JPH06331851A - 光ファイバ固定構造 - Google Patents
光ファイバ固定構造Info
- Publication number
- JPH06331851A JPH06331851A JP12421693A JP12421693A JPH06331851A JP H06331851 A JPH06331851 A JP H06331851A JP 12421693 A JP12421693 A JP 12421693A JP 12421693 A JP12421693 A JP 12421693A JP H06331851 A JPH06331851 A JP H06331851A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grooves
- optical fibers
- optical fiber
- optical
- width
- Prior art date
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- Pending
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- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数本の光ファイバを正確な配列ピッチで固
定することができる光ファイバ固定構造を提供する。 【構成】 支持部材に光ファイバの直径より狭い幅を持
つ溝を複数本形成し、各溝のエッジ部に光ファイバの周
面を２点で線接触させて支持する構造とした。
定することができる光ファイバ固定構造を提供する。 【構成】 支持部材に光ファイバの直径より狭い幅を持
つ溝を複数本形成し、各溝のエッジ部に光ファイバの周
面を２点で線接触させて支持する構造とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は例えば光集積回路に複
数本の光ファイバを光学的に結合させる場合に用いるこ
とができる光ファイバ固定構造に関する。
数本の光ファイバを光学的に結合させる場合に用いるこ
とができる光ファイバ固定構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】基板内に複数の光学素子を形成した光集
積回路が実用されている。光集積回路には基板の側面に
入力光及び出力光を受授するための入出力用光導波路の
接続端部が複数設けられ、これら入出力用光導波路に光
ファイバを光学的に結合させて動作させている。
積回路が実用されている。光集積回路には基板の側面に
入力光及び出力光を受授するための入出力用光導波路の
接続端部が複数設けられ、これら入出力用光導波路に光
ファイバを光学的に結合させて動作させている。
【０００３】入出力用光導波路の接続端部は所定の間隔
で光集積回路基板の側面に形成される。従ってこれら光
導波路に光学的に結合する光ファイバも同一の間隔を保
持して光集積回路基板の外部において支持する必要があ
る。図５及び図６に従来の光ファイバ固定構造を示す。
図５の例では例えばセラミック或はガラス等によって構
成される支持部材１の面に矩形状の凹溝２を必要本数分
形成し、この凹溝２に光ファイバ３を収納させて位置決
めし、固定する構造としたものである。
で光集積回路基板の側面に形成される。従ってこれら光
導波路に光学的に結合する光ファイバも同一の間隔を保
持して光集積回路基板の外部において支持する必要があ
る。図５及び図６に従来の光ファイバ固定構造を示す。
図５の例では例えばセラミック或はガラス等によって構
成される支持部材１の面に矩形状の凹溝２を必要本数分
形成し、この凹溝２に光ファイバ３を収納させて位置決
めし、固定する構造としたものである。
【０００４】図６は支持部材１としてシリコンを用い、
このシリコンから成る支持部材１の面に異方性エッチン
グの手法によりＶ溝４を形成し、このＶ溝４の斜面によ
って光ファイバ３を位置決めする構造としたものであ
る。これら何れの構造を採る場合も、図中矢印Ｊで示す
方向の押え機構を設けることにより、光ファイバ３の保
持が確実なものとなる。また接着剤等により恒久的に固
定することもある。更に光ファイバ３の端面を支持部材
１と共に光学研磨することもある。
このシリコンから成る支持部材１の面に異方性エッチン
グの手法によりＶ溝４を形成し、このＶ溝４の斜面によ
って光ファイバ３を位置決めする構造としたものであ
る。これら何れの構造を採る場合も、図中矢印Ｊで示す
方向の押え機構を設けることにより、光ファイバ３の保
持が確実なものとなる。また接着剤等により恒久的に固
定することもある。更に光ファイバ３の端面を支持部材
１と共に光学研磨することもある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図５に示した矩形状の
凹溝２によって光ファイバ３を位置決めする構造の場
