JPH0631534A - 放電加工機用電源装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高速に加工電流を制御でき、電極消耗が少な
く、大面積の加工であっても加工品質が良く、仕上加工
においても高速に加工できること。 【構成】 放電加工機の電源として、電流供給部１０
１、電流断続部１０２を有し、給電線１００Ｂ，１００
Ｃによって接続された電流供給部１０１から電流断続部
１０２に加工電力を供給している。電流断続部１０２は
電流供給部１０１から供給された加工電流を断続し、で
きるだけ短距離の給電線１０３Ａ、１０３Ｂによりそれ
ぞれ電極５、被加工物４に接続する。電流断続部１０２
は電極５及び被加工物４の近傍に設置する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、加工液中に浸漬され
た電極と被加工物間に加工電力を供給することによっ
て、被加工物に対して放電加工を行なう型彫放電加工
機、ワイヤカット放電加工機等の放電加工機に関するも
ので、特に、その放電加工機に放電加工機用電源装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４０は従来の放電加工機の一例を示す
全体の構成図である。図において、１は加工槽、２は加
工液で、例えば、パラフィン系炭化水素を主成分とする
鉱物油からなるものである。３は加工テーブルで、電極
５と被加工物４の相対位置を制御するものであり、通
常、図示しない数値制御装置等によって駆動される。４
は被加工物で、５は電極である。６は電極送り手段であ
り、下端部には電極５が取付けられる。７は電源で、電
極５と被加工物４間に液中放電を発生させる電力を供給
する。８Ａ，８Ｂは電源７から電極５及び被加工物４間
に電力を供給する給電線である。

【０００３】使用状態では、加工槽１に加工液２を満た
し、電極送り手段６に取付けた電極５と加工テーブル３
に取付けた被加工物４とを浸漬し、図示しない数値制御
装置等によって電極５と被加工物４とを相対移動可能と
する。そして、給電線８Ａ，８Ｂにより、加工槽１から
離れた距離にある電源７から電極５と被加工物４に電力
を供給し放電加工を行なう。

【０００４】次に、前述の従来の放電加工機について、
その動作を説明する。図４１は従来の放電加工機に使用
している電源７から給電線８Ａ、８Ｂを介して電極５及
び被加工物４までの第１の事例による回路図である。図
において、電圧源１０に電気的に開閉制御されるスイッ
チ１１と、加工電流を制限するための抵抗１２、及びダ
イオード１３により構成される電源７は、給電線８Ａ、
８Ｂにより離れた位置にある電極５と被加工物４に電力
を供給し、電極５と被加工物４との間で発生する放電に
より放電加工を行なう。

【０００５】この場合、給電線８Ａ，８Ｂにはインダク
タンス１４Ａ，１４Ｂが存在する。このインダクタンス
１４Ａ，１４Ｂによって、喩え、スイッチ１１を高速に
オフ状態としても、加工電流はダイオード１３、抵抗１
２を通って流れ続けようとし、直ちに加工電流が減少せ
ず、加工電流を高速遮断することができなかった。

【０００６】更に、これを図４２を用いて説明する。図
４２は従来の放電加工機に使用している回路におけるス
イッチ制御に伴う極間電圧及び加工電流のタイムチャー
トである。まず、スイッチ１１が、図４２（ａ）に示す
ように、タイミングｔ1 でオンすると、図４２（ｂ）に
示すように極間電圧が上昇し、電極５と被加工物４間に
電圧源１０の電圧を印加する。その後、電極５と被加工
物４間にタイミングｔ3 で放電が発生すると、図４２
（ｃ）に示すように、電極５と被加工物４間に指数関数
的に順次増加する加工電流ｉ1 が流れる。この加工電流
ｉ1 の立上がりは抵抗１２と給電線８Ａ，８Ｂのインダ
クタンス１４Ａ，１４Ｂによって決まる。給電線８Ａ，
８Ｂのインダクタンス１４Ａ，１４Ｂが大きいと、加工
電流ｉ1 の立上がりが遅くなる。

【０００７】次に、スイッチ１１がタイミングｔ2 でオ
フすると、加工電流ｉ2 はダイオード１３、抵抗１２を
通り指数関数的に順次減少する。極間電圧は加工電流ｉ
2 が零になったタイミングｔ4 で急激に低下する。した
がって、加工電流の立上がり及び減少に時間がかかるの
で、電極５と被加工物４間、即ち、極間の放電現象の速
度に対し加工電流を高速制御することができなかった。
即ち、電源７が大型であり、電極５及び被加工物４の付
近に設置できないから、給電線８Ａ，８Ｂのインダクタ
ンス１４Ａ，１４Ｂが大きく、極間の放電現象の速度に
対し加工電流を高速制御することができなかった。

【０００８】次に、従来の放電加工機の他の事例につい
て動作を説明する。図４３は従来の放電加工機に使用し
ている電源７から給電線８Ａ、８Ｂを介して電極５及び
被加工物４までの第２の事例による回路図である。図４
３において、電源７は、電圧源１０に電気的にスイッチ
ング制御されるスイッチ２０とダイオード２１、リアク
トル２２により構成される定電流供給部と、ダイオード
２３、スイッチ２４、ダイオード２５、電圧源２６によ
り構成される定電流断続部の２つの機能により構成され
る。

【０００９】電源７は、給電線８Ａ，８Ｂにより離れた
位置にある電極５及び被加工物４に電力を供給し、電極
５と被加工物４との間で発生する放電により加工を行な
う。この場合、給電線８Ａ，８Ｂにはインダクタンス１
４Ａ，１４Ｂが存在する。このインダクタンス１４Ａ，
１４Ｂによってスイッチ２４を高速にオフとしても、加
工電流は電圧源２６及びダイオード２５を通って流れ続
けようとし、直に減少せず、加工電流を高速に遮断する
ことができなかった。また、給電線８Ａ，８Ｂにインダ
クタンス１４Ａ，１４Ｂが存在することから、スイッチ
２４をオンとしても、放電が発生した直後の加工電流を
高速に立上げることが困難であった。即ち、電源７が大
型であり、電極５及び被加工物４の付近に設置できない
から、給電線８Ａ，８Ｂのインダクタンス１４Ａ，１４
Ｂが大きくなり、極間の放電現象の速度に対し加工電流
を高速制御することができなかった。

【００１０】次に、従来の放電加工機の第３の事例とし
てワイヤット放電加工機について動作を説明する。図４
４は従来のワイヤット放電加工機に使用している電源７
から給電線８Ａ、８Ｂを介して電極５及び被加工物４ま
での第３の事例による回路図である。

【００１１】図において、電源７は、電圧源１０に電気
的にスイッチング制御されるスイッチ３０，３１とダイ
オード３２，３３により構成される。電源７は、給電線
８Ａ，８Ｂにより離れた位置にある電極５としてのワイ
ヤ３５に給電子３４を介して電気的に接続し、被加工物
４の間に電力を供給し電極５としてのワイヤ３５と被加
工物４との間で発生する放電により加工を行なう。この
場合、給電線８Ａ，８Ｂにはインダクタンス１４Ａ，１
４Ｂが存在する。このインダクタンス１４Ａ，１４Ｂに
よりスイッチ３０，３１を高速にオフとしても、加工電
流はダイオード３３、電圧源１０、ダイオード３２を通
って流れ続けようとし、直に減少せず、加工電流を高速
に遮断することができない。また、スイッチ３０，３１
をオンとして放電を発生させる場合にも、直後の加工電
流も高速に立上げることが困難であった。

【００１２】即ち、この事例においても、電源７が大型
であり、電極５及び被加工物４の付近に設置できないか
ら、給電線８Ａ，８Ｂのインダクタンス１４Ａ，１４Ｂ
が大きくなり、極間の放電現象の速度に対し加工電流を
高速制御することができなかった。

【００１３】次に、給電線として同軸ケーブル３６を使
用した放電加工機について動作を説明する。図４５は従
来の第４の事例による放電加工機で、同軸ケーブル３６
を使用した放電加工機の回路図である。図において、同
軸ケーブル３６は２本の同じ長さの電線と比べてインダ
クタンス１４Ａ、１４Ｂの値が少ない。このため、高速
で加工電流を制御する放電加工機には良く用いられてい
る方式であるが、同軸ケーブル３６には静電容量３７が
分布しており、同軸ケーブル３６が長くなると、この静
電容量３７はかなり大きくなる。したがって、電極５と
被加工物４間に静電容量３７が並列に接続されることに
なり、放電が発生するとこの静電容量３７に蓄積された
電気量が加工電力となって放電されるため微細加工等の
仕上加工には加工面粗度が悪くなり、また、大電流の同
軸ケーブルは高価であるなどの問題点があった。

【００１４】即ち、この事例においては、電源７が大型
であり、電極５及び被加工物４の付近に設置できないか
ら、同軸ケーブル３６で加工電力を供給し、インダクタ
ンスの影響を回避するものであるが、逆に、同軸ケーブ
ル３６の静電容量３７の影響が大きくなり、極間の放電
現象の速度に対し加工電流を高速制御することができな
かった。

【００１５】次に、従来の放電加工機の第５の事例とし
て特開昭５５−４２７４９号公報に示された放電加工機
について説明する。図４６は従来の第５の事例による上
記公報に掲載された放電加工機の回路図である。図にお
いて、商用交流電源を整流した直流電源４０３、トラン
ジスタからなるスイッチ４０４、スイッチ４０４をオン
・オフ制御する制御パルスを発生するパルス発生回路４
０５、スイッチ４０４のスイッチング制御によって加工
パルスを発生するパルス電源４００を構成する。このパ
ルス電源４００はケーブル４０６によって電極５と被加
工物４に接続される。これは、従来行なわれている一般
的な放電加工機用電源の形態である。

【００１６】また、放電用コンデンサ４０７、サイリス
タからなる放電制御スイッチ４０８を電極５と被加工物
４の近傍に配置し、それらを配線するリード線を短くし
て接続している。放電制御スイッチ４０８の制御パルス
を発生するパルス発生回路４０９は前記パルス発生回路
４０５と関連制御または同期して独立制御される。パル
ス電源４００からはスイッチ４０４のスイッチング制御
によって加工パルスを発生する。この加工パルスはケー
ブル４０６を伝わって電極５と被加工物４間に供給され
るが、この加工パルスによって直接加工が行なわれるわ
けではなく、加工パルスによりダイオード４１０を介し
てコンデンサ４０７を充電し、その後、スイッチ４０８
がオンしたとき、コンデンサ４０７はスイッチ４０８を
通して電極５と被加工物４間に放電する。したがって、
加工パルス電源４００から供給される加工パルスを波形
変換し、電極５と被加工物４間に放電させることができ
る。これにより加工速度が向上するというものである。

【００１７】この種の事例は、従来の放電加工用のパル
ス電源４００にコンデンサ４０７とスイッチ４０８によ
り構成される補助放電回路を並列に付加し、放電パルス
電流を、一旦、コンデンサ４０７に充電してから、スイ
ッチ４０８をオンとし、電極５と被加工物４間に波高値
の高いパルスを放電させるようにしたものである。

【００１８】しかし、この放電加工機では、補助放電回
路を付加したものであるので、ケーブル４０６によって
パルス電源４００のパルスが電極５と被加工物４間に放
電する電流の立上がりを改善することはできない。むし
ろ、コンデンサ４０７に充電するためパルス電源４００
から出力する加工パルスとは、全く別の放電パルスが電
極５と被加工物４間に加えられることになる。

【００１９】また、放電電流の遮断に対しても、ケーブ
ル４０６が電極５と被加工物４間に接続された状態であ
り、また、電極５と被加工物４間の放電後もスイッチ４
０８がオンしているのでコンデンサ４０７が接続された
状態になっており、高速の放電電流遮断は不可能であ
る。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】従来の放電加工機用電
源装置は、電源７が大型であり、電極５及び被加工物４
の付近に設置できないから、電源７から電極５及び被加
工物４までに配線された給電線８Ａ，８Ｂのインダクタ
ンスまたは静電容量が大きくなり、インダクタンスまた
は静電容量の影響を受けている極間の放電現象の速度に
対し加工電流を高速制御することができなかった。具体
的には、加工電流を高速に立上げたり、放電現象より高
速に遮断することができなかったため、その加工電流の
電流波形により、電極消耗が多く、特に、大面積の加工
において加工品質が悪くなり、仕上加工では加工面粗度
が悪く、加工速度が遅くなるという不具合を有してい
た。

【００２１】そこで、この発明は、上記のような不具合
を解消するためになされたもので、電極消耗が少なく、
譬え、大面積の加工であっても、加工品質が良く、高速
加工できる放電加工機用電源装置を得ることを課題とす
る。

【００２２】

【課題を解決するための手段】請求項１にかかる放電加
工機用電源装置は、加工用の電流を供給する電流供給部
と、前記電流供給部から電極と被加工物間に供給する加
工電流を断続制御する電流断続部と、前記電流断続部を
前記電流供給部から分離し、前記電流供給部と前記電流
断続部とを前記電流断続部に電流を供給する給電線及び
前記電流断続部から前記電流供給部に電力を回生する回
生線により接続し、前記電極または被加工物の近傍に設
けたものである。

【００２３】請求項２にかかる放電加工機用電源装置
は、前記請求項１の電極送り手段の構造体に前記電流断
続部を取付けたものである。

【００２４】請求項３にかかる放電加工機用電源装置
は、前記請求項１の電極または電極と電極送り手段の間
に電流断続部を取付けたものである。

【００２５】請求項４にかかる放電加工機用電源装置
は、前記請求項１の被加工物と加工テーブルの間に電流
断続部を取付けたものである。

【００２６】請求項５にかかる放電加工機用電源装置
は、前記請求項１の加工テーブルまたは加工テーブルの
下部に電流断続部を取付けたものである。

【００２７】請求項６にかかる放電加工機用電源装置
は、前記請求項１における金属線を前記電極とし、前記
金属線に給電子を介して給電して前記被加工物を任意の
形状に加工するワイヤカット放電加工機とし、前記電流
を給電する給電子と前記被加工物の近傍に電流断続部を
取付けたものである。

【００２８】請求項７にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記電
流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及び抵抗によ
って構成され、前記電流断続部は、前記電流供給部側の
回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記電流供給部
側の給電線にはスイッチを直列接続して前記電極または
被加工物に接続し、前記スイッチの前記給電線側と回生
線間にはダイオードを接続したものである。

