JPH063189A - フーリエ変換型分光器のサンプリング光路差変動補正方法 - Google Patents
フーリエ変換型分光器のサンプリング光路差変動補正方法Info
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- JPH063189A JPH063189A JP16265092A JP16265092A JPH063189A JP H063189 A JPH063189 A JP H063189A JP 16265092 A JP16265092 A JP 16265092A JP 16265092 A JP16265092 A JP 16265092A JP H063189 A JPH063189 A JP H063189A
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- path difference
- spectrum
- light
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体レーザーで決められるサンプリング光
路差の変動を補正した高精度のフーリエ変換型分光器の
提供。 【構成】 半導体レーザー（9）の波長で決まるサンプ
リング光路差ｘで移動ミ ラー（6）を駆動させて、被測
定光（20）のスペクトルを求めるフーリエ変換型 分光
器に、既知のスペクトルの光（23）を入れ、そのスペク
トルを実測する。実測されたスペクトルと既知のスペク
トルの波長のシフト量を求め、シフト量から半導体レー
ザー（9）の波長変動に基づくサンプリング光路差ｘの
変動量を演算 して、変動後のサンプリング光路差ｘを
補正して、被測定光（20）のスペクトル測定を実行す
る。
路差の変動を補正した高精度のフーリエ変換型分光器の
提供。 【構成】 半導体レーザー（9）の波長で決まるサンプ
リング光路差ｘで移動ミ ラー（6）を駆動させて、被測
定光（20）のスペクトルを求めるフーリエ変換型 分光
器に、既知のスペクトルの光（23）を入れ、そのスペク
トルを実測する。実測されたスペクトルと既知のスペク
トルの波長のシフト量を求め、シフト量から半導体レー
ザー（9）の波長変動に基づくサンプリング光路差ｘの
変動量を演算 して、変動後のサンプリング光路差ｘを
補正して、被測定光（20）のスペクトル測定を実行す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、サンプリング用レーザ
ーの波長で決まる所定のサンプリング光路差で移動ミラ
ーを移動させて、被測定光のスペクトルを求めるフーリ
エ変換型分光器におけるサンプリング光路差の変動補正
方法に関する。
ーの波長で決まる所定のサンプリング光路差で移動ミラ
ーを移動させて、被測定光のスペクトルを求めるフーリ
エ変換型分光器におけるサンプリング光路差の変動補正
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】物体からの光のスペクトルを求めるフー
リエ変換型分光器においては、Ｈｅ−Ｎｅレーザーで定
ピッチのサンプリング光路差を設定するものが一般的で
ある。かかるフーリエ変換型分光器の概要と動作原理
を、図３を参照して説明する。
リエ変換型分光器においては、Ｈｅ−Ｎｅレーザーで定
ピッチのサンプリング光路差を設定するものが一般的で
ある。かかるフーリエ変換型分光器の概要と動作原理
を、図３を参照して説明する。
【０００３】入射スリット（1）から入射した物体から
の被測定光（20）は、レンズ（2）で平行化されて第１
の半透鏡（3）を透過する。第１の半透鏡（3）を透過し
た光（20）は、第２の半透鏡（4）で反射する光（21）
と、第２の半透鏡（4）を透過する光（22）に分光され
る。第２の半透鏡（4）を反射した光（21）は、直交す
る固定ミラー（5）で反射して第２の半透鏡（4）を透過
