JPH0637460A - Dust cleaner for print-circuit board - Google Patents

Dust cleaner for print-circuit board

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JPH0637460A
JPH0637460A JP18664992A JP18664992A JPH0637460A JP H0637460 A JPH0637460 A JP H0637460A JP 18664992 A JP18664992 A JP 18664992A JP 18664992 A JP18664992 A JP 18664992A JP H0637460 A JPH0637460 A JP H0637460A
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JP
Japan
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substrate
dust
circuit board
print
suction
Prior art date
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Pending
Application number
JP18664992A
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Japanese (ja)
Inventor
Hikari Kagiwada
光 鍵和田
Kiyonori Furukawa
清則 古川
Kazunori Tsujimura
一憲 辻村
Nobuaki Oki
伸昭 大木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Cleaning In General (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve more a dust filter effect, by making the direction of the line pattern provided on a print-circuit board parallel with the scanning direction of a dust filter head. CONSTITUTION:A print-circuit board is set on a board setting table 1, and the table 1 is so turned that the direction of the line pattern provided on the surface of the print-circuit board and the scanning direction of a dust filter head 2 are parallel with each other. Then, the print-circuit board is passed the place laid under the dust filter head 2 while moving the table 1 to the place shown by 1'. Thereby, the dust which is blown off by the very high-speed wind fed from a port 5 for blowing out the very high-speed wind is sucked by a port 4 for sucking a collected dust, and the dust filter of the one side of the print-circuit is performed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板の表面に
付着した塵埃の除塵装置に関し、特に多層プリント基板
の内層基板であって表面に微細なラインパターンを有す
る信号配線層基板の除塵装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a dust remover for dust adhering to the surface of a printed circuit board, and more particularly to a dust remover for an inner layer substrate of a multilayer printed circuit board having a signal line layer substrate having a fine line pattern on the surface. .

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体素子の高集積化の進展に伴い、こ
れを搭載するプリント基板の高密度化、高多層化が進
み、その結果、0.1mm以下の絶縁間隙しかとれない
構造を有するプリント基板が必要になってきた。このよ
うな高密度構造のプリント基板においては、多層接着時
にわずかでもゴミを混入させてしまうと電気絶縁性低下
の原因となり、しばしば耐圧破壊による電気的ショート
を誘発することになる。
2. Description of the Related Art With the progress of high integration of semiconductor elements, the density and the number of layers of a printed circuit board on which the semiconductor element is mounted have been increased, and as a result, a print having a structure in which an insulating gap of 0.1 mm or less can be obtained. Substrates are needed. In a printed circuit board having such a high-density structure, even if a small amount of dust is mixed in at the time of multi-layer adhesion, it causes a decrease in electric insulation and often induces an electric short circuit due to breakdown.

【0003】この多層接着時のゴミ混入を防止するため
に、従来より多層接着前の内層基板表面の除塵方法とし
て各種方法が提案されている。その内、最も簡便な方法
は電気掃除機方式による集塵方法である。その他、集塵
刷毛の部分を回転させ、はね上げた塵埃を吸引機で集塵
することにより除塵効果を高める方式も提案されてい
る。さらに、粘着ローラーを基板表面にころがして除塵
する方法もある(例えば、特開昭62−102882号
公報を参照)。
In order to prevent dust from entering during the multi-layer bonding, various methods have been conventionally proposed as a method for removing dust on the surface of the inner layer substrate before the multi-layer bonding. Among them, the simplest method is a dust collecting method using an electric vacuum cleaner method. In addition, a method has also been proposed in which the dust collecting brush is rotated and the splashed dust is collected by a suction device to enhance the dust removing effect. Further, there is also a method of rolling an adhesive roller on the surface of the substrate to remove dust (see, for example, JP-A-62-102882).

