JPH06347396A - 塵埃濃度管理システムおよび塵埃濃度管理方法 - Google Patents
塵埃濃度管理システムおよび塵埃濃度管理方法Info
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- JPH06347396A JPH06347396A JP13973693A JP13973693A JPH06347396A JP H06347396 A JPH06347396 A JP H06347396A JP 13973693 A JP13973693 A JP 13973693A JP 13973693 A JP13973693 A JP 13973693A JP H06347396 A JPH06347396 A JP H06347396A
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- dust
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Abstract
(57)【要約】
【目的】クリーンルームの塵埃濃度管理において、最も
塵埃管理を必要とする製品周囲の塵埃汚染を最少限に止
め、塵埃異常の要因分析にも活用できるようにする。 【構成】クリーンルーム１内のエアー中における塵埃濃
度を測定する塵埃濃度測定センサー４およびこの塵埃濃
度測定センサー４により測定された塵埃濃度データを発
信する発信機５を含んで構成されたセンサーユニット３
を、製品キャリア２’と実質的に同形のケーシング３’
に収納し、製品キャリア２’と共に運搬、保管を行な
う。発信機５から発信された塵埃濃度データを監視ユニ
ット９の受信機１０で受信し、そのデータを塵埃濃度記
憶部１１で記憶し、塵埃濃度表示用モニター部１２で表
示し、また塵埃濃度が異常の場合は警報部１４から警報
を出力する。
塵埃管理を必要とする製品周囲の塵埃汚染を最少限に止
め、塵埃異常の要因分析にも活用できるようにする。 【構成】クリーンルーム１内のエアー中における塵埃濃
度を測定する塵埃濃度測定センサー４およびこの塵埃濃
度測定センサー４により測定された塵埃濃度データを発
信する発信機５を含んで構成されたセンサーユニット３
を、製品キャリア２’と実質的に同形のケーシング３’
に収納し、製品キャリア２’と共に運搬、保管を行な
う。発信機５から発信された塵埃濃度データを監視ユニ
ット９の受信機１０で受信し、そのデータを塵埃濃度記
憶部１１で記憶し、塵埃濃度表示用モニター部１２で表
示し、また塵埃濃度が異常の場合は警報部１４から警報
を出力する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は塵埃濃度管理システムお
よび塵埃濃度管理方法に係わり、特に製品もしくは製造
工程中の中間製品を収納する製品キャリアの運搬および
保管を行う手段を有するクリーンルーム内の空気（以
下、エアー、と称す）中における塵埃濃度を管理するシ
ステムおよび管理する方法に関する。
よび塵埃濃度管理方法に係わり、特に製品もしくは製造
工程中の中間製品を収納する製品キャリアの運搬および
保管を行う手段を有するクリーンルーム内の空気（以
下、エアー、と称す）中における塵埃濃度を管理するシ
ステムおよび管理する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術の塵埃濃度管理システムおよび
塵埃濃度管理方法を図４に示す。半導体装置等を製造す
るクリーンルーム４１は、天井にフィルター４９を載置
しその内部の所定箇所に測定エアーをサンプリングする
複数のサンプリングポート４３が固定して設置され、サ
ンプリングポート４３のそれぞれにクリーンチューブ４
４が接続され、このクリーンチューブ４４はクリーンル
ーム４１の仕切壁４８を貫通して塵埃濃度測定室４７に
導出されている。
塵埃濃度管理方法を図４に示す。半導体装置等を製造す
るクリーンルーム４１は、天井にフィルター４９を載置
しその内部の所定箇所に測定エアーをサンプリングする
複数のサンプリングポート４３が固定して設置され、サ
ンプリングポート４３のそれぞれにクリーンチューブ４
４が接続され、このクリーンチューブ４４はクリーンル
ーム４１の仕切壁４８を貫通して塵埃濃度測定室４７に
導出されている。
【０００３】塵埃濃度測定室４７には、切換え部４５お
よびブロワー４６を具備しかつ塵埃濃度を測定しその結
果を表示する塵埃濃度測定装置４２が設置されている。
そして、ブロワー４６によって複数の測定箇所すなわち
