JPH0637717B2

JPH0637717B2 - 被処理物の表面処理方法及びその装置

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Publication number: JPH0637717B2
Application number: JP17080489A
Authority: JP
Inventors: 宗順松村; 芳夫谷田
Original assignee: C.UYEMURA&CO.,LTD.; Mazda Motor Corp
Current assignee: C.UYEMURA&CO.,LTD.; Mazda Motor Corp
Priority date: 1989-06-30
Filing date: 1989-06-30
Publication date: 1994-05-18
Anticipated expiration: 2009-05-18
Also published as: JPH0336300A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は被処理物の表面処理方法及びその装置に関する
ものであって、とくにロータリエンジンのロータハウジ
ング等の各種摺動部材の摺動面に、ニッケル・フッ素複
合めっき等、摺動面の耐摩耗性ないし潤滑性を向上させ
るための表面処理を行う場合の、被処理物の表面処理方
法及びその装置に関するものである。

［従来の技術］フッ素樹脂等のフッ素化合物が低摩擦特性を有すること
に着目して、摺動部材の摺動面にニッケル・フッ素複合
めっきを施すことにより(フッ素樹脂をコーティングし
てもよい)、摺動面の耐摩耗性ないし潤滑性を高めるよ
うにした表面処理方法が従来より知られている(例え
ば、特公昭６２−６７５９号公報参照)。ところが、こ
のようなニッケル・フッ素複合めっき層は、低摩擦特性
を有するがゆえに被めっき面への密着性が悪くなるとい
ったデメリットをもつ。このため、摺動方向(接線方向)
に剪断力が加わったときには、ニッケル・フッ素複合め
っき層が被めっき面から剥離する場合があるといった問
題がある。また、ニッケル・フッ素複合めっき層は比較
的硬度が低いので早期に摩耗するといった問題がある。

そこで、被めっき面にまずクロム・モリブデンめっき等
の硬質めっきを施し、この硬質めっき層の表面に、逆電
解法等によりエッチングを施して多数の微細な凹部（ミ
クロポア）を有するポーラスな表面を形成し、このよう
なポーラスな表面にニッケル・フッ素複合めっきを施す
ことにより、被めっき面とニッケル・フッ素複合めっき
層との間の密着性を高めるようにした表面処理方法が提
案されている。このような表面処理方法によれば、ミク
ロポア内に保持されたニッケル・フッ素複合めっき層が
硬質めっき層によって保護されて摩耗しにくくなるの
で、ニッケル・フッ素複合めっき層の耐久性が高められ
るといった利点もある。

このようなニッケル・フッ素複合めっきは、例えばロー
タリエンジンを構成するロータハウジングの、アペック
スシールと摺接するトロコイド内周面に施されるが、か
かるロータハウジングの加工およびめっきは、第６図に
示すような工程で行なわれる。以下、第６図中の各工程
（工程Ｐ１〜工程Ｐ１１）について説明する。

工程Ｐ１…内周面がトロコイド状に形成された鋼板製筒
体を、そのトロコイド状内周面が露出するようにしてア
ルミニウム合金で鋳ぐるむことによってロータハウジン
グが製作される。

工程Ｐ２…排気ポート、プラグ穴等の穴部を形成するた
めに、ロータハウジングに穴加工が行なわれる。

工程Ｐ３…ロータハウジングの鋼板製筒体のトロコイド
状内周面に、普通の電気めっき法によりクロム・モリブ
デンめっきが施され、硬質めっき層(クロム・モリブデ
ンめっき層)が形成される。第９図(a)に模式化して示す
ように、このようなクロム・モリブデンめっき層は、ロ
ータハウジングの厚み方向（ロータリエンジンに組み付
けられたときには偏心軸の軸線方向）にみて、両端部で
は厚く中間部では薄くなるような凹面状に形成される。
なお、第９図(a)においては、上記厚さの差が極端に誇
張されて表現されており、実際にはその差は数１０μｍ
程度である。

工程Ｐ４…上記クロム・モリブデンめっきの電極の正負
が逆転された第１逆電解によりエッチングが施され、第
９図(b)に模式化して示すように、クロム・モリブデン
めっき層表面に、比較的狭くて深いピンホール状の凹部
(以下、これをピンポイントポアという)が形成される。