【0004】上記した方法は、いずれも除塵ヘッドとプ
リント基板表面とを接触することによって除塵するもの
である。これに対して、除塵ヘッドとプリント基板表面
とを接触させないで除塵する方式もある。この方式の場
合は、基板表面に付着した塵埃を一旦基板表面から離脱
させるために、前述した例のごとく毛ブラシや粘着ロー
ラーを使用するのではなく、空気流を利用している。即
ち、超高速風を基板表面に吹き付け、これによりプリン
ト基板表面に付着している塵埃を吹き飛ばし、この吹き
飛ばされた塵埃を別の吸引口で吸引集塵するものであ
る。
In any of the above methods, the dust removing head is brought into contact with the surface of the printed circuit board to remove dust. On the other hand, there is also a method of removing dust without contacting the dust removing head with the surface of the printed circuit board. In the case of this method, in order to temporarily remove the dust adhering to the substrate surface from the substrate surface, an air flow is used instead of using a bristle brush or an adhesive roller as in the above-mentioned example. That is, the ultra-high-speed air is blown onto the surface of the substrate to blow off the dust adhering to the surface of the printed circuit board, and the blown dust is sucked and collected by another suction port.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の除塵法
においては、対象となるプリント基板が前述したように
高密度化してくると次のような問題が出て来る。すなわ
ち、電気掃除機方式、回転ブラシとの組合せ方式のいず
れの場合もブラシの毛のちぎれによって基板表面への毛
の残留、付着を避けることが難しいという問題がある。
これを回避するため、毛の強さを増すために毛を太くす
ると、微細パターンの間隙寸法より毛の太さが大きくな
り、除塵効果が低下してしまう。また、毛の太さを太く
することなくその強度を増すためにプラスチックス製の
ブラシを使用すると、微細なプリント配線パターンが絶
縁基材から剥がれてしまうという危険が増加する。
In the above-mentioned conventional dust removing method, the following problems arise when the density of the target printed circuit board is increased as described above. That is, in both the vacuum cleaner system and the combination system with the rotary brush, there is a problem that it is difficult to prevent the bristles from remaining or adhering to the substrate surface due to the breaking of the bristles of the brush.
To avoid this, if the hair is thickened in order to increase the strength of the hair, the thickness of the hair becomes larger than the gap size of the fine pattern, and the dust removing effect is reduced. In addition, when a plastic brush is used to increase the strength of the bristles without increasing the thickness of the bristles, the risk of the fine printed wiring pattern being peeled off from the insulating base material increases.

【0006】他方、粘着ローラー方式は、ブラシのちぎ
れ毛が混入するという問題はないが、微細パターンの間
隙に挟まっているゴミを除去しきれない、あるいは逆に
微細パターンの間隙にゴミを押し込んでしまうという問
題がある。
On the other hand, the adhesive roller method does not have a problem that the broken hair of the brush is mixed in, but it is impossible to completely remove the dust caught in the gaps of the fine pattern, or conversely, the dust is pushed into the gaps of the fine pattern. There is a problem that it ends up.

【0007】超高速風を利用する方式は非接触方式であ
るので、上記の如き問題はないが、強い空気流を基板に
吹き付けるために基板を堅固に固定する機構が必要とな
り、装置が複雑になるという問題がある。また超高速風
の吹き付け方向とプリント配線パターンの走行方向が平
行でないと、除塵効果が大幅に低下するという問題もあ
る。
Since the method utilizing ultra-high speed air is a non-contact method, there is no problem as described above, but a mechanism for firmly fixing the substrate is required in order to blow a strong air flow to the substrate, which complicates the apparatus. There is a problem of becoming. Further, if the blowing direction of the ultra-high speed air and the traveling direction of the printed wiring pattern are not parallel, there is a problem that the dust removing effect is significantly reduced.

【0008】本発明の目的は、基板のラインパターン方
向と除塵ヘッドの走査方向を平行にして、除塵効果を一
層高めたプリント基板用除塵装置を提供することにあ
る。
An object of the present invention is to provide a dust removing device for a printed circuit board in which the line pattern direction of the substrate and the scanning direction of the dust removing head are parallel to each other to further enhance the dust removing effect.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、プリント基板の表面に付着した塵埃を
除去する装置において、該基板を吸着固定するテーブル
と、前記基板表面と所定の間隙を保って配置した除塵ヘ
ッドと、該除塵ヘッドを前記基板表面上で走査する手段
と、前記基板表面のラインパターンの方向と前記除塵ヘ
ッドの走査方向が平行になるように前記テーブルを回転
する手段と、前記基板を前記テーブル上に表裏反転して
セットする手段とを備えたことを特徴としている。
To achieve the above object, in the present invention, in a device for removing dust adhering to the surface of a printed circuit board, a table for adsorbing and fixing the board, the substrate surface and a predetermined surface are provided. A dust removing head arranged with a gap, means for scanning the dust removing head on the substrate surface, and rotating the table so that the direction of the line pattern on the substrate surface and the scanning direction of the dust removing head are parallel. Means and means for setting the substrate on the table by turning it over.

