JPH06334388A - 薄板状基板の移送装置 - Google Patents
薄板状基板の移送装置Info
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- JPH06334388A JPH06334388A JP11579893A JP11579893A JPH06334388A JP H06334388 A JPH06334388 A JP H06334388A JP 11579893 A JP11579893 A JP 11579893A JP 11579893 A JP11579893 A JP 11579893A JP H06334388 A JPH06334388 A JP H06334388A
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント基板Ａ等の薄板状基板を、真空吸着
パット１２ａ付きコレットヘッド１２にて、作業テーブ
ル２の上面から排出側マガジン台１０等の隣接ステージ
に移送する場合において、前記作業テーブルの上面で前
記薄板状基板が割れた場合に、その割れ片の全てを、前
記作業テーブルの上面から自動的に除去できるようにす
る。 【構成】 作業テーブル２上面における薄板状基板の割
れを検出し、この割れ信号に基づいて、先づ前記コレッ
トヘッド１２が作業テーブル２の上面の薄板状基板を真
空吸着して上昇し、前記コレットヘッドの略真下に割れ
片受けボックス３を位置したのち前記薄板状基板の真空
吸着を解除し、次いで、前記空気ノズル１３から前記作
業テーブル２の上面に空気を吹き出す。
パット１２ａ付きコレットヘッド１２にて、作業テーブ
ル２の上面から排出側マガジン台１０等の隣接ステージ
に移送する場合において、前記作業テーブルの上面で前
記薄板状基板が割れた場合に、その割れ片の全てを、前
記作業テーブルの上面から自動的に除去できるようにす
る。 【構成】 作業テーブル２上面における薄板状基板の割
れを検出し、この割れ信号に基づいて、先づ前記コレッ
トヘッド１２が作業テーブル２の上面の薄板状基板を真
空吸着して上昇し、前記コレットヘッドの略真下に割れ
片受けボックス３を位置したのち前記薄板状基板の真空
吸着を解除し、次いで、前記空気ノズル１３から前記作
業テーブル２の上面に空気を吹き出す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミック製プリント
基板等の薄板状基板を、当該薄板状基板に対してトリミ
ング等の各種の加工を施すための作業テーブルから、次
の作業テーブル又は搬送台或いはマガジン等の隣接ステ
ージに移送する装置に関するものである。
基板等の薄板状基板を、当該薄板状基板に対してトリミ
ング等の各種の加工を施すための作業テーブルから、次
の作業テーブル又は搬送台或いはマガジン等の隣接ステ
ージに移送する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、セラミック製のプリント基板に
対して各種の加工を施すに際しては、これを作業テーブ
ルの上面に載せたのち、この作業テーブルの上面に対し
て、当該上面に開口する複数個の真空吸引孔による真空
吸着によって固着し、この状態で、当該プリント基板に
対してトリミング等の各種の加工を施し、次いで、作業
テーブルに対する真空吸着を解除したのち、前記作業テ
ーブルから、隣接ステージに移送することが行なわれ
る。
対して各種の加工を施すに際しては、これを作業テーブ
ルの上面に載せたのち、この作業テーブルの上面に対し
て、当該上面に開口する複数個の真空吸引孔による真空
吸着によって固着し、この状態で、当該プリント基板に
対してトリミング等の各種の加工を施し、次いで、作業
テーブルに対する真空吸着を解除したのち、前記作業テ
ーブルから、隣接ステージに移送することが行なわれ
る。
【０００３】この場合において、従来の移送装置におい
ては、前記作業テーブルの上面において各種の加工を完
了したプリント基板を、前記作業テーブルと、隣接ステ
ージとの間を往復動する真空吸着式のコレットヘッドに
て持ち上げて、隣接ステージに移送するように構成して
いる。
ては、前記作業テーブルの上面において各種の加工を完
了したプリント基板を、前記作業テーブルと、隣接ステ
ージとの間を往復動する真空吸着式のコレットヘッドに
て持ち上げて、隣接ステージに移送するように構成して
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記プリン
