JPH06317912A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板の大きさに応じた適宜の光量で露光を行
う。 【構成】 露光装置の露光部６０は、露光ランプ６１
と、ネジ部が形成された軸状体６２と、軸６３と、駆動
部６４等とから構成されている。露光ランプ６１の光源
６１ａを支持する筐体６１ｂには、２つの雌ネジ部、お
よび嵌合孔が形成されており、これらの部分に軸状体６
２および軸６３が嵌合している。制御部２０は、基板１
の大きさに応じて駆動モータ６４ａを回転させる。これ
により、軸状体６２が回転し、露光ランプ６１は図中
Ｃ，Ｄ方向に移動する。露光ランプ６１が移動すること
により、その下方の基板１上の照射領域が変化する。露
光ランプ６１の設定位置に応じて照明光の照度および／
または照射時間が制御される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、感光性を有する基板
に原版フィルムを密着して露光する露光装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来の露光装置において、プリント配線
板等の基板への配線パターンの形成は、以下のように行
われている。先ず、感光性を有する基板を整合テーブル
により精密位置決めする。次に、この基板に配線パター
ンを形成した原版フィルムを密着させる。この密着した
原版フィルムと基板に、露光ランプにより照明光を照射
し、露光を行う。この露光により、基板に原版フィルム
の配線パターンが焼き付けられる。

【０００３】露光の際に、配線パターンを正確かつ短時
間に基板に焼き付けるためには、露光時の照明光の照度
が強く、かつ基板上の照度が均一であること（均一な照
度分布を有すること）が要求される。

【０００４】露光時の照度を強くするためには、露光ラ
ンプと基板との距離を短く設定する必要がある。ところ
が、基板の外形は、小さなもの（例えば縦２５０ｍｍ，
横２５０ｍｍのもの）から大きなもの（例えば縦５００
ｍｍ，横６００ｍｍのもの）まで多種多様であるので、
これらの種々の基板に対して基板上の照度を均一化する
ためには、照明領域が少なくとも最大の基板を包含する
ことができるように露光ランプと基板との距離を設定す
る必要がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、照明領域が最
大の基板を包含するようにするには、露光ランプと基板
との間の距離を長く設定しなければならない。従って、
露光ランプの光量も、この距離に見合った大きさを確保
しておく必要があった。このために、小さな基板を露光
するときにも、必要以上の大きな光量で露光することと
なるので、不経済であった。また、露光ランプの光量が
一定のものにおいては、基板の大小によらず同一光量と
なるため、小さな基板でも露光時間を短縮することがで
きないという問題点がある。

【０００６】本発明は、上述のような課題を解消するた
めになされたものであって、種々の基板に対して、基板
の大きさに応じて適宜の光量で露光を行うことができる
露光装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、本発明による露光装置の第１の解決手段は、感光性
を有する基板に原版フィルムを密着して露光する露光装
置において、照明光を照射する発光部を前記基板に対し
て接近または離反させ、前記基板の大きさに応じた前記
照明光の照射領域を設定する照射領域設定手段を備える
ことを特徴とする。

【０００８】露光装置の第２の解決手段は、前記基板の
大きさに応じて前記基板に照射する照明光の照度および
／または照射時間を設定して照明光の総光量を制御する
露光制御手段を備えることを特徴とする。

【０００９】露光装置の第３の解決手段は、前記照射領
域設定手段は、少なくとも一部にネジ部を形成した軸状
体からなり、前記ネジ部が前記発光部に形成されたネジ
部と嵌合することにより前記発光部を支持する支持部
と、前記支持部と連結され、前記支持部を回転駆動させ
て前記発光部を前記基板に対して接近または離反させる
駆動部とを備えることを特徴とする。

【００１０】

【作用】露光装置の第１の解決手段においては、照射領
域設定手段により、発光部は、基板の大きさに応じて移
動し、基板に対して接近、または離反する。従って、発
光部と基板との間の適宜の距離が設定されるので、露光
ランプの光量が一定でも基板の大きさに応じた露光時の
光量を設定することができる。この結果、小さな基板ほ
ど、露光時間を短縮することができる。

【００１１】露光装置の第２の解決手段においては、露
光制御手段により、基板の大きさに応じた照度および／
または照射時間が設定される。従って、最小限の照度お
よび／または照射時間で露光を行うことができる。

【００１２】露光装置の第３の解決手段においては、駆
動部により支持部が回転され、支持部の回転により発光
部が支持部上を移動し、発光部の位置が設定され、これ
によって照射領域が制御される。従って、照射領域設定
手段の構造の簡略化を図ることができる。

【００１３】

【実施例】以下、図面等を参照して、本発明の一実施例
について説明する。図１は、本発明による露光装置の一
実施例の構成を示す斜視図である。図１に示す露光装置
は、導入部１０と、整合部３０と、露光部６０等とから
構成されている。