し、レンズ（7）で光検出器（8）に集光される。第２の
半透鏡（4）を透過した光（22）は、直交する移動ミラ
ー（6）を反射して第２の半透鏡（4）の裏面で反射し、
レンズ（7）を透過して光検出器（8）に集光する。
の被測定光（20）は、レンズ（2）で平行化されて第１
の半透鏡（3）を透過する。第１の半透鏡（3）を透過し
た光（20）は、第２の半透鏡（4）で反射する光（21）
と、第２の半透鏡（4）を透過する光（22）に分光され
る。第２の半透鏡（4）を反射した光（21）は、直交す
る固定ミラー（5）で反射して第２の半透鏡（4）を透過
し、レンズ（7）で光検出器（8）に集光される。第２の
半透鏡（4）を透過した光（22）は、直交する移動ミラ
ー（6）を反射して第２の半透鏡（4）の裏面で反射し、
レンズ（7）を透過して光検出器（8）に集光する。
【０００４】分光された光（21）と光（22）は、光検出
器（8）で相互干渉する。このときの光検出器（8）で検
出される光の強度であるインターフェログラムＩ(ｘ)
は、次式で表される。
器（8）で相互干渉する。このときの光検出器（8）で検
出される光の強度であるインターフェログラムＩ(ｘ)
は、次式で表される。
【０００５】
【数１】 ただし、νは被測定光の振動数、Ｂ（ν）はスペクトル
強度、ｘは光路差である。光路差ｘは、第２の半透鏡
（4）と固定ミラー（5）のセンター間の距離ｍと第２の
半透鏡（4）と移動ミラー（6）のセンター間の距離ｎの
差で、移動ミラー（6）の移動で変動する。
強度、ｘは光路差である。光路差ｘは、第２の半透鏡
（4）と固定ミラー（5）のセンター間の距離ｍと第２の
半透鏡（4）と移動ミラー（6）のセンター間の距離ｎの
差で、移動ミラー（6）の移動で変動する。
【０００６】移動ミラー（6）の定ピッチ移動量は、サ
ンプリング用レーザーであるＨｅ−Ｎｅレーザー（24）
の波長λで決められる。被測定光（20）の入射を止めた
状態で、Ｈｅ−Ｎｅレーザー（24）を第１の半透鏡
（3）で反射し、第２の半透鏡（4）で分光して光検出器
（8）に入射させると、光検出器（8）でＨｅ−Ｎｅレー
ザー（24）が光路差ｘに応じて干渉して、検出される光
の強度が変化する。移動ミラー（6）がλ／２だけ変化
する毎に、光検出器（8）で光の強度変化のピークが繰
返し現れる。
ンプリング用レーザーであるＨｅ−Ｎｅレーザー（24）
の波長λで決められる。被測定光（20）の入射を止めた
状態で、Ｈｅ−Ｎｅレーザー（24）を第１の半透鏡
（3）で反射し、第２の半透鏡（4）で分光して光検出器
（8）に入射させると、光検出器（8）でＨｅ−Ｎｅレー
ザー（24）が光路差ｘに応じて干渉して、検出される光
の強度が変化する。移動ミラー（6）がλ／２だけ変化
する毎に、光検出器（8）で光の強度変化のピークが繰
返し現れる。
【０００７】Ｈｅ−Ｎｅレーザー（24）で移動ミラー
（6）の移動ピッチがλ／２になるようモニターして移
動ミラー（6）を間欠移動させ、その都度にサンプリン
グ位置として決定された光路差ｘでインターフェログラ
ムＩ(ｘ)を実測する。実測されたインターフェログラム
Ｉ(ｘ)を光路差方向にフーリエ変換すると、次式のスペ
クトル強度Ｂ（ν）から被測定光（20）の各波長成分に
おけるスペクトルが求められる。
（6）の移動ピッチがλ／２になるようモニターして移
動ミラー（6）を間欠移動させ、その都度にサンプリン
グ位置として決定された光路差ｘでインターフェログラ
ムＩ(ｘ)を実測する。実測されたインターフェログラム
Ｉ(ｘ)を光路差方向にフーリエ変換すると、次式のスペ
クトル強度Ｂ（ν）から被測定光（20）の各波長成分に
おけるスペクトルが求められる。
【０００８】
【数２】
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記フーリエ変換型分
光器を高精度ならしめる上で重要なことの１つに、移動
ミラー（6）を精度良く動かすことがある。そこで、移
動ミラー（6）の移動量を決めるサンプリング用レーザ