【００２９】請求項８にかかる放電加工機用電源装置
は、同様に、前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイ
オード及びリアクトルによって構成され、前記電流断続
部は、前記電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並
列接続し、前記電流供給部側の給電線にはスイッチを直
列接続して前記電極または被加工物に接続し、前記スイ
ッチの前記給電線側と回生線間にはダイオードを接続し
たものである。

【００３０】請求項９にかかる放電加工機用電源装置
は、同様に、加工用の電流を供給する電流供給部と、前
記電流供給部から電極と被加工物間に供給する加工電流
を断続制御すると共に、前記電流供給部から分離し、前
記電流供給部とを給電線及び回生線により接続し、前記
電極または被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備
え、前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及
び抵抗によって構成され、前記電流断続部は、前記電流
供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記
電流供給部側の一方の給電線にはスイッチを直列接続し
て前記電極または被加工物に接続し、他方の給電線と回
生線間にはダイオードを接続したものである。

【００３１】請求項１０にかかる放電加工機用電源装置
は、同様に、加工用の電流を供給する電流供給部と、前
記電流供給部から電極と被加工物間に供給する加工電流
を断続制御すると共に、前記電流供給部から分離し、前
記電流供給部とを給電線及び回生線により接続し、前記
電極または被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備
え、前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及
びリアクトルによって構成され、前記電流断続部は、前
記電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続
し、前記電流供給部側の一方の給電線にはスイッチを直
列接続して前記電極または被加工物に接続し、他方の給
電線と回生線間にはダイオードを接続したものである。

【００３２】請求項１１にかかる放電加工機用電源装置
は、同様に、加工用の電流を供給する電流供給部と、前
記電流供給部から電極と被加工物間に供給する加工電流
を断続制御すると共に、前記電流供給部から分離し、前
記電流供給部とを給電線及び回生線により接続し、前記
電極または被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備
え、前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及
び抵抗によって構成され、前記電流断続部は、前記電流
供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記
電流供給部側の一対の給電線には、電流を供給する前記
電極と被加工物間にスイッチを並列接続し、それを直列
接続し、かつ、前記給電線と回生線間にはダイオードを
接続したものである。

【００３３】請求項１２にかかる放電加工機用電源装置
は、同様に、加工用の電流を供給する電流供給部と、前
記電流供給部から電極と被加工物間に供給する加工電流
を断続制御すると共に、前記電流供給部から分離し、前
記電流供給部とを給電線及び回生線により接続し、前記
電極または被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備
え、前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及
びリアクトルによって構成され、前記電流断続部は、前
記電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続
し、前記電流供給部側の一対の給電線には、前記電極及
び被加工物とスイッチとを並列接続し、かつ、前記給電
線と回生線間にはダイオードを接続したものである。

【００３４】請求項１３にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記電
流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及びリアクト
ルによって構成され、前記電流断続部は、前記電流供給
部側の回生線間にコンデンサを並列接続し、前記電流供
給部側の一方の給電線に第１のスイッチを直列接続し、
更に、前記第１のスイッチに対し、前記電極と被加工物
間に第２のスイッチを並列接続したものを直列接続し、
かつ、前記給電線と回生線間にはダイオードを接続した
ものである。

【００３５】請求項１４にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記電
流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及びリアクト
ルによって構成され、前記電流断続部は、前記電流供給
部側の回生線間にコンデンサを並列接続し、前記電流供
給部側の給電線間に各２個のスイッチを直並列接続し、
各２個のスイッチの直列接続点相互間に前記電極と被加
工物を直列接続し、かつ、前記給電線と回生線間にはダ
イオードを接続したものである。

【００３６】請求項１５にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記電
流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及びリアクト
ル、各２個のスイッチを直並列接続した４個のスイッチ
によって構成され、各２個のスイッチの直列接続点相互
間と前記電流断続部とを給電線で接続し、前記電流断続
部は、前記電流供給部側の回生線間にコンデンサを並列
接続し、前記電流供給部側の給電線間にダイオードブリ
ッジを接続し、前記ブリッジ接続した４つのダイオード
の接続点間にスイッチを接続し、また、前記電流供給部
側の給電線間に電極及び被加工物を接続し、そして、前
記給電線と回生線間にはダイオードを接続したものであ
る。

【００３７】請求項１６にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記電
流断続部は前記電極と被加工物間に並列接続したスイッ
チを有し、前記スイッチは、前記電極と被加工物間の電
圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の出力と所定
の閾値とを比較するコンパレータを有し、前記コンパレ
ータの出力によって前記スイッチを電極と被加工物との
間の放電発生後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ前
記スイッチをオン状態とするものである。

【００３８】請求項１７にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記電
流断続部は前記給電線間にダイオードブリッジを接続
し、前記ブリッジ接続した４つのダイオードの接続点間
にスイッチを接続し、前記スイッチは、前記電極と被加
工物間の電圧を検出する絶対値回路、前記絶対値回路の
電圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の出力と所
定の閾値とを比較するコンパレータとを有し、前記コン
パレータの出力によって前記スイッチを電極と被加工物
との間の放電発生後、所定の時間後に、所定の時間幅だ
け前記スイッチをオン状態とするものである。

【００３９】請求項１８にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記電
流断続部は前記電極と被加工物間に並列接続し、ソース
を共通にした直列接続した複数のＭＯＳＦＥＴを有し、
前記複数のＭＯＳＦＥＴは、前記電極と被加工物間の電
圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の出力と所定
の閾値とを比較するコンパレータを有し、前記コンパレ
ータの出力によって前記スイッチを電極と被加工物との
間の放電発生後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ前
記スイッチをオン状態とするものである。

【００４０】請求項１９にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記電
流断続部は前記給電線間にスイッチを接続し、前記スイ
ッチは外部制御手段から制御されたタイミングで電極と
被加工物との間の放電可能時間を制御され、その放電可
能時間中において、前記電極と被加工物間の電圧変動を
検出する微分回路、前記微分回路の出力と所定の閾値と
を比較するコンパレータとを有し、前記コンパレータの
出力によって前記スイッチを電極と被加工物との間の放
電発生後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ前記スイ
ッチをオン状態とするものである。

【００４１】請求項２０にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記電
流断続部は、前記電流供給部側の回生線間にコンデンサ
を接続し、前記電極と被加工物間の給電線間にスイッチ
を接続し、前記給電線と回生線間にはダイオードを接続
し、また、前記電極と被加工物間にコンデンサとパルス
トランスの１次コイルを直列接続し、パルストランスの
２次側に発生する電圧により前記スイッチを放電発生の
直後に所定の時間幅だけオンさせるものである。

【００４２】請求項２１にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記給
電線と電極と被加工物との間に直列にスイッチを接続
し、前記スイッチは、外部制御手段から制御されたタイ
ミングで電極と被加工物との間の放電開始時間及び放電
可能間隔を制御され、その放電可能間隔中に、前記電極
と被加工物間の放電電流及び放電電圧を検出し、それを
乗算する乗算回路及びその乗算された出力を積分する積
分回路を有し、前記積分回路の出力が所定の閾値に達し
たとき前記放電可能間隔中にかかわらず、前記スイッチ
を開放するものである。

【００４３】請求項２２にかかる放電加工機用電源装置
は、加工用の電流を供給する電流供給部と、前記電流供
給部から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制
御すると共に、前記電流供給部から分離し、前記電流供
給部とを給電線及び回生線により接続し、前記電極また
は被加工物の近傍に設けた電流断続部とを備え、前記電
流断続部は前記給電線間にスイッチを接続し、前記スイ
ッチは外部制御手段から制御されたタイミングで電極と
被加工物との間の放電可能時間を制御され、その放電可
能時間中において、前記電極と被加工物間の電圧変動を
検出する微分回路、前記微分回路の出力と所定の閾値と
を比較するコンパレータとを有し、前記コンパレータの
出力によって前記スイッチを電極と被加工物との間の放
電発生後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ前記スイ
ッチをオン状態とし、また、前記電極と被加工物間の放
電電流及び放電電圧を検出し、それを乗算する乗算回路
及びその乗算された出力を積分する積分回路を有し、前
記積分回路の出力が所定の閾値に達したとき前記放電可
能間隔中にかかわらず、前記スイッチをオン状態とする
ものである。

【００４４】請求項２３にかかる放電加工機用電源装置
は、加工液に浸漬された電極と被加工物間に加工電力を
供給する放電加工機用電源装置において、電極と被加工
物間に発生する放電の電流を制御する電流断続部と、前
記電流断続部に加工用の電力を供給する電流供給部とを
備え、前記電流断続部は、前記電流供給部側の回生線と
の間にコンデンサを接続し、前記電流供給部側の給電線
間に各２個のスイッチを直並列接続し、各２個のスイッ
チの直列接続点相互間に前記電極と被加工物をインダク
タンスを介して直列接続し、かつ、前記電極と被加工物
に並列にコンデンサを接続し、また、前記給電線と回生
線間にはダイオードを接続したものである。

【００４５】請求項２４にかかる放電加工機用電源装置
は、請求項２３の電流供給部側の給電線間に直並列接続
した各２個のスイッチの繰返しスイッチング周波数と、
前記各２個のスイッチの直列接続点相互間に直列接続し
たインダクタンス及び前記電極と被加工物に並列接続し
たコンデンサを、前記スイッチング周波数の共振周波数
にその定数を設定したものである。

【００４６】請求項２５にかかる放電加工機用電源装置
は、加工液に浸漬された電極と被加工物間に加工電力を
供給する放電加工機用電源装置において、電極と被加工
物間に発生する放電の電流を制御する電流断続部と、前
記電流断続部に加工用の電力を供給する電流供給部とを
備え、前記電流断続部は、前記電流供給部側の回生線と
の間にコンデンサを接続し、かつ、前記給電線と回生線
間にはダイオードを接続し、また、前記電流供給部側の
給電線間に各２個のスイッチを直並列接続し、各２個の
スイッチの直列接続点相互間と前記電極と被加工物との
間には、両側のインピーダンスを整合させるインピーダ
ンスマッチング回路を接続したものである。

【００４７】

【作用】請求項１の発明にかかる放電加工機用電源装置
は、加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部
から電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御す
ると共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または
被加工物の近傍に設けた電流断続部とを分離し、給電線
のインダクタンスをなくすため、電流断続部を電極及び
被加工物の近傍に設けたものである。

【００４８】請求項２の発明にかかる放電加工機用電源
装置は、給電線のインダクタンスをなくすため電流断続
部を電源から分離して電極送り手段に設け、電流断続部
から電極と被加工物への配線の距離を短くした。

【００４９】請求項３の発明にかかる放電加工機用電源
装置は、電極または電極と電極送り手段の間に電流断続
部を取付け電流断続部から電極と被加工物への配線の距
離を短くした。

【００５０】請求項４の発明にかかる放電加工機用電源
装置は、被加工物と加工テーブルの間に電流断続部を取
付け電流断続部から電極と被加工物への配線の距離を短
くした。

【００５１】請求項５の発明にかかる放電加工機用電源
装置は、加工テーブルまたは加工テーブルの下部に電流
断続部を取付け電流断続部から電極と被加工物への配線
の距離を短くした。

【００５２】請求項６の発明にかかる放電加工機用電源
装置は、金属線を前記電極とし、前記金属線に給電子を
介して給電して前記被加工物を任意の形状に加工するワ
イヤカット放電加工機とし、給電線のインダクタンスを
なくすため電流断続部を電源から分離して給電子と被加
工物近傍に設けたものである。

【００５３】請求項７の発明にかかる放電加工機用電源
装置の電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及び
抵抗によって構成し、前記電流断続部は、前記電流供給
部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記電流
供給部側の給電線にはスイッチを直列接続して前記電極
または被加工物に接続し、前記スイッチの前記給電線側
と回生線間との間にはダイオードを接続し、スイッチの
高速開閉を可能とした。

【００５４】請求項８の発明にかかる放電加工機用電源
装置の電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及び
リアクトルによって構成し、前記電流断続部は、前記電
流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前
記電流供給部側の給電線にはスイッチを直列接続して前
記電極または被加工物に接続し、前記スイッチの前記給
電線側と回生線間にはダイオードを接続し、スイッチの
高速開閉を可能とした。

【００５５】請求項９の発明にかかる放電加工機用電源
装置の電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及び
抵抗によって構成し、前記電流断続部は、前記電流供給
部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記電流
供給部側の一方の給電線と回生線との共通線にはスイッ
チを直列接続して前記電極または被加工物に接続し、他
方の給電線と回生線間にはダイオードを接続し、スイッ
チの高速開閉を可能とした。

【００５６】請求項１０の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及
びリアクトルによって構成し、前記電流断続部は、前記
電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、
前記電流供給部側の一方の給電線と回生線との共通線に
はスイッチを直列接続して前記電極または被加工物に接
続し、他方の給電線と回生線間にはダイオードを接続
し、スイッチの高速開閉を可能とした。

【００５７】請求項１１の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及
び抵抗によって構成し、前記電流断続部は、前記電流供
給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記電
流供給部側の一対の給電線には、電流を供給する前記電
極と被加工物間にスイッチを並列接続したものを接続
し、かつ、前記給電線と回生線間にはダイオードを接続
し、スイッチの高速開閉を可能とした。

【００５８】請求項１２の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及
びリアクトルによって構成し、前記電流断続部は、前記
電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、
前記電流供給部側の一対の給電線には、前記電極及び被
加工物とスイッチとを並列接続し、かつ、前記給電線と
回生線間にはダイオードを接続し、スイッチの高速開閉
を可能とした。

【００５９】請求項１３の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及
びリアクトルによって構成し、前記電流断続部は、前記
電流供給部側の回生線間にコンデンサを並列接続し、前
記電流供給部側の一方の給電線に第１のスイッチを直列
接続し、更に、前記第１のスイッチに対し、前記電極と
被加工物間に第２のスイッチを並列接続したものを直列
接続し、かつ、前記給電線と回生線間にはダイオードを
接続し、スイッチの高速開閉を可能とした。

【００６０】請求項１４の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及
びリアクトルによって構成し、前記電流断続部は、前記
電流供給部側の回生線間にコンデンサを並列接続し、前
記電流供給部側の給電線間に各２個のスイッチを直並列
接続し、各２個のスイッチの直列接続点相互間に前記電
極と被加工物を直列接続し、かつ、前記給電線と回生線
間にはダイオードを接続し、スイッチの高速開閉を可能
とした。

