JPH0632812B2 - 蒸留装置 - Google Patents
蒸留装置Info
- Publication number
- JPH0632812B2 JPH0632812B2 JP62226379A JP22637987A JPH0632812B2 JP H0632812 B2 JPH0632812 B2 JP H0632812B2 JP 62226379 A JP62226379 A JP 62226379A JP 22637987 A JP22637987 A JP 22637987A JP H0632812 B2 JPH0632812 B2 JP H0632812B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- steam
- water
- distiller
- distilled water
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
- Heat Treatment Of Water, Waste Water Or Sewage (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は清浄な蒸気及び蒸留水を取り出すための蒸留装
置に係り、特に半導体装置製造用の電子工業，医薬品製
造，医療に好適な高純度の蒸留装置に関するものであ
る。
置に係り、特に半導体装置製造用の電子工業，医薬品製
造，医療に好適な高純度の蒸留装置に関するものであ
る。
従来、不純物を含んだ水から純度の高い水や蒸気を作る
装置として、例えば「膜利用ハンドブツク」（幸書房，
昭和５３年発行）の１８０〜１８１頁に記載されている
ように蒸留法を用いた純水製造装置が公知である。一
方、近年では、半導体製造用の電子工業，医薬品製造，
医薬等への高純度の水の供給要求が高まつており超純水
製造装置が種々提案されている。この種の装置はイオン
交換樹脂、又は逆浸透膜で処理した原水を電熱ヒータや
蒸気により加熱して蒸気を発生させる蒸発装置と、この
蒸気を冷却媒体が通過する冷却管に接触させて凝縮させ
る凝縮器と、この凝縮器内の水を圧送するポンプ等を備
えたものである。
装置として、例えば「膜利用ハンドブツク」（幸書房，
昭和５３年発行）の１８０〜１８１頁に記載されている
ように蒸留法を用いた純水製造装置が公知である。一
方、近年では、半導体製造用の電子工業，医薬品製造，
医薬等への高純度の水の供給要求が高まつており超純水
製造装置が種々提案されている。この種の装置はイオン
交換樹脂、又は逆浸透膜で処理した原水を電熱ヒータや
蒸気により加熱して蒸気を発生させる蒸発装置と、この
蒸気を冷却媒体が通過する冷却管に接触させて凝縮させ
る凝縮器と、この凝縮器内の水を圧送するポンプ等を備
えたものである。
上記従来技術においては、原水をそのまま原料として加
熱し、水蒸気を発生させているため、純水でない原水中
の微粒子，溶存ガス，ＴＯＣ（全有機炭素）及び不純水
のミスト等の不純物が蒸気中に混入する。このためこの
蒸気をそのまま凝縮することにより、不純物が蒸気に混
入し、純度が低下するという問題があつた。
熱し、水蒸気を発生させているため、純水でない原水中
の微粒子，溶存ガス，ＴＯＣ（全有機炭素）及び不純水
のミスト等の不純物が蒸気中に混入する。このためこの
蒸気をそのまま凝縮することにより、不純物が蒸気に混
入し、純度が低下するという問題があつた。
また、発生した蒸気を冷却媒体により冷却させる際に発
生する蒸気潜熱を再利用しないため効率が低い、という
問題もあつた。
生する蒸気潜熱を再利用しないため効率が低い、という
問題もあつた。
次に、生産された蒸留水をポンプにより圧送するため、
ポンプのしゆう動部より微粒子が発生し、水質（純度）
が低下するという問題もあつた。
ポンプのしゆう動部より微粒子が発生し、水質（純度）
が低下するという問題もあつた。
さらに、水を加熱蒸発させる部分の面積が大きく装置が
大型化するという問題もあつた。
大型化するという問題もあつた。
本発明の目的は、高純度の水や蒸気を生産でき、かつ高
効率で小型の蒸留装置を提供することにある。
効率で小型の蒸留装置を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために、原水を蒸発させる
機能と蒸気を凝縮させる機能とをもつ蒸留器を備えた蒸
留装置において、前記蒸留器を多段に接続して蒸気の流
路の途中に疎水性多孔質膜を設け、前段の蒸留器から導
入した蒸気と、温水を熱交換させて温水を薄膜蒸発させ
る熱交換手段を前記蒸留器に設けると共に、前記接続し
た蒸留器の最前段の蒸留器には原水を加熱脱気する手段
を有する脱気タンク及び凝縮した蒸留水で原水を予熱す