【0010】[0010]

【作用】1)基板をセットするに先立って基板セットテ
ーブル表面を除塵ヘッドで走査し、テーブル表面を除塵
する。 2)基板セットテーブルに基板をセットする。 3)セットされたプリント基板表面のラインパターンの
方向と除塵ヘッドの走行方向とが平行になるように、該
セットテーブルを回転させる。 4)基板表面とわずかな間隙を保ち、除塵ヘッドを走査
させる。 5)基板を一旦セットテーブルから取外し、表裏を反転
させる。 6)基板セットテーブル表面を上記1)と同様に除塵す
る。 7)表裏反転した基板を再度テーブル上にセットする。 8)上記3)と同様に基板セットテーブルを回転させ
て、プリント基板表面のラインパターンの方向と除塵ヘ
ッドの走行方向とを平行にする。 9)上記4)と同様に除塵ヘッドを走査させる。 10)基板をテーブルから取り外す。 以下、上記1)から10)を繰り返す。これにより、基
板セットテーブルを事前に除塵しているので、テーブル
から基板への塵埃の転写が防止される。また、テーブル
からのゴミ転写がないので、基板を真空吸着により強固
にテーブルに固定することができるとともに基板の表裏
反転も可能となる。更に、基板表面のラインパターンの
方向と除塵ヘッドの走行方向を平行にしているので、微
細な間隙を有するプリント配線パターン間の付着ゴミを
容易に離脱させることができる。
1) Prior to setting the substrate, the surface of the substrate setting table is scanned by the dust removing head to remove the dust from the table surface. 2) Set the board on the board setting table. 3) The set table is rotated so that the direction of the set line pattern on the surface of the printed circuit board and the running direction of the dust removal head are parallel to each other. 4) The dust removing head is scanned while maintaining a slight gap with the substrate surface. 5) Remove the substrate from the set table and turn it over. 6) Dust the surface of the substrate setting table in the same manner as in 1) above. 7) Set the substrate turned upside down again on the table. 8) The substrate setting table is rotated in the same manner as 3) above so that the direction of the line pattern on the surface of the printed circuit board and the running direction of the dust removing head are parallel. 9) Scan the dust removal head as in 4) above. 10) Remove the board from the table. Hereinafter, the above 1) to 10) are repeated. As a result, dust is removed from the substrate set table in advance, so that the transfer of dust from the table to the substrate is prevented. Further, since no dust is transferred from the table, the substrate can be firmly fixed to the table by vacuum suction and the substrate can be turned upside down. Further, since the direction of the line pattern on the surface of the substrate and the running direction of the dust removing head are parallel to each other, it is possible to easily separate the adhering dust between the printed wiring patterns having a minute gap.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体
的に説明する。図1は、本発明の除塵装置の側面を示す
図であり、図2は、本発明の除塵装置の上面を示す図で
ある。図3は、基板反転部の詳細を示す図である。図
1、2において、1(1′、1″)は、基板3を載せて
吸着する基板セットテーブル、2は、除塵ヘッドであ
り、吸引集塵口4と超高速風吹き出し口5が隣接して設
けられている。3は、除塵の対象となるラインパターン
を有するプリント基板、6(6′)は、クランプ板、7
は、基板を吸着する吸着盤、8は、クランプ板回転用モ
ーター、9は、吸着盤上下動用モーター、10は、基板
セットテ−ブル移動用モーターである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a view showing a side surface of the dust removing apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a view showing an upper surface of the dust removing apparatus of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing details of the substrate reversing unit. In FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 (1 ′, 1 ″) is a substrate set table on which a substrate 3 is placed and adsorbed, 2 is a dust removing head, and a suction dust collecting port 4 and an ultra-high speed air blowing port 5 are adjacent to each other. 3 is a printed circuit board having a line pattern for dust removal, 6 (6 ') is a clamp plate, and 7 is a
Is a suction plate for sucking the substrate, 8 is a motor for rotating the clamp plate, 9 is a motor for vertically moving the suction plate, and 10 is a motor for moving the substrate set table.

【0012】図を用いて動作を説明すると、基板を基板
セットテーブルにセットするに先立って基板セットテー
ブル表面を除塵ヘッドで走査し、テーブル表面を除塵し
ておく。図2に示すように、先ず除塵するための基板3
を、基板セットテーブル1にセットする。そして図示し
ない吸引ポンプにより基板を基板セットテーブル1に真
空吸着させ、基板のラインパターンがその進行方向(図
1の右から左方向)と平行になるように基板セットテー
ブル1を回転させる。
The operation will be described with reference to the drawings. Prior to setting the substrate on the substrate setting table, the surface of the substrate setting table is scanned by the dust removing head to remove the dust from the table surface. As shown in FIG. 2, first, a substrate 3 for removing dust
Are set on the substrate setting table 1. Then, the substrate is vacuum-sucked to the substrate setting table 1 by a suction pump (not shown), and the substrate setting table 1 is rotated so that the line pattern of the substrate is parallel to the traveling direction (right to left in FIG. 1).

