JPH06339887A - アクチュエータ、並びにそれを用いた多関節手、温度スイッチ、過電流スイッチ、回路切替スイッチ - Google Patents

アクチュエータ、並びにそれを用いた多関節手、温度スイッチ、過電流スイッチ、回路切替スイッチ

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JPH06339887A
JPH06339887A JP15415993A JP15415993A JPH06339887A JP H06339887 A JPH06339887 A JP H06339887A JP 15415993 A JP15415993 A JP 15415993A JP 15415993 A JP15415993 A JP 15415993A JP H06339887 A JPH06339887 A JP H06339887A
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JP
Japan
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shape
memory alloy
shape memory
alloy tube
actuator
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JP15415993A
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English (en)
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Sakae Kimura
栄 木村
Tadakuni Sato
忠邦 佐藤
Hideyuki Tanaka
秀之 田中
Yoichi Mamiya
洋一 間宮
Norio Kono
憲雄 幸野
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Tokin Corp
Original Assignee
Tokin Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 長尺肉薄でかつ丸線と同一重量比で比較した
時の作動力が大きい形状記憶合金管を用いて、構造が簡
単で変位の大きいアクチュエータ並びに多関節手や各種
スイッチを形成する。 【構成】 互いに分離した側面がT字形の形状で、上面
が長方形をし直列に並んだ把持部材3と、把持部材3の
T字の上部を通常ばねの形状復帰ばね2で連結し、把持
部材3のT字の下部を貫通し把持部材3を連結する形状
記憶合金管1とからなり、形状記憶合金管1の内部に温
液を流した時は内側にわん曲し、冷液を流した時には伸
長するよう形状記憶した形状記憶合金管を用いて多関節
動作を行うアクチュエータとする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は形状記憶合金の細管を用
い、細管内に通す液体の液温を変えるか、又は細管の外
周に接して取りつけた加熱部材により、形状記憶合金細
管の加熱と冷却とにより、形状記憶合金の細管が予め記
憶していた形状に変形させて作動するよう構成したアク
チュエータ、並びにそれを用いた多関節手、温度スイッ
チ、過電流スイッチ、回路切替スイッチに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、物体を変位させて作動するアクチ
ュエータは、電流が作る磁界と永久磁石が作る磁界によ
る作用と反作用、或は2つのコイルに流れる電流が作る
磁界による作用と反作用により物体を連動させてアクチ
ュエータを形成するか、圧縮空気をシリンダに送り、シ
リンダの往復運動をてこや歯車により物体の位置を変位
させてアクチュエータを形成している。例えば温度変化
に応動し作動するアクチュエータでは温度の検知装置と
これらのアクチュエータを組合せ構成していた。しかし
従来のアクチュエータにおいて、圧縮空気を利用するも
のでは空気を圧縮するポンプが必要であり、物体を変位
する機構として歯車や、カム、レバー等を必要とし形状
が大きくなること、一方電磁力を利用するものでは小形
で大きな出力と変位が得られるが、変位する部分毎にモ