る熱交換器を接続し、前記接続した蒸留器の最後段の蒸
留器には系外に蒸気を供給するための管と凝縮した蒸留
水を取り出すための管とを設けたものである。
機能と蒸気を凝縮させる機能とをもつ蒸留器を備えた蒸
留装置において、前記蒸留器を多段に接続して蒸気の流
路の途中に疎水性多孔質膜を設け、前段の蒸留器から導
入した蒸気と、温水を熱交換させて温水を薄膜蒸発させ
る熱交換手段を前記蒸留器に設けると共に、前記接続し
た蒸留器の最前段の蒸留器には原水を加熱脱気する手段
を有する脱気タンク及び凝縮した蒸留水で原水を予熱す
る熱交換器を接続し、前記接続した蒸留器の最後段の蒸
留器には系外に蒸気を供給するための管と凝縮した蒸留
水を取り出すための管とを設けたものである。
高純度の蒸留水及び蒸気を得る作用であるが、発生した
蒸気を疎水性多孔質膜に通すことにより、蒸気中の微粒
子、及び不純水のミストが除去される。また原水を加熱
脱気することにより、水中の溶存ガス（例えば、炭酸ガ
ス，酸素ガス，窒素ガス）やＴＯＣ（全有機炭素）が除
去される。さらに生産された蒸留水を圧送する際に、ポ
ンプを使用せず、蒸気の圧力により圧送すると、ポンプ
から粉塵の混入がない。
蒸気を疎水性多孔質膜に通すことにより、蒸気中の微粒
子、及び不純水のミストが除去される。また原水を加熱
脱気することにより、水中の溶存ガス（例えば、炭酸ガ
ス，酸素ガス，窒素ガス）やＴＯＣ（全有機炭素）が除
去される。さらに生産された蒸留水を圧送する際に、ポ
ンプを使用せず、蒸気の圧力により圧送すると、ポンプ
から粉塵の混入がない。
次に効率を向上する作用であるが、加熱脱気により発生
した蒸気は、加熱脱気した水に蒸発潜熱を与えて凝縮す
るが、この凝縮した水を原水と熱交換させて、原水を昇
温させ、熱回収を図る。
した蒸気は、加熱脱気した水に蒸発潜熱を与えて凝縮す
るが、この凝縮した水を原水と熱交換させて、原水を昇
温させ、熱回収を図る。
さらに発生した水蒸気が凝縮する際に放出する蒸発潜熱
を用いて水の蒸発を助長し、潜熱を有効に利用する。
を用いて水の蒸発を助長し、潜熱を有効に利用する。
装置小型化の手段であるが、垂直にした伝熱面の上部か
ら水が薄膜状になるように落下させ、伝熱面の反対側よ
り蒸気で加熱することにより薄膜蒸発が発生する。これ
は貯水に伝熱面をひたす方法に比べて総括伝熱係数が大
きくなり、従つて伝熱面積は小さくなり、ひいては装置
の小型化が達成される。
ら水が薄膜状になるように落下させ、伝熱面の反対側よ
り蒸気で加熱することにより薄膜蒸発が発生する。これ
は貯水に伝熱面をひたす方法に比べて総括伝熱係数が大
きくなり、従つて伝熱面積は小さくなり、ひいては装置
の小型化が達成される。
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第１図は、本発明の蒸留装置の模式的な系統図である。
逆浸透膜又はイオン交換樹脂によつて処理された原水は
まずポンプ１により加圧される。この原水は次に熱交換
器２で水温を上昇せしめられる。この昇温に使用される
加熱源については後述する。熱交換器２を出た原水は脱
気タンク３に入る。この脱気タンク３には電熱ヒーター
又は蒸気を用いた加熱装置４が備えてあり、原水を加熱
脱気する。ここで原水中の溶存ガス（例えば、炭酸ガ
ス，窒素ガス，酸素ガス）やＴＯＣ（全有機炭素）のガ
スは蒸気５の中へ移動する。
逆浸透膜又はイオン交換樹脂によつて処理された原水は
まずポンプ１により加圧される。この原水は次に熱交換
器２で水温を上昇せしめられる。この昇温に使用される
加熱源については後述する。熱交換器２を出た原水は脱
気タンク３に入る。この脱気タンク３には電熱ヒーター
又は蒸気を用いた加熱装置４が備えてあり、原水を加熱
脱気する。ここで原水中の溶存ガス（例えば、炭酸ガ
ス，窒素ガス，酸素ガス）やＴＯＣ（全有機炭素）のガ
スは蒸気５の中へ移動する。
この蒸気５は溶存ガスやＴＯＣ等の不純物を含んでおり
廃棄する必要がある。まず、蒸気ライン６を通り、蒸留
器７に入つて凝縮し、排水ライン８を通り、熱交換器２
で原水を加熱した後、ドレン９される。凝縮する際に発
生する蒸発潜熱は温水ライン１０を通つてもたらされた
脱気タンク３からの水に与えられ、蒸気１１を発生させ
る。この蒸気１１には微粒子や不純水のミスト等が含ま
れるが、疎水性多孔質膜１２を通過することにより除去
され、次の蒸留器１３に入る。
廃棄する必要がある。まず、蒸気ライン６を通り、蒸留
器７に入つて凝縮し、排水ライン８を通り、熱交換器２
で原水を加熱した後、ドレン９される。凝縮する際に発
生する蒸発潜熱は温水ライン１０を通つてもたらされた
脱気タンク３からの水に与えられ、蒸気１１を発生させ
る。この蒸気１１には微粒子や不純水のミスト等が含ま