【0013】次いで、基板セットテーブル移動用モータ
ー10を動かすことにより基板3は除塵ヘッド2の下を
右から左に通過する。このとき除塵ヘッド2は、基板侵
入側に吸引集塵口4があり、基板出口側に超高速風吹き
出し口5があるので、超高速風吹き出し口5からの超高
速風により吹き飛ばされた塵埃は、吸引集塵口4により
吸い込まれる。このように基板3が除塵ヘッド2の下を
通過することにより周囲に塵埃をまき散らすことなく基
板3の片面の除塵が行われる。
Next, by moving the motor 10 for moving the substrate set table, the substrate 3 passes under the dust removing head 2 from right to left. At this time, since the dust removal head 2 has the suction dust collection port 4 on the substrate entry side and the ultra-high-speed air blowing port 5 on the substrate exit side, the dust blown off by the ultra-high-speed air from the ultra-high-speed air blowing port 5 , Is sucked by the suction dust collecting port 4. By passing the substrate 3 under the dust removal head 2 in this manner, dust is removed from one side of the substrate 3 without scattering dust around the substrate.

【0014】基板セットテーブル1が吸着盤7の真下に
来ると(図1の1′の状態)、吸着盤上下動用モーター
9を動作させて吸着盤7を下降させる。そして吸着盤7
の吸盤で、基板セットテーブル1上の基板3を吸着す
る。基板セットテーブル1の真空吸着を停止し、吸着盤
上下動用モーター9を駆動し、吸着盤7を上昇させ基板
3を基板セットテーブル1から引き離し、クランプ板6
の位置まで基板3を移動させる。
When the substrate setting table 1 comes directly under the suction plate 7 (state 1'in FIG. 1), the suction plate vertical movement motor 9 is operated to lower the suction plate 7. And suction board 7
The substrate 3 on the substrate set table 1 is sucked by the suction cup of No. 2. The vacuum suction of the substrate set table 1 is stopped, the suction plate vertical movement motor 9 is driven, the suction plate 7 is raised, the substrate 3 is separated from the substrate set table 1, and the clamp plate 6
The substrate 3 is moved to the position.

【0015】続いて、クランプ板6を図示しないシリン
ダーによって基板3の位置まで前進させ、基板3をクラ
ンプ板6でつかむ(図3において、クランプ板6′が基
板3をつかんでいる状態が図示されている)。クランプ
板6が基板3をつかんだら吸着盤7の吸着をやめ、吸着
盤7を上限位置まで上昇させる。クランプ板回転用モー
ター8を回転させ、基板3を180゜反転させる(図
3)。基板3を反転させたら吸着盤7を下降させ、吸盤
で基板3を吸着させる。吸着が終了したらクランプ板6
を開口させてシリンダーによって後退させる。
Subsequently, the clamp plate 6 is advanced to the position of the substrate 3 by a cylinder (not shown), and the substrate 3 is held by the clamp plate 6 (in FIG. 3, the state where the clamp plate 6'is holding the substrate 3 is shown. ing). When the clamp plate 6 holds the substrate 3, the suction plate 7 stops sucking and the suction plate 7 is raised to the upper limit position. The clamp plate rotating motor 8 is rotated to invert the substrate 3 by 180 ° (FIG. 3). When the substrate 3 is inverted, the suction cup 7 is lowered and the substrate 3 is sucked by the suction cup. Clamp plate 6 when adsorption is completed
Open and retract by cylinder.

【0016】このような基板の反転動作の間に、基板セ
ットテーブル1を基板セットテーブル移動用モーター1
0によって、除塵装置の入口まで後退させ(つまり図1
の1′を右に移動して元の位置1とする)、基板3をセ
ットしない状態で再度除塵ヘッド2の下を通過させ、基
板3から付着した塵埃を取り除く。
During such a substrate reversing operation, the substrate set table 1 is moved to the motor 1 for moving the substrate set table.
0 to retract to the entrance of the dust remover (ie
1'to the right to return to the original position 1), and again pass under the dust removal head 2 without setting the substrate 3 to remove the dust adhering from the substrate 3.