ーにＨｅ−Ｎｅレーザー（24）を使用している。
光器を高精度ならしめる上で重要なことの１つに、移動
ミラー（6）を精度良く動かすことがある。そこで、移
動ミラー（6）の移動量を決めるサンプリング用レーザ
ーにＨｅ−Ｎｅレーザー（24）を使用している。
【００１０】Ｈｅ−Ｎｅレーザー（24）の波長λは、温
度などの影響をほとんど受けること無く安定しており、
この波長λで決められるサンプリング光路差ｘは、ほと
んど変動すること無く安定する。したがって、移動ミラ
ー（6）が安定したサンプリング光路差ｘで移動して、
被測定光（20）の正確なスペクトルが求められる。
度などの影響をほとんど受けること無く安定しており、
この波長λで決められるサンプリング光路差ｘは、ほと
んど変動すること無く安定する。したがって、移動ミラ
ー（6）が安定したサンプリング光路差ｘで移動して、
被測定光（20）の正確なスペクトルが求められる。
【００１１】ところが、Ｈｅ−Ｎｅレーザー（24）は、
半導体レーザーに比べてかなり大形、かつ、高価であっ
て、フーリエ変換型分光器の小形化、低コスト化を難し
くしている。なお、フーリエ変換型分光器における移動
ミラーのサンプリング光路差を、小形で安価な半導体レ
ーザーで求めることも可能である。しかし、半導体レー
ザーの波長は温度で変動し易く、例えば波長の温度依存
性は５ｎｍ／２５℃と悪い。さらに半導体レーザーの発
生源である半導体素子の品質のバラツキ幅が大きくて、
一定した波長の半導体レーザーが得難い。
半導体レーザーに比べてかなり大形、かつ、高価であっ
て、フーリエ変換型分光器の小形化、低コスト化を難し
くしている。なお、フーリエ変換型分光器における移動
ミラーのサンプリング光路差を、小形で安価な半導体レ
ーザーで求めることも可能である。しかし、半導体レー
ザーの波長は温度で変動し易く、例えば波長の温度依存
性は５ｎｍ／２５℃と悪い。さらに半導体レーザーの発
生源である半導体素子の品質のバラツキ幅が大きくて、
一定した波長の半導体レーザーが得難い。
【００１２】その結果、移動ミラーのサンプリング光路
差を半導体レーザーで求めたフーリエ変換型分光器は、
周囲温度変化などでサンプリング光路差が変動して、サ
ンプリング光路差から演算されるスペクトル波長に誤差
が生じる精度的な問題が残されていた。
差を半導体レーザーで求めたフーリエ変換型分光器は、
周囲温度変化などでサンプリング光路差が変動して、サ
ンプリング光路差から演算されるスペクトル波長に誤差
が生じる精度的な問題が残されていた。
【００１３】それ故に本発明の目的とするところは、移
動ミラーのサンプリング光路差を小形で安価な半導体レ
ーザーで求めたフーリエ変換型分光器におけるサンプリ
ング光路差の変動を簡単な手段で補正して、精度的に問
題の無い、小形で安価なフーリエ変換型分光器を実現す
ることにある。
動ミラーのサンプリング光路差を小形で安価な半導体レ
ーザーで求めたフーリエ変換型分光器におけるサンプリ
ング光路差の変動を簡単な手段で補正して、精度的に問
題の無い、小形で安価なフーリエ変換型分光器を実現す
ることにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、半導体レーザーの波長で決まるサンプリング
光路差で移動ミラーを駆動させて、被測定光のスペクト
ルを求めるフーリエ変換型分光器で、被測定光に代わり
既知のスペクトルの光のスペクトルを実測し、この光の
実測されたスペクトルと既知のスペクトルの波長のシフ
ト量から、半導体レーザーの波長変動に基づくサンプリ
ング光路差の変動量を演算して補正することを特徴とす
る。
するため、半導体レーザーの波長で決まるサンプリング
光路差で移動ミラーを駆動させて、被測定光のスペクト
ルを求めるフーリエ変換型分光器で、被測定光に代わり
既知のスペクトルの光のスペクトルを実測し、この光の
実測されたスペクトルと既知のスペクトルの波長のシフ