工程Ｐ５…第９図(c)に模式化して示すように、クロム
・モリブデンめっき層が、ロータハウジングの厚み方向
にみて、中間部が所定の膨らみをもつような凸面状(円
弧状)に研削される(以下、このような研削をホーニング
という)。このようなホーニングは、エンジン運転時の
熱変形を打ち消し、あるいは初期なじみ運転時における
摩耗に対応するために行われる。第９図(c)において
は、このような膨らみが極端に誇張されており、実際に
は、第１０図に寸法を示しているように、厚みが８０mm
のロータハウジングでは、中央部が両端部より１０μｍ
膨出するような略円弧状の膨らみに過ぎない。

工程Ｐ６…第９図(d)に模式化して示すように、第２逆
電解によりクロム・モリブデンめっき層表面に再びエッ
チングが施され、上記ピンポイントポアを網目状に結ぶ
比較的浅い溝状の凹部(以下、これをミクロチャンネル
ポアという)が形成される。なお、ピンポイントポアお
よびミクロチャンネルポアはいずれも前記ミクロポアに
相当する。

工程Ｐ７…トロコイド内周面のニッケル・フッ素複合め
っきが施されない部分に対してマスキングが行なわれ
る。

工程Ｐ８…被めっき面の油分を除去するためにアルカリ
(または有機溶剤)を用いて脱脂が行なわれる。

工程Ｐ９…上記アルカリを中和するために酸洗いが行な
われる。

工程Ｐ１０…ニッケル・フッ素複合めっき層のクロム・
モリブデンめっき層への付着性を高めるために、クロム
・モリブデンめっき層の表面にストライクニッケルめっ
きが行われる。なお、工程Ｐ７〜工程Ｐ１０の後では夫
々水洗が行われる。

工程Ｐ１１…ストライクニッケルめっき層の上にニッケ
ル・フッ素複合めっきが施される。

上記工程中、ストライクニッケルめっき(工程Ｐ１０)と
ニッケル・フッ素複合めっき(工程Ｐ１１)とは、第７図
に示すようなめっき装置ＭＡを用いて行なわれる。

第７図に示すように、めっき装置ＭＡにおいては、トロ
コイド状内周面にめっきが施される短い筒状のロータハ
ウジング１０１が、筒内空間部が直列するように複数個
積み重ねられて、内部にやや長い筒状空間部を有する積
層体１０２が形成される。この積層体１０２は、上側筒
状部材１０３と下側筒状部材１０４との間に配置され、
これらの組立体はめっき槽Ｓを形成する。そして、めっ
き槽Ｓの内部空間部には、直流電源１０５のプラス端子
に接続されるアノード１０６が配置され、一方積層体１
０２を構成する各ロータハウジング１０１には、直流電
源１０５のマイナス端子に接続されるカソード１０７が
接続されている。めっき槽Ｓ内の空間部には、めっきの
種類に応じた適当なめっき液が満たされている。

一方、めっき槽Ｓとは別に、めっき液を貯留するめっき
液タンク１０９が設けられている。そして、下側筒状部
材１０４の下端部にはめっき液流出通路１１１が接続さ
れ、このめっき液流出通路１１１の他方の端部はめっき
液タンク１０９に接続されている。このめっき液流通１
１１には循環ポンプ１１２が介設され、めっき槽Ｓ内の
めっき液をめっき液タンク１０９に抜き出すことができ
るようになっている。なお、めっき液流出通路１１１に
は、これを開閉する第１バルブ１１４と、めっき液の流
量を検出する流量計１１３とが設けられている。また、
めっき液タンク内１０９の空間部とめっき槽Ｓ内の空間
部とを連通する連通路１１５が設けられ、めっき槽Ｓ内
の液位とめっき液タンク１０９内の液位とが自然にほぼ
等しくなるようになっている。なお、連通路１１５には
これを開閉する第２バルブ１１６が介設されている。こ
のため、循環ポンプ１１２を駆動すると、めっき液がめ
っき槽Ｓ内とめっき液タンク１０９内との間を循環す
る。なお、ニッケル・フッ素複合めっき工程（工程Ｐ１
１）ではめっき液が循環されるが、ストライクニッケル
めっき工程（工程Ｐ１０）ではめっき液は循環されな
い。