ータ等を必要とし構造が複雑になり高価になると云う問
題と、電磁力を利用した機構を駆動する際には大きな電
流と電圧を必要とし、これらのアクチュエータの他に温
度や圧力等を検知するためのセンサ装置を別途に必要と
し、装置は大きなものとなりかつ高価になると云う問題
があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は形状記憶合金
の細管を用い、形状記憶合金が持つ形状記憶特性を示す
マルテンサイトの逆変態に伴う形状回復および形状回復
力を利用して、マルテンサイト状態に於ける形状回復を
行うための形状復帰ばねを組合せ、形状記憶合金管内を
温液による加熱と冷液による冷却との組合せにより形状
記憶合金管を変位させアクチュエータを形成するか、筒
状に形成した形状記憶合金管の外周に形状記憶合金管を
形状変形させる外部から供給する熱源を組合せ、センサ
部分と駆動部分とが一体で形成されたアクチュエータと
それを用いた装置を構成するもので、構造が簡単で信頼
性の高い新規なアクチュエータと、並びに該アクチュエ
ータを用いた多関節手、温度スイッチ、過電流スイッ
チ、回路切替スイッチを提供するにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明によるアクチュエ
ータは、形状記憶合金管を用いるもので、形状記憶合金
管を逆変態以上の温度になった時にはアクチュエータと
して作動する形状に予め形状記憶処理を施しておき管の
内径内を通す液温を変えてアクチュエータを作動するよ
う構成するか、形状記憶合金管の外周に密接した加熱部
材により加熱して予め形状記憶処理を施して記憶した形
状に復帰させ、アクチュエータとして作動させるもので
ある。本発明による形状記憶合金管は本発明と同一出願
人による平成4年特許願第133382号にもとづき作
られたもので、継ぎ目が無く長さ方向に連続して作られ
た形状記憶合金管を用いたものであるので、管の内部を
通して液体等を流せること、又内部が中空であるので同
じ外径寸法の時は重量比で比較すると従来の線を用いた
場合に比べて2倍以上の力が得られる特徴を有するこ
と、従って本発明による形状記憶合金管を用いたアクチ
ュエータとすることにより、従来の形状記憶合金の線を
用いたこの種のアクチュエータに比べて軽量化出来、又
肉厚が薄いので熱に対する応答性が速くなる等の特徴を
有する。
【0005】本発明の実施例によるアクチュエータは室
温において作動使用するものであるので、主成分として
ニッケル(Ni)が49.0原子%ないし51原子%、
残チタン(Ti)からなる形状記憶合金管を用い、逆変
態点が60℃程であるNiが50.0原子%残TiのN
i−Ti系形状記憶合金を用いる。又オーステナイト相
において形状が記憶された形状に変形し、マルテンサイ
ト・オーステナイト変態点以下のマルテンサイト相にす
る時の形状復帰は、ピアノ線等の通常のばね材からなる
形状復帰ばねを組合せ用いる。
【0006】即ち本発明は、 1.予め形状記憶処理を施した形状記憶合金管と通常ば
ね材を用いた形状復帰ばねとを機械的に一体に組合せ、
前記形状記憶合金管内に加温又は冷却した液体を流通す
るか、表面に加熱部材を密接するか、又は形状記憶合金
管内に設けた発熱体の発熱等の加熱と冷却の手段とを用
いることにより、形状の変形と復帰を行うよう構成した
ことを特徴とするアクチュエータである。
【0007】2.前述したクチュエータにおいて、形状
記憶合金管は先端をU字形管で連結した平行往復する形
状記憶合金管からなることを特徴とするアクチュエータ
である。
【0008】3.前述したアクチュエータにおいて、形
状記憶合金管は1本の形状記憶合金管の内径内に液体を
送る細管を設けてなることを特徴とするアクチュエータ
である。
【0009】4.直列に並べ互いに分離した複数個の側
面がT字形で上面が長方形をした把持部材と、前記把持
部材のT字形の上部で複数の把持部材を連接する通常ば
ねと、把持部材のT字の下部を貫通し連結する内径内を
往復する液体を流通する予め形状記憶処理を施した形状
記憶合金管とからなり、形状記憶合金管内に流れる液温
により把持部材を間にして関節が折れ曲がるように作動
し、又伸長する多関節動作を行うよう構成したことを特
徴とするアクチュエータである。
【0010】5.複数個の多関節動作を行うアクチュエ