【００６１】請求項１５の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及
びリアクトル、各２個のスイッチを直並列接続した４個
のスイッチによって構成し、前記各２個のスイッチの直
列接続点相互間と前記電流断続部とを給電線で接続し、
前記電流断続部は、前記電流供給部側の回生線間にコン
デンサを並列接続し、前記電流供給部側の給電線間にダ
イオードブリッジを接続し、前記ブリッジ接続した４つ
のダイオードの接続点間にスイッチを接続し、また、前
記電流供給部側の給電線間に電極及び被加工物を接続
し、そして、前記給電線と回生線間にはダイオードを接
続し、スイッチの高速開閉を可能とした。

【００６２】請求項１６の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流断続部は、電極と被加工物間に並列接続し
たスイッチを有し、前記スイッチは、前記電極と被加工
物間の電圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の出
力と所定の閾値とを比較するコンパレータを有し、前記
コンパレータの出力によって前記スイッチを電極と被加
工物との間の放電が発生した後、所定の時間後に所定の
時間幅だけ前記スイッチをオン状態とすることにより、
放電開始時のピーク電流を抑制する。

【００６３】請求項１７の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流断続部は、給電線間にダイオードブリッジ
を接続し、前記ブリッジ接続した４つのダイオードの接
続点間にスイッチを接続し、前記スイッチは、前記電極
と被加工物間の電圧を検出する絶対値回路、前記絶対値
回路の電圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の出
力と所定の閾値とを比較するコンパレータとを有し、前
記コンパレータの出力によって前記スイッチを電極と被
加工物との間の放電が発生した後、所定の時間後に、所
定の時間幅だけ前記スイッチをオン状態とすることによ
り、放電開始時のピーク電流を抑制する。

【００６４】請求項１８の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流断続部は、電極と被加工物間に並列接続
し、ソースを共通にして直列接続した複数のＭＯＳＦＥ
Ｔを有し、前記複数のＭＯＳＦＥＴは、前記電極と被加
工物間の電圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の
出力と所定の閾値とを比較するコンパレータを有し、前
記コンパレータの出力によって前記複数のＭＯＳＦＥＴ
を電極と被加工物との間の放電が発生した後、所定の時
間後に、所定の時間幅だけ前記複数のＭＯＳＦＥＴをオ
ン状態とすることにより、放電開始時のピーク電流を抑
制する。

【００６５】請求項１９の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流断続部は、給電線間にスイッチを接続し、
前記スイッチは外部制御手段から制御されたタイミング
で電極と被加工物との間の放電可能時間を制御され、そ
の放電可能時間中において、前記電極と被加工物間の電
圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の出力と所定
の閾値とを比較するコンパレータとを有し、前記コンパ
レータの出力によって前記スイッチを電極と被加工物と
の間の放電が発生した後、所定の時間後に、所定の時間
幅だけ前記スイッチをオン状態とすることにより、放電
開始時のピーク電流を抑制する。

【００６６】請求項２０の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流断続部は、電流供給部側の回生線間にコン
デンサを接続し、前記電極と被加工物間の給電線間にス
イッチを接続し、前記給電線と回生線間にはダイオード
を接続し、また、前記電極と被加工物間にコンデンサと
パルストランスの１次コイルを直列接続し、パルストラ
ンスの２次側に発生する電圧により前記スイッチを放電
発生の直後に所定の時間幅だけオンさせることにより、
放電開始時のピーク電流を抑制する。

【００６７】請求項２１の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流断続部は、給電線と電極と被加工物との間
に直列にスイッチを接続し、前記スイッチは、外部制御
手段から制御されたタイミングで電極と被加工物との間
の放電開始時間及び放電可能間隔を制御され、その放電
可能間隔中に、前記電極と被加工物間の放電電流及び放
電電圧を検出し、それを乗算する乗算回路及びその乗算
された出力を積分する積分回路を有し、前記積分回路の
出力が所定の閾値に達したとき前記放電可能間隔中にか
かわらず、前記スイッチを開放するものであり、一発一
発の放電エネルギーを一定にする。これにより、放電エ
ネルギーの一発一発を一定に制御するので加工仕上を良
くすることができる。

【００６８】請求項２２の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流断続部は、給電線間にスイッチを接続し、
前記スイッチは外部制御手段から制御されたタイミング
で電極と被加工物との間の放電可能時間を制御され、そ
の放電可能時間中において、前記電極と被加工物間の電
圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の出力と所定
の閾値とを比較するコンパレータとを有し、前記コンパ
レータの出力によって前記スイッチを電極と被加工物と
の間の放電発生後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ
前記スイッチをオン状態とし、また、前記電極と被加工
物間の放電電流及び放電電圧を検出し、それを乗算する
乗算回路及びその乗算された出力を積分する積分回路を
有し、前記積分回路の出力が所定の閾値に達したとき前
記放電可能間隔中にかかわらず、前記スイッチをオン状
態とするものであり、一発一発の放電エネルギーを一定
にし、しかも、放電発生直後短時間スイッチをオンさせ
るものである。

【００６９】請求項２３の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列
接続し、前記電流供給部側の給電線間に各２個のスイッ
チを直並列接続し、前記各２個のスイッチの直列接続点
相互間に前記電極と被加工物をインダクタンスを介して
直列接続し、かつ、前記電極と被加工物に並列にコンデ
ンサを接続し、また、前記給電線と回生線間にはダイオ
ードを接続し、高周波により放電加工を可能とした。ま
た、高周波で放電加工を行なうことができ、加工速度が
早く、加工仕上りを良くすることができる。

【００７０】請求項２４の発明にかかる放電加工機用電
源装置は、インダクタとコンデンサを高周波において直
列共振させ、電極と被加工物に接続したものであるか
ら、直列共振により電極と被加工物に印加する電圧を上
げることができる。

【００７１】請求項２５の発明にかかる放電加工機用電
源装置の電流断続部は、電流供給部側の回生線間にはコ
ンデンサを並列接続し、前記給電線と回生線間にはダイ
オードを接続し、また、前記電流供給部側の給電線間に
各２個のスイッチを直並列接続し、各２個のスイッチの
直列接続点相互間と前記電極と被加工物との間には、両
側のインピーダンスを整合させるインピーダンスマッチ
ング回路を接続し、効率よく加工エネルギーを伝達す
る。

【００７２】

【実施例】以下、この発明の実施例について説明する。
なお、全体を通して、従来例及び実施例と同一符号及び
記号は従来例及び実施例の構成部分と同一または相当す
る構成部分を示すものである。

【００７３】この発明の第１の実施例を図１に示す。図
１はこの発明の第１の実施例による電流供給部１０１と
電流断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置を示
す全体構成図である。

【００７４】図において、１０１は加工電流を供給する
電流供給部、１０２は前記電流供給部１０１から電極５
と被加工物４間に供給する加工電流をスイッチによって
断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部である。電流供給部１０１と電流断続部１０２は、
回生線１００Ａ、給電線１００Ｂ及び給電線１００Ｃに
より接続され、給電線１００Ｂ及び給電線１００Ｃによ
り電流供給部１０１から電流断続部１０２に加工電力を
供給している。電流断続部１０２は電流供給部１０１か
ら供給された加工電流を断続し、所定の加工電流をでき
るだけ短距離に配線した給電線１０３Ａ，１０３Ｂによ
って、電極５と被加工物４に接続している。電流断続部
１０２は電極５及び被加工物４の近傍に設置し、給電線
１０３Ａ，１０３Ｂを短い距離で接続可能とする。ま
た、回生線１００Ａ及び回生線を兼用する給電線１００
Ｂまたは給電線１００Ｃは、電流断続部１０２側のスイ
ッチング制御の際に発生する電力を、電流供給部１０１
に回生するものである。

【００７５】したがって、比較的大型の加工電流を供給
する電源部を有する電流供給部１０１と、加工電流をス
イッチによって断続制御する電流断続部１０２とを分離
し、しかも、電流断続部１０２の加工電流のスイッチン
グ制御の際に発生する電力を電流供給部１０１に回生さ
せるものであるから、電流断続部１０２が小型となり、
給電線１０３Ａ、１０３Ｂに含まれるインダクタンス、
静電容量は非常に小さく、喩え、周波数が高くても電気
的に無視でき、給電線１００Ｂ及び給電線１００Ｃのイ
ンダクタンスの影響を受けないから、電極消耗が少ない
波形制御ができ、譬え、大面積の加工であっても、加工
品質が良く、高速加工できる。

【００７６】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチにより断続
制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離し、前
記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断続部１
０２と、前記電流供給部１０１から前記電流断続部１０
２に電流を供給する給電線１００Ｂ、１００Ｃと、前記
電流断続部１０２から前記電流供給部１０１に電力を回
生する回生線１００Ａ，１００Ｃとからなるものであ
り、請求項１の発明の実施例に相当する。

【００７７】この発明の第２の実施例を図２に示す。図
２はこの発明の第２の実施例による電流供給部１０１と
電流断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置を示
す全体構成図である。図において、電流断続部１０２を
電極送り手段６に直接取付けたものである。電極送り手
段６は電極５に対しては、通常上に位置し、加工液２に
は浸漬されないので、液漏れ対策等の必要がないので、
電流断続部１０２の筐体構造としては気密性を維持する
必要がないから、製造が容易となり、廉価に製造でき
る。また、給電線１０３Ａ，１０３Ｂは短い距離で接続
できる効果がある。

【００７８】この実施例では、電流断続部１０２を電極
送り手段６に直接取付けたものであるが、本発明を実施
する場合には、電極送り手段６の近傍に取付けた態様と
することができる。この場合にも、前者と同様の効果が
ある。なお、この電流断続部１０２を電極送り手段６ま
たはこの近傍に取付けた電流供給部１０１と電流断続部
１０２を分離した放電加工機用電源装置の動作は、図１
に示したものと同様であるので、ここでは重複する説明
を省略する。

【００７９】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチにより断続
制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離し、前
記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断続部１
０２とを具備し、前記電流断続部１０２を、電極送り手
段６の構造体に取付けたものであり、請求項２の発明の
実施例に相当する。

【００８０】この発明の第３の実施例を図３に示す。図
３はこの発明の第３の実施例による電流供給部１０１と
電流断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置を示
す全体構成図である。図において、電流断続部１０２は
電極送り手段６と電極５の間に設けたものである。この
位置は電極５に最も近く、給電線１０３Ａは短い距離で
接続できるから、インダクタンス、静電容量は非常に小
さく、喩え、周波数が高くても電気的に無視できる程度
となる。また、電極５が移動しても電流断続部１０２と
の位置は変化しないので給電線１０３Ａは容易に配線で
きる。また、電流断続部１０２の筺体に電極５を直接取
付ける構造にすることもできる。なお、本実施例のよう
に、電流断続部１０２を電極送り手段６と電極５との間
に設けた電流供給部１０１と電流断続部１０２を分離し
た放電加工機用電源装置の動作は、図１に示したものと
同様であるので、ここでは重複する説明を省略する。

【００８１】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチにより断続
制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離し、前
記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断続部１
０２とを具備し、前記電極５または電極５と電極送り手
段６の間に電流断続部１０２を取付けたものであり、請
求項３の発明の実施例に相当する。

【００８２】この発明の第４の実施例を図４に示す。図
４はこの発明の第４の実施例による電流供給部１０１と
電流断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置を示
す全体構成図である。図において、本実施例において
は、電流断続部１０２を被加工物４と加工テーブル３と
の間、詳しくは、被加工物４と加工テーブル３との間に
ハウジングを載置し、その中に収容している。この位置
は被加工物４に最も近く、給電線１０３Ａ及び給電線１
０３Ｂは短い距離で接続でき、喩え、周波数が高くても
電気的にインダクタンス及び静電容量を無視できる効果
がある。また、被加工物４が移動しても電流断続部１０
２との位置は変わらないので、給電線１０３Ｂは容易に
配線できる。また、電流断続部１０２の筺体に被加工物
４を直接取付ける構造にすることもできる。

【００８３】このように、電流断続部１０２を被加工物
４と加工テーブル３との間に設けた電流供給部１０１と
電流断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置の動
作は図１に示したものと同様であるので、ここでは重複
する説明を省略する。この実施例は、加工液２中に浸漬
された電極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電
加工する放電加工機用電源装置において、加工電流を供
給する電流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から
電極５と被加工物４間に供給する加工電流をスイッチに
より断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分
離し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流
断続部１０２とを具備し、前記被加工物４と加工テーブ
ル３の間に電流断続部１０２を取付けたものであり、請
求項４の発明の実施例に相当する。

【００８４】この発明の第５の実施例を図５に示す。図
５はこの発明の第５の実施例による電流供給部１０１と
電流断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置を示
す全体構成図である。図において、電流断続部１０２を
加工テーブル３の中に設けたものである。この位置は被
加工物４に近く、給電線１０３Ｂは短い距離で接続でき
る効果がある。また、加工テーブル３が移動しても被加
工物４は、加工テーブル３に取付けてあるので、電流断
続部１０２との位置は変わらない。したがって、給電線
１０３Ｂは容易に配線できる。

【００８５】この実施例では、電流断続部１０２を加工
テーブル３の中に設けたものであるが、本発明を実施す
る場合には、若干給電線１０３Ａの距離が長くなるが、
電流断続部１０２を加工テーブル３の下に設けることも
できる。このように、電流断続部１０２を加工テーブル
３の中または下に設けた電流供給部１０１と電流断続部
１０２を分離した放電加工機用電源装置の動作は図１に
示したものと同様であるので、ここでは重複する説明を
省略する。

【００８６】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチにより断続
制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離し、前
記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断続部１
０２とを具備し、前記前記加工テーブル３または加工テ
ーブル３の下部に電流断続部１０２を取付けたものであ
り、請求項５の発明の実施例に相当する。

【００８７】この発明の第６の実施例を図６に示す。図
６はこの発明の第６の実施例であるワイヤカット放電加
工機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を
分離した放電加工機用電源装置を示す全体構成図であ
る。図において、電流断続部１０２の出力を給電線１０
３Ａにより給電子３４、給電線１０３Ｂにより被加工物
４に供給する。給電子３４は電極としてのワイヤ３５に
接続しており、このワイヤ３５と被加工物４との間で放
電が発生し放電加工できる。特に、給電線１０３Ａ，１
０３Ｂは電流断続部１０２が近くにあるので、短い距離
で接続が可能となり、これに含まれるインダクタンスは
小さいので、加工電流を高速に遮断でき、また、放電が
発生した直後の加工電流も高速に立上げることができる
などの効果が得られる。