合、凹溝２の幅を精度よく形成したとしても、凹溝２の
幅を光ファイバ３の直径に全く等しい状態で形成するこ
とはむずかしい。つまり一般には凹溝２の幅を光ファイ
バの直径よりわずかに大きく形成する。このため光ファ
イバ３は凹溝２内で遊びＧが発生し、正確に位置決めす
ることはむずかしい。つまり光集積回路の入出力用光導
波路と正確に位置合せすることがむずかしい不都合が生
じる。
凹溝２によって光ファイバ３を位置決めする構造の場
合、凹溝２の幅を精度よく形成したとしても、凹溝２の
幅を光ファイバ３の直径に全く等しい状態で形成するこ
とはむずかしい。つまり一般には凹溝２の幅を光ファイ
バの直径よりわずかに大きく形成する。このため光ファ
イバ３は凹溝２内で遊びＧが発生し、正確に位置決めす
ることはむずかしい。つまり光集積回路の入出力用光導
波路と正確に位置合せすることがむずかしい不都合が生
じる。
【０００６】図６の例のようにＶ溝４を形成する場合
は、Ｖ溝４を形成するために異方性エッチングが可能な
特定の材料に限定される。このため任意の材料を使用で
きない不都合が生じる。この発明の目的はコストの上昇
を抑え、然も光ファイバを精度よく位置決めすることが
できる光ファイバ固定構造を提案するものである。
は、Ｖ溝４を形成するために異方性エッチングが可能な
特定の材料に限定される。このため任意の材料を使用で
きない不都合が生じる。この発明の目的はコストの上昇
を抑え、然も光ファイバを精度よく位置決めすることが
できる光ファイバ固定構造を提案するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明では複数の光フ
ァイバを精密な間隔で固定する構造において、支持部材
１に光ファイバの直径より狭い幅の溝を複数本形成し、
各溝のエッジ部に光ファイバを２点で線接触させて支持
する構造としたものである。この発明の構造によれば溝
は矩形溝でもよいからＶ溝を形成する場合のように特定
の材料を用いる必要がない。また溝のエッジ部によって
光ファイバを線接触して支持する構造のため遊びが全く
発生しない。よって精度よく光ファイバの位置を規定す
ることができる。
ァイバを精密な間隔で固定する構造において、支持部材
１に光ファイバの直径より狭い幅の溝を複数本形成し、
各溝のエッジ部に光ファイバを２点で線接触させて支持
する構造としたものである。この発明の構造によれば溝
は矩形溝でもよいからＶ溝を形成する場合のように特定
の材料を用いる必要がない。また溝のエッジ部によって
光ファイバを線接触して支持する構造のため遊びが全く
発生しない。よって精度よく光ファイバの位置を規定す
ることができる。
【０００８】
【実施例】図１にこの発明の一実施例を示す。図中１は
支持部材を示す。この発明では支持部材１を例えばガラ
スのような一般的な材料を用いることができる。支持部
材１の面に光ファイバ３の直径より狭い幅Ｗを持つ溝５
を複数本形成する。この溝５は例えばダイシング・ソー
を使用して機械的に削り込んで形成する。この加工方法
で加工する溝５の幅Ｗはダイスの厚みで規定されるから
全ての溝の幅Ｗを均一に形成することができる。また各
溝５の相互の間の間隔つまり配列ピッチＰはダイシング
・ソーの移動ステージの精度で保証される。溝５の深さ
と内面形状は溝底部でのダイスの摩耗が著しいために不
均一になり易いが、エッジ部の平行度及び幅Ｗは均一と
なるからエッジ部ＥＧは光ファイバ３の周面に対して２
点で線接触し、光ファイバ３を精度よく配列して保持す
ることができる。図１は基本的な構造を表わすものであ
り、図の例では３本の光ファイバ３を所望の配列ピッチ
Ｐを保って保持することができる。
支持部材を示す。この発明では支持部材１を例えばガラ
スのような一般的な材料を用いることができる。支持部
材１の面に光ファイバ３の直径より狭い幅Ｗを持つ溝５
を複数本形成する。この溝５は例えばダイシング・ソー
を使用して機械的に削り込んで形成する。この加工方法
で加工する溝５の幅Ｗはダイスの厚みで規定されるから
全ての溝の幅Ｗを均一に形成することができる。また各
溝５の相互の間の間隔つまり配列ピッチＰはダイシング
・ソーの移動ステージの精度で保証される。溝５の深さ
と内面形状は溝底部でのダイスの摩耗が著しいために不
均一になり易いが、エッジ部の平行度及び幅Ｗは均一と
なるからエッジ部ＥＧは光ファイバ３の周面に対して２
点で線接触し、光ファイバ３を精度よく配列して保持す
ることができる。図１は基本的な構造を表わすものであ
り、図の例では３本の光ファイバ３を所望の配列ピッチ
Ｐを保って保持することができる。
【０００９】図２に示す実施例は図１に示した基本構造
を実用的にした実施例を示す。この実施例では例えばガ
ラスから成る押え板６によって上部から光ファイバ３を
押える構造としたものである。この構造により確実な固
定を実現することができる。図３に示す実施例は図２に
示した実施例の作業性を更に改善した構造としたもので