ータと、該アクチュエータ毎に配置された温液と冷液の
供給を制御する3方弁と、該3方弁の動作順序を制御す
るプログラムコントローラと、3方弁に温液と冷液を供
給するポンプに供給する温液槽と冷液槽とにより構成さ
れ制御してなることを特徴とする多関節手である。
【0011】6.形状記憶処理を施した形状記憶合金管
と該形状記憶合金管内の内径内に電気絶縁フィルムを介
挿して形状復帰ばねを一体に成形した導体を挿入し、前
記導体先端の面に設けた接点と、該接点に対向する接点
を設けた導体により周囲温度を昇温又は降下させ、前記
対向する接点を開閉するように形成してなる温度スイッ
チ及び過電流スイッチである。
【0012】7.形状記憶処理を施した形状記憶合金管
の内径内に同心円状に配置した形状復帰ばねと該形状復
帰ばねの内径の中心に光ファイバを挿通して、空隙を間
に対向する2つの光ファイバを配置して周囲温度の昇温
と降下により、前記対向する光ファイバ間の光の伝達を
オン・オフするよう形成してなることを特徴とする温度
スイッチである。
【0013】8.表面上に加熱部材を密接した形状記憶
処理を施した形状記憶合金管の内径内に、電気絶縁フィ
ルムを介挿して形状復帰ばねと一体に成形した導体を挿
入し、前記導体面の先端対向両面に接点を取りつけ、該
接点に対向して離れた2つの位置に、前記接点に対向し
て接点を取りつけた2つの導体とにより加熱部材を加
熱、冷却するよう構成してなることを特徴とする回路切
替スイッチである。
【0014】
【作用】本発明によるアクチュエータは形状記憶合金管
を用いたアクチュエータであるので管の内部にアクチュ
エータとして作動させる液体を流通することが出来構造
が簡単になること、又管であるため肉厚が薄く、形状記
憶合金に加わる熱の伝導が速く従ってアクチュエータと
しての動作が速くなる。一方肉厚は薄いが、板状の溝板
ではなく管状であるので、重量が軽くてもマルテンサイ
ト相からオーステナイト相に変形する記憶された形状に
復帰する時の力も、マルテンサイト相の時の3倍ないし
5倍も大きいと云う特徴を有し、変位作動する時のアク
チュエータとしての作動力も大きなものになる。
【0015】
【実施例】本発明の実施例について図面を用い説明す
る。
【0016】(実施例1)図1は形状記憶合金管1と形
状復帰ばね2にピアノ線を用い、間に樹脂製の把持部材
3を用い構成したアクチュエータで、図1の(a)は側
面図、図1の(b)は平面図、図1の(c)はアクチュ
エータを作動した時の側面図であり、本実施例では形状
記憶合金管1はアクチュエータの先端でU字形の管によ
り接続された2本の形状記憶合金管の細管を使用してお
り、アクチュエータの複数個の把持部材3を形状記憶合
金の細管が貫通しており、形状記憶合金管の内部に温
水、冷水を通し、60℃以上の温水が流れた時にはオー
ステナイト相となり図1の(c)に示す予め記憶された
形状に変形してアクチュエータとして作動する。
【0017】一方、形状記憶合金管が60℃以下のマル
テンサイト相になるとピアノ線を用いた形状復帰ばね2
により、図1の(a)の形状に復帰する。形状復帰ばね
2は図1の(a)では複数個の把持部材13の間に取付
けた構造であるが、把持部材3を貫通した連続した線で
あってもよい。形状記憶合金管と形状復帰ばねは把持部
材と互いに固着されている。
【0018】本発明の実施例ではニッケル(Ni)の値
が50.0原子%の逆変態点がほぼ60℃付近のNi−
Ti系形状記憶合金の細管を用いており、アクチユエー
タは室温では図1の(a)に示す直線状をしているが、
60℃以上の温度で温度差の大きい温液を通す時、例え
ば90℃以上の温度の液体を形状記憶合金管に通す時、
アクチュエータは図1の(c)の形状に直ちに変形す
る。
【0019】図1に於て、形状記憶合金管1内に液体を
通す例としては、図2の(a)に示す形状記憶合金管1
内にシリコンチューブ4を通し加温した液体を方向Aか
ら方向Bに通すか、図2の(b)に示す2本の形状記憶
合金管を把持部材を貫通して通し、方向Aから方向Bへ
加温した液体を通しアクチュエータを構成してもよい。
【0020】図3は、図1に示すアクチュエータを組合
せて、手と同じ動作を行わせる制御系を示し、夫々の指
のアクチュエータ5を図1に示すアクチュエータで構成
し、夫々の指のアクチュエータ5への温液の供給と停止