【００８８】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチにより断続
制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離し、前
記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断続部１
０２とを具備し、特に、ワイヤ３５を前記電極５とし、
前記ワイヤ３５に給電子３４を介して給電して前記被加
工物４を任意の形状に加工するワイヤカット放電加工機
とし、前記電流を給電する給電子３４と前記被加工物４
の近傍に電流断続部１０２を取付けたものであり、請求
項６の発明の実施例に相当する。

【００８９】この発明の第７の実施例を図７及び図８に
示す。次に、この発明の第７の実施例として放電加工機
の最も基本的な構成の事例で、その構成及び動作を説明
する。なお、この前述の第１の実施例から第６の実施例
も同様に、以降の回路の何れかが組込まれている。

【００９０】図７はこの発明の第７の実施例としての放
電加工機用電源装置に使用している電流供給部１０１と
回生線１００Ａ、給電線１００Ｂ，１００Ｃ及び電流断
続部１０２の動作を説明する回路図である。図におい
て、電圧源１０に対して電気的にスイッチング制御され
るスイッチ１１と、加工電流を制限するための抵抗１
２、及びダイオード１３で構成される電流供給部１０１
は、回生線１００Ａ、給電線１００Ｂ，１００Ｃによっ
て離れた位置にある電流断続部１０２に加工電力を供給
する。この回生線１００Ａ、給電線１００Ｂ，１００Ｃ
はそれぞれインダクタンス１４Ｃ，１４Ｄ，１４Ｅを有
し、加工電力供給用として給電線１００Ｂ，１００Ｃを
使用し、回生には回生線１００Ａと回生線と共用する給
電線１００Ｃを使用する。

【００９１】電流断続部１０２は、給電線１００Ｂと電
極５と被加工物４からなる電極間に対して直列に接続さ
れたスイッチ１０４、回生線１００Ａ、１００Ｃ間に並
列接続したコンデンサ１０６、及び回生線１００Ａ、給
電線１００Ｂ間に接続し、給電線１００Ｂから回生線１
００Ａ方向を順バイアス方向とするダイオード１０５に
よって構成されている。コンデンサ１０６は回生線１０
０Ａ，１００Ｃ間に接続されているので、電圧源１０の
電圧に常に充電されている。したがって、インダクタン
ス１４Ｃ、１４Ｅがあっても、このコンデンサ１０６の
電圧は常に定常値であり安定している。給電線１０３
Ａ，１０３Ｂは距離を短く配線されているので、このイ
ンダクタンスは非常に小さく、喩え、周波数が高くても
電気的に無視できる程度であるから、スイッチ１０４を
オフとすれば加工電流はすぐに減少する。

【００９２】次に、この第７の実施例としての放電加工
機用電源装置の動作を説明する。図８はこの発明の第７
の実施例としての放電加工機用電源装置のタイミングチ
ャートである。まず、スイッチ１０４が図８（ａ）のタ
イミングｔ11でオンすると、図８（ｂ）に示す電極５と
被加工物４からなる極間電圧が上昇し、極間に電圧源１
０の電圧を加える。その後、タイミングｔ13で電極５と
被加工物４間で放電が発生すると、図８（ｃ）に示す加
工電流が流れる。この加工電流の立上がりは抵抗１２と
給電線１００Ｂ，１００Ｃのインダクタンスにより決ま
る。給電線１００Ｂ，１００Ｃのインダクタンス１４
Ｄ，１４Ｅがあっても、スイッチ１０４がタイミングｔ
12でオフとなると、加工電流は直にタイミングｔ15で減
少する。したがって、図８（ｂ）に示す極間電圧は、図
８（ｃ）に示す加工電流が零になったタイミングｔ15で
急激に下がる。結果的に、加工電流を高速に遮断するこ
とができる。また、スイッチ１０４をオフとした瞬間
は、インダクタンス１４Ｄ，１４Ｅによる逆起電力が発
生し、インダクタンス１４Ｄ，１４Ｅに過電圧が発生す
るが、ダイオード１０５が導通して、その電流をコンデ
ンサ１０６に流すのでスイッチ１０４に過電圧が印加さ
れることはない。なお、スイッチ１０４の出力電圧は図
８（ｄ）のようになる。

【００９３】この実施例の電流断続部１０２のように、
少ない部品数で構成できることは、電流断続部１０２を
小型軽量にすることができ、電流断続部１０２を電極５
と被加工物４の近傍に設置することができる。また、上
記のように、回生線１００Ａ、給電線１００Ｂ，１００
Ｃは長くなっても加工電流は高速に遮断できるという優
れた効果がある。

【００９４】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ１０４によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流供給部１０１は、電圧
源１０、スイッチ１１、ダイオード１３及び抵抗１２に
よって構成され、前記電流断続部１０２は、前記電流供
給部１０１側の回生線１００Ａ，１００Ｃ間にはコンデ
ンサ１０６を並列接続し、前記電流供給部１０１側の給
電線１００Ｂ，１００Ｃにはスイッチ１１を直列接続し
て前記電極５または被加工物４に接続し、前記スイッチ
１１の前記給電線１００Ｂ，１００Ｃ側と回生線１００
Ａ，１００Ｃ間との間にはダイオード１０５を接続した
ものであり、請求項７の発明の実施例に相当する。

【００９５】この発明の第８の実施例を図９及び図１０
に示す。図９はこの発明の第８の実施例である放電加工
機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置を示す回路図である。この
第８の実施例として第９図に示すものは、第７の実施例
の抵抗１２をリアクトル１２０に置換して、スイッチ１
１のスイッチング制御によりリアクトル１２０の電流を
制御するようにしたものである。具体的には、リアクト
ル１２０の電流をシャントしたり、直流電流センサによ
り検出して、スイッチ１１のオン・オフ制御をＰＷＭ制
御や電流比較制御等で電流を制御することである。な
お、このリアクトル１２０は、回生線１００Ａ、給電線
１００Ｂ，１００Ｃの有するインダクタンス１４Ｃ，１
４Ｄ，１４Ｅに比べかなり大きなインダクタンスになっ
ている。

【００９６】また、電圧源１０に電気的にオン・オフ制
御されるスイッチ１１と、スイッチ１１により加工電流
を制御されるリアクトル１２０、及びダイオード１３に
より構成される電流供給部１０１は、回生線１００Ａ、
給電線１００Ｂ，１００Ｃによって離れた位置にある電
流断続部１０２と接続されている。この回生線１００
Ａ、給電線１００Ｂ，１００Ｃはそれぞれインダクタン
ス１４Ｃ，１４Ｄ，１４Ｅを有している。加工電力は給
電線１００Ｂ，１００Ｃを用いて供給し、また、電圧源
１０に対する回生は回生線１００Ａと回生線を兼ねる給
電線１００Ｃを使用する。電流断続部１０２は給電線１
００Ｂと電極５と被加工物４からなる電極間に接続され
たスイッチ１０４、回生線１００Ａと回生線を兼ねる給
電線１００Ｃ間に接続したコンデンサ１０６、及び回生
線１００Ａ、給電線１００Ｂ間に接続したダイオード１
０５により構成される。コンデンサ１０６は回生線１０
０Ａと回生線１００Ｃ間に接続されているので、電圧源
１０の電圧状態に常に充電されている。したがって、イ
ンダクタンス１４Ｃ，１４Ｅがあっても、このコンデン
サ１０６の電圧は安定している。また、給電線１０３
Ａ，１０３Ｂは距離を短く配線されているので、このイ
ンダクタンスは非常に小さく、スイッチ１０４をオフす
れば加工電流はすぐに減少する。

【００９７】次に、この第８の実施例である放電加工機
に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分離
した放電加工機用電源装置の動作を説明する。図１０は
第８の実施例としての放電加工機用電源装置に使用して
いる電流供給部１０１と回生線１００Ａ、給電線１００
Ｂ、１００Ｃ及び電流断続部１０２の動作を説明するた
めのタイミングチャートである。

【００９８】スイッチ１０４が図１０（ａ）のタイミン
グｔ21でオンすると、図１０（ｂ）に示すように、電極
５と被加工物４の極間電圧が上昇し、極間に電圧源１０
の電圧を加える。この電圧のタイミングｔ23による上昇
はリアクトル１２０の電流が継続して流れているときに
は急峻に立上がる。即ち、これはリアクトル１２０のイ
ンダクタンスが比較的に大きいので、前回の放電電流が
ダイオード１０５を通り減少していない間に、図１０
（ａ）のタイミングｔ21でスイッチ１０４がオンする
と、リアクトル１２０にバックアップされて極間の電圧
が図１０（ｂ）のタイミングｔ23において急峻に立上が
る。その後、電極５と被加工物４の極間にタイミングｔ
24において放電が発生すると、図１０（ｃ）の加工電流
が流れる。この加工電流ｉ21の立上がりは、図１０
（ｃ）に示すように、そのときにリアクトル１２０に流
れている電流により決まる。リアクトル１２０の電流が
ダイオード１０５を通り流れ続けているときに放電が発
生すると、このリアクトル１２０に流れる電流まで、図
１０（ｃ）に示すタイミングｔ26で急峻に立上がる。こ
れは第７の実施例の抵抗１２を使用したものの立上がり
に比べ、リアクトル１２０のバックアップにより、はる
かに高速に立上がることができる。加工電流ｉ21にはス
イッチ１１がオン・オフ制御されることによるリップル
が存在する。

【００９９】次に、スイッチ１０４が図１０（ａ）のタ
イミングｔ22においてオフとなると、リアクトル１２０
のインダクタンスや給電線１００Ｂ，１００Ｃのインダ
クタンス１４Ｄ，１４Ｅがあっても加工電流ｉ21はすぐ
にタイミングｔ27のように減少する。したがって、図１
０（ｃ）の極間電圧は加工電流ｉ21が零になったタイミ
ングｔ25ですぐに下がる。よって、リアクトル１２０や
給電線１００Ｂ，１００Ｃのインダクタンス１４Ｄ，１
４Ｅに影響されることなく、加工電流ｉ21を高速に遮断
することができる。

【０１００】また、スイッチ１０４をオフした瞬間、リ
アクトル１２０とインダクタンス１４Ｄ，１４Ｅにより
過電圧が発生するが、ダイオード１０５が導通し、電流
をコンデンサ１０６側に流すのでスイッチ１０４に過電
圧がかかることはない。そして、リアクトル１２０の電
流が十分に減少したときにスイッチ１０４をオンさせた
とき、図１０（ｅ）に示すように、加工電流ｉ22は電圧
源１０の電圧と放電電圧、リアクトル１２０のインダク
タンスによって決まる電流上昇率によって上昇する。こ
の電流の立上がりが一定の上昇率の、立上がりが滑かな
加工電流のみのタイミングを選択して、放電加工に使用
すると、電極５の消耗が少ない放電加工機とすることが
できる。

【０１０１】この実施例における電流断続部１２０は、
少ない部品数で構成でき、小型軽量にすることができ、
電流断続部１０１と電流供給部１０２を分離した放電加
工機用電源装置の特徴である電流断続部１０２を電極５
と被加工物４の近傍に設置することができる。

【０１０２】このように、本実施例によれば、リアクト
ル１２０のインダクタンスが比較的に大きな値であって
も、また、回生線１００Ａ、給電線１００Ｂ，１００Ｃ
が長くなっても加工電流は高速にオン・オフ制御できる
といる優れた効果がある。

【０１０３】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ１０４によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流供給部１０１は、電圧
源１０、スイッチ１１、ダイオード１３及びリアクトル
１２０によって構成され、前記電流断続部１０２は、前
記電流供給部１０１側の回生線１００Ａ，１００Ｃ間に
はコンデンサ１０６を並列接続し、前記電流供給部１０
１側の給電線１００Ｂ，１００Ｃにはスイッチ１０４を
直列接続して前記電極５または被加工物４に接続し、前
記スイッチ１０４の前記給電線１００Ｂ，１００Ｃ側と
回生線１００Ａ，１００Ｃ間にはダイオード１０５を接
続したものであり、請求項８の発明の実施例に相当す
る。

【０１０４】この発明の第９の実施例を図１１に示す。
図１１はこの発明の第９の実施例である放電加工機に適
用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分離した
放電加工機用電源装置を示す回路図である。この実施例
は、第７の実施例のスイッチ１０４を被加工物４と給電
線１００Ｃ側に設けたもので、スイッチ１０４の接続個
所が相違するだけで、電極間の加工電流及び加工電圧
は、第７の実施例と同様であるから、その説明を省略す
るが、同等の効果を奏するものである。

【０１０５】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ１０４によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流供給部１０１は、電圧
源１０、スイッチ１１、ダイオード１３及び抵抗１２に
よって構成され、前記電流断続部１０２は、前記電流供
給部１０１側の回生線１００Ａ，１００Ｃ間にはコンデ
ンサ１０６を並列接続し、前記電流供給部１０１側の一
方の回生線との共通線の給電線１００Ｃにはスイッチ１
０４を直列接続して前記電極５または被加工物４に接続
し、他方の給電線１００Ｂと回生線１００Ａ間にはダイ
オード１０５を接続したものであり、請求項９の発明の
実施例に相当する。

【０１０６】この発明の第１０の実施例を図１２に示
す。図１２はこの発明の第１０の実施例である放電加工
機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置を示す回路図である。この
実施例は、第８の実施例のスイッチ１０４を被加工物４
と給電線１００Ｃ側に設けたもので、スイッチ１０４の
接続個所が相違するだけで、電極間の加工電流及び加工
電圧は、第８の実施例と同様であるから、その説明を省
略するが、同等の効果を奏するものである。

【０１０７】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ１０４によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流供給部１０１は、電圧
源１０、スイッチ１１、ダイオード１３及びリアクトル
１２０によって構成され、前記電流断続部１０２は、前
記電流供給部１０１側の回生線１００Ａ，１００Ｃ間に
はコンデンサ１０６を並列接続し、前記電流供給部１０
１側の一方の給電線と回生線との共通線１０Ｃにはスイ
ッチ１０４を直列接続して前記電極５または被加工物４
に接続し、他方の給電線１００Ｂと回生線１００Ａ間に
はダイオード１０５を接続したものであり、請求項１０
の発明の実施例に相当する。

【０１０８】この発明の第１１の実施例を図１３に示
す。図１３はこの発明の第１１の実施例である放電加工
機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置を示す回路図である。