ト基板に対するトリミング等の各種の加工を、作業テー
ブルの上面において施すに際しては、前記プリント基板
に割れが発生することがある。しかし、従来の移送装置
では、プリント基板が割れた場合に、この割れ片を、真
空吸着式のコレットヘッドによって、そのまま隣接ステ
ージに移送すると言う問題がある。
ト基板に対するトリミング等の各種の加工を、作業テー
ブルの上面において施すに際しては、前記プリント基板
に割れが発生することがある。しかし、従来の移送装置
では、プリント基板が割れた場合に、この割れ片を、真
空吸着式のコレットヘッドによって、そのまま隣接ステ
ージに移送すると言う問題がある。
【０００５】しかも、従来の移送装置では、プリント基
板が割れた場合に、この割れ片のうち比較的大きい割れ
片のみしか作業テーブルの上面より取り除くことができ
ず、作業テーブルの上面には、一部の細かい割れ片が残
り、次のプリント基板を作業テーブルの上面に載せたと
きに、当該次のプリント基板に対する加工が不能になる
と共に、この次のプリント基板が割れることになるか
ら、プリント基板が作業テーブルの上面において割れた
場合には、これを割れ検出手段にて関知して、装置の運
転を一旦停止し、前記作業テーブルの上面における割れ
片の全てを、作業者によって取り除くようにしなければ
ならないと言う問題があった。
板が割れた場合に、この割れ片のうち比較的大きい割れ
片のみしか作業テーブルの上面より取り除くことができ
ず、作業テーブルの上面には、一部の細かい割れ片が残
り、次のプリント基板を作業テーブルの上面に載せたと
きに、当該次のプリント基板に対する加工が不能になる
と共に、この次のプリント基板が割れることになるか
ら、プリント基板が作業テーブルの上面において割れた
場合には、これを割れ検出手段にて関知して、装置の運
転を一旦停止し、前記作業テーブルの上面における割れ
片の全てを、作業者によって取り除くようにしなければ
ならないと言う問題があった。
【０００６】本発明は、プリント基板等の薄板状基板
が、その作業テーブルの上面において割れた場合に、割
れ片の全てを、次の作業テーブル等の隣接ステージに移
送することなく、前記作業テーブルの上面から自動的に
取り除くことができるようにした装置を提供することを
技術的課題とするものである。
が、その作業テーブルの上面において割れた場合に、割
れ片の全てを、次の作業テーブル等の隣接ステージに移
送することなく、前記作業テーブルの上面から自動的に
取り除くことができるようにした装置を提供することを
技術的課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、プリント基板等の薄板状基板を載せる
ようにした作業テーブルの上方に、複数個の真空吸着パ
ットを備えた上下動式のコレットヘッドを、当該作業テ
ーブルとこれに隣接するステージとの間を往復動するよ
うに配設して成る移送装置において、前記作業テーブル
を、往復台に取付けて、この往復台に上面開放型の割れ
片受けボックスを取付ける一方、前記作業テーブルに
は、前記薄板状基板に対する割れ検出手段と、当該作業
テーブルの上面に対する空気吹き出し用の空気ノズルと
を設け、更に、前記割れ検出手段による割れ信号に基づ
いて、前記コレットヘッド、往復台及び空気ノズルを、
先づ前記コレットヘッドが作業テーブルの上面の薄板状
基板を真空吸着して上昇し、前記往復台がその割れ片受
けボックスを前記コレットヘッドの略真下に位置するよ
うに移動したのち前記薄板状基板の真空吸着を解除し、
次いで、前記空気ノズルから空気を吹き出すように制御
するコントローラを設ける構成にした。
るため本発明は、プリント基板等の薄板状基板を載せる
ようにした作業テーブルの上方に、複数個の真空吸着パ
ットを備えた上下動式のコレットヘッドを、当該作業テ
ーブルとこれに隣接するステージとの間を往復動するよ
うに配設して成る移送装置において、前記作業テーブル
を、往復台に取付けて、この往復台に上面開放型の割れ
片受けボックスを取付ける一方、前記作業テーブルに
は、前記薄板状基板に対する割れ検出手段と、当該作業
テーブルの上面に対する空気吹き出し用の空気ノズルと
を設け、更に、前記割れ検出手段による割れ信号に基づ
いて、前記コレットヘッド、往復台及び空気ノズルを、
先づ前記コレットヘッドが作業テーブルの上面の薄板状
基板を真空吸着して上昇し、前記往復台がその割れ片受
けボックスを前記コレットヘッドの略真下に位置するよ
うに移動したのち前記薄板状基板の真空吸着を解除し、
次いで、前記空気ノズルから空気を吹き出すように制御