このような加工が行なわれたロータハウジングのトロコ
イド内周面近傍の断面の構造ないし組成を第８図に示
す。

［発明が解決しようとする課題］ところで、第６図に示すような方法でロータハウジング
の加工およびめっきを行った場合、ホーニング加工時
(工程Ｐ５)に、ロータハウジングの厚み方向にみて、両
端部近傍のクロム・モリブデンめっき層が中間部より多
く研削されるので、両端部近傍では中央部よりピンポイ
ントポアの深さが浅くなる。第１１図と第１２図とに、
夫々中央部と両端部におけるホーニング後のロータハウ
ジングのクロム・モリブデンめっき層の表面状態を示
す。第１１図と第１２図とから明らかなように、両端部
のクロム・モリブデンめっき層のピンポイントポアの深
さは（平均粗さＲa＝０．５５）、中央部のピンポイン
トポアの深さ（平均粗さＲa＝１．３５）に比べて大幅
に浅くなっている。

また、研削を行う砥石は、一般に両端部を研削するとき
の方が、中間部を研削するときより面圧が大きくなるの
で、両端部近傍のピンポイントポアの深さが益々浅くな
る。このため、両端部ではニッケル・フッ素複合めっき
のクロム・モリブデンめっき層への密着性と、ニッケル
・フッ素複合めっき層の耐摩耗性が低下するといった問
題がある。

これを改善するために、例えばショットブラスト法によ
り上記両端部にミクロポアを形成するといった手法が考
えられるが、この方法には、両端部に限定して粗さの均
一なミクロポアを形成することが困難であるといった問
題があり、またショットブラストによりクロム・モリブ
デンめっき層に付着した砥石の粒子を除去する工程が必
要となるといった問題がある。

また、第１逆電解工程(工程Ｐ４)で、両端部のピンポイ
ントポアの深さを中間部より大きくするといった方法が
考えられるが、予め両端部のピンポイントポアを深くす
ると、ホーニング加工時には、この部分で砥石の面圧が
高くなるので、ホーニングによる摩耗が大きくなり結局
十分な深さのピンポイントポアが残らないといった問題
があり、これを防止するには、油圧制御装置等を用いて
砥石の面圧を制御する必要がある。

本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされたものであっ
て、摺動部材にニッケル・フッ素複合めっき等の耐摩耗
性ないし潤滑性を高めるような表面処理を施す場合にお
いて、めっき層の被めっき面への密着性を高めることが
できるとともに、耐久性の高いめっき層を形成すること
ができる被処理物の表面処理方法及びその装置を提供す
ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］上記の目的を達するため、本願請求項１記載の発明は、
表面にポーラスな硬質めっき層が形成された複数の被処
理物を、電解液中で陰極部材と交互に積層配置し、上記
各被処理物を陽電源に接続するとともに上記陰極部材を
陰電源に接続し、積層方向にみて被処理物の両端部近傍
の硬質めっき層に電解エッチングを施すようにしたこと
を特徴とする被処理物の表面処理方法を提供する。

また、本願請求項２記載の発明は、表面にポーラスな硬
質めっき層が形成された複数の被処理物と陰極部材とが
交互に積層配置された積層体と、該積層体と接触する電
解液と、上記各被処理物に正電圧を印加するとともに上
記陰極部材に負電圧を印加して積層方向にみて被処理物
の両端部近傍の硬質めっき層に電解エッチングを施す電
力供給手段とを設けたことを特徴とする被処理物の表面
処理装置を提供する。

［発明の作用・効果］本願請求項１記載の発明によれば、陰極部材に負電圧が
印加されるとともに被処理物に正電圧が印加されたとき
には、被処理物の硬質めっき層を形成する金属がイオン
化してめっき液中に溶解し硬質めっき層表面にエッチン
グが施されるが、このような硬質めっき層表面での金属
の溶解は、電流密度が高い部分ほど多くなる。そして、
硬質めっき層表面においては、陰極部材に近い部分ほど
電流密度が高くなるが、被処理物と陰極部材とは交互に
積層配置されているので、積層方向にみて被処理物の両
端部近傍の電流密度が高くなり、この部分に集中的にエ
ッチングが施される。したがって、上記両端部近傍には
十分な粗さをもったポーラスな表面が形成されるので、
硬質めっき層の上に例えばニッケル・フッ素複合めっき
を施すような場合、両端部におけるニッケル・フッ素複
合めっき層の硬質めっき層への密着性が高くなるととも
にニッケル・フッ素複合めっき層の耐久性が高くなる。