はプログラムコントローラ7、分岐盤8を通り制御され
る3方弁6により夫々個別に制御される。温液槽9から
の温液はポンプ13により、又冷液槽11からの冷液は
ポンプ13により送られ、プログラムコントローラ7で
3方弁6を開閉し、夫々の指のアクチュエータ5を別個
に作動させ、図4に示す手の形状をした多関節手10を
形成する。
【0021】なお本発明の実施例1に於て、図1に示す
指の形状をしたアクチュエータの形状記憶合金管1を、
図1の(a)に示す把持部材間の形状記憶合金管1a、
1b、1cを夫々分離し、夫々別個に駆動するよう構成
することにより、把持部材3を間に夫々独立に作動させ
て手の動作が行える多関節手を構成することも出来る。
【0022】(実施例2)図5は本発明の形状記憶合金
管を用いた周囲温度の検出用温度スイッチ、又は過電流
検出用のスイッチで、アクチュエータは形状記憶合金管
21の内部に電気絶縁のための電気絶縁フィルム25に
より絶縁して内部に銅からなる電気の良伝導材の導体2
6と、電気の良伝導材の導体26の内部に一体に、形状
復帰のためのばね材からなる形状復帰ばね23により基
本構成が形成されている。
【0023】形状記憶合金管21はマルテンサイト相の
時と、昇温してオーステナイト相になった時の降伏応力
は2倍ないし5倍と大きな降伏応力の差を有するため、
通常のばね材からなる形状復帰ばね23のばねの力とオ
ーステナイト相の時の形状記憶合金管21の変形力とに
より形状記憶合金管がオーステナイト相では変形して導
体22の接点24Bに対向する接点24Aの間を開放
し、図5の(b)の形状となり、温度特性が低いマルテ
ンサイト相では形状復帰ばね23の力がより大となり、
図5の(a)に示す直線状の形状に復帰し、接点24
A、24Bを閉状態にする。図5の(c)に形状記憶合
金管21、形状復帰ばね23、導体26、電気絶縁フィ
ルム25とが一体に形成された作動部分の縦断面を示
す。
【0024】図5に示す形状記憶合金管によるアクチュ
エータによって構成された周囲温度の変化によって作動
する温度スイッチ、及び導体に流れた過電流によって導
体の温度上昇を検出して作動する過電流スイッチとして
の作動温度は、形状記憶合金管を形成するNi−Tiの
組成により決まり、Niが49原子%ないし51原子%
残Tiの合金において、Niの組成比が高い時はマルテ
ンサイト・オーステナイト変態点は低温側へ移動し、逆
変態点が+60℃の組成はNiがほぼ50.0原子%残
Tiの組成の材料となる。
【0025】(実施例3)図6は形状記憶合金管を用い
たアクチュエータによる回路切替スイッチで、電流が流
れる対向する接点24Aが取り付けられた導体26を間
に対向する2つの導体22と、2つの導体22の間に両
面に接点24B、24Cを有する導体26と、導体26
と一体に形成された形状復帰ばね23と、導体26と形
状復帰ばね23の外周は電気絶縁フィルム26を介挿し
て形状記憶合金管21で包まれ、形状記憶合金管21の
外周面には形状記憶合金管21の形状を変形作動させる
ための加熱部材27が形状記憶管の周囲に巻回されてい
る。形状記憶合金管21の作動温度は室温より高い温度
であればよく+60℃程でもよいので、加熱部材に加え
られる、例えばヒーターの電力は大きな電力を必要とせ
ず作動出来る。
【0026】図6において、実線で示す位置の時は室温
で形状復帰ばね23の力が形状記憶合金管のマルテンサ
イト相の状態にある時の降伏応力よりも大きく、一方2
点鎖線で示す形状記憶合金管がオーステナイト相の状態
にある時には形状復帰ばね23の力より形状記憶合金管
21の形状変形力が大となるように構成されており、閉
路の接点24Aと接点24Cは開となり、一方導体26
の接点24Bと対向する導体22の接点24Aは閉とな
り、回路切替スイッチが構成される。
【0027】(実施例4)図7は形状記憶合金管と光セ
ンサを組合せた無接点の温度スイッチを示し、プラスチ
ック、又はガラス等の送り側の光ファイバ30と受光側
の光ファイバ50を配置し、送り側光ファイバ30の外
周には形状記憶合金管21が、光ファイバ30と形状記
憶合金管の間には光ファイバの周囲に通常のばね材の形
状復帰ばね23が配設されている。作動温度は形状記憶
合金管を形成するNiとTiの合金組成で決まり、実施
例3に記した通りNi原子が51.0原子%から49.