ト量から、半導体レーザーの波長変動に基づくサンプリ
ング光路差の変動量を演算して補正することを特徴とす
る。
【００１５】
【作用】半導体レーザーで移動ミラーのサンプリング光
路差を求めたフーリエ変換型分光器においては、半導体
レーザーの波長の変動により、サンプリング光路差ｘが
移動ミラーを移動させる１ピッチｄｘ毎にｓずつ増加
し、被測定光のスペクトルの波長が正規の位置からシフ
トする。
路差を求めたフーリエ変換型分光器においては、半導体
レーザーの波長の変動により、サンプリング光路差ｘが
移動ミラーを移動させる１ピッチｄｘ毎にｓずつ増加
し、被測定光のスペクトルの波長が正規の位置からシフ
トする。
【００１６】そこで、フーリエ変換型分光器でスペクト
ルの分かっている既知スペクトル光を入れ、半導体レー
ザーでサンプリング光路差を求めて既知スペクトル光の
スペクトルを実測し、実測されたスペクトルと既知スペ
クトルの波長のシフト量を演算すれば、演算されたシフ
ト量から半導体レーザーの波長変動によるサンプリング
光路差の１ピッチｄｘ当たりの変動量＋ｓが分かり、こ
の変動量ｓでサンプリング光路差ｘを補正すれば被測定
光のスペクトルが正確に求められるようになる。したが
って、フーリエ変換型分光器のサンプリング用レーザー
に、小形で安価な半導体レーザーを使用しても精度的に
問題無い。
ルの分かっている既知スペクトル光を入れ、半導体レー
ザーでサンプリング光路差を求めて既知スペクトル光の
スペクトルを実測し、実測されたスペクトルと既知スペ
クトルの波長のシフト量を演算すれば、演算されたシフ
ト量から半導体レーザーの波長変動によるサンプリング
光路差の１ピッチｄｘ当たりの変動量＋ｓが分かり、こ
の変動量ｓでサンプリング光路差ｘを補正すれば被測定
光のスペクトルが正確に求められるようになる。したが
って、フーリエ変換型分光器のサンプリング用レーザー
に、小形で安価な半導体レーザーを使用しても精度的に
問題無い。
【００１７】
【実施例】以下、一実施例について図１および図２を参
照して説明する。なお、図１のフーリエ変換型分光器に
おける図３の分光器と同一、または相当部分には同一符
号を付して説明は省略する。
照して説明する。なお、図１のフーリエ変換型分光器に
おける図３の分光器と同一、または相当部分には同一符
号を付して説明は省略する。
【００１８】図１に示されるように、本発明の構造上の
特徴は、図３のフーリエ変換型分光器におけるＨｅ−Ｎ
ｅレーザーの代わりに半導体レーザー（9）を使用した
こと、および、既知スペクトルの発光体（10）を追加設
置したことである。発光体（10）は、例えば白色光を特
定のフィルタに通して、既知のスペクトルの波長の光
（23）を分光器の光路に投射する。
特徴は、図３のフーリエ変換型分光器におけるＨｅ−Ｎ
ｅレーザーの代わりに半導体レーザー（9）を使用した
こと、および、既知スペクトルの発光体（10）を追加設
置したことである。発光体（10）は、例えば白色光を特
定のフィルタに通して、既知のスペクトルの波長の光
（23）を分光器の光路に投射する。
【００１９】発光体（10）からの光（23）は、第３の半
透鏡（11）で反射して、半導体レーザー（9）と同じ光
路で第１の半透鏡（3）を反射し、第２の半透鏡（4）に
達する。半導体レーザー（9）は、第３の半透鏡（11）
を透過して第１の半透鏡（3）を反射する。
透鏡（11）で反射して、半導体レーザー（9）と同じ光
路で第１の半透鏡（3）を反射し、第２の半透鏡（4）に
達する。半導体レーザー（9）は、第３の半透鏡（11）
を透過して第１の半透鏡（3）を反射する。
【００２０】半導体レーザー（9）は、移動ミラー（6）
の１ピッチの移動量であるサンプリング光路差ｘを決め
る。例えば半導体レーザー（9）の波長をλ'とした場
合、移動ミラー（6）はλ'／２のピッチで移動し、光路
差ｘを変化させる。
の１ピッチの移動量であるサンプリング光路差ｘを決め
る。例えば半導体レーザー（9）の波長をλ'とした場