ある。つまり溝５を幅広の溝５Ａと光ファイバ３を固定
する固定用溝５Ｂの２段構造とし、幅広の溝５Ａは光フ
ァイバ３を固定溝５Ｂに誘導するための誘導用溝とし、
更に押え板６の両側にストッパ６Ａを突設した場合を示
す。この図３の構造とすることにより組立が容易に行な
える利点が得られる。図１乃至図３に示した実施例にお
いて、光ファイバ３を接着剤により恒久的に支持部材１
に固定することができる。また光ファイバ３の端面及び
支持板部１の端面を光学研磨して使用することができ
る。
を実用的にした実施例を示す。この実施例では例えばガ
ラスから成る押え板６によって上部から光ファイバ３を
押える構造としたものである。この構造により確実な固
定を実現することができる。図３に示す実施例は図２に
示した実施例の作業性を更に改善した構造としたもので
ある。つまり溝５を幅広の溝５Ａと光ファイバ３を固定
する固定用溝５Ｂの２段構造とし、幅広の溝５Ａは光フ
ァイバ３を固定溝５Ｂに誘導するための誘導用溝とし、
更に押え板６の両側にストッパ６Ａを突設した場合を示
す。この図３の構造とすることにより組立が容易に行な
える利点が得られる。図１乃至図３に示した実施例にお
いて、光ファイバ３を接着剤により恒久的に支持部材１
に固定することができる。また光ファイバ３の端面及び
支持板部１の端面を光学研磨して使用することができ
る。
【００１０】図４にこの発明による光ファイバ固定構造
を用いて光集積回路素子に結合した実用例を示す。図中
１０は光集積回路素子を示す。この光集積回路素子１０
は中央に光集積回路部１１が形成される。光集積回路部
１１は光学素子と、光電変換素子のような電気的な素子
が形成されて構成される。光集積回路部１１の一端側に
入出力用光導波路Ａ1 ，Ａ2 ，Ａ3 が形成され、他端側
に入出力用光導波路Ｂ 1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 が形成される。こ
れら光導波路Ａ1 〜Ａ3 及びＢ1 〜Ｂ3 の形成位置はＩ
Ｃ製造技術により精度よく形成される。これら各光導波
路Ａ1 〜Ａ3 及びＢ1 〜Ｂ3 に光ファイバの軸芯を光結
合させる場合に、この発明による光ファイバ固定構造を
適用することにより光ファイバ３の軸芯位置を光導波路
Ａ1 〜Ａ 3 及びＢ1 〜Ｂ3 の位置に正確に位置合せして
光結合させることができる。
を用いて光集積回路素子に結合した実用例を示す。図中
１０は光集積回路素子を示す。この光集積回路素子１０
は中央に光集積回路部１１が形成される。光集積回路部
１１は光学素子と、光電変換素子のような電気的な素子
が形成されて構成される。光集積回路部１１の一端側に
入出力用光導波路Ａ1 ，Ａ2 ，Ａ3 が形成され、他端側
に入出力用光導波路Ｂ 1 ，Ｂ2 ，Ｂ3 が形成される。こ
れら光導波路Ａ1 〜Ａ3 及びＢ1 〜Ｂ3 の形成位置はＩ
Ｃ製造技術により精度よく形成される。これら各光導波
路Ａ1 〜Ａ3 及びＢ1 〜Ｂ3 に光ファイバの軸芯を光結
合させる場合に、この発明による光ファイバ固定構造を
適用することにより光ファイバ３の軸芯位置を光導波路
Ａ1 〜Ａ 3 及びＢ1 〜Ｂ3 の位置に正確に位置合せして
光結合させることができる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば
光ファイバ３を溝５のエッジ部ＥＧによって線接触して
支持する構造としたから光ファイバ３をガタなく、支持
することができる。特に溝５の幅Ｗと、溝５の配列ピッ
チＰを正確に形成することにより複数の光ファイバ３の
位置を正確に規定することができ、これにより例えば光
集積回路素子１０等への結合を容易に実現することがで
きる実益が得られる。
光ファイバ３を溝５のエッジ部ＥＧによって線接触して
支持する構造としたから光ファイバ３をガタなく、支持
することができる。特に溝５の幅Ｗと、溝５の配列ピッ
チＰを正確に形成することにより複数の光ファイバ３の
位置を正確に規定することができ、これにより例えば光
集積回路素子１０等への結合を容易に実現することがで
きる実益が得られる。
【図１】この発明の一実施例を示す正面図。
【図２】この発明の実用的な実施例を示す正面図。
【図３】この発明の更に実用的な実施例を示す正面図。
【図４】この発明を光集積回路素子への結合に適用した
例を示す斜視図。
例を示す斜視図。
【図５】従来の技術を説明するための正面図。
【図６】従来の技術を説明するための正面図。
１ 支持部材 ３ 光ファイバ ５ 溝 ＥＧ エッジ部 Ｗ 溝の幅 Ｐ 溝の配列ピッチ ６ 押え板
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の光ファイバを精密な間隔で固定す
る構造において、支持部材に光ファイバの直径より狭い
幅の溝を複数本形成し、各溝のエッジ部に光ファイバの
周面を２点で線接触させて支持する構造としたことを特
