JPH06324878A - 操作部制御手段の管理方法 - Google Patents

操作部制御手段の管理方法

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JPH06324878A
JPH06324878A JP5136727A JP13672793A JPH06324878A JP H06324878 A JPH06324878 A JP H06324878A JP 5136727 A JP5136727 A JP 5136727A JP 13672793 A JP13672793 A JP 13672793A JP H06324878 A JPH06324878 A JP H06324878A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
memory card
operating part
program
operation unit
flow
Prior art date
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Pending
Application number
JP5136727A
Other languages
English (en)
Inventor
Toru Yonebayashi
亨 米林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kokusai Electric Corp
Original Assignee
Kokusai Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Kokusai Electric Corp filed Critical Kokusai Electric Corp
Priority to JP5136727A priority Critical patent/JPH06324878A/ja
Publication of JPH06324878A publication Critical patent/JPH06324878A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 操作部制御手段の変更や交換の場合に、操作
部の通常の操作方法の1つの操作のみで処理出来る管理
方法を提供することを目的とする。 【構成】 上述の目的を達成するために、操作部制御プ
ログラムが記録されているメモリカード14を操作部1
1に実装した際に、操作部11が具備している操作部記
憶装置であるバックアップRAM12にメモリカード1
4の操作部制御プログラムを転写し、実際の操作部11
の制御はバックアップRAM12に転写された操作部制
御プログラムと、既に操作部11内のROM15に記録
されている管理プログラムとにより操作部11内のCP
U5で行うものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は操作部制御手段の操作部
における変更や交換を簡略化する管理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体製造装置の操作部のハードウェア
構成は、図8に示すように、操作部ユニット6内に実装
されている記憶装置の1つであるROM7に記録された
操作部制御手段は操作部内制御装置の1つであるCPU
5で実行されている。従って、制御手段の変更や交換を
行う場合は、先ず半導体製造装置から操作部ユニット6
を取外し、操作部ユニット6内に実装しているROM7
を取り除いてから、ROM7に記憶された操作部制御手
段の消去を行った後、変更する操作部制御手段をROM
7へ書き込み、書き込み完了した前記ROM7を再び操
作部ユニット6に実装してから半導体製造装置に取り付
けていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、操作部制御手
段の変更や交換の場合には、上述のように装置の取外
し、分解、再実装等の作業が必要であり、相当な手間が
かかっていた。
【0004】本発明は上述の問題を解決して、制御手段
の変更や交換の場合にも装置の取外し、分解、再実装等
の作業を不用とし、操作部の操作方法の1つの操作のみ
で処理出来る管理方法を提供することを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、操作部制御手段が記録されている記憶装置を操作
部に挿入した際に、操作部が予め具備している操作部記
憶装置に前記記憶装置の操作部制御手段を転写し、実際
の操作部の制御は操作部記憶装置に転写された操作部制
御手段と、操作部内の前記操作部記憶装置とは別の記憶
装置に既に記録されている管理手段(Initial Program
Loaderで以下IPLという)とにより実装するものであ
る。
【0006】
【作用】上述のように、操作部制御手段が記録されてい
る記憶装置が操作部に挿入されていれば、操作部の記憶
装置へ制御手段を転写し、操作部内の前記操作部記憶装
置とは別の記憶装置に記録されているIPLと、操作部
記憶装置へ転写された操作部制御手段とによりCPUが
操作部制御を実行し、操作部制御手段の変更や交換は通
常の操作部の操作方法の1つとして実行する。
【0007】
【実施例】図1は本発明の操作部制御プログラムの管理
方法を実施する操作部の構成図である。この操作部11
はプログラムを実行するCPU5と、操作部制御手段を
記憶する操作部記憶装置であるバックアップRAM12
と、操作部制御手段が記録されているメモリカード14
を挿入してプログラムを入力するカードスロット13
と、操作部制御プログラムを管理、制御する管理プログ
ラム(IPL)が記録されているROM15を設けたも
のである。
【0008】上述の半導体製造装置の操作部11に挿入
されるメモリカード14には、操作部制御プログラム
が記憶されているメモリカード(プログラムメモリカー