また、本願請求項２記載の発明によれば、電力供給手段
によって陰極部材に負電圧が印加されるとともに被処理
物に正電圧が印加されたときには、被処理物の硬質めっ
き層を形成する金属がイオン化してめっき液中に溶解し
硬質めっき層表面にエッチングが施されるが、このよう
な硬質めっき層表面での金属の溶解は、電流密度が高い
部分ほど多くなる。そして、硬質めっき層表面において
は、陰極部材に近い部分ほど電流密度が高くなるが、被
処理物と陰極部材とは交互に積層配置されているので、
積層方向にみて被処理物の両端部近傍の電流密度が高く
なり、この部分に集中的にエッチングが施される。した
がって、上記両端部近傍には十分な粗さをもったポーラ
スな表面が形成されるので、硬質めっき層の上に例えば
ニッケル・フッ素複合めっきを施すような場合、両端部
におけるニッケル・フッ素複合めっき層の硬質めっき層
への密着性が高くなるとともにニッケル・フッ素複合め
っき層の耐久性が高くなる。また、この請求項２記載の
発明は、例えば第７図に示すような従来のめっき装置に
前記したような電力供給手段を付加することによって構
成することができるので、既設のめっき装置を有効に利
用して容易かつ安価に実施することができる。

［実施例］以下、本発明の実施例を具体的に説明する。

第１図に示すように、ロータリエンジン用のロータハウ
ジング位のトロコイド状内周面にストライクニッケルめ
っきとニッケル・フッ素複合めっきとを施すためのめっ
き槽ＭＴは、実質的に、２つのロータハウジング１a,１
bと該ロータハウジング１a,１bとほぼ同一形状に形成さ
れた３つの陰極部材２a,２b,２cとがゴム製のシール部
材３をはさんで交互に積層配置されてなる筒状の積層体
４と、シール部材３を介して該積層体４を夫々上下方向
からはさむようにして配置される上側筒状部材５と下側
筒状部材６とで構成され、このめっき槽ＭＴ内の空間部
には、めっきの種類に応じた適当なめっき液が満たされ
るようになっている。なお、図示していないが、第７図
に示す従来のめっき装置と同様に、めっき槽ＭＴとは別
にめっき液タンクが設けられ、ニッケル・フッ素複合め
っき時には、めっき液循環通路７を介してめっき槽ＭＴ
とめっき液タンクとの間でめっき液が循環するようにな
っている。

そして、めっき槽ＭＴ内の空間部のほぼ中央部にはニッ
ケル製のアノード８が配置され、このアノード８は第１
導線９を介して第１直流電源装置１１のプラス端子に接
続されている。一方、第１直流電源装置１１のマイナス
端子は第２導線１２と該第２導線１２から分岐する３つ
の分岐導線１２a,１２b,１２cとを介して各陰極部材２
a,２b,２cに接続されている。また、各陰極部材２a,２
b,２cを流れる電流値を検出するために電流計１３a,１
３b,１３cが各分岐導線１２a,１２b,１２cに介設されて
いる。なお、第１直流電源装置１１の出力電圧値を検出
するために第１電圧計１４が設けられている。

一方、ロータハウジング１a,１bは、第３導線１５を介
して第２直流電源装置１６のプラス端子に接続されてい
る。第２直流電源装置１６のマイナス端子は、第４導線
１７と該第４導線１７から分岐する３つの分岐導線１７
a,１７b,１７cとを介して各陰極部材２a,２b,２cに接続
されている。また、各分岐導線１７a,１７b,１７cに
は、夫々電流計１８a,１８b,１８cと、可変抵抗１９a,
１９b,１９cとが介設されている。なお、第２直流電源
装置１６の出力電圧値を検出するために第２電圧計２１
が設けられている。上記各可変抵抗１９a,１９b,１９c
は、各陰極部材２a,２b,２cの電流を均一化するために
設けられている。第２直流電源装置１６のプラス端子に
接続された第３導線１５はアース２２に接続されてい
る。