複数のサンプリングポート４３から吸引されたクリーン
ルーム４１内の測定エアーは、クリーンチューブ４４を
通して塵埃濃度測定装置４２に送られ、複数のサンプリ
ングポート４３から送られてきた測定エアーから、切換
え電磁バルブ等を用いた切換え部４５により所定の測定
箇所に載置されてあるサンプリングポート４３からの測
定エアーを選択し、その塵埃濃度を測定しその結果を表
示する。
よびブロワー４６を具備しかつ塵埃濃度を測定しその結
果を表示する塵埃濃度測定装置４２が設置されている。
そして、ブロワー４６によって複数の測定箇所すなわち
複数のサンプリングポート４３から吸引されたクリーン
ルーム４１内の測定エアーは、クリーンチューブ４４を
通して塵埃濃度測定装置４２に送られ、複数のサンプリ
ングポート４３から送られてきた測定エアーから、切換
え電磁バルブ等を用いた切換え部４５により所定の測定
箇所に載置されてあるサンプリングポート４３からの測
定エアーを選択し、その塵埃濃度を測定しその結果を表
示する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の塵埃濃度管
理システムおよび塵埃濃度管理方法は、測定エアーのサ
ンプリングポイントが固定されているため、最も塵埃濃
度管理を必要とする製品もしくは製造工程中の中間製品
が、サンプリングポイント近傍に位置する場合を除い
て、連続した塵埃濃度測定が不可能であった。特に、無
人搬送システム等による製品もしくは中間製品の移動時
には、上記従来技術では必要な箇所のエアーの塵埃濃度
測定が困難であった。
理システムおよび塵埃濃度管理方法は、測定エアーのサ
ンプリングポイントが固定されているため、最も塵埃濃
度管理を必要とする製品もしくは製造工程中の中間製品
が、サンプリングポイント近傍に位置する場合を除い
て、連続した塵埃濃度測定が不可能であった。特に、無
人搬送システム等による製品もしくは中間製品の移動時
には、上記従来技術では必要な箇所のエアーの塵埃濃度
測定が困難であった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、製品も
しくは製造工程中の中間製品を収納した製品キャリアの
運搬、保管手段を備えたクリーンルームの塵埃濃度管理
システムにおいて、前記クリーンルーム内のエアー中に
おける塵埃濃度を測定する塵埃濃度測定センサーおよび
前記塵埃濃度測定センサーにより測定された塵埃濃度デ
ータを発信する発信機を含んで構成され、前記製品キャ
リアと同様に取扱えるケーシングに納められたセンサー
ユニットと、前記発信機から発信された塵埃濃度データ
を受信する受信機、受信された塵埃濃度データを記憶す
る記憶部、受信された塵埃濃度データを出力表示する表
示用モニター部および受信された塵埃濃度データにより
異常を報知する警報部を含んで構成された監視ユニット
とを備えている塵埃濃度管理システムにある。
しくは製造工程中の中間製品を収納した製品キャリアの
運搬、保管手段を備えたクリーンルームの塵埃濃度管理
システムにおいて、前記クリーンルーム内のエアー中に
おける塵埃濃度を測定する塵埃濃度測定センサーおよび
前記塵埃濃度測定センサーにより測定された塵埃濃度デ
ータを発信する発信機を含んで構成され、前記製品キャ
リアと同様に取扱えるケーシングに納められたセンサー
ユニットと、前記発信機から発信された塵埃濃度データ
を受信する受信機、受信された塵埃濃度データを記憶す
る記憶部、受信された塵埃濃度データを出力表示する表
示用モニター部および受信された塵埃濃度データにより
異常を報知する警報部を含んで構成された監視ユニット
とを備えている塵埃濃度管理システムにある。
【０００６】本発明の他の特徴は、製品もしくは製造工
程中の中間製品を収納する製品キャリアの運搬および保
管を行うクリーンルームの塵埃濃度管理方法において、
前記クリーンルーム内のエアー中における塵埃濃度を測
定する塵埃濃度測定センサーおよび前記塵埃濃度測定セ
ンサーにより測定された塵埃濃度データを発信する発信
機を含んで構成されたセンサーユニットをケーシングに
納め、前記センサーユニットを納めた前記ケーシングを
前記製品キャリアとともに前記運搬および保管を行い、
前記運搬および保管の状態のうちの少なくとも一方の状
態の際に前記塵埃濃度測定センサーにより測定され前記
発信機から発信された塵埃濃度データを受信機で受信
し、受信された塵埃濃度データを記憶部で記憶し、表示
用モニター部で出力表示し、かつ受信された前記塵埃濃
度データが異常の場合は警報部で異常を報知し、これに