0原子%残Ti合金において、Niが50.0原子%に
おいて逆変態点はほぼ60℃であり、Niの組成比が高
くなると、低温側に移動する故、NiとTiとの組成比
を適宜選択することにより所望する温度スイッチを構成
し得る。
【0028】本発明による温度スイッチは受光側光ファ
イバ50に送り側の光フアイバ30の光40が受光され
るかどうかで温度変化を検出するもので、本実施例の温
度スイッチでは送り側の光ファイバの最外周に温度を検
知する形状記憶合金管21を配置した構造であり、形状
記憶合金管の肉厚が薄いので外温に感応し易く、又光が
受光されたかどうかを検知するのに電気を必要とせず、
接点の消耗や、放電等のおそれもない、安全性、信頼性
の高い温度スイッチとすることが出来る。なお図7に示
す構造の光ファイバを用いた温度スイッチは、外周を形
成する形状記憶合金管21の外周に図6に示す加熱部材
を取りつけることにより、光40を切替える時、加熱部
材に例えば通電することにより無接点スイッチを形成出
来る。
【0029】なお、本発明の実施例はNi−Ti系形状
記憶合金管(形状記憶合金の細管)を用いた例で示した
が、Ni−Ti系形状記憶合金管に限定されるものでな
く、他の形状記憶合金であるCu−Zn−Al系合金、
Cu−Ni−Al系合金、Fe−Mn−Si系合金、F
e−Ni−Cr系合金等の他の形状記憶合金管を用い本
発明を実施し得ることは当然である。
【0030】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を有する。長
尺の形状記憶合金管を用いたアクチュエータであるの
で、管の内径内に温液と冷液とを切替えて流すか、形状
記憶合金管の外周に電熱帯等の加熱部材を取りつけるの
みで、構造が簡単なアクチュエータを構成できる。形状
記憶合金管の肉厚が薄いのでアクチュエータを形成する
形状記憶合金を作動させるときの、温度変化に対応した
応答速度が速くなり、アクチュエータの作動速度が速い
温度スイッチや回路切替スイッチとすることが出来る。
形状記憶合金管は肉厚は薄いが、変形に伴う有効な外径
表面の降伏応力が大きいので、中空で軽量であるにかか
わらずアクチュエータとして大きな駆動力が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による形状記憶合金管を用いたアクチュ
エータを示す図で、図1の(a)は側面図、図1の
(b)は平面図、図1の(c)は記憶された形状に復帰
しアクチュエータとして作動している時の側面図。
【図2】アクチュエータとして作動する形状記憶合金管
の内部に液体を供給する構成を示す図で、図2(a)は
1本の形状記憶合金管の内部に樹脂チューブを挿入し液
体を供給する構造を示す断面図。図2の(b)は形状記
憶合金管を2本並列に並べ、先端をU字管で接続した構
造を示す平面図。
【図3】図1に示すアクチュエータを複数個並べた多関
節手を駆動する装置の配置図。
【図4】図1に示すアクチュエータで、手の形状を形成
した多関節手の外観斜視図。
【図5】形状記憶合金管と形状復帰ばねとを組合せた温
度スイッチ及び過電流スイッチを示す図で、図5の
(a)は室温の通常状態における外観斜視図、図5の
(b)は作動時の外観斜視図、図5の(c)はアクチュ
エータ部分の縦断面図。
【図6】形状記憶合金管と形状復帰ばねを組合せた回路
切替スイッチの外観斜視図。
【図7】形状記憶合金管と形状復帰ばねを組込んだ送光
光ファイバと、受光光ファイバとからなる温度スイッチ
の外観斜視図。
【符号の説明】
1,1a,1b,1c,21 形状記憶合金管 2,23 形状復帰ばね 3 把持部材 4 シリコンチューブ 5 指のアクチュエータ 6 3方弁 7 プログラムコントローラ 8 分岐盤 9 温液槽 10 多関節手 11 冷液槽 12 排水 13 ポンプ 22,26 導体 24A,24B,24C 接点 25 電気絶縁フィルム 27 加熱部材 30 光ファイバ(送光側) 40 光 50 光ファイバ(受光側)