するコントローラを設ける構成にした。
【０００８】
【作 用】この構成において、作業テーブルの上面に
載せた薄板状基板に対するトリミング等の加工を完了す
ると、この薄板状基板は、複数個の真空吸着パットを備
えた上下動式コレットヘッドにて、前記作業テーブルに
隣接するステージに移送される。
載せた薄板状基板に対するトリミング等の加工を完了す
ると、この薄板状基板は、複数個の真空吸着パットを備
えた上下動式コレットヘッドにて、前記作業テーブルに
隣接するステージに移送される。
【０００９】そして、前記作業テーブルの上面におい
て、薄板状基板に割れが発生すると、この割れが割れ検
出手段にて検出される。すると、この割れ検出手段によ
る割れ信号に基づいて、先づ、前記コレットヘッドが、
前記作業テーブルの上面における薄板状基板を真空吸着
して上昇動し、次いで、往復台が、その割れ片受けボッ
クスを前記コレットヘッドの略真下に位置するように移
動したのち前記薄板状基板の真空吸着を解除することに
より、前記作業テーブル上面の薄板状基板における割れ
片のうち比較的大きい割れ片は、作業テーブルの上面か
ら割れ片受けボックスに入るように除去される。
て、薄板状基板に割れが発生すると、この割れが割れ検
出手段にて検出される。すると、この割れ検出手段によ
る割れ信号に基づいて、先づ、前記コレットヘッドが、
前記作業テーブルの上面における薄板状基板を真空吸着
して上昇動し、次いで、往復台が、その割れ片受けボッ
クスを前記コレットヘッドの略真下に位置するように移
動したのち前記薄板状基板の真空吸着を解除することに
より、前記作業テーブル上面の薄板状基板における割れ
片のうち比較的大きい割れ片は、作業テーブルの上面か
ら割れ片受けボックスに入るように除去される。
【００１０】次いで、前記作業テーブルの上面に対し
て、空気ノズルから空気が吹き出されることにより、前
記割れ片のうちコレットヘッドによって真空吸着されな
かった残りの割れ片の全てを、作業テーブルの上面から
完全に除去することができるのであり、この割れ片の除
去を完了すると、通常の移送状態に復帰するのである。
て、空気ノズルから空気が吹き出されることにより、前
記割れ片のうちコレットヘッドによって真空吸着されな
かった残りの割れ片の全てを、作業テーブルの上面から
完全に除去することができるのであり、この割れ片の除
去を完了すると、通常の移送状態に復帰するのである。
【００１１】
【発明の効果】従って、本発明によると、作業テーブル
の上面に載せたプリント基板等の薄板状基板を、前記作
業テーブルからこれに隣接するステージに移送するに際
して、この薄板状基板が前記作業テーブルの上面におい
て割れた場合において、その割れ片の全てを作業テーブ
ルの上面から隣接のステージ以外の箇所に自動的に除去
することができるから、隣接のステージに、前記薄板状
基板の割れ片が移送されることを確実に防止できると共
に、前記薄板状基板に割れが発生した都度、装置の運転
を停止する必要がなくて、その作業能率を大幅は向上で
きる効果を有する。
の上面に載せたプリント基板等の薄板状基板を、前記作
業テーブルからこれに隣接するステージに移送するに際
して、この薄板状基板が前記作業テーブルの上面におい
て割れた場合において、その割れ片の全てを作業テーブ
ルの上面から隣接のステージ以外の箇所に自動的に除去
することができるから、隣接のステージに、前記薄板状
基板の割れ片が移送されることを確実に防止できると共
に、前記薄板状基板に割れが発生した都度、装置の運転
を停止する必要がなくて、その作業能率を大幅は向上で
きる効果を有する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面について説明
する。図において符号１は、図示しない往復動機構によ
って往復動される往復台を示し、この往復台１の上面に
は、上面に開口する複数個の真空吸引孔２ａを備えた作
業テーブル２と、上面開放型の割れ片受けボックス３と
が搭載されている。また、前記作業テーブル２における
各真空吸引孔２ａは、開閉弁４と大気開放弁５とを備え
た真空通路６を介して真空ポンプ７等の真空発生源に接
続され、更に、この真空通路６には、真空計８が接続さ
れている。
する。図において符号１は、図示しない往復動機構によ
って往復動される往復台を示し、この往復台１の上面に
は、上面に開口する複数個の真空吸引孔２ａを備えた作
業テーブル２と、上面開放型の割れ片受けボックス３と
が搭載されている。また、前記作業テーブル２における
各真空吸引孔２ａは、開閉弁４と大気開放弁５とを備え
