、回転子に沿って移動でき、
選択された中間回転子部分を次々に追跡して、全てが共
通平面内に位置した回転子、第１、第２及び第３の追跡
軸線の角度位置のそれぞれについて第３の追跡軸線に沿
う選択した中間回転子部分の位置の変化を測定する第３
の追跡手段と、第１及び第２の追跡軸線に沿う第１及び
第２の基準表面のそれぞれの変化した位置から発電機回
転子の各角度位置について、第１と第２の追跡軸線間の
距離、第１と第３の追跡軸線間の距離及び回転子の各角
度位置について第３の追跡軸線の長さ方向軸線の位置の
変化を求め、回転子の各角度位置について、長さ方向軸
線の位置の変化と第３の追跡軸線に沿って測った選択し
た中間表面の位置の変化の差を求める手段とを有するこ
とを特徴とする装置。 - 【請求項１０】 各追跡手段は、平面状の輻射エネルギ
を生じさせる輻射エネルギ送信器と、輻射エネルギ受信
器と、輻射エネルギ発信機を取り付けて平面状輻射エネ
ルギを追跡された表面の移動範囲に亘ってそれぞれの追
跡軸線に沿って共通平面と垂直に伝送して回転子が平面
状輻射エネルギの一部を遮断するようにすると共に、受
信器を取り付けて回転子によって遮断された平面状輻射
エネルギの部分の変化を検出して各追跡軸線に沿う追跡
された表面の位置の変化の測定値を求める取付け手段と
を有することを特徴とする請求項９の装置。 - 【請求項１１】 第１、第２及び第３の追跡軸線の共通
平面は水平であり、取付け手段は鉛直方向に平面状輻射
エネルギを生ぜしめるよう輻射エネルギ発信器を取り付
けることを特徴とする請求項１０の装置。 - 【請求項１２】 輻射エネルギ発信器は平面状レーザ・
エネルギを放出することを特徴とする請求項１１の装
置。 - 【請求項１３】 回転子を支持する手段は回転子の長さ
方向軸線に沿って間隔を置いて位置した一対の支持体か
ら成り、支持体は各々、回転子の長さ方向軸線と全体的
に平行で横方向に間隔を置いて位置した軸線の周りに回
転自在にフレーム上に取り付けられた一対のローラを含
み、回転子はローラ上に載ることを特徴とする請求項９
の装置。 - 【請求項１４】 一対のローラのうち少なくとも一方
を、支持体のうち少なくとも１つの中で回転させて回転
子を回転させる動力手段をさらに有することを特徴とす
る請求項１３の装置。 - 【請求項１５】 長さ方向軸線、一端近傍の第１の円筒
形基準表面、他端近傍の第２の円筒形基準表面及び回転
子を構成しているときに幾つかが回転子に次々に付け加
えられ、各々が回転振れが測定されるべきターゲット表
面を備える一連の中間回転子部分を有する発電機回転子
の回転振れを測定する方法であって、回転子を間隔を置
いて位置したローラ支持体上に置き、回転子をローラ支
持体上で全体的に長さ方向軸線の周りに回転させ、第１
の基準表面を追跡して回転子の複数の角度位置について
第１の追跡軸線に沿う第１の基準表面の位置の変化を測
定し、第２の基準表面を追跡して回転子の複数の角度位
置について第２の追跡軸線に沿う第２の基準表面の位置
の変化を測定し、回転子の選択した中間部分のターゲッ
ト表面を追跡して全てが共通平面内に位置し且つ全体的
に長さ方向軸線と横方向に向いた回転子、第１、第２及
び第３の追跡軸線の複数の角度位置について第３の追跡
軸線に沿うターゲット表面の位置の変化を測定し、第１
及び第２の追跡軸線に沿う第１及び第２の基準表面のそ
れぞれの位置の変化から、第１と第２の追跡軸線間の距
離と第１と第３の追跡軸線間の距離及び回転子の各角度
位置に追記第３の追跡軸線に沿う長さ方向軸線の位置の
変化を求め、回転子の各角度位置につき長さ方向軸線の
位置の変化と第３の追跡軸線に沿うターゲット表面の位
置の変化との差を求めることを特徴とする方法。 - 【請求項１６】 中間部分を回転子がローラ上に載って
いる間に回転子に付け加え、回転子が複数の角度位置を
通って回転しているときに第１及び第２の追跡軸線に沿
う第１及び第２の基準表面の位置の変化を測定して第３
の追跡軸線を位置決めして追加した中間部分のターゲッ
ト表面を追跡し、回転子の各角度位置につき付け加えた
中間部分のターゲット表面の位置の変化を測定し、第１
及び第２の追跡軸線に沿う第１及び第２の基準表面の位
置の変化から、第１と第２の追跡軸線間の距離、回転子
の角度位置につき第１と第３の追跡軸線間の距離及び第
３の追跡軸線に沿う長さ方向軸線の位置の変化を求め、
長さ方向軸線の位置の変化と第３の追跡軸線に沿う付け
加えた中間部分のターゲット表面の測定値の差を求める
段階を繰り返し実施することを特徴とする請求項１５の
方法。 - 【請求項１７】 第３の追跡軸線に沿う長さ方向軸線の
位置の変化を次の数２に従って求め、 【数２】 数２において、ｄｅｖは第３の追跡軸線に沿うターゲッ
ト表面の位置の変化に、Δ１第１の追跡軸線に沿って測
った第１の基準表面の位置の変化に、Δ２は第２の追跡
軸線に沿って測った第２の基準表面の位置の変化に、Δ
３は第３の追跡軸線に沿って測ったターゲット表面の位
置の変化に、Ｘは第１と第２の追跡軸線間の距離の測定
値に、Ｙは第１と第３の追跡軸線間の距離の測定値にそ
れぞれ等しいことを特徴とする請求項１６の方法。 - 【請求項１８】 基準表面及びターゲット表面の位置の
変化を測定する段階では、平面状レーザ・エネルギを各
追跡軸線に沿って共通平面と垂直に放出してレーザ・エ
ネルギの一部が追跡された表面によって遮断されるよう
にし、回転子の複数の角度位置のそれぞれにおいて回転
子によって遮断される平面状レーザ・エネルギ部分の変
化を検出することを特徴とする請求項１６の方法。 - 【請求項１９】 第１、第２及び第３の追跡軸線の全て
が位置する共通平面は水平の平面であり、レーザ・エネ
ルギの平面は鉛直方向に向き、前記方法はレベラーを用
いてレーザ・エネルギの垂直平面を整列させる段階を含
むことを特徴とする請求項１８の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/555,346 US5140534A (en) | 1990-07-20 | 1990-07-20 | Centerless runout and profile inspection system and method |
| US555346 | 1990-07-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0642947A true JPH0642947A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=24216923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3203331A Withdrawn JPH0642947A (ja) | 1990-07-20 | 1991-07-18 | 回転振れ又は輪郭の測定方法及び装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
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