フロントページの続き (72)発明者 間宮 洋一 宮城県仙台市太白区郡山6丁目7番1号 株式会社トーキン内 (72)発明者 幸野 憲雄 宮城県仙台市太白区郡山6丁目7番1号 株式会社トーキン内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 予め形状記憶処理を施した形状記憶合金
    管と通常ばね材を用いた形状復帰ばねとを機械的に一体
    に組合せ、前記形状記憶合金管内に加温又は冷却した液
    体を流通するか、表面に加熱部材を密接するか、又は形
    状記憶合金管内に設けた発熱体の発熱等の加熱と冷却の
    手段とにより、形状の変形と復帰を行うよう構成したこ
    とを特徴とするアクチュエータ。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のアクチュエータにおい
    て、形状記憶合金管は先端をU字形管で連結した平行往
    復する形状記憶合金管からなることを特徴とするアクチ
    ュエータ。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のアクチュエータにおい
    て、形状記憶合金管は1本の形状記憶合金管の内径内に
    液体を送る細管を設けてなることを特徴とするアクチュ
    エータ。
  4. 【請求項4】 直列に並べ互いに分離した複数個の側面
    がT字形で上面が長方形をした把持部材と、前記把持部
    材のT字形の上部で複数の把持部材を連接する通常ばね
    と、把持部材のT字の下部を貫通し連結する内径内を往
    復する液体を流通する予め形状記憶処理を施した形状記
    憶合金管とからなり、形状記憶合金管内に流れる液温に
    より把持部材を間にして関節が折れ曲がるように作動
    し、又伸長する多関節動作を行うよう構成したことを特
    徴とするアクチュエータ。
  5. 【請求項5】 複数個の多関節動作を行うアクチュエー
    タと、該アクチュエータ毎に配置された温液と冷液の供
    給を制御する3方弁と、該3方弁の動作順序を制御する
    プログラムコントローラと、3方弁に温液と冷液を供給
    するポンプに供給する温液槽と冷液槽とにより構成され
    制御してなることを特徴とする多関節手。
  6. 【請求項6】 形状記憶処理を施した形状記憶合金管と
    該形状記憶合金管内の内径内に電気絶縁フィルムを介挿
    して形状復帰ばねを一体に成形した導体を挿入し、前記
    導体先端の面に設けた接点と、該接点に対向する接点を
    設けた導体により周囲温度を昇温又は降下させ、前記対
    向する接点を開閉するように形成してなる温度スイッチ
    及び過電流スイッチ。
  7. 【請求項7】 形状記憶処理を施した形状記憶合金管の
    内径内に同心円状に配置した形状復帰ばねと該形状復帰
    ばねの内径の中心に光ファイバを挿通して、空隙を間に
    対向する2つの光ファイバを配置して周囲温度の昇温と
    降下により、前記対向する光ファイバ間の光の伝達をオ
    ン・オフするよう形成してなることを特徴とする温度ス
    イッチ。
  8. 【請求項8】 表面上に加熱部材を密接した形状記憶
    処理を施した形状記憶合金管の内径内に、電気絶縁フィ
    ルムを介挿して形状復帰ばねと一体に成形した導体を挿
    入し、前記導体面の先端対向両面に接点を取りつけ、該
    接点に対向して離れた2つの位置に、前記接点に対向し
    て接点を取りつけた2つの導体とにより加熱部材を加
    熱、冷却するよう構成してなることを特徴とする回路切
    替スイッチ。
JP15415993A 1993-05-31 1993-05-31 アクチュエータ、並びにそれを用いた多関節手、温度スイッチ、過電流スイッチ、回路切替スイッチ Pending JPH06339887A (ja)

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