より前記製品キャリアの運搬状態や前記製品キャリアの
保管状態のそれぞれにおける塵埃濃度を管理する塵埃濃
度管理方法にある。
程中の中間製品を収納する製品キャリアの運搬および保
管を行うクリーンルームの塵埃濃度管理方法において、
前記クリーンルーム内のエアー中における塵埃濃度を測
定する塵埃濃度測定センサーおよび前記塵埃濃度測定セ
ンサーにより測定された塵埃濃度データを発信する発信
機を含んで構成されたセンサーユニットをケーシングに
納め、前記センサーユニットを納めた前記ケーシングを
前記製品キャリアとともに前記運搬および保管を行い、
前記運搬および保管の状態のうちの少なくとも一方の状
態の際に前記塵埃濃度測定センサーにより測定され前記
発信機から発信された塵埃濃度データを受信機で受信
し、受信された塵埃濃度データを記憶部で記憶し、表示
用モニター部で出力表示し、かつ受信された前記塵埃濃
度データが異常の場合は警報部で異常を報知し、これに
より前記製品キャリアの運搬状態や前記製品キャリアの
保管状態のそれぞれにおける塵埃濃度を管理する塵埃濃
度管理方法にある。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【０００８】図１は本発明の第１の実施例の塵埃濃度管
理システムおよび塵埃濃度管理方法を示す図であり、
（Ａ）は構成図、（Ｂ）はブロック図である。
理システムおよび塵埃濃度管理方法を示す図であり、
（Ａ）は構成図、（Ｂ）はブロック図である。
【０００９】空調ダクト１７に結合したクリーンルーム
フィルター１３を天井に載置したクリーンルーム１内に
は、そこで生産製造されている製品２すなわち中間製品
２を移動させるために無人搬送車７が配置され、またこ
の製品を保管するために保管棚８が配設されている。製
品は例えば半導体装置であり、中間製品は例えば半導体
ウェハである。
フィルター１３を天井に載置したクリーンルーム１内に
は、そこで生産製造されている製品２すなわち中間製品
２を移動させるために無人搬送車７が配置され、またこ
の製品を保管するために保管棚８が配設されている。製
品は例えば半導体装置であり、中間製品は例えば半導体
ウェハである。
【００１０】製品（中間製品）２が製品キャリア２’に
収納されて無人搬送車７で移動しあるいは保管棚８に保
管される際に、製品キャリア２’と実質的に同形のケー
シング３’に収納した塵埃濃度センサーユニット３も製
品キャリア２’に付随して無人搬送車７で移動しあるい
は保管棚８に載置される。
収納されて無人搬送車７で移動しあるいは保管棚８に保
管される際に、製品キャリア２’と実質的に同形のケー
シング３’に収納した塵埃濃度センサーユニット３も製
品キャリア２’に付随して無人搬送車７で移動しあるい
は保管棚８に載置される。
【００１１】センサーユニット３はクリーンルーム１の
エアーの塵埃を測定する塵埃濃度測定センサー４および
塵埃濃度測定センサー４により測定された塵埃濃度デー
タを発信する発信機５を有して構成されている。
エアーの塵埃を測定する塵埃濃度測定センサー４および
塵埃濃度測定センサー４により測定された塵埃濃度デー
タを発信する発信機５を有して構成されている。
【００１２】また、センサーユニット３への給電、及び
サンプリングエアーを吸引するための付帯ユニット６
は、塵埃濃度管理を必要とするクリーンルーム１内の適
所、例えば搬送時における無人搬送車７上や保管時にお
ける保管棚８内に設けられ、そこでセンサーユニット３
と結合する。
サンプリングエアーを吸引するための付帯ユニット６
は、塵埃濃度管理を必要とするクリーンルーム１内の適
所、例えば搬送時における無人搬送車７上や保管時にお
ける保管棚８内に設けられ、そこでセンサーユニット３
と結合する。
【００１３】一方、クリーンルーム１と仕切壁１５によ
り仕切られた塵埃濃度測定室１６には、発信機５から無
線発信（ワイヤレス発信）された塵埃濃度データを受信
する受信機１０、受信された塵埃濃度データを記憶する
塵埃濃度記憶部１１、受信された塵埃濃度データを出力
表示する塵埃濃度表示用モニター部１２および受信され
た塵埃濃度データにより異常を報知する警報部１４を有
して構成される監視ユニット９が配置されている。
り仕切られた塵埃濃度測定室１６には、発信機５から無
線発信（ワイヤレス発信）された塵埃濃度データを受信
する受信機１０、受信された塵埃濃度データを記憶する
塵埃濃度記憶部１１、受信された塵埃濃度データを出力
表示する塵埃濃度表示用モニター部１２および受信され
た塵埃濃度データにより異常を報知する警報部１４を有
して構成される監視ユニット９が配置されている。