ド)で図2に示すもの、操作部制御を行う際に必要な
制御パラメータが記憶されているメモリカード(システ
ムメモリカード)で図3に示すもの、操作部制御でデ
ータを表示するために必要なデータパラメータが記憶さ
れているメモリカード(データメモリカード)で図3に
示すものの3タイプがある。
【0009】なお、図2のプログラムメモリカードで、
図示の(1)〜(7)は下記の注記の通りである。即
ち、 (1)ボリュームラベル名:ΔCX2000ΔPRGΔ スペア領域:16バイト(00)16 16バイトの固定フォーマット(アスキー文字) ΔΔΔ:旧プログラムメモリカード1枚構成 1/2:新プログラムメモリカード2枚構成(1枚目) 2/2:新プログラムメモリカード2枚構成(2枚目) (2)プログラム名:CX2000ΔOPEΔ 11バイト固定フォーマット(操作部につき固定) (3)Ver,Rev No.:00.00 小数点付数字4桁(ツールソフトでシステムボリューム
作成時にKeyIn) (4)プログラムアドレス:16進8桁 CX2000ΔOPEΔのストアされているメモリカー
ド上のアドレス (5)プログラムサイズ:16進8桁 CX2000ΔOPEΔのプログラム容量 (6)サムチェック:16進8桁 CX2000ΔOPEΔの全データの加算結果(ツール
ソフトが演算) (7)プログラム作成:BCD8桁 YY.MM.D
D.HH(年月日時) 但しΔはスペースである。
【0010】なお、図3のプログラムメモリカードで、
図示の(1)〜(11)は下記の注記の通りである。即
ち、 (1)ボリュームラベル名:00H カードネーム(アスキー8文字) カードネーム識別子 “SYS”システムメモリカード “DAT”データメモリカード DUMMY (00H 4バイト) DUMMY:00H 16バイト (2)ファイルネーム識別子:=00H;ファイル有効
(使用中)リードライト可 =01H;リードオンファイル ライト不可 =02H;シークレットファイル ライト不可 =04H;システムファイル ライト不可 =E5H;未登録 ライト不可 (3)ファイルネーム:アスキー8文字 (4)ファイルネーム拡張子:アスキー3文字 (5)ファイルタイプ:01H ファイルタイプ1 SAM(Sequential Access Method)ファイル 02H ファイルタイプ2 ディレクトリ付SAM(Indexed SAM )フアイル コード可変長 03H ファイルタイプ3 循環式SAM(Cyclic SAM)ファイル コード固定長 (6)BOE(Begin of Extent):領域の先頭アドレス
(メモリカード内の絶対番地) (7)EOE(End of Extent):領域の終了アドレス
(領域の先頭からの相対番地) (8)EOD(End of Data):データ領域の終了アドレ
ス(領域の先頭からの相対番地) (9)SOD(Start of Data):データ領域の先頭アド
レス(領域の先頭からの相対番地) (10)最大D数:カード内最大ディレクトリ数 (11)カレントD数:カード内カレントディレクトリ
数 (12)スペア:00H
【0011】上述の操作部11の制御プログラム管理手
法の概略は図7に示すように、CPU5の指令によりメ
モリカードの挿入判定部21の判定により、挿入されて
いなければ、ガイドメッセージ表示部22に表示される
と共に、挿入判定部21にバックする。
【0012】メモリカードが挿入されていれば、データ
受信部23がデータを受信し、受信データを転送部24
でバックアップRAM12の実行部12aへ転送する。
【0013】転送を受けたバックアップRAM12は、
その実行部12aでプログラムを実行する。
【0014】次に上述の操作部11の動作の詳細につい
て説明する。先ず管理プログラムIPLは図4(プログ
ラムメモリカード旧バージョン又は新バージョンのロー
ディングフロー、図5(IPLプログラムメモリカード
・ローディンフローチャート)に記載されているような
処理の流れで制御が進行する。
【0015】先ず、カードスロット13aにプログラム
メモリカードφ(旧プログラムメモリカード)が挿入さ
れているかを判断し(フロー1)、挿入されていれば
(図2のプログラムメモリカード・フォーマットのボリ
ュームラベル名がΔCX20000ΔΔPRGΔΔΔΔ
であれば)プログラムメモリカードφ(旧プログラムメ
モリカード)のデータをバックアップRAMへ転写し
(フロー2)、バックアップRAM上で制御プログラム
が実行される(フロー3)。
【0016】プログラムメモリカードφが挿入されてい
なければ、次にカードスロット13aにプログラムメモ
リカード1(新プログラムメモリカード2枚構成の1枚
目)が挿入されているかを判断し(フロー4)、プログ
ラムメモリカード1が挿入されていれば(図2のプログ
ラムメモリカード・フォーマットのボリュームラベル名
がΔCX2000ΔΔPRGΔ1/2であれば)プログ
ラムメモリカード1のデータをIPLのワーク・バッフ
アー1に確保するが、挿入されていない場合は次に示す
2タイプの現象が考えられる。
【0017】その一はカードスロット13aにシステム
メモリカード又はデータメモリカードが挿入されている
場合(図3のシステムメモリカード、データメモリカー
ドのボリュームラベル名が00H(カードネーム・アス
キー8文字),カードネーム識別子“SYS”システム
メモリカード、又は“DAT”データメモリカードであ
る場合)と、その二はメモリカードが挿入されていない
場合とがある。
【0018】これらの場合は、図6のオペレーションパ
ネル画面に“SETΔPROGRAMΔMEMORYΔ
CARDΔCARD1ΔOK?”と表示させ、オペレー
ションパネルファンクションキーF1〜F8のF1には
“YES”、同じくF2には“NO”と表示され(フロ
ー5)、F1キーを押す(フロー6)ことにより再度カ
ードスロット13aにプログラムメモリカードφが挿入
されているか(フロー1)の判断に進み、その後は上述
の処理に進行する。
【0019】F2キーを押すと再度オペレーションパネ