た真空通路６を介して真空ポンプ７等の真空発生源に接
続され、更に、この真空通路６には、真空計８が接続さ
れている。
【００１３】前記作業テーブル２の左右両側には、複数
枚のプリント基板Ａを積み重ねた状態でストックした供
給側マガジン台９と、排出側マガジン台１０が配設さ
れ、前記供給側マガジン台９における各プリント基板Ａ
は、この供給側マガジン台９と前記作業テーブル２との
間を往復動する真空吸着式の供給側コレットヘッド１１
によって、矢印Ｂで示すように、前記作業テーブル２の
上面に対して一枚ずつ供給されて、この作業テーブル２
の上面において、当該プリント基板Ａに対するトリミン
グ等の各種の加工を施すように構成されている。
枚のプリント基板Ａを積み重ねた状態でストックした供
給側マガジン台９と、排出側マガジン台１０が配設さ
れ、前記供給側マガジン台９における各プリント基板Ａ
は、この供給側マガジン台９と前記作業テーブル２との
間を往復動する真空吸着式の供給側コレットヘッド１１
によって、矢印Ｂで示すように、前記作業テーブル２の
上面に対して一枚ずつ供給されて、この作業テーブル２
の上面において、当該プリント基板Ａに対するトリミン
グ等の各種の加工を施すように構成されている。
【００１４】この加工に際して、前記作業テーブル２の
上面に載せたプリント基板Ａは、前記真空通路６におけ
る開閉弁４を開く一方、大気開放弁５を閉じることによ
って、作業テーブル２の上面に対して真空吸着され、加
工が完了すると、前記真空通路６における開閉弁４を閉
じる一方、大気開放弁５を開くことによって、作業テー
ブル２の上面に対する真空吸着を解除するように構成さ
れている。
上面に載せたプリント基板Ａは、前記真空通路６におけ
る開閉弁４を開く一方、大気開放弁５を閉じることによ
って、作業テーブル２の上面に対して真空吸着され、加
工が完了すると、前記真空通路６における開閉弁４を閉
じる一方、大気開放弁５を開くことによって、作業テー
ブル２の上面に対する真空吸着を解除するように構成さ
れている。
【００１５】一方、作業テーブル２の上方に、複数個の
真空吸着パット１２ａを備えた上下動式のコレットヘッ
ド１２を、当該作業テーブル２と、これに隣接する排出
側マガジン台１０との間を往復動するように配設して、
このコレットヘッド１２によって、前記作業テーブル２
の上面におけるプリント基板Ａを、矢印Ｃで示すよう
に、作業テーブル２の上面から排出側マガジン台１０に
移送するように構成されている。
真空吸着パット１２ａを備えた上下動式のコレットヘッ
ド１２を、当該作業テーブル２と、これに隣接する排出
側マガジン台１０との間を往復動するように配設して、
このコレットヘッド１２によって、前記作業テーブル２
の上面におけるプリント基板Ａを、矢印Ｃで示すよう
に、作業テーブル２の上面から排出側マガジン台１０に
移送するように構成されている。
【００１６】符号１３は、前記作業テーブル２の上面に
対して空気を吹き付けるように空気ノズルを示し、この
空気ノズル１３には、電磁式の開閉弁１４が設けられて
いる。そして、符号１５は、コントローラを示し、この
コントローラ１５は、前記真空通路６における真空計８
からの信号を入力として、前記往復台１及び前記コレッ
トヘッド１２並びに前記空気ノズル１３の電磁式開閉弁
１４を、以下に述べるように制御するものである。
対して空気を吹き付けるように空気ノズルを示し、この
空気ノズル１３には、電磁式の開閉弁１４が設けられて
いる。そして、符号１５は、コントローラを示し、この
コントローラ１５は、前記真空通路６における真空計８
からの信号を入力として、前記往復台１及び前記コレッ
トヘッド１２並びに前記空気ノズル１３の電磁式開閉弁
１４を、以下に述べるように制御するものである。
【００１７】すなわち、作業テーブル２の上面に載せた
プリント基板Ａを、作業テーブル２の上面に対して複数
個の真空吸引孔２ａにて真空吸着した場合、このプリン
ト基板Ａが割れているときには、前記真空吸引孔２ａか
らの大気空気の吸い込みが多くなって、その真空度が、
プリント基板Ａが割れていない場合よりも低くなるか
ら、これによって前記プリント基板Ａが割れているか否
かを判断し、プリント基板Ａが割れている場合には、先
づ前記コレットヘッド１２が作業テーブル２の上面にお
けるプリント基板Ａを真空吸着して上昇し、次いで、図
４に示すように、前記往復台１がその割れ片受けボック
スを３前記コレットヘッド１２の略真下に位置するよう
に移動したのち前記コレットヘッド１２におけるプリン
ト基板Ａの真空吸着を解除し、そして、前記空気ノズル