【００１４】クリーンルーム１内における製品キャリア
２’すなわち製品（中間製品）２の存在場所や日時に応
じ、その周囲のエアーの塵埃濃度データが、製品キャリ
ア２’と行動ともにしているセンサーユニット３の塵埃
濃度測定センサー４により測定されその発信機５から測
定データが監視ユニット９に送られて記憶、表示、警報
の処理が行なわれる。
２’すなわち製品（中間製品）２の存在場所や日時に応
じ、その周囲のエアーの塵埃濃度データが、製品キャリ
ア２’と行動ともにしているセンサーユニット３の塵埃
濃度測定センサー４により測定されその発信機５から測
定データが監視ユニット９に送られて記憶、表示、警報
の処理が行なわれる。
【００１５】また、製品キャリア２’が複数でセンサー
ユニット３が複数個必要の場合は、各センサーユニット
ごとにその発信機の発信周波数を変えて、どのセンサー
ユニットからのデータであるのかを監視ユニット９で判
別できるようにする。
ユニット３が複数個必要の場合は、各センサーユニット
ごとにその発信機の発信周波数を変えて、どのセンサー
ユニットからのデータであるのかを監視ユニット９で判
別できるようにする。
【００１６】そしてクリーンルームフィルター１３のリ
ーク、生産設備や作業者からの発塵等により塵埃濃度に
異常がみられた場合には、監視ユニット９の表示、警報
により、クリーンルームの点検が行われ生産の一時中断
が指示されると同時に、該当するセンサーユニット３と
ともに移動、保管されていた製品キャリア２’内の製品
（中間製品）２の処置検討が行われる。
ーク、生産設備や作業者からの発塵等により塵埃濃度に
異常がみられた場合には、監視ユニット９の表示、警報
により、クリーンルームの点検が行われ生産の一時中断
が指示されると同時に、該当するセンサーユニット３と
ともに移動、保管されていた製品キャリア２’内の製品
（中間製品）２の処置検討が行われる。
【００１７】図２は、製品（中間製品）２を収納する製
品キャリア２’（Ａ）とセンサーユニット３を収納する
ケーシング３’（Ｂ）とを示す斜視図である。
品キャリア２’（Ａ）とセンサーユニット３を収納する
ケーシング３’（Ｂ）とを示す斜視図である。
【００１８】製品キャリア２’は製品（中間製品）２を
搭載する台座部２１とカバーする蓋部２２とから構成さ
れるが、蓋部２２で内部が気密密閉されるわけではない
ので製品キャリア２’の外周囲のエアー状態と製品キャ
リア２’の内部すなわち製品（中間製品）２の周囲のエ
アー状態とは同じである。一方、ケーシング３’はセン
サーユニット３を搭載する台座部２３と外側面を包囲す
るカバー２４から構成されている。
搭載する台座部２１とカバーする蓋部２２とから構成さ
れるが、蓋部２２で内部が気密密閉されるわけではない
ので製品キャリア２’の外周囲のエアー状態と製品キャ
リア２’の内部すなわち製品（中間製品）２の周囲のエ
アー状態とは同じである。一方、ケーシング３’はセン
サーユニット３を搭載する台座部２３と外側面を包囲す
るカバー２４から構成されている。
【００１９】そしてケーシング３’の各外辺部分の寸法
Ｈ3 ，Ｈ4 ，Ｗ3 ，Ｗ4 ，Ｄ3 およびＤ4 はこれに対応
する製品キャリア２’の各外辺部分の寸法Ｈ1 ，Ｈ2 ，
Ｗ1，Ｗ2 ，Ｄ1 およびＤ2 より、それぞれが等しいか
小になっているから、センサーユニット３を収納したケ
ーシング３’は製品キャリア２’とともに移動、保管の
行動をすることができる。
Ｈ3 ，Ｈ4 ，Ｗ3 ，Ｗ4 ，Ｄ3 およびＤ4 はこれに対応
する製品キャリア２’の各外辺部分の寸法Ｈ1 ，Ｈ2 ，
Ｗ1，Ｗ2 ，Ｄ1 およびＤ2 より、それぞれが等しいか
小になっているから、センサーユニット３を収納したケ
ーシング３’は製品キャリア２’とともに移動、保管の
行動をすることができる。
【００２０】図３は本発明の第２の実施例におけるセン
サーユニットと付帯ユニットとの関係を示す構成図であ
る。
サーユニットと付帯ユニットとの関係を示す構成図であ
る。
【００２１】第１の実施例と同様に、塵埃濃度測定セン
サー３２と発信機３３とを有して構成されたセンサーユ
ニット３１はそのケーシング３１’に収納されている。
一方、センサーユニット３１に給電するためのバッテリ
ー電源３５とサンプリングエアーを吸引するためにのブ
ロワー３６を有して構成された付帯ユニット３４も、ケ
ーシング３１’と同形のケーシング３４’に収納され、
両者は吸引管３７，給電配線３８により結合されてい
る。
サー３２と発信機３３とを有して構成されたセンサーユ
ニット３１はそのケーシング３１’に収納されている。