【００１４】導入部１０は、前工程から送られてきた基
板１を予め粗位置決めする（概ねの位置に位置決めす
る）部分であり、この実施例では、複数のピン１１に基
板１の側面をつきあてて位置決めするようにしている。
整合部３０は、導入部１０で粗位置決めされた基板１を
精密位置決めする部分であり、基板１上の位置決め用の
マークを読み取るＣＣＤカメラ３３と、ＣＣＤカメラ３
３からの検出信号に基づいてその上部に配置された基板
１をＸ軸，Ｙ軸方向およびθ軸回りの精密位置決めを行
う整合テーブル３４等とから構成されている。露光部６
０は、搬入されてきた基板１に原版フィルム２のパター
ンを焼き付けて露光する部分であり、所定の照明光を照
射する露光ランプ６１等から構成されている。制御部２
０は、露光部６０の露光動作等を制御する部分である。

【００１５】次に、図１および図２に基づき、露光装置
の動作を説明する。図２は、本発明による露光装置の動
作を説明する側面図である。先ず、図１に示すように、
前工程から搬送されてきた基板１は、導入部１０に搬入
される。基板１は、導入部１０のピン１１によりその側
面が当接され、粗位置決めされる。

【００１６】導入部１０において上記粗位置決めが終了
すると、図２に示すように、搬入キャリア３は、その基
板１を吸引し、導入部１０から整合部３０に搬入する。
整合部３０に搬入されると、搬入キャリア３による吸引
力が解除され、基板１は、整合テーブル３４の上部に設
けられたプレート４上に載置される。この後、搬入キャ
リア３は、再び導入部１０に移動する。ＣＣＤカメラ３
３は、基板１上に設けられた位置決め用のマーク（図示
せず）を検出する。この検出信号に基づいて、整合テー
ブル３４は、Ｘ軸，Ｙ軸方向およびθ軸回りに所定量駆
動し、基板１の精密位置決めを行う。さらにまた、ＣＣ
Ｄカメラ３３は、基板１の外形の大きさを検知する。

【００１７】上記精密位置決めが終了すると、図２にお
いて、プレート５は、整合部３０の基板１と重なる。こ
のプレート５は透明に形成されており、また、プレート
５の図中下側には原版フィルム２が位置決めされて貼付
されている。さらに、プレート５の図中下側周縁部に
は、パッキン５ａが設けられている。このプレート５と
プレート４とが重なり合い、気密室が形成される。さら
にこの気密室は真空吸引され、プレート５と４とが密着
する。これにより、基板１と原版フィルム２とが密着す
る。

【００１８】プレート５と４とは、密着した状態で露光
部６０に搬入される。これらが露光部６０に搬入される
と、露光ランプ６１は、所定の照明光を照射する。原版
フィルム２を透過した照明光を基板１に感光させること
により露光が行われ、原版フィルム２に形成された配線
パターンが基板１上に焼き付けられる。この露光後に
は、プレート５と４との密着状態が解除され、プレート
５は、再び整合部３０に移動する。さらに、搬出キャリ
ア６は、露光が終了した基板１を吸引し、次工程に搬出
する。

【００１９】次に、露光部６０の詳細な構成および動作
を図３に基づき説明する。図３は、露光部６０の一実施
例の構成を示す斜視図である。図３に示すように、露光
部６０は、露光ランプ６１と、露光ランプ６１を支持す
る支持部６２（６２ａ，６２ｂ）および６３（６３ａ，
６３ｂ）と、駆動部６４等とから構成されている。

【００２０】露光ランプ６１は、所定の照明光を照射す
る光源６１ａと、光源６１ａが取り付けられた筐体６１
ｂとから構成されている。筐体６１ｂの対角線上の２角
近傍には、貫通した雌ネジが形成されている。また、筐
体６１ｂの他の２角近傍には、貫通した孔が形成されて
いる。

【００２１】支持部６２は、雄ネジが形成された２本の
軸状体６２ａ，６２ｂから構成され、筐体６１ｂの雌ネ
ジとそれぞれ嵌合している。支持部６３は、２本の軸６
３ａ，６３ｂから構成され、筐体６１ｂの孔とそれぞれ
嵌合している。

【００２２】駆動部６４は、１つの軸状体６２ａの軸上
に取り付けられた駆動モータ６４ａと、駆動モータ６４
ａの駆動力を他の軸状体６２ｂに伝達する回転ベルト６
４ｂ等から構成されている。