【０１０９】この実施例は、第７の実施例の電圧源１０
の極性を反転させたもので、電極間の加工電流及び加工
電圧は第７の実施例と電流の方向及び電圧の極性が反対
になるが、同一動作を行ない、同等の効果を奏する。特
に、このような負の極性の加工を行なう場合は、加工電
流の少ない仕上げ加工に用いられる。この実施例では、
高速に加工電流のオン・オフ制御ができることからすれ
ば、小さな加工電流のとき、短時間の加工パルスを極間
に加えることができるということであり、即ち、単一の
パルスのエネルギーが小さい、言い換えれば、加工面粗
度が良く微細な加工が出来るという優れた効果がある。
また、高速にオン・オフ制御できるということは、１パ
ルスの後の次のパルスも早くオンさせることが出来ると
いうことであり、単位時間当たりの放電発生回数、即
ち、繰返しパルス周波数が高くでき、加工速度を速くで
きるという優れた効果も奏する。この種の電圧源１０の
極性を反転させた実施例の効果は、本実施例に限定され
るものではなく、他の実施例にも共通することである。

【０１１０】この発明の第１２の実施例を図１４及び図
１５に示す。図１４はこの発明の第１２の実施例である
放電加工機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１
０２を分離した放電加工機用電源装置を示す回路図であ
る。

【０１１１】この実施例の電流断続部１０２のスイッチ
１４０は、極間、即ち、電極５と被加工物４との間に並
列接続し、この間をオン・オフ制御する。電圧源１０に
電気的にスイッチング制御されるスイッチ１１と、加工
電流を制限するための抵抗１２及びダイオード１３によ
り構成される電流供給部１０１は、回生線１００Ａ、給
電線１００Ｂ，１００Ｃにより離れた位置にある電流断
続部１０２に加工電力を供給する。この回生線１００
Ａ、給電線１００Ｂ，１００Ｃはそれぞれインダクタン
ス１４Ｃ，１４Ｄ，１４Ｅを有し、加工電力の供給には
給電線１００Ｂ，１００Ｃを、電圧源１０側に回生する
線路として回生線１００Ａ及び回生線を兼用する給電線
１００Ｃを使用する。電流断続部１０２は、給電線１０
０Ｂと給電線１００Ｃ間、即ち、電極間に接続されたス
イッチ１４０、回生線１００Ａと給電線１００Ｃ間に接
続されたコンデンサ１０６及び回生線１００Ａ、給電線
１００Ｂ間に接続されたダイオード１０５により構成さ
れる。コンデンサ１０６は回生線１００Ａと回生線とし
て兼用する給電線１００Ｃ間に接続されているので、電
圧源１０の電圧に常に充電されている。したがって、イ
ンダクタンス１４Ｃ，１４Ｅがあっても、このコンデン
サ１０６の電圧は安定している。また、給電線１０３
Ａ，１０３Ｂは距離を短く配線されているので、このイ
ンダクタンスは非常に小さく、スイッチ１４０をオンす
れば加工電圧は、瞬時に零になり、加工電流はすぐに減
少する。

【０１１２】次に、この第１２の実施例である放電加工
機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置の動作を説明する。図１５
は第１２の実施例としての放電加工機用電源装置に使用
している電流供給部１０１と回生線１００Ａ、給電線１
００Ｂ，１００Ｃ及び電流断続部１０２の動作を説明す
るためのタイミングチャートである。

【０１１３】スイッチ１４０が図１５（ａ）に示すタイ
ミングｔ31でオフとなると、図１５（ｂ）に示す極間電
圧がタイミングｔ33で急上昇し、電極５と被加工物６と
の間に電圧源１０の電圧を加える。このスイッチ１４０
をオフする前にスイッチ１１をオン状態とし、給電線１
００Ｂ，１００Ｃに電流を流しておくと、図１５（ｂ）
に示す極間電圧がタイミングｔ33のように急峻な電圧の
立上がりが可能となる。その後、電極５と被加工物４と
の極間にタイミングｔ34において放電が発生すると、図
１５（ｃ）に示す加工電流が流れる。この加工電流の立
上がりは抵抗１２と給電線１００Ｂ，１００Ｃのインダ
クタンスにより決まる。給電線１００Ｂ，１００Ｃのイ
ンダクタンス１４Ｄ，１４Ｅがあってもスイッチ１４０
がタイミングｔ32でオンすると、図１５（ｂ）に示す極
間電圧は、スイッチ１４０で短絡されるのでタイミング
ｔ35で瞬時に零になり、加工電流もタイミングｔ36です
ぐに減少する。したがって、加工電流を高速に遮断する
ことができる効果がある。

【０１１４】また、スイッチ１４０をオフした瞬間に
は、インダクタンス１４Ｄ，１４Ｅに過電圧が発生する
がダイオード１０５が導通し、電流をコンデンサ１０６
に流すのでスイッチ１４０に過電圧がかかることはな
い。この実施例の電流断続部１０２は、少ない部品数で
構成でき、小型軽量にすることができる。しかも、この
実施例の電流断続部１０２は、電極５と被加工物４の近
傍に設置することができる。また、回生線１００Ａ、給
電線１００Ｂ，１００Ｃは長くなっても加工電流は高速
に立上がり、遮断できるという優れた効果がある。

【０１１５】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ１４０によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流供給部１０１は、電圧
源１０、スイッチ１１、ダイオード１３及び抵抗１２に
よって構成され、前記電流断続部１０２は、前記電流供
給部１０１側の回生線１００Ａ，１００Ｃ間にはコンデ
ンサ１０６を並列接続し、前記電流供給部１０１側の一
対の給電線１００Ｂ，１００Ｃには、電流を供給する前
記電極５と被加工物４間にスイッチ１４０を並列接続
し、かつ、前記給電線１００Ｂと回生線１００Ａ間には
ダイオード１０５を接続したものであり、請求項１１の
発明の実施例に相当する。

【０１１６】この発明の第１３の実施例を図１６及び図
１７に示す。図１６はこの発明の第１３の実施例である
放電加工機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１
０２を分離した放電加工機用電源装置を示す回路図であ
る。

【０１１７】この実施例は、第１２の実施例の抵抗１２
をリアクトル１２０に置換して、スイッチ１１のスイッ
チング動作によりリアクトル１２０の電流を制御するよ
うにしたものである。具体的には、リアクトル１２０の
電流をシャントしたり、直流電流センサにより検出し、
スイッチ１１のオン・オフ制御をＰＷＭ制御或いは電流
比較制御等で行ない、リアクトル１２０の電流をスイッ
チング制御することにより、所定の電流を通電する。こ
のリアクトル１２０は、回生線１００Ａ、給電線１００
Ｂ，１００Ｃの有するインダクタンス１４Ｃ，１４Ｄ，
１４Ｅに比べかなり大きなインダクタンスになる。

【０１１８】電圧源１０に電気的にスイッチング制御さ
れるスイッチ１１と、スイッチ１１により加工電流を制
御されるリアクトル１２０、及びダイオード１３により
構成される電流供給部１０１は、回生線１００、給電線
１００Ｂ，１００Ｃにより離れた位置にある電流断続部
１０２に電力を供給する。この回生線１００Ａ、給電線
１００Ｂ，１００Ｃはそれぞれインダクタンス１４Ｃ，
１４Ｄ，１４Ｅを有し、加工電力の供給には給電線１０
０Ｂ，１００Ｃを、電圧源１０側に回生する線路として
回生線１００Ａ及び回生線と兼用した給電線１００Ｃを
使用する。電流断続部１０２は電極５と被加工物４との
間に接続されたスイッチ１６０、回生線１００Ａと回生
線として機能する給電線１００Ｃ間に接続したコンデン
サ１０６、及び回生線１００Ａ、給電線１００Ｂ間に接
続したダイオード１０５により構成される。コンデンサ
１０６は回生線１００Ａ，１００Ｃ間に接続されている
ので、電圧源１０の電圧に常に充電されている。したが
って、インダクタンス１４Ｃ，１４Ｅがあってもコンデ
ンサ１０６の電圧は安定している。また、給電線１０３
Ａ，１０３Ｂは距離を短く配線されているので、このイ
ンダクタンスは非常に小さく、スイッチ１６０をオンす
れば加工電流はすぐに減少する。

【０１１９】図１７は第１３の実施例としての放電加工
機用電源装置に使用している電流供給部１０１と回生線
１００Ａ、給電線１００Ｂ，１００Ｃ及び電流断続部１
０２の動作を説明するためのタイミングチャートであ
る。スイッチ１６０が図１７（ａ）に示すタイミングｔ
41でオフすると、図１７（ｂ）の極間電圧がタイミング
ｔ43で急峻に上昇し、極間に電圧源１０の電圧を加え
る。このタイミングｔ43での電圧の上昇は、リアクトル
１２０の電流が継続して流れている時には急峻に立上が
る。これはリアクトル１２０のインダクタンスが比較的
に大きく、電流供給部１０１で定電流制御されているの
で、図１７（ａ）に示すタイミングｔ41でスイッチ１６
０がオフすると、極間の電圧がタイミングｔ43で急峻に
立上がる。その後、タイミングｔ44において極間に放電
が発生すると図１７（ｃ）に示すタイミングｔ46で立上
がる加工電流ｉ41が流れる。この加工電流の立上がり
は、図１７（ｃ）のタイミングｔ46に示すように、その
時リアクトル１２０に流れている電流により、このリア
クトル１２０に流れる電流まで放電電流が急峻に立上が
る。これは第１２の実施例の抵抗１２を使用したものの
立上がりに比べ高速に立上がることができる。加工電流
ｉ41は電流供給部１０１のスイッチ１１がオン・オフ制
御されることによるリップルを有している。

【０１２０】次に、スイッチ１６０がタイミングｔ42に
おいてオンすると、リアクトル１２０のインダクタンス
や給電線１００Ｂ，１００Ｃのインダクタンス１４Ｄ，
１４Ｅがあっても、加工電圧はタイミングｔ45のように
スイッチ１６０により短絡され急峻に下がる。加工電流
ｉ41もすぐにタイミングｔ47のように瞬時に減少する。
したがって、リアクトル１２０及び１００Ｂ，１００Ｃ
のインダクタンス１４Ｄ，１４Ｅによらず加工電流ｉ41
を高速遮断することができる効果がある。また、スイッ
チ１６０をオフした瞬間には、リアクトル１２０とイン
ダクタンス１４Ｄ，１４Ｅにより過電圧が発生するがダ
イオード１０５が導通し、電流をコンデンサ１０６に流
すのでスイッチ１０４に過電圧がかかることはない。

【０１２１】特に、この実施例の電流断続部１０２は、
少ない部品数で構成でき、小型軽量することができる。
この実施例によれば、電流断続部１０２を電極５と被加
工物４の近傍に設置することができる。なお、図１７
（ｄ）はリアクトル１２０の電流を示し、常に、その積
分値が一定の電流ｉ42が流れるように制御されているの
で、リアクトル１２０のインダクタンスが比較的に大き
な値であっても、また、回生線１００Ａ、給電線１００
Ｂ，１００Ｃは長くなっても加工電流は高速にオン・オ
フ制御できるという優れた効果がある。

【０１２２】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ１０４によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流供給部１０１は、電圧
源１０、スイッチ１１、ダイオード１３及びリアクトル
１２０によって構成され、前記電流断続部１０２は、前
記電流供給部１０１側の回生線１００Ａ，１００Ｃ間に
はコンデンサ１０６を並列接続し、前記電流供給部１０
１側の一対の給電線１００Ｂ，１００Ｃには、前記電極
５及び被加工物４とスイッチ１６０とを並列接続し、か
つ、前記給電線１００Ｂと回生線１００Ｃ間にはダイオ
ード１０５を接続したものであり、請求項１２の発明の
実施例に相当する。

【０１２３】この発明の第１４の実施例を図１８に示
す。図１８はこの発明の第１４の実施例である放電加工
機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置を示す回路図である。この
実施例は、電流断続部１０２のスイッチ１０４は第８の
実施例として図９に示したものと同一である。また、ス
イッチ１６０は第１３の実施例として図１６に示したも
のと同一である。このように、この実施例においては、
スイッチ１０４を給電線１００Ｂと電極５の間に設け、
また、スイッチ１６０を電極５と被加工物４との間に設
けるようにしたものである。それぞれのスイッチ１０
４、スイッチ１６０の動作は第８の実施例及び第１３の
実施例と同じであるが、加工電流の立上がり及び遮断に
より、確実に高速に加工電流のオン・オフ制御制御を行
なうことができる。

【０１２４】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ１０４，１
６０により断続制御すると共に、前記電流供給部１０１
から分離し、前記電極５または被加工物４の近傍に設け
た電流断続部１０２とを具備し、前記電流供給部１０１
は、電圧源１０、スイッチ１１、ダイオード１３及びリ
アクトル１２０によって構成され、前記電流断続部１０
２は、前記電流供給部１０１側の回生線１００Ａ，１０
０Ｃ間にコンデンサ１０６を並列接続し、前記電流供給
部１０１側の一方の給電線１００Ｂに第１のスイッチ１
０４を直列接続し、更に、前記第１のスイッチ１０４に
対し、前記電極５と被加工物４間に第２のスイッチ１６
０を並列接続したものを直列接続し、かつ、前記給電線
１００Ｂと回生線１００Ａ間にはダイオード１０５を接
続したものであり、請求項１３の発明の実施例に相当す
る。

【０１２５】この発明の第１５の実施例を図１９に示
す。図１９はこの発明の第１５の実施例である放電加工
機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置を示す回路図である。この
実施例は、電流断続部１０２のスイッチ１９１，１９
２，１９３，１９４はブリッジ接続した４つのスイッチ
である。このスイッチ１９１，１９４がオンすれば電極
５がプラス、被加工物４がマイナスの極性、また、スイ
ッチ１９２，１９３がオンすれば電極５がマイナス、被
加工物４がプラスの極性を自由に選択できる。また、ス
イッチ１９１，１９２，１９３，１９４を交互に極性を
変えると交流電流による放電加工が可能になる。そし
て、スイッチ１９１とスイッチ１９３またはスイッチ１
９２とスイッチ１９４を同時にオンさせれば電極４と被
加工物４の間を短絡できる。これは図１６に示した第１
３の発明と同じ動作をすることになる。