一方、センサーユニット３１に給電するためのバッテリ
ー電源３５とサンプリングエアーを吸引するためにのブ
ロワー３６を有して構成された付帯ユニット３４も、ケ
ーシング３１’と同形のケーシング３４’に収納され、
両者は吸引管３７，給電配線３８により結合されてい
る。
【００２２】この実施例において、付帯ユニット３４が
接続された状態のセンサーユニット３１が製品（中間製
品）と共に、クリーンルーム内を移動、保管される。
接続された状態のセンサーユニット３１が製品（中間製
品）と共に、クリーンルーム内を移動、保管される。
【００２３】これによりハドリングの負荷は増すが、セ
ンサーユニットが中空状態にある場合、例えば無人搬送
車から手動で保管棚に移しかえる時においても塵埃濃度
管理ができるという効果を有する。
ンサーユニットが中空状態にある場合、例えば無人搬送
車から手動で保管棚に移しかえる時においても塵埃濃度
管理ができるという効果を有する。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、塵
埃濃度測定センサーを移動式とし製品（中間製品）に付
随させてクリーンルーム内の移動等の行動をさせること
で、連続した塵埃濃度管理が可能となるとともに、製品
（中間製品）が塵埃により汚染された時でも警報の作動
により、被害を最小限に止めることができ、かつ汚染場
所、日時を明確にすることにより塵埃異常の要因分析に
も活用できるという効果を有する。
埃濃度測定センサーを移動式とし製品（中間製品）に付
随させてクリーンルーム内の移動等の行動をさせること
で、連続した塵埃濃度管理が可能となるとともに、製品
（中間製品）が塵埃により汚染された時でも警報の作動
により、被害を最小限に止めることができ、かつ汚染場
所、日時を明確にすることにより塵埃異常の要因分析に
も活用できるという効果を有する。
【図１】本発明の第１の実施例の塵埃濃度管理システム
および塵埃濃度管理方法を示す図であり、（Ａ）は構成
図、（Ｂ）はブロック図である。
および塵埃濃度管理方法を示す図であり、（Ａ）は構成
図、（Ｂ）はブロック図である。
【図２】製品（中間製品）を収納する製品キャリア
（Ａ）とセンサーユニットを収納するケーシング（Ｂ）
とを示す斜視図である。
（Ａ）とセンサーユニットを収納するケーシング（Ｂ）
とを示す斜視図である。
【図３】本発明の第２の実施例におけるセンサーユニッ
トと付帯ユニットとの関係を示す構成図である。
トと付帯ユニットとの関係を示す構成図である。
【図４】従来技術の塵埃濃度管理システムおよび塵埃濃
度管理方法を示す図である。
度管理方法を示す図である。
１ クリーンルーム ２ 製品（中間製品） ２’ 製品キャリア ３ センサーユニット ３’ センサーユニットを収納するケーシング ４ 塵埃濃度測定センサー ５ 発信機 ６ 付帯ユニット ７ 無人搬送車 ８ 保管棚 ９ 監視ユニット １０ 受信機 １１ 塵埃濃度記憶部 １２ 塵埃濃度表示用モニター部 １３ クリーンルームフィルター １４ 警報部 １５ 仕切壁 １６ 塵埃濃度測定室 １７ 空調ダクト ２１ 製品キャリアの台座部 ２２ 製品キャリアの蓋部 ２３ ケーシングの台座部 ２４ ケーシングのカバー ３１ センサーユニット ３１’ センサーユニットを収納するケーシング ３２ 塵埃濃度測定センサー ３３ 発信機 ３４ 付帯ユニット ３４’ 付帯ユニットを収納するケーシング ３５ バッテリー電源 ３６ ブロワー ３７ 吸引管 ３８ 給電配線 ４１ クリーンルーム ４２ 塵埃濃度測定装置 ４３ サンプリングポート ４４ クリーンチューブ ４５ 切換え部 ４６ ブロワー ４７ 塵埃濃度測定装置 ４８ 仕切壁 ４９ クリーンルームフィルター
Claims (2)
- 【請求項１】 製品もしくは製造工程中の中間製品を収
納した製品キャリアの運搬、保管手段を備えたクリーン
ルームの塵埃濃度管理システムにおいて、 前記クリーンルーム内の空気中における塵埃濃度を測定
する塵埃濃度測定センサーおよび前記塵埃濃度測定セン
サーにより測定された塵埃濃度データを発信する発信機
を含んで構成され、前記製品キャリアと同様に取扱える
ケーシングに納められたセンサーユニットと、 前記発信機から発信された塵埃濃度データを受信する受
信機、受信された塵埃濃度データを記憶する記憶部、受
信された塵埃濃度データを出力表示する表示用モニター
部および受信された塵埃濃度データにより異常を報知す
る警報部を含んで構成された監視ユニットとを備えてい
ることを特徴とする塵埃濃度管理システム。 - 【請求項２】 製品もしくは製造工程中の中間製品を収