合、移動ミラー（6）はλ'／２のピッチで移動し、光路
差ｘを変化させる。
【００２１】半導体レーザー（9）でモニターされて移
動ミラー（6）が１ピッチ移動する毎に、被測定光（2
0）が入射スリット（1）から入射され、そのときのイン
ターフェログラムＩ(ｘ)が実測される。実測されたイン
ターフェログラムＩ(ｘ)を光路差方向にフーリエ変換し
て、被測定光（20）の各波長成分におけるスペクトルが
求められる。
動ミラー（6）が１ピッチ移動する毎に、被測定光（2
0）が入射スリット（1）から入射され、そのときのイン
ターフェログラムＩ(ｘ)が実測される。実測されたイン
ターフェログラムＩ(ｘ)を光路差方向にフーリエ変換し
て、被測定光（20）の各波長成分におけるスペクトルが
求められる。
【００２２】ここで半導体レーザー（9）の波長λ'は、
朝夕の温度変化などで変動し、例えば２００ｎｍの波長
が２１７ｎｍに変動することがある。この変動で自ずと
移動ミラー（6）のサンプリング光路差ｘの１ピッチの
増加単位ｄｘが＋ｓずつ変動する。このように変動した
サンプリング光路差ｘを後述のように補正せずにインタ
ーフェログラムＩ(ｘ)を実測し、これを光路差方向にフ
ーリエ変換して被測定光（20）のスペクトルを測定する
と、測定されたスペクトルが正規のスペクトルからプラ
ス、または、マイナス方向にシフトして、正確なスペク
トル測定ができない。
朝夕の温度変化などで変動し、例えば２００ｎｍの波長
が２１７ｎｍに変動することがある。この変動で自ずと
移動ミラー（6）のサンプリング光路差ｘの１ピッチの
増加単位ｄｘが＋ｓずつ変動する。このように変動した
サンプリング光路差ｘを後述のように補正せずにインタ
ーフェログラムＩ(ｘ)を実測し、これを光路差方向にフ
ーリエ変換して被測定光（20）のスペクトルを測定する
と、測定されたスペクトルが正規のスペクトルからプラ
ス、または、マイナス方向にシフトして、正確なスペク
トル測定ができない。
【００２３】そこで、フーリエ変換型分光器で被測定光
（20）のスペクトルを求める前の適当な時点で、既知ス
ペクトルの光（23）のスペクトルを実測し、実測された
スペクトルと光（23）の既知スペクトルの波長のシフト
量を求めて、半導体レーザー（9）の波長変動に伴うサ
ンプリング光路差ｘの１ピッチの増加単位ｄｘの変動量
ｓを演算する。この演算値ｓで変動したサンプリング光
路差ｘを補正して、被測定光（20）のスペクトル測定を
実行する。
（20）のスペクトルを求める前の適当な時点で、既知ス
ペクトルの光（23）のスペクトルを実測し、実測された
スペクトルと光（23）の既知スペクトルの波長のシフト
量を求めて、半導体レーザー（9）の波長変動に伴うサ
ンプリング光路差ｘの１ピッチの増加単位ｄｘの変動量
ｓを演算する。この演算値ｓで変動したサンプリング光
路差ｘを補正して、被測定光（20）のスペクトル測定を
実行する。
【００２４】具体的に説明すると、フーリエ変換型分光
器への被測定光（20）の入射を止め、代わりに発光体
（10）から既知スペクトルの光（23）を入射させる。半
導体レーザー（9）で移動ミラー（6）の１ピッチの移動
量ｄｘをモニターしながら、既知スペクトルの光（23）
のスペクトルを求める。
器への被測定光（20）の入射を止め、代わりに発光体
（10）から既知スペクトルの光（23）を入射させる。半
導体レーザー（9）で移動ミラー（6）の１ピッチの移動
量ｄｘをモニターしながら、既知スペクトルの光（23）
のスペクトルを求める。
【００２５】半導体レーザー（9）の波長変動でサンプ
リング光路差ｘに変動がある場合、図２の（ａ）と
（ｂ）に示すように、既知スペクトルの光（23）の既知
スペクトルと実測されたスペクトルの波数が相違し、実
測スペクトルが既知スペクトルからシフトする。このシ
フト量を演算して求めると、サンプリング光路差ｘの１
ピッチ当たりの変動量ｓが分かり、この変動量ｓに基づ