上記構成において、第１直流電源装置１１の出力電圧Ｖ
₁と第２直流電源装置１６の出力電圧Ｖ₂とは、任意に調
節できるようになっている。例えば、第１直流電源装置
１１の出力電圧を５．５ボルトで一定に保持し、第２直
流電源装置１６の出力電圧を０ボルトから５．５ボルト
までの間の任意の値Ｖ₂ボルトに設定した場合、アノー
ド８、陰極部材２a,２b,２c及びロータハウジング１a,
１bの中の任意の２つの部材間にかかる電圧は夫々次の
ようになる。

アノード８と陰極部材２a,２b,２cとの間にかかる電
圧は、第２直流電源装置１６の出力電圧Ｖ₂にかかわら
ず、５．５ボルトで一定となる。このとき陰極部材２a,
２b,２cの表面にはニッケルが析出する。

アノード８とロータハウジング１a,１bとの間にかか
る電圧は、（５．５−Ｖ₂）ボルトとなる。このときロ
ータハウジング１a,１bの表面にはニッケルが析出す
る。

ロータハウジング１a,１bと陰極部材２a,２b,２cとの
間にかかる電圧はＶ₂ボルトとなる。しかしながら、陰
極部材２a,２b,２cはロータハウジング１a,１bと対向し
ていないので、ロータハウジング１a,１bの表面では、
陰極部材２a,２b,２cに近い部分、すなわち積層方向(上
下方向)にみて両端部近傍での電流密度が高くなるの
で、このような両端部近傍では硬質めっき層（クロム・
モリブデンめっき層）が溶解し、エッチングが施され
る。

したがって、第２直流電源装置１６の出力電圧を調節す
ることによって、ロータハウジング１a,１bにストライ
クニッケルめっきを施すか、あるいは硬質めっき層（ク
ロム・モリブデンめっき層）の両端部にエッチングを施
すかを切り替えることができる。

以下、上記構成において、ロータハウジング１a,１bの
クロム・モリブデンめっき層上へニッケル・フッ素複合
めっきを施す際の表面処理方法を、第２図に示すフロー
チャートに従って説明する。なお、重複を避けるために
図示していないが、ここにおいてロータハウジング１a,
１bは、すでに第６図中の工程Ｐ１〜工程Ｐ７に相当す
る加工ないし処理が行われている。上記クロム・モリブ
デンめっき層は、クロム含有率が９９．５％であり、モ
リブデン含有率が０．５％である。

工程Ｓ１では、被めっき面の油分を除去するためにアル
カリ(または有機溶剤)を用いて脱脂が行なわれる。

工程Ｓ２では、上記アルカリを中和するために酸洗いが
行なわれる。

工程Ｓ３では、ロータハウジングの厚み方向両端部近傍
のクロム・モリブデンめっき層に端面エッチングが、電
流密度１０Ａ／dm²で１分間施される。このとき、第１
直流電源装置１１出力電圧Ｖ₁に比べて第２直流電源装
置１６の出力電圧Ｖ₂はかなり低い値に設定される（例
えば、Ｖ₁＝５．５ボルト，Ｖ₂＝１．０ボルト）。この
工程Ｓ３及びストライクニッケルめっきが施される次の
工程Ｓ４におけるめっき液は、例えば次のような組成な
いし特性をもつ。

塩化ニッケル２４０ｇ／塩酸１２０ml／水８５０ml／液温室温このとき、第３図に示すように、電流密度の高いロータ
ハウジング１a,１bの両端部近傍のクロム・モリブデン
めっき層では、クロム(モリブデン)がイオン化してめっ
き液中に溶解する。なお、めっき液中のクロムイオン
（モリブデンイオン）は陰極部材２a,２b,２cの表面に
析出する。このため、ロータハウジング１a,１bの両端
部近傍には、十分な粗さをもつミクロポアが形成され、
ポーラスな表面が形成される。

このような端面エッチング前後の、ロータハウジング１
a,１bの両端部近傍におけるクロム・モリブデンめっき
層の表面の状態を、夫々第４図と第５図とに示す。第４
図と第５図とから明らかなように、端面エッチングが施
された後では、ロータハウジング１a,１bの端部から３
５００μｍまでの部分では、端部側ほど大きな粗さをも
つエッチングが施され、十分なミクロポアが形成されて
いる。このため、後の工程Ｓ５でニッケル・フッ素複合
めっきが施されたときには、ニッケル・フッ素複合めっ
き層のクロム・モリブデンめっき層への密着性が非常に
高くなり、かつニッケル・フッ素複合めっき層の耐久性
が非常に高くなる。