【０１２６】また、スイッチ１９４をオンしておきスイ
ッチ１９１をオン・オフ制御すると、図９に示した第８
の実施例と同じ動作をする。また、スイッチ１９２をオ
ンしておきスイッチ１９３をオン・オフ制御すると図９
に示した第８の実施例で電極５と被加工物４を入れ換え
た、即ち、電圧の極性を逆にした時と同じ動作をする。
また、スイッチ１９４をオンしておきスイッチ１９１と
スイッチ１９２をオン・オフ制御すると図１８に示した
第１４の実施例と同じ動作をする。即ち、この第１５の
実施例による電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置は、電流のオン・オフ制
御、極性の切替え、電極間の短絡、交流出力など放電加
工機の電源の必要とする全ての動作ができるといる優れ
た効果がある。

【０１２７】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ１９１〜１
９４により断続制御すると共に、前記電流供給部１０１
から分離し、前記電極５または被加工物４の近傍に設け
た電流断続部１０２とを具備し、前記電流供給部１０１
は、電圧源１０、スイッチ１１、ダイオード１３及びリ
アクトル１２０によって構成され、前記電流断続部１０
２は、前記電流供給部１０１側の回生線１００Ａ，１０
０Ｃ間にコンデンサ１０６を並列接続し、前記電流供給
部１０２側の給電線１００Ｂ，１００Ｃ間に各２個のス
イッチ１９１〜１９４を直並列接続し、各２個のスイッ
チ１９１〜１９４の直列接続点相互間に前記電極５と被
加工物４を直列接続し、かつ、前記給電線１００Ｂと回
生線１００Ａ間にはダイオード１０５を接続したもので
あり、請求項１４の発明の実施例に相当する。

【０１２８】この発明の第１６の実施例を図２０に示
す。図２０はこの発明の第１６の実施例である放電加工
機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置を示す回路図である。この
実施例では、特に、電流断続部１０２のスイッチ４１１
は電極間、即ち、電極５と被加工物４との間をブリッジ
接続したダイオード２０７，２０８，２０９，２１０に
より接続し、この間をオン・オフ制御する。電圧源１０
に対して電気的にスイッチング制御されるスイッチ１１
と、リアクトル１２０により構成される電流供給部１０
１は、回生線１００Ａ、給電線１００Ｆ，１００Ｇによ
って離れた位置になる電流断続部１０２に加工電力を供
給し、回生線１００Ｈにより余剰電力を回生する。この
回生線１００Ａ、給電線１００Ｆ，１００Ｇ、回生線１
００Ｈは、それぞれインダクタンス１４Ｃ，１４Ｆ，１
４Ｇ，１４Ｅを有し、加工電力として給電線１００Ｆ，
１００Ｇ、電圧源１０側への回生として回生線１００
Ａ，１００Ｈを使用する。電流断続部１０２は給電線１
００Ｆと給電線１００Ｇ間、即ち、極間に接続されたス
イッチ４１１、回生線１００Ａ，１００Ｈ間に接続した
コンデンサ１０６、及び回生線１００Ａ、給電線１００
Ｆ間に接続したダイオード２０５、給電線１００Ｇ、回
生線１００Ｈ間に接続したダイオード２０６により構成
される。コンデンサ１０６は回生線１００Ａ，１００Ｈ
間に接続されているので、電圧源１０の電圧に常に充電
されている。したがって、インダクタンス１４Ｃ，１４
Ｅがあっても、コンデンサ１０６の電圧は安定してい
る。給電線１０３Ａ，１０３Ｂは距離を短く配線されて
いるので、このインダクタンスは非常に小さく、スイッ
チ４１１をオンすれば加工電圧は瞬時に零になり、加工
電流は直に減少する。この第１６の実施例では電流供給
部が交流の出力であっても電極５と被加工物４との間を
短絡でき、特に、交流の放電加工による電流断続部と電
流供給部を分離した放電加工機用電源装置を構成できる
効果がある。

【０１２９】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ４１１によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流供給部１０１は、電圧
源１０、スイッチ１１、ダイオード１３及びリアクトル
１２０、各２個のスイッチ２０１〜２０４を直並列接続
した４個のスイッチによって構成され、前記各２個のス
イッチ２０１〜２０４の直列接続点相互間と前記電流断
続部１０２とを給電線１００Ｆ，１００Ｇで接続し、前
記電流断続部１０２は、前記電流供給部１０１側の回生
線１００Ａ，１００Ｈ間にコンデンサ１０６を並列接続
し、前記電流供給部１０１側の給電線１００Ｆ，１００
Ｇ間にダイオードブリッジ２０７〜２１０を接続し、前
記ブリッジ接続した４つのダイオード２０７〜２１０の
接続点間にスイッチ４１１を接続し、また、前記電流供
給部１０１側の給電線１００Ｆ，１００Ｇ間に電極５及
び被加工物４を接続し、そして、前記給電線１００Ｆ，
１００Ｇと回生線１００Ａ，１００Ｈ間にはダイオード
２０５，２０６を接続したものであり、請求項１５の発
明の実施例に相当する。

【０１３０】この発明の第１７の実施例を図２１及び図
２２、図２３に示す。図２１はこの発明の第１７の実施
例である放電加工機に適用した電流供給部１０１と電流
断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置を示す回
路図である。また、図２２はこの発明の第１７の実施例
である放電加工機に適用した電流供給部１０１と電流断
続部１０２を分離した放電加工機用電源装置における放
電加工現象の説明図である。そして、図２３はこの発明
の第１７の実施例における放電加工現象における漂遊静
電容量の影響の説明図である。

【０１３１】この実施例の、第１４の実施例のスイッチ
１６０に相当するスイッチ５１０としては、ＭＯＳＦＥ
Ｔ等の高速スイッチングできる半導体素子を使用してい
る。電極５と被加工物４との間の極間電圧Ａ−Ｂを検出
し、その変化率を出力する微分回路２１１、動作レベ
ル、即ち、閾値を決める設定器２１２、この両者を比較
するコンパレータ２１３、そのコンパレータ２１３の出
力を所定の時間遅らせるディレイ回路２１６、そのディ
レイ回路２１６の出力を一定のパルス幅にする単安定マ
ルチバイブレータ２１４、この単安定マルチバイブレー
タ２１４の出力でＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ５１０
を駆動するゲートドライバー２１５で構成されている。

【０１３２】ここで、図２２を用いて放電加工現象を説
明する。電極５と被加工物４の間には油または水等の加
工液が満されている。したがって、電極５と被加工物４
の間には漂遊静電容量としての静電容量２２０が分布し
ている。この電極５と被加工物４の間に電圧をかけると
静電容量２２０に充電される。この静電容量２２０は電
極５の加工部分の面積が大きいほど、また、放電ギャッ
プが狭いど大きくなるので、この静電容量２２０に充電
されるエネルギーも大きくなる。電極送り手段６により
電極５と被加工物４の間のギャップが加えられた電圧に
より絶縁破壊すると放電２２１のように一部で放電が発
生し、この瞬間的な放電エネルギーにより被加工物４の
被加工物部分２２２が溶融飛散することにより加工でき
る。放電加工は、これが無数に繰返され、被加工物４の
電極５の形状に加工することである。この放電エネルギ
ーは、被加工物４だけでなく電極５にも影響し、電極部
分２２３が溶融飛散すると電極消耗の原因になる。この
放電エネルギーは、この電極５と被加工物４の間の静電
容量２２０に蓄えられたエネルギーと、電流供給部１０
１から直接供給されるエネルギーの和である。

【０１３３】従来は、この漂遊静電容量としての静電容
量２２０によるエネルギーは、電極５の加工部分の面積
が大きいほどエネルギーも大きくなるので、大きな電極
５で大きな被加工物４の仕上加工を行なうことは困難で
あった。即ち、電流供給部１０１から小さなエネルギー
を供給したとしても、この電極５と被加工物４の間の静
電容量２２０に蓄えられたエネルギーの方が大きくなっ
たとき、これ以上微細な放電加工はできない。これは、
漂遊静電容量の電流移動２２４及び漂遊静電容量の電流
移動２２５に示すように、放電２２１が発生するとそれ
らの静電容量２２０に蓄えられていたエネルギー全体が
この放電２２１に集中してサージ電流として流れること
に起因する。

【０１３４】この実施例では、この静電容量２２０に蓄
えられたエネルギーが放電エネルギーになる前に、スイ
ッチ５１０により電極５と被加工物４の間を短絡し、放
電２２１にサージ電流が流れるのを防ぎ、微細な加工エ
ネルギーを得ようとするものである。

【０１３５】次に、これを図２３を用いて説明する。放
電２２１が発生した瞬間に、漂遊静電容量である静電容
量２２０に蓄えられたエネルギーが放電２２１に集中し
ようとするが、この放電は一種のアーク放電であり、放
電電圧がほぼ一定の２５ボルト程度になる。このとき、
ＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ５１０等の高速スイッチ
動作により、電極５と被加工物４の間を短絡し、この放
電電圧以下にすると静電容量２２０に蓄えられたエネル
ギーはＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ５１０に流れ、放
電２２１は消滅する。放電２２１が発生してから静電容
量２２０に蓄えられたエネルギーが流れる時間は、この
静電容量２２０と放電２２１の放電抵抗により決定され
る。この時間は非常に短いので、高速の検出回路と高速
のスイッチが必要になる。なお、この放電２２１が発生
したことを検出する場合には、電極５と被加工物４の間
の電圧が急峻に下がったときを検出すれば可能である。

【０１３６】ＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ５１０の動
作は、オン状態からオフ状態になった後、放電２２１が
発生したときの電圧降下を微分回路２１１で検出する。
この微分回路２１１はアナログ電圧の変化として検出し
てもよいし、アナログデジタル変換によりデジタル部分
において判断してもよい。また、パルストランスのよう
な瞬間電圧変動を伝達する部品を使用しても同等の機能
を得ることができる。この微分された電圧波形は、所定
の閾値の設定器２１２により放電発生の検出レベルを調
節するようにしてコンパレータ２１３により比較する。
ここで、放電が発生すると微分回路２１１の出力が放電
発生の瞬間の電圧降下を検出し、設定器２１２のレベル
によりコンパレータ２１３から信号が出力され、ディレ
イ回路２１６によりこの信号の時間遅れを設定し、単安
定マルチバイブレータ２１４に出力する。このディレイ
回路２１６の遅れ時間は、放電発生からどれだけの時間
後に放電を遮断するかという時間であり、これは放電す
るエネルギー制御をするためのものである。特に、この
ディレイ回路２１６の遅れ時間を短く、または、零に近
く設定すると放電発生時のサージ電流を低減することが
できる。単安定マルチバイブレータ２１４の出力するパ
ルス時間は、スイッチ５１０が電極５と被加工物４の間
を短絡し静電容量２２０に蓄えられたエネルギーがこの
スイッチ５１０がオンすることにより放電し、放電２２
１が消滅する時間以上に設定する。この単安定マルチバ
イブレータ２１４の出力するパルスの時間が過ぎると、
スイッチ５１０はオフするので、電極５と被加工物４の
間の電圧は上昇し、次の放電が発生するのを待つ状態に
なる。このとき、放電２２１は既に消滅しているので新
たな場所で放電２２１が発生する。このようにして、一
回の放電エネルギーは微小であるが非常に高い頻度で繰
返し放電が発生するので、非常に速い仕上げ加工ができ
る効果がある。更に、大面積の加工においても微細な放
電エネルギーによる仕上げ加工ができるという優れた効
果がある。また、ディレイ回路２１６による放電エネル
ギーの調節が可能であるため、所望の面粗さの仕上げ加
工ができる。

【０１３７】これは従来の放電加工機のように給電線の
インダクタンスがある装置では不可能であったが、この
発明の実施例のように、電流断続部と電流供給部を分離
した放電加工機用電源装置により初めて可能になった。
なお、電極５と被加工物４の間にコンデンサを取付け、
故意に、このコンデンサに蓄えられるエネルギーを利用
して放電加工を行なう方法の場合にも、この第１７の実
施例による放電のエネルギーを制御できることは言うま
でもない。

【０１３８】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ５１０によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流断続部１０２は前記電
極５と被加工物４間に並列接続したスイッチ５１０を有
し、前記スイッチ５１０は、前記電極５と被加工物４間
の電圧変動を検出する微分回路２１１、前記微分回路２
１１の出力と所定の閾値とを比較するコンパレータ２１
３を有し、前記コンパレータ２１３の出力によって前記
スイッチ５１０を電極５と被加工物４との間の放電が発
生した後、所定の時間後に所定の時間幅だけ前記スイッ
チ５１０をオン状態とするものであり、請求項１６の発
明の実施例に相当する。

【０１３９】この発明の第１８の実施例を図２４に示
す。図２４はこの発明の第１８の実施例である放電加工
機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置のスイッチ２４０を制御す
る要部回路図である。

【０１４０】この実施例におけるスイッチ２４０は、具
体的にはＭＯＳＦＥＴ等の高速スイッチングできる半導
体素子を使用している。電流供給部１０１から供給され
る交流の加工電流は、給電線１００Ｆ，１００Ｇ、及び
給電線１０３Ａ，１０３Ｂを介して電極５と被加工物４
に接続されている。ブリッジ接続されたダイオード２０
７，２０８，２０９，２１０の接続点に、ＭＯＳＦＥＴ
からなるスイッチ２４０を接続する。このＭＯＳＦＥＴ
からなるスイッチ２４０には同一方向の極性の電圧がか
かる。電極５と被加工物４との間の極間電圧Ａ−Ｂを検
出し、絶対値回路２４１により常に同一方向の電圧極性
とし、その変化率を出力する微分回路２１１、その閾値
によって動作レベルを決める設定器２１２、この両者を
比較するコンパレータ２１３、そのコンパレータ２１３
の出力信号を所定の時間遅らせるディレイ回路２１６、
そのディレイ回路２１６の出力を一定のパルス幅にする
単安定マルチバイブレータ２１４、この単安定マルチバ
イブレータ２１４の出力でスイッチ２４０を駆動するゲ
ートドライバー２１５で構成されている。電極５と被加
工物４の間の極間電圧Ａ−Ｂを絶対値回路２４１により
同一方向の電圧極性にして微分回路２１１に出力する以
外は、第１７の実施例の図２１のものと動作は同じであ
る。このように交流の放電加工であっても、図２１に示
した第１７の実施例と同様の効果を奏する。