れるが、疎水性多孔質膜１２を通過することにより除去
され、次の蒸留器１３に入る。
ここで蒸気は凝縮し、蒸留水となつて蒸留水ライン１４
を通り、装置外へ出る。前述の蒸留器７で蒸発しきれな
かつた温水は温水ライン１５を介して蒸留器１３内にも
たらされ、凝縮の際発生する蒸発潜熱をうけて蒸発す
る。
を通り、装置外へ出る。前述の蒸留器７で蒸発しきれな
かつた温水は温水ライン１５を介して蒸留器１３内にも
たらされ、凝縮の際発生する蒸発潜熱をうけて蒸発す
る。
この発生蒸気１６は疎水性多孔質膜１２を透過する。
なお最後の蒸留器１３の温水は、微粒子等が多く含まれ
るためドレン９される。最後の蒸留器１３で発生した蒸
気１６は高純度蒸気として高純度蒸気ライン１７からと
り出される。
るためドレン９される。最後の蒸留器１３で発生した蒸
気１６は高純度蒸気として高純度蒸気ライン１７からと
り出される。
生産された蒸留水は、最後の蒸留器の蒸気圧力により蒸
留水ライン１４から外部へ圧送される。
留水ライン１４から外部へ圧送される。
次に蒸留器の一実施例について説明する。第２図は本例
の断面図を示す。
の断面図を示す。
蒸気は蒸気入口１０１から入り、管１０２の上部に設け
た蒸気室１１１を経て管１０２内に入る。蒸気はこの管
１０２の中で凝縮し、蒸留器の下部貯槽１０３に留ま
る。下部貯槽１０３の底板には前段の蒸留器からの蒸留
水の入口１０４、及び蒸留水出口１０５が貫通固着され
ている。前段の蒸留器からの温水は温水入口１０６から
送入され、蒸気室１１１の上に注ぎかけられる。温水は
一旦皿１０７に留まる。この皿１０７は管１０２との接
続部分に狭い隙間を設け、温水が管１０２の外側を薄膜
状に流下する構造とする。このことにより薄膜蒸発が発
生し、小さな面積で多量の蒸気１０８を発生させること
ができる。発生した蒸気１０８は疎水性多孔質膜１０９
を透過し、微粒子や不純水のミストが除去され、高純度
の蒸気となり蒸気出口１１０から外へ導き出される。
た蒸気室１１１を経て管１０２内に入る。蒸気はこの管
１０２の中で凝縮し、蒸留器の下部貯槽１０３に留ま
る。下部貯槽１０３の底板には前段の蒸留器からの蒸留
水の入口１０４、及び蒸留水出口１０５が貫通固着され
ている。前段の蒸留器からの温水は温水入口１０６から
送入され、蒸気室１１１の上に注ぎかけられる。温水は
一旦皿１０７に留まる。この皿１０７は管１０２との接
続部分に狭い隙間を設け、温水が管１０２の外側を薄膜
状に流下する構造とする。このことにより薄膜蒸発が発
生し、小さな面積で多量の蒸気１０８を発生させること
ができる。発生した蒸気１０８は疎水性多孔質膜１０９
を透過し、微粒子や不純水のミストが除去され、高純度
の蒸気となり蒸気出口１１０から外へ導き出される。
なお蒸発しきれなかつた温水は温水出口１１１から外へ
出る。
出る。
本発明によれば、不純物の混入を抑制することができる
ため、高純度の蒸留水及び蒸気が得られるという優れた
実用的効果を奏する。
ため、高純度の蒸留水及び蒸気が得られるという優れた
実用的効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例の系統図、第２図は本発明の
蒸留器の一実施例の断面図である。 １……ポンプ、２……熱交換器、３……脱気タンク、４
……加熱装置、５……蒸気、６……蒸気ライン、７……
蒸留器、８……排水ライン、９……ドレン、１０……温
水ライン、１１……蒸気、１２……疎水性多孔質膜、１
３……蒸留器、１４……蒸留水ライン、１５……温水ラ
イン、１６……蒸気、１７……高純度蒸気ライン、１０
１……蒸気入口、１０２……管、１０３……下部貯槽、
１０４……蒸留水入口、１０５……蒸留水出口、１０６
……温水入口、１０７……皿、１０８……蒸気、１０９
……疎水性多孔質膜、１１０……蒸気出口、１１１……
蒸気室。
蒸留器の一実施例の断面図である。 １……ポンプ、２……熱交換器、３……脱気タンク、４
……加熱装置、５……蒸気、６……蒸気ライン、７……
蒸留器、８……排水ライン、９……ドレン、１０……温
水ライン、１１……蒸気、１２……疎水性多孔質膜、１
３……蒸留器、１４……蒸留水ライン、１５……温水ラ
イン、１６……蒸気、１７……高純度蒸気ライン、１０
１……蒸気入口、１０２……管、１０３……下部貯槽、
１０４……蒸留水入口、１０５……蒸留水出口、１０６
……温水入口、１０７……皿、１０８……蒸気、１０９
……疎水性多孔質膜、１１０……蒸気出口、１１１……