徴とする光ファイバ固定構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12421693A JPH06331851A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 光ファイバ固定構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12421693A JPH06331851A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 光ファイバ固定構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06331851A true JPH06331851A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=14879876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12421693A Pending JPH06331851A (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 光ファイバ固定構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06331851A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1134599A1 (de) * | 2000-03-17 | 2001-09-19 | Alcatel | Integrierte Justagestruktur für auf optisches Modul auszurichtende Glasfaser |
| CN112612084A (zh) * | 2019-10-04 | 2021-04-06 | 财团法人工业技术研究院 | 测试装置与异质整合结构 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63228113A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-22 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 光結合素子及びその製造方法 |
| JPH0213909A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ハイブリッド光集積回路 |
| JPH02157805A (ja) * | 1988-12-12 | 1990-06-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ガイド付光導波路およびその製造方法 |
-
1993
- 1993-05-26 JP JP12421693A patent/JPH06331851A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63228113A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-22 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 光結合素子及びその製造方法 |
| JPH0213909A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ハイブリッド光集積回路 |
| JPH02157805A (ja) * | 1988-12-12 | 1990-06-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | ガイド付光導波路およびその製造方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1134599A1 (de) * | 2000-03-17 | 2001-09-19 | Alcatel | Integrierte Justagestruktur für auf optisches Modul auszurichtende Glasfaser |
| CN112612084A (zh) * | 2019-10-04 | 2021-04-06 | 财团法人工业技术研究院 | 测试装置与异质整合结构 |
| JP2021060569A (ja) * | 2019-10-04 | 2021-04-15 | 財團法人工業技術研究院Ｉｎｄｕｓｔｒｉａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ | テストデバイス及びヘテロジニアスに集積化した構造体 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19981013 |