【０１４１】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ２４０によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流断続部１０２は給電線
１００Ｆ，１００Ｇ間にダイオードブリッジ２０７〜２
１０を接続し、前記ブリッジ接続した４つのダイオード
２０７〜２１０の接続点間にスイッチ２４０を接続し、
前記スイッチ２４０は、前記電極５と被加工物４間の電
圧を検出する絶対値回路２４１、前記絶対値回路２４１
の電圧変動を検出する微分回路２１１、前記微分回路２
１１の出力と所定の閾値とを比較するコンパレータ２１
３とを有し、前記コンパレータ２１３の出力によって前
記スイッチ２４０を電極５と被加工物４との間の放電が
発生した後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ前記ス
イッチをオン状態とするものであり、請求項１７の発明
の実施例に相当する。

【０１４２】この発明の第１９の実施例を図２５に示
す。図２５はこの発明の第１９の実施例である放電加工
機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置のスイッチ２４２，２４３
を制御する要部回路図である。この実施例における放電
加工機用電源装置は、第１８の実施例におけるスイッチ
２４０を直列接続した２つのＭＯＳＦＥＴからなるスイ
ッチ２４２，２４３による双方向スイッチで構成したも
のである。この動作は図２４に示した第１８の実施例と
同一である。

【０１４３】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ２４２，２
４３により断続制御すると共に、前記電流供給部１０１
から分離し、前記電極５または被加工物４の近傍に設け
た電流断続部１０２とを具備し、前記電流断続部１０２
は前記電極５と被加工物４間に並列接続し、ソースを共
通にして直列接続した複数のＭＯＳＦＥＴ２４２，２４
３を有し、前記複数のＭＯＳＦＥＴ２４２，２４３は、
前記電極５と被加工物４間の電圧変動を検出する微分回
路２１１、前記微分回路２１１の出力と所定の閾値とを
比較するコンパレータ２１３を有し、前記コンパレータ
２１３の出力によって前記複数のＭＯＳＦＥＴ２４２，
２４３を電極５と被加工物４との間の放電が発生した
後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ前記複数のＭＯ
ＳＦＥＴ２４２，２４３をオン状態とするものであり、
請求項１８の発明の実施例に相当する。

【０１４４】この発明の第２０の実施例を図２６及び図
２７に示す。図２６はこの発明の第２０の実施例である
放電加工機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１
０２を分離した放電加工機用電源装置の回路図である。
この実施例は、図１４に示した第１２の実施例と図２１
に示した第１７の実施例の回路によって放電加工機用電
源装置の一部の回路が構成されており、相違点は、スイ
ッチ５１０を制御する制御回路にある。即ち、放電開始
パルス入力端子２５０と放電停止パルスの入力端子２５
１をフリップフロップ２５２に入力し、このフリップフ
ロップ２５２の反転出力２５４をＯＲ回路２５３に出力
する。このＯＲ回路２５３は、第１７の実施例（図２
１）の単安定マルチバイブレータ２１４とゲートドライ
バー２１５との間に挿入する。また、図２１における第
１７の実施例のディレイ回路２１６はこの実施例では最
小時間に設定するか、省略しても動作は可能である。

【０１４５】次に、この第２０の実施例の放電加工機用
電源装置の動作を説明する。図２７は第２０の実施例と
しての放電加工機用電源装置の動作を説明するためのタ
イミングチャートである。図において、図２７（ａ）に
おいて、タイミングｔ51で放電開始パルス２５０が到来
するとフリップフロップ２５２がセットされ、図２７
（ｃ）に示すタイミングｔ53で反転出力２５４が“Ｌ
（ＬＯＷ）”になる。次に、図２７（ｄ）に示すよう
に、電極５と被加工物４の間の極間電圧がタイミングｔ
54で上昇し、タイミングｔ55で電極５と被加工物４の間
の放電が発生し、その後の極間電圧は放電電圧を示す。
この放電が発生したとき、単安定マルチバイブレータ２
１４で図２７（ｅ）に示す一定の短時間パルス２６０を
タイミングｔ56で出力する。このパルスはＯＲ回路２５
３に入力し、前記フリップフロップ２５２の出力と論理
和をとり、ゲートドライバー２１５によりＭＯＳＦＥＴ
からなるスイッチ５１０を駆動する。

【０１４６】これにより図１５に示す第１２の実施例で
は説明しなかったが、図２７（ｆ）に示すように、電極
５と被加工物４の間のエネルギーによるサージ電流が流
れ、このサージ電流ｉ51が仕上加工の時等は加工電流よ
り大きなエネルギーを持つときもある。このサージ電流
ｉ51は放電がタイミングｔ55で発生した瞬間に、図２７
（ｅ）に示すタイミングｔ56で出力する短時間パルス２
６０により、ＯＲ回路２５３からスイッチ５１０をオン
させると図２７（ｇ）に示すサージ電流ｉ52のように軽
減することができる。

【０１４７】この種の作用は、第１２の実施例（図１
４）、第１３の実施例（図１６）、第１４の実施例（図
１８）、第１６の実施例（図２０）に対して、この第２
０の実施例（図２６）を適用すると、例えば、第１２の
実施例の図１５に示す放電発生時の図１５（ｂ）に示す
タイミングｔ34において、図１５（ｃ）に示す加工電流
が立上がる瞬間に、電極５と被加工物４の間に充電され
たエネルギーが流れるのを軽減し、被加工物４の加工面
粗度を良くし、電極消耗を少くできる効果がある。

【０１４８】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ５１０によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流断続部１０２は前記給
電線１００Ｂ，１００Ｃ間にスイッチ５１０を接続し、
前記スイッチ５１０は外部制御手段から制御されたタイ
ミングで電極５と被加工物４との間の放電可能時間を制
御され、その放電可能時間中において、前記電極５と被
加工物４間の電圧変動を検出する微分回路２１１、前記
微分回路２１１の出力と所定の閾値とを比較するコンパ
レータ２１３とを有し、前記コンパレータ２１３の出力
によって前記スイッチ５１０を電極５と被加工物４との
間の放電が発生した後、所定の時間後に、所定の時間幅
だけ前記スイッチ５１０をオン状態とするものであり、
請求項１９の発明の実施例に相当する。

【０１４９】この発明の第２１の実施例を図２８に示
す。図２８はこの発明の第２１の実施例である放電加工
機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１０２を分
離した放電加工機用電源装置のスイッチ２６５を制御す
る要部回路図である。

【０１５０】この実施例における放電加工機用電源装置
は、電流断続部１０２として最も簡単な回路によって前
記各実施例の動作を行なうものである。次に、この構成
及び動作を説明すると、電極５と被加工物４の間にはコ
ンデンサ２６３とパルストランス２６４の一次側を直列
に接続し、二次側でスイッチング制御するスイッチ２６
５で構成されている。コンデンサ２６３とパルストラン
ス２６４の一次側により微分回路として、パルストラン
ス２６４により所定のパルス発生回路として機能し、Ｍ
ＯＳＦＥＴからなるスイッチ２６５を駆動する。ＭＯＳ
ＦＥＴからなるスイッチ２６５は、電極５と被加工物４
の間に接続されており、電極５と被加工物４の間に発生
した放電により急峻に電圧が下がるとコンデンサ２６３
を通してパルストランス２６４により電圧降下分の電圧
がスイッチ２６５としてのＭＯＳＦＥＴのゲートにかか
る。このスイッチ２６５としてのＭＯＳＦＥＴのゲート
スレッショルド（閾値）電圧を越えるとスイッチ２６５
はオンし、電極５と被加工物４の間を短絡する。この短
絡により電圧は、更に、急峻に下がるので、コンデンサ
２６３を通して、ＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ２６５
のゲートにオン信号を加える。

【０１５１】次に、電極５と被加工物４の間の電圧が低
下すると、それ以上電圧は下らないので、ＭＯＳＦＥＴ
からなるスイッチ２６５はオフする。したがって、次に
電圧が上昇し、再度放電が発生すると前述の動作を繰返
す。しかし、オフした瞬間には、パルストランス２６４
の一次側に過電圧が発生するので、ダイオード１０５に
よりコンデンサ１０６にこの過電圧による電流を充電
し、そして、回生線１００Ａに流し、スイッチ２６５に
過電圧が加わらないようにする。この第２１の実施例
は、電流断続部１０２として単体でも動作するが、第７
〜１６の実施例と組合わせても良い。即ち、この第２１
の実施例は、非常に簡単な構成で小型軽量安価に構成す
ることができ、電流供給部１０１と電流断続部１０２を
分離した放電加工機用電源装置の電流断続部１０２とし
て電極５と被加工物４の近傍に設けるのに適していると
いう効果がある。

【０１５２】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ２６５によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流断続部１０２は、前記
電流供給部１０１側の回生線１００Ａ，１００Ｃ間にコ
ンデンサ１０６を接続し、前記電極５と被加工物４間の
給電線１００Ｂ，１００Ｃ間にスイッチ２６５を接続
し、前記給電線１００Ｂと回生線１００Ａ間にはダイオ
ード１０５を接続し、また、前記電極５と被加工物４間
にコンデンサ２６３とパルストランス２６４の１次コイ
ルを直列接続し、パルストランス２６４の２次側に発生
する電圧により前記スイッチ２６５を放電発生の直後に
所定の時間幅だけオンさせるものであり、請求項２０の
発明の実施例に相当する。

【０１５３】この発明の第２２の実施例を図２９及び図
３０、図３１に示す。図２９はこの発明の第２２の実施
例である放電加工機に適用した電流供給部１０１と電流
断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置を示す回
路図である。図３０は第２２の実施例としての放電加工
機用電源装置の動作を説明するためのタイミングチャー
トである。図３１はこの放電エネルギーの一定制御によ
り加工した結果を従来の方法と比較して、この効果を説
明するための加工状態を示す説明図である。特に、この
実施例の回路は、単一パルスにおける放電エネルギーを
一定に制御するための放電エネルギー制御回路である。

【０１５４】まず、この実施例の構成及び動作を説明す
る。図３０（ｃ）に示すような電極５と被加工物４の間
の極間電圧Ａ−Ｂを微分回路２１１に入力し、急峻な電
圧降下を検出する。この微分出力と閾値を設定する設定
器２１２の設定値とをコンパレータ２１３によって比較
し、これにより放電が発生した瞬間を検出する。このコ
ンパレータ２１３の出力する信号を図３０（ｆ）に示す
放電信号２７０としてフリップフロップ２７１をセット
する。また、電極５と被加工物４の間の極間電圧Ａ−Ｂ
は増幅器２７２により適正な電圧に増幅され、加工電流
Ｃ0 を検出する電流検出器２９７の検出信号Ｃとともに
乗算器２７３に入力し、これらの積を演算する。この積
はその時点の加工電力である。この乗算器２７３の出力
２８２をアナログスイッチ２７６に出力する。放電開始
信号２５０が図３０（ａ）のタイミングｔ61で出力され
ると、フリップフロップ３０１がセットされ、その出力
Ｑが“Ｈ（ＨＩＧＨ）”になりゲートドライバー２１５
により図３０（ｅ）に示すようなゲート信号２７４を出
力し、ＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ２８４をオンとす
る。このＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ２８４がオンす
ると、図３０（ｃ）に示すように電極５と被加工物４間
の極間電圧は電源電圧まで上昇する。電源電圧は約８０
ボルト程度である。暫くして、タイミングｔ63で放電が
発生すると電圧は放電電圧まで急峻に下がる。この放電
電圧は約２５ボルト程度である。この瞬間から加工電流
Ｃ0 が図３０（ｄ）のように流れ増加する。この加工電
流Ｃ0 は電流検出器２９７により検出され、乗算器２７
３に出力される。

【０１５５】一方、図３０（ｃ）のタイミングｔ63で、
電圧が急峻に下ったことを検出した信号は、コンパレー
タ２１３が出力し、フリップフロップ２７１をセット
し、図３０（ｇ）に示すように出力Ｑが“Ｈ（ＨＩＧ
Ｈ）”になる。そして、アナログスイッチ２７６をオン
とし、積分器２７８の内部の積分値がそれまではリセッ
トされていたものをインバータ２７７の出力により解除
する。即ち、これによって積分動作に入れる。積分器２
７８はこのように放電がオンした瞬間から電極５と被加
工物４の間の電圧と加工電流の積、即ち、加工電力を積
分する。この積分出力２７９を図３０（ｈ）に示す。こ
れがエネルギーレベル設定器２８０の設定値ＴＨ70に達
すると、コンパレータ２８７は図３０（ｉ）に示すよう
にタイミングｔ64において信号を出力する。この信号に
よりＯＲ回路２８９を経由し、フリップフロップ３０１
及びフリップフロップ２７１をリセットする。これによ
りスイッチ２８４はオフし、加工電流及び加工電圧も下
がる。また、フリップフロップ２７１がリセットされる
のでアナログスイッチ２７６はオフし、積分器２７８内
の積分値もリセットされる。そして、次の、放電開始信
号２５０が到来すると再度同様の放電エネルギーの制御
が行なわれる。

【０１５６】しかし、なかにはタイミングｔ63の放電発
生が遅れたり加工電圧が短絡等により低下したり、加工
電流が所定の限流に達しなかったりしたときには、放電
停止信号２５１が到来するまでに積分器２７８出力が設
定器２８０の閾値２８６に達しない場合がある。この場
合には放電停止信号２５１が出力された時点で、図３０
（ｂ）に示すタイミングｔ62でフリップフロップ３０１
及びフリップフロップ２７１をリセットする。したがっ
て、各部の電圧または信号は、図３０（ｃ），（ｅ）及
び（ｈ）の点線のようになる。このようにすることによ
り異常な状態の放電が継続されるのを防ぐことができ
る。

【０１５７】この放電エネルギーの一定制御により加工
した結果を、図３１を用いて従来の方法と比較する。図
において、図３１（ａ）の２９１，２９２，２９３は、
従来の放電加工の単一のパルスのそれぞれにより加工さ
れた加工表面の単発加工穴を示す。ここでは、各単一パ
ルスの加工エネルギーが等しくないため加工表面の単発
加工穴はその大きさが違っている。そのため仕上がりが
不連続で面粗度もよくなかった。図３１（ｂ）はこの放
電エネエルギー一定制御により加工した結果である。図
３１（ｂ）の２９４，２９５，２９６は加工エネルギー
が一定であるため、加工表面の単発加工穴はその大きさ
がほぼ同じ大きさに加工できることになる。このように
放電加工を加工エネルギー一定で連続加工することによ
り、仕上がりが均一で、面粗度の良い放電加工ができる
効果がある。また、この効果は加工エネルギーが微小
で、加工表面の穴を極力小さくして非常に良い仕上げ加
工をするときに顕著な効果を示す。これは小さな加工表
面の穴が多くある中に一つでも加工エネルギーの大きな
放電が発生すると、この放電による穴が加工表面の面粗
度を悪くしてしまうからである。更に、この放電エネル
ギー一定制御の方法は非常に短い放電時間も制御できる
ことができ、マイクロコンピュータやＤＳＰ（デジタル
シグナルプロセッサ）においても同様のことがソフトウ
エアにより可能であるが、アナログ回路により構成すれ
ば非常に高速の制御ができ、超微細加工が可能になる等
の優れた効果がある。