蒸気室。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 卓見 茨城県土浦市神立町603番地 株式会社日 立製作所土浦工場内 (72)発明者 高橋 燦吉 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内 (72)発明者 江原 勝也 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内 (72)発明者 黒川 秀昭 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内 (72)発明者 松崎 晴美 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内 (72)発明者 山田 章 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内 (72)発明者 小関 康雄 茨城県日立市久慈町4026番地 株式会社日 立製作所日立研究所内 (56)参考文献 特開 昭59−136185（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−95501（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−193579（ＪＰ，Ａ) 特公 昭60−47155（ＪＰ，Ｂ２) 実公 昭58−55921（ＪＰ，Ｙ２)
Claims (1)
- 【請求項１】原水を蒸発させる機能と蒸気を凝縮させる
機能とをもつ蒸留器を備えた蒸留装置において、前記蒸
留器を直列に接続して蒸気の流路の途中に疎水性多孔質
膜を設け、前段の蒸留器から導入した蒸気と温水を熱交
換させて温水を薄膜蒸発せる熱交換手段を前記蒸留器に
設けると共に、前記接続した蒸留器の最前段の蒸留器に
は原水を加熱脱気する手段を有する脱気タンク及び凝縮
した蒸留水で原水を予熱する熱交換器を接続し、前記接
続した蒸留器の最後段の蒸留器には系外に蒸気を供給す
るための管と凝縮した蒸留水を取り出すための管とを設
けたことを特徴とする蒸留装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62226379A JPH0632812B2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | 蒸留装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62226379A JPH0632812B2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | 蒸留装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6470183A JPS6470183A (en) | 1989-03-15 |
| JPH0632812B2 true JPH0632812B2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=16844203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62226379A Expired - Lifetime JPH0632812B2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | 蒸留装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632812B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA2116089C (en) * | 1994-02-21 | 2004-05-04 | Fuelmaker Corporation | Method and apparatus for dewatering gas stream resulting in a clean water effluent |
| US6036746A (en) * | 1998-09-23 | 2000-03-14 | University Technology Corporation | Condenser system for independently controlling humidity and temperature of treatable air in a closed environment |
| CN116212420B (zh) * | 2022-12-28 | 2023-10-20 | 扬州永锋工业设备安装有限公司 | 一种蒸汽循环使用的多效蒸发器 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835281U (ja) * | 1981-09-02 | 1983-03-08 | エスエムケイ株式会社 | ジヤツク |