いてサンプリング光路差ｘを補正する。以後、この補正
されたサンプリング光路差ｘで被測定光（20）のスペク
トル測定が実行される。
リング光路差ｘに変動がある場合、図２の（ａ）と
（ｂ）に示すように、既知スペクトルの光（23）の既知
スペクトルと実測されたスペクトルの波数が相違し、実
測スペクトルが既知スペクトルからシフトする。このシ
フト量を演算して求めると、サンプリング光路差ｘの１
ピッチ当たりの変動量ｓが分かり、この変動量ｓに基づ
いてサンプリング光路差ｘを補正する。以後、この補正
されたサンプリング光路差ｘで被測定光（20）のスペク
トル測定が実行される。
【００２６】ここで、上記サンプリング光路差ｘの１ピ
ッチ当たりの変動量ｓの算出は、次の理論に基づいて行
っている。すなわち、サンプリングピッチｄｘが１ピッ
チ当たり＋ｓずつ増加している場合、 ａ＝（ｄｘ＋ｓ）／ｄｘとすれば、フーリエ変換の性質
により、Ｆ〔ｆ（ａｘ）〕＝（１／｜ａ｜）・F（ω／
ａ）となり、 Ｆ〔ｆ（ａｘ）〕：フーリエ変換式 F（ω／ａ） ：スペクトル関数 スペクトル領域の伸長が起る。逆にスペクトル領域の伸
長により、光路差領域の圧縮率を求めることができる。
ッチ当たりの変動量ｓの算出は、次の理論に基づいて行
っている。すなわち、サンプリングピッチｄｘが１ピッ
チ当たり＋ｓずつ増加している場合、 ａ＝（ｄｘ＋ｓ）／ｄｘとすれば、フーリエ変換の性質
により、Ｆ〔ｆ（ａｘ）〕＝（１／｜ａ｜）・F（ω／
ａ）となり、 Ｆ〔ｆ（ａｘ）〕：フーリエ変換式 F（ω／ａ） ：スペクトル関数 スペクトル領域の伸長が起る。逆にスペクトル領域の伸
長により、光路差領域の圧縮率を求めることができる。
【００２７】したがって、変動前の基準となるサンプリ
ング光路差ｘをｄｘ、光（23）の既知スペクトルの波数
をω0、実測されたスペクトルの波数をω1とすると、変
動後の補正されたサンプリング光路差ｘは、（ω1／
ω0）ｄｘの式で与えられる。
ング光路差ｘをｄｘ、光（23）の既知スペクトルの波数
をω0、実測されたスペクトルの波数をω1とすると、変
動後の補正されたサンプリング光路差ｘは、（ω1／
ω0）ｄｘの式で与えられる。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、半導体レーザーの波長
の変動でサンプリング光路差が変動しても、既知スペク
トルの光の実測されたスペクトルと既知スペクトルの波
長のシフト量から半導体レーザーの波長変動によるサン
プリング光路差の１ピッチ当たりの変動量ｓを求め、サ
ンプリング光路差ｘを補正することにより、被測定光の
スペクトルが正確に求められるようになり、半導体レー
ザー使用のフーリエ変換型分光器の精度向上、実用化を
可能にする効果がある。また、フーリエ変換型分光器の
サンプリング用レーザーに、小形で安価な半導体レーザ
ーの使用が可能となるので、小形で安価なフーリエ変換
型分光器が提供できる効果もある。
の変動でサンプリング光路差が変動しても、既知スペク
トルの光の実測されたスペクトルと既知スペクトルの波
長のシフト量から半導体レーザーの波長変動によるサン
プリング光路差の１ピッチ当たりの変動量ｓを求め、サ
ンプリング光路差ｘを補正することにより、被測定光の
スペクトルが正確に求められるようになり、半導体レー
ザー使用のフーリエ変換型分光器の精度向上、実用化を
可能にする効果がある。また、フーリエ変換型分光器の
サンプリング用レーザーに、小形で安価な半導体レーザ
ーの使用が可能となるので、小形で安価なフーリエ変換
型分光器が提供できる効果もある。
【図１】本発明の実施例を示すフーリエ変換型分光器の
光学系図。
光学系図。
【図２】図１分光器における既知スペクトル光のスペク
トル図で、（ａ）は光路差変動前、（ｂ）は光路差変動
後を示す。
トル図で、（ａ）は光路差変動前、（ｂ）は光路差変動
後を示す。
【図３】従来のフーリエ変換型分光器の光学系図。
6 移動ミラー 9 半導体レーザー 20 被測定光 23 既知スペクトルの光 ｘ サンプリング光路差