【００２３】次に、露光部６０の動作について説明す
る。制御部２０は、ＣＣＤカメラ３３（図２）により検
知した基板１の外形に基づき、駆動モータ６４ａの駆動
量を演算し、駆動モータ６４ａを所定方向に所定量回転
させる。駆動モータ６４ａが回転すると、軸状体６２ａ
が回転され、同時に、回転ベルト６４ｂにより連結され
た軸状体６２ｂが回転する。駆動モータ６４ａが図中Ａ
またはＢ方向に回転することにより、露光ランプ６１
は、図中ＣまたはＤ方向（あるいは、ＤまたはＣ方向）
に移動する。これにより、露光ランプ６１は、その下方
に配置された基板１に対して接近または離反する。従っ
て、露光ランプ６１により照射される照明光の照明領域
を、図中Ｅ領域とＦ領域のように変化させることができ
る。

【００２４】図３に示すように、露光する基板１が基板
１Ａである場合には、露光ランプ６１を図中Ｃ方向に移
動して照明領域をＥ領域にし、露光する基板１が基板１
Ｂである場合には、露光ランプ６１を図中Ｄ方向に移動
して照明領域をＦ領域に設定することができる。

【００２５】このように露光ランプ６１の位置を移動す
れば、基板１の大きさが小さいときには、露光ランプ６
１は図中下側に配置される。従って、小さい基板１であ
る場合には、基板１に照射される照明光の照度が強くな
るので、その分、照射時間（露光時間）を短縮すること
ができ、露光処理の効率を高めることができる。露光ラ
ンプ６１による照明光の照射時間は、例えばクロック回
路等を用いて制御することができる。あるいは、照明光
の照射時間を変化させずに、照度を弱めても良い。この
場合には、少ない電力で露光を行うことができるように
なる。

【００２６】このような露光装置においては、実際に
は、同一種類の基板が連続して処理されるので、１枚の
基板ごとに基板の外形を検知して露光ランプ６１を移動
させる必要はない。従って、上記照射領域の設定は、同
一ロットにおいて１回だけ行われる準備工程での動作で
ある。

【００２７】以上、本発明による露光装置の一実施例に
ついて説明したが、本発明は、上述した実施例に限定さ
れることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々
の変形が可能である。例えば、実施例では雄ネジと雌ネ
ジとを噛み合わせ、軸状体６２の回転により露光ランプ
６１を移動させるようにしたが、油圧サーボ機構等を用
いて露光ランプ６１を移動させるようにしても良い。ま
た、実施例では、ＣＣＤカメラ３３により基板１の外形
を検知して、制御部２０により露光ランプ６１を所定量
移動させるようにしたが、手動で露光ランプ６１を移動
するようにしても良い。あるいは、スイッチ等を付加し
て、作業者がスイッチをオンして駆動モータ６４ａを回
転させ、作業者の目視によって露光ランプ６１を移動さ
せるようにしても良い。

【００２８】

【発明の効果】請求項１に記載の露光装置によれば、基
板の大きさに応じて発光部を基板に対して接近または離
反させ、発光部と基板との間の適宜の距離を設定するよ
うにしたので、必要以上の光量を使用することなく基板
の大きさに応じた光量を設定することができ、経済性の
向上を図ることができる。

【００２９】請求項２に記載の露光装置によれば、基板
の大きさに応じて照度および／または照射時間を設定す
るようにしたので、照度を制御することにより使用電力
を最小限にすることができる。また、照射時間を制御す
ることにより最小限の時間で露光を行うことができ露光
の効率化を図ることができる。

【００３０】請求項３に記載の露光装置によれば、軸状
体から構成した支持部により発光部を支持し、駆動部に
より支持部を回転させて発光部を移動させるようにした
ので、照射領域設定手段の構造の簡略化を図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による露光装置の一実施例の構成を示す
斜視図である。

【図２】本発明による露光装置の動作を説明する側面図
である。

【図３】露光部６０の一実施例の構成を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ 基板 １０ 導入部 ３０ 整合部 ６０ 露光部 ６１ 露光ランプ ６２，６３ 支持部 ６４ 駆動部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 感光性を有する基板に原版フィルムを密
   着して露光する露光装置において、 照明光を照射する発光部を前記基板に対して接近または
   離反させ、前記基板の大きさに応じた前記照明光の照射
   領域を設定する照射領域設定手段を備えることを特徴と
   する露光装置。
2. 【請求項２】 前記基板の大きさに応じて前記基板に照
   射する照明光の照度および／または照射時間を設定して
   照明光の総光量を制御する露光制御手段を備えることを
   特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 【請求項３】 前記照射領域設定手段は、 少なくとも一部にネジ部を形成した軸状体からなり、前
   記ネジ部が前記発光部に形成されたネジ部と嵌合するこ
   とにより前記発光部を支持する支持部と、 前記支持部と連結され、前記支持部を回転駆動させて前
   記発光部を前記基板に対して接近または離反させる駆動
   部とを備えることを特徴とする請求項１または２に記載
   の露光装置。