| JPS5895501A (ja) * | 1981-12-01 | 1983-06-07 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 多重効用式蒸発装置における処理液脱気方法及びその装置 |
| JPS59136185A (ja) * | 1983-01-22 | 1984-08-04 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 淡水化装置の凝縮装置 |
| JPS6047155A (ja) * | 1983-08-22 | 1985-03-14 | 唐川木材工業株式会社 | 羽目板及びその製造方法 |
| JPS60193579A (ja) * | 1984-03-13 | 1985-10-02 | Hitachi Zosen Corp | 揮発性物質を含む蒸気から清澄凝縮液を得る方法 |
-
1987
- 1987-09-11 JP JP62226379A patent/JPH0632812B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6470183A (en) | 1989-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101415627B1 (ko) | 삼투성 용질 회수를 위한 다단 컬럼 증류（ｍｓｃｄ） 방법 | |
| US5232085A (en) | Distillation system with a hydrophobic porous membrane | |
| US9630862B2 (en) | Desalination system and method for desalination | |
| US4953694A (en) | Distilling apparatus | |
| US8613839B2 (en) | Water distillation method and apparatus | |
| JP2002515336A (ja) | 機械的蒸気再圧縮プロセス | |
| CA2716624C (en) | Method and apparatus for dewatering a mixture of ethanol and water | |
| US20150232348A1 (en) | Water desalination and brine volume reduction process | |
| JP2520317B2 (ja) | 超純水製造装置および方法 | |
| CN101318716A (zh) | 一种膜蒸发浓缩液体处理系统及处理方法 | |
| WO2018082199A1 (zh) | 梯度亚沸蒸馏器 | |
| US3300392A (en) | Vacuum distillation including predegasification of distilland | |
| CN1408647A (zh) | 盐水脱盐产生淡水的方法 | |
| JPH0632812B2 (ja) | 蒸留装置 | |
| JPS63258601A (ja) | 有機物水溶液の濃縮方法 | |
| CN101874983A (zh) | 一种减压膜蒸发浓缩方法及其装置 | |
| JPH0510964B2 (ja) | ||
| JPH0263592A (ja) | 蒸留装置 | |
| US11479480B2 (en) | Immiscible liquid mediated humidification / dehumidification systems and methods | |
| JPH0632811B2 (ja) | 蒸留装置 | |
| JP3865217B2 (ja) | 蒸発装置 | |
| AU2004238582B2 (en) | Method and device for treating water | |
| JP2000325949A (ja) | 塩水淡水化装置 | |
| WO2014077739A2 (ru) | Способ выделения и концентрирования органических веществ из жидких смесей и устройство для его осуществления | |
| TW201315687A (zh) | 海水淡化裝置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080502 Year of fee payment: 14 |