納する製品キャリアの運搬および保管を行うクリーンル
ームの塵埃濃度管理方法において、 前記クリーンルーム内の空気中における塵埃濃度を測定
する塵埃濃度測定センサーおよび前記塵埃濃度測定セン
サーにより測定された塵埃濃度データを発信する発信機
を含んで構成されたセンサーユニットをケーシングに納
め、 前記センサーユニットを納めた前記ケーシングを前記製
品キャリアとともに前記運搬および保管を行い、 前記運搬および保管の状態のうちの少なくとも一方の状
態の際に前記塵埃濃度測定センサーにより測定され前記
発信機から発信された塵埃濃度データを受信機で受信
し、受信された塵埃濃度データを記憶部で記憶し、表示
用モニター部で出力表示し、かつ受信された前記塵埃濃
度データが異常の場合は警報部で異常を報知し、 これにより前記製品キャリアの運搬状態や前記製品キャ
リアの保管状態のそれぞれにおける塵埃濃度を管理する
ことを特徴とする塵埃濃度管理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5139736A JPH0812145B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | 塵埃濃度管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5139736A JPH0812145B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | 塵埃濃度管理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06347396A true JPH06347396A (ja) | 1994-12-22 |
| JPH0812145B2 JPH0812145B2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=15252184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5139736A Expired - Fee Related JPH0812145B2 (ja) | 1993-06-11 | 1993-06-11 | 塵埃濃度管理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0812145B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007063862A1 (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-07 | Nidec Sankyo Corporation | 粒子計数器及びそれを備えた粒子計数装置、粒子計数システム及びその使用方法 |
| JP2007147519A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Nidec Sankyo Corp | 粒子計数装置及び粒子計数システム |
| JP2013011460A (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-17 | Seiko Instruments Inc | センサネットワークシステム |
| CN103743648A (zh) * | 2013-12-19 | 2014-04-23 | 西安工程大学 | 基于光波的输电线路等值盐密传感器及其在线测量方法 |
| KR101499691B1 (ko) * | 2014-05-14 | 2015-03-09 | 주식회사 위드텍 | 오염물질 분석 장치 |
| WO2017212913A1 (ja) * | 2016-06-09 | 2017-12-14 | アズビル株式会社 | 環境分析システム及び環境分析方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH05306988A (ja) * | 1992-04-30 | 1993-11-19 | Kawasaki Steel Corp | クリーンルームの清浄度測定装置 |
-
1993
- 1993-06-11 JP JP5139736A patent/JPH0812145B2/ja not_active Expired - Fee Related
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