工程Ｓ４では、ニッケル・フッ素複合めっき層のクロム
・モリブデンめっき層への付着性を高めるために、クロ
ム・モリブデンめっき層の表面にストライクニッケルめ
っきが、電流密度１０Ａ／dm²で４分間施される。この
とき、第１直流電源装置１１の出力電圧Ｖ₁と第２直流
電源装置１６の出力電圧Ｖ₂とは同じ値に設定される
（例えば、Ｖ₁＝Ｖ₂＝５．５ボルト）。この場合、ロー
タハウジング１a,１bのクロム・モリブデンめっき層の
全面にストライクニッケルめっきが施される。

工程Ｓ５では、ストライクニッケルめっき層の上に、ニ
ッケル・フッ素複合めっきが、電流密度１．８Ａ／dm²
で施される。ニッケル・フッ素複合めっきに用いられる
めっき液は、例えば次のような組成ないし特性をもつ。

スルファミン酸ニッケル５００ｇ／塩化ニッケル４５ｇ／ホウ酸３５ｇ／４フッ化エチレン樹脂２５ｇ／液温４５℃ ペーハー（ｐＨ）４．２前記したとおり、ロータハウジング１a,１bの厚み方向
両端面には十分なミクロポアが形成されているので、ニ
ッケル・フッ素複合めっき層とクロム・モリブデンめっ
き層との密着性が非常に高くなり、かつニッケル・フッ
素複合めっき層の耐久性が大幅に高められる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、ロータハウジングにストライクニッケルめっ
き、ニッケル・フッ素複合めっき等を施すためのめっき
槽の断面と、めっき槽への電力供給系統とを示す図であ
る。第２図は、第１図に示すめっき装置を用いてストライク
ニッケルめっき、ニッケル・フッ素複合めっき等を施す
工程を示すフローチャートである。第３図は、端面エッチング工程におけるエッチングの形
成状態を示す図である。第４図と第５図とは、夫々端面エッチングの前後におけ
る、ロータハウジングの端部近傍のクロム・モリブデン
めっき層の表面状態を示す図である。第６図は、従来の方法によりニッケル・フッ素複合めっ
き等が施されるロータハウジングの加工方法ないしめっ
き方法を示すフローチャートである。第７図は、ロータハウジングにニッケル・フッ素複合め
っき等を施す従来のめっき装置のシステム構成図であ
る。第８図は、ニッケル・フッ素複合めっきが施されたロー
タハウジングのめっき層の断面を示す図である。第９図(a),(b),(c),(d)は、夫々第６図に示すロータハ
ウジングのめっき工程において、クロム・モリブデンめ
っきが施された後と、第１逆電解が行われた後と、ホー
ニングが行われた後と、第２逆電解が行われた後の、ロ
ータハウジングのトロコイド状内周面近傍の断面を示す
模式図である。第１０図は、ホーニングが行われた後の、クロム・モリ
ブデンめっき層のピンポイントポアの形成状態を示す図
である。第１１図と第１２図とは、夫々第６図に示す従来の加工
方法でロータハウジングにピンポイントポアを形成した
場合の、ロータハウジングの厚み方向中央部と両端部と
における表面状態を示す図である。ＭＴ……めっき槽、1a,1b……ロータハウジング、2a,2
b,2c……陰極部材、３……シール部材、４……積層体、
５……上側筒状部材、６……下側筒状部材、８……アノ
ード、１１……第１直流電源装置、１６……第２直流電
源装置。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面にポーラスな硬質めっき層が形成され
た複数の被処理物を、電解液中で陰極部材と交互に積層
配置し、上記各被処理物を陽電源に接続するとともに上
記陰極部材を陰電源に接続し、積層方向にみて被処理物
の両端部近傍の硬質めっき層に電解エッチングを施すよ
うにしたことを特徴とする被処理物の表面処理方法。
【請求項２】表面にポーラスな硬質めっき層が形成され
た複数の被処理物と陰極部材とが交互に積層配置された
積層体と、該積層体と接触する電解液と、上記各被処理
物に正電圧を印加するとともに上記陰極部材に負電圧を
印加して積層方向にみて被処理物の両端部近傍の硬質め
っき層に電解エッチングを施す電力供給手段とを設けた
ことを特徴とする被処理物の表面処理装置。