１３における電磁式開閉弁１４を適宜時間だけ開くよう
に制御するのである。
プリント基板Ａを、作業テーブル２の上面に対して複数
個の真空吸引孔２ａにて真空吸着した場合、このプリン
ト基板Ａが割れているときには、前記真空吸引孔２ａか
らの大気空気の吸い込みが多くなって、その真空度が、
プリント基板Ａが割れていない場合よりも低くなるか
ら、これによって前記プリント基板Ａが割れているか否
かを判断し、プリント基板Ａが割れている場合には、先
づ前記コレットヘッド１２が作業テーブル２の上面にお
けるプリント基板Ａを真空吸着して上昇し、次いで、図
４に示すように、前記往復台１がその割れ片受けボック
スを３前記コレットヘッド１２の略真下に位置するよう
に移動したのち前記コレットヘッド１２におけるプリン
ト基板Ａの真空吸着を解除し、そして、前記空気ノズル
１３における電磁式開閉弁１４を適宜時間だけ開くよう
に制御するのである。
【００１８】この構成において、作業テーブル２の上面
に載せたプリント基板Ａに対するトリミング等の加工を
完了すると、このプリント基板Ａは、複数個の真空吸着
パット１２ａを備えた上下動式コレットヘッド１２に
て、前記作業テーブル２の上面から排出側マガジン台１
０に移送される。そして、前記作業テーブル２の上面に
おいて、プリント基板Ａに割れが発生すると、この割れ
が、真空計８の真空度が高くならないことによって検出
される。
に載せたプリント基板Ａに対するトリミング等の加工を
完了すると、このプリント基板Ａは、複数個の真空吸着
パット１２ａを備えた上下動式コレットヘッド１２に
て、前記作業テーブル２の上面から排出側マガジン台１
０に移送される。そして、前記作業テーブル２の上面に
おいて、プリント基板Ａに割れが発生すると、この割れ
が、真空計８の真空度が高くならないことによって検出
される。
【００１９】すると、この割れ信号に基づいて、先づ、
前記コレットヘッド１２が、前記作業テーブル２の上面
におけるプリント基板Ａを真空吸着して上昇動し、次い
で、往復台１が、その割れ片受けボックス３を前記コレ
ットヘッド１２の略真下に位置するように移動したのち
前記コレットヘッド１２におけるプリント基板Ａの真空
吸着を解除することにより、前記作業テーブル２の上面
に割れたプリント基板Ａの割れ片のうち比較的大きい割
れ片は、作業テーブル２の上面から割れ片受けボックス
３に入るように除去される。
前記コレットヘッド１２が、前記作業テーブル２の上面
におけるプリント基板Ａを真空吸着して上昇動し、次い
で、往復台１が、その割れ片受けボックス３を前記コレ
ットヘッド１２の略真下に位置するように移動したのち
前記コレットヘッド１２におけるプリント基板Ａの真空
吸着を解除することにより、前記作業テーブル２の上面
に割れたプリント基板Ａの割れ片のうち比較的大きい割
れ片は、作業テーブル２の上面から割れ片受けボックス
３に入るように除去される。
【００２０】次いで、前記作業テーブル２の上面に対し
て、空気ノズル１３から空気が吹き出されることによ
り、前記割れ片のうちコレットヘッド１２によって真空
吸着されなかった残りの割れ片の全てを、作業テーブル
２の上面から完全に除去することができるのであり、こ
の割れ片の除去を完了すると、通常の移送状態に復帰す
るのである。
て、空気ノズル１３から空気が吹き出されることによ
り、前記割れ片のうちコレットヘッド１２によって真空
吸着されなかった残りの割れ片の全てを、作業テーブル
２の上面から完全に除去することができるのであり、こ
の割れ片の除去を完了すると、通常の移送状態に復帰す
るのである。
【００２１】なお、前記実施例は、プリント基板に適用
した場合を示したが、本発明は、ガラス基板等のその他
の割れ易い基板に対しても適用できることは言うまでも
なく、また、前記実施例のように、プリント基板Ａ等の
薄板状基板を、作業テーブル２から排出側マガジン台１
０に移送することに代えて、作業テーブル２から次の作
業テーブル又は搬出台等の隣接するステージに移送する
場合にも適用できるのである。
した場合を示したが、本発明は、ガラス基板等のその他
の割れ易い基板に対しても適用できることは言うまでも
なく、また、前記実施例のように、プリント基板Ａ等の
薄板状基板を、作業テーブル２から排出側マガジン台１
０に移送することに代えて、作業テーブル２から次の作
業テーブル又は搬出台等の隣接するステージに移送する
場合にも適用できるのである。
【図１】本発明の実施例を示す斜視図である。
【図２】図１のII−II視拡大断面図である。
【図３】図１のIII −III 視拡大断面図である。