【0017】次いで、クリーンになった基板セットテー
ブル1の上に、基板3を吸着した吸着盤7を下降させ、
除塵を終えた基板面を下にして基板3を再度吸着させ
る。基板セットテーブル1に基板3を真空吸着させたら
吸着盤7を再度上昇させる。そして基板セットテーブル
1を基板セットテーブル移動用モーター10によって除
塵装置の入口まで後退させる。その後、基板セットテー
ブル移動用モーター10を動かし、基板3を再度除塵ヘ
ッド2の下を通過させる。これにより、基板両面の除塵
が終了する。除塵装置の出口位置(図1の1″の位置)
に基板セットテーブル1が来ると、除塵された基板3が
取り出される。
Next, the suction board 7 for sucking the substrate 3 is lowered onto the cleaned substrate set table 1,
Substrate 3 is again adsorbed with the substrate surface after dust removal facing down. When the substrate 3 is vacuum-sucked on the substrate set table 1, the suction plate 7 is raised again. Then, the substrate setting table 1 is retracted to the entrance of the dust removing device by the substrate setting table moving motor 10. After that, the motor 10 for moving the substrate set table is moved to allow the substrate 3 to pass under the dust removal head 2 again. This completes the dust removal on both sides of the substrate. Exit position of the dust remover (position 1 "in Fig. 1)
When the substrate set table 1 comes to the substrate, the dust-free substrate 3 is taken out.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、非接触方式によって除塵を行うので、微細パターン
が形成された基板に対しても、その表面を傷つけること
なく塵を除くことができる。また基板にラインパターン
がある場合、基板セットテーブルを回転させることによ
り、基板の進行方向(除塵ヘッドの走査方向)とライン
パターンを平行にすることができるので、より一層除塵
効果を高めることができる。さらに、超高速風吹き出し
口と塵埃吸引口が一対になった除塵ヘッドを用いている
ので、吹き飛んだ塵埃を即座に吸引することができ、周
囲を汚すことなく基板の除塵が可能となる。
As described above, according to the present invention, since the dust is removed by the non-contact method, the dust can be removed even on the substrate on which the fine pattern is formed without damaging the surface thereof. it can. Further, when the substrate has a line pattern, the traveling direction of the substrate (scanning direction of the dust removing head) can be made parallel to the line pattern by rotating the substrate set table, so that the dust removing effect can be further enhanced. . Furthermore, since the dust removal head in which the ultra-high-speed air blow-out port and the dust suction port are paired is used, the blown-off dust can be immediately sucked, and the substrate can be removed without polluting the surroundings.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の除塵装置の側面図である。FIG. 1 is a side view of a dust remover of the present invention.

【図2】本発明の除塵装置の上面図である。FIG. 2 is a top view of the dust remover of the present invention.

【図3】基板反転部の詳細を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing details of a substrate reversing unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板セットテーブル 2 除塵ヘッド 3 基板 4 吸引集塵口 5 超高速風吹き出し口 6 クランプ板 7 吸着盤 8 回転用モーター 9 吸着盤上下動用モーター 10 基板セットテ−ブル移動用モーター 1 substrate set table 2 dust removal head 3 substrate 4 suction dust collection port 5 ultra-high speed air outlet 6 clamp plate 7 suction plate 8 rotation motor 9 suction plate vertical movement motor 10 substrate set table movement motor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大木 伸昭 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社日 立製作所神奈川工場内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Nobuaki Oki 1 Horiyamashita Horiyamashita, Hadano City, Kanagawa Prefecture

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プリント基板の表面に付着した塵埃を除
去する装置において、該基板を吸着固定するテーブル
と、前記基板表面と所定の間隙を保って配置した除塵ヘ
ッドと、該除塵ヘッドを前記基板表面上で走査する手段
と、前記基板表面のラインパターンの方向と前記除塵ヘ
ッドの走査方向が平行になるように前記テーブルを回転
する手段と、前記基板を前記テーブル上に表裏反転して
セットする手段とを備えたことを特徴とするプリント基
板用除塵装置。
1. A device for removing dust adhering to the surface of a printed circuit board, a table for adsorbing and fixing the substrate, a dust removing head arranged with a predetermined gap from the surface of the substrate, and the dust removing head for the substrate. Means for scanning the surface, means for rotating the table so that the direction of the line pattern on the surface of the substrate and the scanning direction of the dust removal head are parallel, and the substrate is set upside down on the table. A dust removing device for a printed circuit board, comprising:
JP18664992A 1992-07-14 1992-07-14 Dust cleaner for print-circuit board Pending JPH0637460A (en)

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