JPH0639790Y2 - マスフローコントローラ - Google Patents
マスフローコントローラInfo
- Publication number
- JPH0639790Y2 JPH0639790Y2 JP12267690U JP12267690U JPH0639790Y2 JP H0639790 Y2 JPH0639790 Y2 JP H0639790Y2 JP 12267690 U JP12267690 U JP 12267690U JP 12267690 U JP12267690 U JP 12267690U JP H0639790 Y2 JPH0639790 Y2 JP H0639790Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass flow
- flow controller
- bypass passage
- flow rate
- cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Pipe Accessories (AREA)
- Pipeline Systems (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、マスフローコントローラに関し、特に流体
が腐食性ガスである場合の流量制御に好適するものであ
る。
が腐食性ガスである場合の流量制御に好適するものであ
る。
従来の技術 従来、マスフローコントローラは、半導体製造等のガス
供給配管の流体の流量制御に用いられている。そしてマ
スフローコントローラは、配管に設けたバイパス路を流
れる分流流体の影響で、バイパス路に巻きつけた自己発
熱抵抗体の温度変化を検出して、バイパス路及び配管の
近傍に設けた制御バルブを駆動させて流量制御を行って
いる。そこでこの際にバイパス路や制御バルブを、外部
からの腐食および電気的障害を防止する為に、カバーで
覆っていた。
供給配管の流体の流量制御に用いられている。そしてマ
スフローコントローラは、配管に設けたバイパス路を流
れる分流流体の影響で、バイパス路に巻きつけた自己発
熱抵抗体の温度変化を検出して、バイパス路及び配管の
近傍に設けた制御バルブを駆動させて流量制御を行って
いる。そこでこの際にバイパス路や制御バルブを、外部
からの腐食および電気的障害を防止する為に、カバーで
覆っていた。
考案が解決しようとする課題 ところで、上記の従来のカバーは、不透明となっている
ので、腐食性ガス例えばHCl等を使用するガスラインに
何らかの理由で空気（水分）が混入した場合、内部から
の腐食が始まる。その時、マスフローコントローラのシ
ール部分から微小リークすると十分な流量制御が不能と
なるばかりでなく、危険であり、しかもリークが発生し
ても、見つけられないという欠点があった。
ので、腐食性ガス例えばHCl等を使用するガスラインに
何らかの理由で空気（水分）が混入した場合、内部から
の腐食が始まる。その時、マスフローコントローラのシ
ール部分から微小リークすると十分な流量制御が不能と
なるばかりでなく、危険であり、しかもリークが発生し
ても、見つけられないという欠点があった。
課題を解決するための手段 上記の課題を解決するために、本考案は、最も簡単な技
術的手段として、透明カバーと検知紙とを設定すること
を特徴としている。
術的手段として、透明カバーと検知紙とを設定すること
を特徴としている。
作用 本考案は、上記の構成とすることにより、カバーが透明
なので検知紙の色変化を簡単に目視検知でき、微小リー
ク発生時に確実に発見出来る。
なので検知紙の色変化を簡単に目視検知でき、微小リー
ク発生時に確実に発見出来る。
実施例 第１図はこの考案の一実施例のマスフローコントローラ
の斜視図である。図において、１は透明カバー,2は配管
の一部でもありマスフローコントローラの本体となるボ
ディブロック,3は継手,4はバイパス部６と連携して分流
流体による温度変化を検知するセンサー,5はバルブ,6は
バイパス部,7は検知紙である。
の斜視図である。図において、１は透明カバー,2は配管
の一部でもありマスフローコントローラの本体となるボ
ディブロック,3は継手,4はバイパス部６と連携して分流
流体による温度変化を検知するセンサー,5はバルブ,6は
バイパス部,7は検知紙である。
このマスフローコントローラは、動作として、INから入
ったHCl等の腐食性ガスは、センサー部４で検出した流
量と、設定流量を比較し、バルブの開閉度を調整し、流
量をコントロールする。
ったHCl等の腐食性ガスは、センサー部４で検出した流
量と、設定流量を比較し、バルブの開閉度を調整し、流
量をコントロールする。
この実施例によれば、センサー4,バルブ５のシール部が
劣化し、腐食性ガスが微小リークしても、検知紙７が透
明カバー１により見える為リークの検知が早く出来る利
点がある。
劣化し、腐食性ガスが微小リークしても、検知紙７が透
明カバー１により見える為リークの検知が早く出来る利
点がある。
考案の効果 以上説明したように、この考案は、マスフローコントロ
ーラのカバーを透明にし、内部に検知紙を設けることに
より、腐食性ガスの微小リークを早期に発見することが
でき、ガス供給作業の安全性向上流量制御を、より正確
に最も簡単な手段で、実施できる効果がある。
ーラのカバーを透明にし、内部に検知紙を設けることに
より、腐食性ガスの微小リークを早期に発見することが
でき、ガス供給作業の安全性向上流量制御を、より正確
に最も簡単な手段で、実施できる効果がある。