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体レーザーの波長で決まるサンプリ
ング光路差で移動ミラーを駆動させて、被測定光のスペ
クトルを求めるフーリエ変換型分光器で、被測定光に代
わり既知のスペクトルの光のスペクトルを実測し、この
光の実測されたスペクトルと既知のスペクトルの波長の
シフト量から、半導体レーザーの波長変動に基づくサン
プリング光路差の変動量を演算して、サンプリング光路
差を補正することを特徴とするフーリエ変換型分光器の
サンプリング光路差変動補正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16265092A JPH063189A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | フーリエ変換型分光器のサンプリング光路差変動補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16265092A JPH063189A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | フーリエ変換型分光器のサンプリング光路差変動補正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH063189A true JPH063189A (ja) | 1994-01-11 |
Family
ID=15758658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16265092A Withdrawn JPH063189A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | フーリエ変換型分光器のサンプリング光路差変動補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH063189A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017135356A1 (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 日本分光株式会社 | フーリエ変換型分光装置を用いたスペクトル測定方法 |
-
1992
- 1992-06-22 JP JP16265092A patent/JPH063189A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017135356A1 (ja) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 日本分光株式会社 | フーリエ変換型分光装置を用いたスペクトル測定方法 |
| JPWO2017135356A1 (ja) * | 2016-02-04 | 2018-05-31 | 日本分光株式会社 | フーリエ変換型分光装置を用いたスペクトル測定方法 |
| US10317283B2 (en) | 2016-02-04 | 2019-06-11 | Jasco Corporation | Spectrum measurement method using fourier transform type spectroscopic device |
| EP3413021A4 (en) * | 2016-02-04 | 2019-09-18 | Jasco Corporation | METHOD OF MEASURING SPECTRUM USING A FOURIER TRANSFORM TYPE SPECTROMETER |
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