ル画面には“SETΔPROGRAMΔMEMORYΔ
CARDΔCARD1ΔOK?”と表示させ、F1には
“YES”、F2には“NO”と表示される。
【0020】上述の(フロー5)と(フロー6)の処理
の間でカードスロット13aにプログラムメモリカード
14A(新プログラムメモリカード2枚構成の1枚目・
図示せず)を挿入するまで、又はシステムダウンまで
(フロー5)、(フロー6)の処理が続く。
【0021】(フロー4)でカードスロット13aにプ
ログラムメモリカード1,14が挿入されていると判断
した場合、次にカードスロット13bにプログラムメモ
リカード2,14(新プログラムメモリカード2枚構成
の2枚目)が挿入されているか判断し(フロー7)、挿
入されていれば(図2のプログラムメモリカード・フォ
ーマットのボリューム名が“ΔCX2000ΔPRGΔ
2/2”であれば)、プログラムメモリカード2,14
のデータをIPLのワーク・バッフアー2に確保する
が、挿入されていない場合は、カードスロット13aに
プログラムメモリカードが挿入されていない場合と同じ
現象が考えられるため、オペレーションパネル画面には
“SETΔPROGRAMΔMEMORYΔCARDΔ
CARD2ΔOK?”と表示させ、F1には“YE
S”、F2には“NO”と表示され(フロー8)、F1
キーを押す(フロー9)ことにより再度カードスロット
13aにプログラムカードφが挿入されているか(フロ
ー1)の判断に進み、その後は上述の説明した処理に進
む。
【0022】F2キーを押すと、再度オペレーションパ
ネル画面には“SETΔOROGRAMΔMEMORY
ΔCARDΔCARD2ΔOK?”と表示させ、F1に
は“YES”、F2には“NO”と表示される。
【0023】(フロー8)と(フロー9)の処理の間
で、カードスロット13bにプログラムメモリカード
2,14を挿入するまで、又はシステムダウンまで(フ
ロー8)、(フロー9)の処理が続く。
【0024】(フロー7)でカードスロット13bにプ
ログラムメモリカード2,14が挿入されていると判断
された場合、IPLのワーク・バッフアー1に確保して
いたプログラムメモリカード1,14のデータをバック
アップRAM12へ転写し(フロー10)、IPLのワ
ーク・バッフアー2に確保していたプログラムメモリカ
ード2,14のデータをバックアップRAM12へ転写
し(フロー11)、バックアップRAM12で操作部制
御プログラムが実行されて(フロー12)、IPLの処
理が終了する。
【0025】
【発明の効果】上述のように、操作部制御プログラムが
記憶されているメモリカードをカードスロットに挿入
し、操作部制御プログラムを実行させる管理プログラム
を挿入しておけば、操作部制御プログラムのバージョン
アップの際のプログラムの変更、交換等がスムーズに行
われ、確実にかつ容易に変更や交換が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の操作部制御プログラムの管理方法を実
施する操作部の構成図である。
【図2】プログラムメモリカードの説明図である。
【図3】システムメモリカード及びデータメモリカード
の説明図である。
【図4】IPLプログラムにおける、メモリカードのロ
ーディングフローチャートである。
【図5】IPLプログラムにおける、メモリカードのロ
ーディングフローチャート図4の続きである。
【図6】オペレーションパネル画面の説明図である。
【図7】操作部制御プログラム管理手法の説明図であ
る。
【図8】従来の操作部管理手法の説明図である。
【符号の説明】
11 操作部 12 バックアップRAM 12a 実行部 13 カードスロット 14 メモリカード 15 ROM(IPL) 21 挿入判定部 22 ガイドメッセージ表示部 23 データ受信部 24 転送部 5 CPU

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 操作部制御手段が記録されている記憶装
    置を操作部に実装した際に、操作部が具備している操作
    部記憶装置に前記記憶装置の操作部制御手段を転写し、
    実際の操作部の制御は前記操作部記憶装置に転写された
    操作部制御手段と、操作部内の前記操作部記憶装置とは
    別の記憶装置に記録されている管理手段とにより実施す
    ることを特徴とする操作部制御手段の管理方法。
JP5136727A 1993-05-13 1993-05-13 操作部制御手段の管理方法 Pending JPH06324878A (ja)

Priority Applications (1)

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JP5136727A JPH06324878A (ja) 1993-05-13 1993-05-13 操作部制御手段の管理方法

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JPH06324878A true JPH06324878A (ja) 1994-11-25

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ID=15182095

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JP (1) JPH06324878A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08236595A (ja) * 1995-02-28 1996-09-13 Nec Corp 半導体検査プログラムの自動供給および消去方法
JP2007227711A (ja) * 2006-02-24 2007-09-06 Renesas Technology Corp 半導体バルク抵抗素子

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