第１図は、この考案の一実施例を示すマスフローコント
ローラの斜視図である。 １……透明カバー、 ２……ボディブロック、 ３……継手、 ４……センサー部、 ５……バルブ、 ６……バイパス部、 ７……検知紙。
ローラの斜視図である。 １……透明カバー、 ２……ボディブロック、 ３……継手、 ４……センサー部、 ５……バルブ、 ６……バイパス部、 ７……検知紙。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｍ 3/04 7324−2Ｇ Ｇ０１Ｎ 21/78 Ａ 7906−2Ｊ Ｇ０５Ｄ 7/00 Ｚ 9324−3Ｈ
Claims (1)
- 【請求項１】配管に設けた分流バイパス路の分流流体に
よるバイパス路壁の温度変化を検出して、バイパス路近
傍の配管に設けた制御バルブを駆動させて流量制御を行
うマスフローコントローラにおいて、 バイパス路及び制御バルブを覆う本体カバーを透明にす
るとともに、カバー内空間にリークガスを検知する検知
紙を設けたことを特徴とするマスフローコントローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12267690U JPH0639790Y2 (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | マスフローコントローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12267690U JPH0639790Y2 (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | マスフローコントローラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0478389U JPH0478389U (ja) | 1992-07-08 |
| JPH0639790Y2 true JPH0639790Y2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=31870437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12267690U Expired - Lifetime JPH0639790Y2 (ja) | 1990-11-22 | 1990-11-22 | マスフローコントローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639790Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-11-22 JP JP12267690U patent/JPH0639790Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0478389U (ja) | 1992-07-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2394293A1 (en) | Nondestructive testing a sealed product for leaks | |
| SE503155C2 (sv) | Sätt och anordning för funktionskontroll vid andningsapparat | |
| US20100132813A1 (en) | Valve leakby diagnostics | |
| EP1003025A3 (en) | Fluid leakage and fluid flow detection for preventing and limiting damage | |
| JPH0639790Y2 (ja) | マスフローコントローラ | |
| CN109883893A (zh) | 一种用于固体表面润湿接触角测量的实验装置 | |
| JP3032876B2 (ja) | 給油装置 | |
| JPH0241441Y2 (ja) | ||
| JPH05126669A (ja) | シール部破損検知機構付制御器 | |
| CN109855807A (zh) | 一种主缆防护用密封胶比选试验平台及其试验方法 | |
| JPS5818055A (ja) | 貯湯式給湯機の水漏れ防止装置 | |
| JP2999548B2 (ja) | 流体漏れ検査装置 | |
| JPH0639294Y2 (ja) | マスフロ−コントロ−ラ | |
| JPH0247468Y2 (ja) | ||
| CN206977871U (zh) | 具有防水结构的环境检测装置 | |
| CN218598965U (zh) | 一种mems动火分析式智慧燃气阀 | |
| JPS5824056Y2 (ja) | ガスの供給自動停止装置 | |
| JPH0371032A (ja) | 流体漏洩検知機構内蔵弁 | |
| JP3132953B2 (ja) | ガスメータ | |
| JPH1151383A (ja) | ガス燃焼器具の安全装置 | |
| JPS645200B2 (ja) | ||
| JPH0736000U (ja) | 電気炉炉壁水冷パネルの冷却水漏水検知装置 | |
| JPH0349360Y2 (ja) | ||
| JPH0434317A (ja) | 流量計測装置 | |
| JP2589882Y2 (ja) | 気体漏洩検出器 |