【図４】作用状態を示す図である。
Ａ プリント基板 １ 往復台 ２ 作業テーブル ２ａ 真空吸引孔 ３ 割れ片受けボックス ７ 真空ポンプ ９ 供給側マガジン台 １０ 排出側マガジン台 １１ 供給用コレットヘッド １２ コレットヘッド １２ａ 真空吸着パット １３ 空気ノズル １４ 電磁式開閉弁 １５ コントローラ
Claims (1)
- 【請求項１】プリント基板等の薄板状基板を載せるよう
にした作業テーブルの上方に、複数個の真空吸着パット
を備えた上下動式のコレットヘッドを、当該作業テーブ
ルとこれに隣接するステージとの間を往復動するように
配設して成る移送装置において、前記作業テーブルを、
往復台に取付けて、この往復台に上面開放型の割れ片受
けボックスを取付ける一方、前記作業テーブルには、前
記薄板状基板に対する割れ検出手段と、当該作業テーブ
ルの上面に対する空気吹き出し用の空気ノズルとを設
け、更に、前記割れ検出手段による割れ信号に基づい
て、前記コレットヘッド、往復台及び空気ノズルを、先
づ前記コレットヘッドが作業テーブルの上面の薄板状基
板を真空吸着して上昇し、前記往復台がその割れ片受け
ボックスを前記コレットヘッドの略真下に位置するよう
に移動したのち前記薄板状基板の真空吸着を解除し、次
いで、前記空気ノズルから空気を吹き出すように制御す
るコントローラを設けたことを特徴とする薄板状基板の
移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11579893A JP3155861B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 薄板状基板の移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11579893A JP3155861B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 薄板状基板の移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06334388A true JPH06334388A (ja) | 1994-12-02 |
| JP3155861B2 JP3155861B2 (ja) | 2001-04-16 |
Family
ID=14671348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11579893A Expired - Fee Related JP3155861B2 (ja) | 1993-05-18 | 1993-05-18 | 薄板状基板の移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3155861B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130025572A1 (en) * | 2011-07-27 | 2013-01-31 | Mitsubishi Electric Corporation | Vehicle fuel supply system |
| JP2017140663A (ja) * | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101424802B1 (ko) | 2012-11-27 | 2014-07-29 | 에스티엑스조선해양 주식회사 | 단열 보드의 취출공정용 자동화장치 |
-
1993
- 1993-05-18 JP JP11579893A patent/JP3155861B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20130025572A1 (en) * | 2011-07-27 | 2013-01-31 | Mitsubishi Electric Corporation | Vehicle fuel supply system |
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| JP2017140663A (ja) * | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3155861B2 (ja) | 2001-04-16 |
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