【０１５８】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ２８４によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記給電線１００Ｂ，１００Ｃ
と電極５と被加工物４との間に直列にスイッチ２８４を
接続し、前記スイッチ２８４は、外部制御手段から制御
されたタイミングで電極５と被加工物４との間の放電開
始時間及び放電可能間隔を制御され、その放電可能間隔
中に、前記電極５と被加工物４間の放電電流及び放電電
圧を検出し、それを乗算する乗算回路２７３及びその乗
算された出力を積分する積分回路２７８を有し、前記積
分回路２７８の出力が所定の閾値に達したとき前記放電
可能間隔中にかかわらず、前記スイッチ２８４を開放す
るものであり、請求項２１の発明の実施例に相当する。

【０１５９】この発明の第２３の実施例を図３２及び図
３３、図３４に示す。図３２はこの発明の第２３の実施
例である放電加工機に適用した電流供給部１０１と電流
断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置を示す回
路図である。図３３は第２３の実施例としての放電加工
機用電源装置の動作を説明するためのタイミングチャー
トである。そして、図３４はこの放電エネルギーの一定
制御により加工した結果を従来の方法と比較して、この
効果を説明するための加工状態を示す説明図である。

【０１６０】まず、この実施例の構成及び動作を説明す
る。図３３（ｃ）に示すように、電極５と被加工物４の
間の極間電圧Ａ−Ｂを微分回路２１１に入力し急峻な電
圧降下を検出する。この微分出力と設定器２１２の設定
値、即ち、閾値とをコンパレータ２１３で比較し、これ
により放電が発生した瞬間を検出する。このコンパレー
タ２１３の出力する信号を図３３（ｆ）に示す放電信号
２７０としてフリップフロップ２７１をセットする。ま
た、電極５と被加工物４の間の極間電圧Ａ−Ｂは増幅器
２７２により適正な電圧に増幅され、加工電流Ｃ0 を検
出する電流検出器２９７の検出信号Ｃとともに乗算器２
７３に入力し、これらの積を演算する。この積はその時
点の加工電力である。この乗算器２７３の出力２８２を
アナログスイッチ２７６に出力する。放電開始信号２５
０が図３３（ａ）のタイミングｔ71で出力されると、フ
リップフロップ３０１がセットされ、その反転出力Ｑバ
ーが“Ｌ”になりゲートドライバー２１５により図３３
（ｅ）に示すようにゲート信号２７４を出力し、ＭＯＳ
ＦＥＴからなるスイッチ５１０をオフさせる。このＭＯ
ＳＦＥＴからなるスイッチ５１０がオフすると、図３３
（ｃ）に示すように、電極５と被加工物４の間の極間電
圧は電源電圧まで上昇する。電源電圧は約８０ボルト程
度である。暫くして、タイミングｔ73で放電が発生する
と電圧は放電電圧まで急峻に下がる。この放電電圧は約
２５ボルト程度である。この瞬間から加工電流Ｃ0 が図
３３（ｄ）に示すように流れ、順次増加する。この加工
電流Ｃ0 は電流検出器２９７により検出され乗算器２７
３に出力する。

【０１６１】コンパレータ２１３の出力する信号が、図
３３（ｆ）に示す放電信号２７０として出力されると、
単安定マルチバイブレータ２１４は予め決められた時間
幅のパルス３００を図３３（ｊ）に示すように出力す
る。この単安定マルチバイブレータ２１４の出力するパ
ルス３００はＯＲ回路３０２を経由し、ゲートドライバ
ー２１５によりＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ５１０を
瞬時オン動作させる。このゲート信号２７４を図３３
（ｅ）のタイミングｔ74に示す。

【０１６２】したがって、図３３（ｄ）の加工電流は、
図３０の第２２の実施例で説明しなかったが、放電発生
時に図２６に示す第２０の実施例において説明したよう
に、ピーク電流ｉ71が電極５と被加工物４の間の静電容
量に蓄えられたエネルギーにより発生する。このピーク
電流ｉ71は、スイッチ５１０を瞬時、図３３（ｅ）のタ
イミングｔ74においてオンさせることにより、電極５と
被加工物４の間を短絡し、ピーク電流ｉ71が流れるのを
軽減し、図３３（ｄ）に示すように低いピーク電流ｉ72
の値に抑えることができる。このピーク電流ｉ71の流れ
る時間は非常に短い時間であるからスイッチ５１０とし
ては、ＭＯＳＦＥＴのような高速のスイッチング素子が
必要である。また、この短絡する時間が長いと発生した
放電が消えてしまうことになるので、単安定マルチバイ
ブレータ２１４の出力するパルス３００の時間幅は、こ
のことを考慮して決めなければならない。

【０１６３】一方、図３３（ｃ）のタイミングｔ73で電
圧が急峻に下がったことを検出した信号を、前記のよう
にコンパレータ２１３が出力し、フリップフロップ２７
１をセットすると、図３３（ｇ）に示すように出力Ｑが
“Ｈ”となる。これによってアナログスイッチ２７６を
オンさせ、積分器２７８の内部の積分値が、それまでは
リセットされていたものをインバータ２７７の出力によ
り解除する。積分器２７８はこのように放電がオンした
瞬間から電極５と被加工物４の間の電圧と加工電流の
積、即ち、加工電力を積分する。この積分出力２７９を
図３３（ｈ）に示す。これがエネルギーレベル設定器２
８０の設定値ＴＨ70に達すると、コンパレータ２８７は
図３３（ｉ）に示すようにタイミングｔ75において信号
を出力する。この信号によりＯＲ回路２８９を経由し、
フリップフロップ３０１及び２７１をリセットする。こ
れによりＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ５１０はオン
し、加工電流及び加工電圧も急峻に下がる。また、フリ
ップフロップ２７１がリセットするのでアナログスイッ
チ２７６はオフし、積分器２７８内の積分値もリセット
される。そして、次の放電開始信号２５０が到来する
と、再度、同様の放電エネルギーの制御が行なわれる。

【０１６４】しかし、なかには、タイミングｔ73の放電
発生が遅れたり加工電圧が短絡等により低下したり、加
工電流が所定の電流に達しなかったりしたときには、放
電停止信号２５１が到来するまでに積分器２７８の出力
が設定器２８０の設定値ＴＨ70に達しない場合がある。
この場合には放電停止信号２５１が出力された時点、即
ち、図３３（ｂ）のタイミングｔ72でフリップフロップ
３０１及びフリップフロップ２７１をリセットし放電を
停止する。したがって、各部の電圧または信号は、図３
１（ｃ），（ｅ）及び（ｈ）の点線のようになる。この
ようにすることにより異常な状態の放電が続くことを防
ぐことができる。

【０１６５】この放電エネルギーの一定制御により加工
した結果を、図３４を用いて従来の方法と比較する。図
において、図３４（ａ）の３２１，３２２，３２３は従
来の放電加工の単一パルスのそれぞれにより加工された
加工表面の単発加工穴を示す。放電発生時のピーク電流
ｉ71により瞬間的に高い電流が流れるので、図３４
（ａ）の加工穴３２０のように深い加工がされてしま
い、その上に電源から供給される加工エネルギーによる
加工表面の単発加工穴３２１，３２２，３２３ができ
る。また、各単一パルスの加工エネルギーが等しくない
ため加工表面の単発加工穴３２１，３２２，３２３はそ
の大きいさが違っている。そのため、仕上がりが不連続
で面粗度もよくなかった。図３４（ｂ）はこの放電エネ
ルギー一定制御により加工した結果であるが、加工表面
の単発加工穴３２４，３２５，３２６は加工エネルギー
が一定であるため、加工表面の単発加工穴３２４，３２
５，３２６はその大きさがほぼ同じ大きさに加工できる
ことになる。また図３３（ｄ）のピーク電流ｉ72に示す
ように抑えられ、放電加工エネルギー一定で連続して加
工することにより、仕上がりが均一で、面粗度の良い放
電加工ができる効果がある。また、この効果は加工エネ
ルギーが微小で、加工表面の穴を極力小さくして非常に
良い仕上げ加工をするときに顕著な効果を示す。これは
小さな加工表面の穴が多くある中に一つでも加工エネル
ギーの大きな放電が発生すると、この放電による穴が加
工表面の面粗度を悪くしてしまうが、本発明の実施例に
よれば、放電加工エネルギー一定で連続して加工するこ
とにより、加工表面の単発加工穴に大きさの差が生じな
いからである。更に、この放電エネルギー一定制御の方
法は非常に短い放電時間も制御できることができ、マイ
クロコンピュータやＤＳＰ（デジタルシグナルプロセッ
サ）においても同様のことがソフトウエアにより可能で
あるが、しかも、アナログ回路により構成すれば、非常
に高速の制御ができ、超微細加工が可能になるなどの優
れた効果がある。

【０１６６】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ５１０によ
り断続制御すると共に、前記電流供給部１０１から分離
し、前記電極５または被加工物４の近傍に設けた電流断
続部１０２とを具備し、前記電流断続部１０２は前記給
電線１００Ｂ，１００Ｃ間にスイッチ５１０を接続し、
前記スイッチ５１０は外部制御手段から制御されたタイ
ミングで電極５と被加工物４との間の放電可能時間を制
御され、その放電可能時間中において、前記電極５と被
加工物４間の電圧変動を検出する微分回路２１１、前記
微分回路２１１の出力と所定の閾値とを比較するコンパ
レータ２１３とを有し、前記コンパレータ２１３の出力
によって前記スイッチ５１０を電極５と被加工物４との
間の放電発生後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ前
記スイッチ５１０をオン状態とし、また、前記電極５と
被加工物４間の放電電流及び放電電圧を検出し、それを
乗算する乗算回路２７３及びその乗算された出力を積分
する積分回路２７８を有し、前記積分回路２７８の出力
が所定の閾値に達したとき前記放電可能間隔中にかかわ
らず、前記スイッチ５１０をオン状態とするものであ
り、請求項２２の発明の実施例に相当する。

【０１６７】この発明の第２４の実施例を図３５及び図
３６、図３７に示す。図３５はこの発明の第２４の実施
例である放電加工機に適用した電流供給部１０１と電流
断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置を示す回
路図である。図３６は第２４の実施例としての放電加工
機用電源装置の動作を説明するためのタイミングチャー
トである。そして、図３７はこの実施例によって加工し
た状態を示す説明図である。

【０１６８】この第２４の実施例は、第１５の実施例で
ある図１９の交流出力の放電加工の他の実施例として適
用したものであるが、ＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ３
３１，３３２，３３３，３３４を使用し、この出力にイ
ンダクタンス３３０、コンデンサ３３５を接続し、でき
るだけ短い給電線１０３Ａ，１０３Ｂにより電極５と被
加工物４の間に接続する。コンデンサ３３５は電極５と
被加工物４の間の静電容量であってもよい。また、イン
ダクタンス３３０とコンデンサ３３５は、スイッチ３３
１，３３４とスイッチ３３２，３３３が交互にスイッチ
ングして出力する高周波電圧に共振するようにその値を
選択する。他の構成は図１９の第１５の実施例と同じで
ある。

【０１６９】次に、この動作を説明する。電流断続部１
０２のスイッチ３３１，３３４とスイッチ３３２，３３
３は交互にオン・オフ制御を繰返し、そのスイッチング
出力を交流としたものである。タイミングｔ81からタイ
ミングｔ82の間、スイッチング動作した信号を図３６
（ａ）に示す。したがって、出力は高周波の交流とな
る。電極５と被加工物４の間には、この交流電圧とイン
ダクタンス３３０とコンデンサ３３５が直列共振した時
の高い電圧が印加される。この交流はインダクタンス３
３０とコンデンサ３３５の値が比較的に小さな値になる
ことから、１００ＫＨｚ以上の高周波になる。この周波
数は１３．５６ＭＨｚ等の工業用として利用可能な非常
に高い高周波であってもよい。これを図３６（ｂ）の印
加電圧ｅ81に示す。また、図３６（ｃ）に示すように、
電極５と被加工物４の間に流れる電流は、電極５と被加
工物４の間の静電容量によりｉ81のように少し流れる。
図３６（ｂ）のタイミングｔ83において放電が発生する
と、電圧は共振による高い電圧から２５ボルト程度の放
電電圧ｅ82になり、図３６（ｃ）の加工電流のように電
流供給部１０１から給電線１００Ｂにより供給される電
流により決まる高周波電流ｉ82が流れる。

【０１７０】この高周波電流ｉ82により放電加工される
が、この高い周波数の半サイクル毎に放電が発生するの
で、非常に微細な放電が発生することになる。特に、電
極５と被加工物４の間の静電容量や、これと並列に接続
したコンデンサ３３５はピーク電流として電流が流れる
前に高周波の半サイクルが終了するので、ピーク電流が
流れ難くなる。図３６（ａ）のタイミングｔ82でスイッ
チ３３１，３３３をオフにスイッチ３３２，３３４をオ
ンにすると、またはスイッチ３３１，３３３をオンに、
スイッチ３３２，３３４をオフにすると、または、全て
のスイッチ３３１〜３３４をオフにすると放電は停止す
る。これらを繰返すことにより、放電加工を行なうこと
ができる。

【０１７１】このような、高周波により放電加工を行な
うと、被加工物４の放電が発生した付近に微細な放電が
集合した放電形態になり、高周波による微細な放電と、
単一の放電の発生時間における放電の広がりが適度な条
件では図３７に示すように、被加工物４の表面の加工穴
３５０は平坦な形状の加工ができ、仕上加工として好適
である。また、高周波による微細な放電であるが、非常
に繰返し周波数が高いので、加工速度も従来の方法と比
べると格段に速いという効果がある。

【０１７２】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ３３１〜３
３４により断続制御すると共に、前記電流供給部１０１
から分離し、前記電極５または被加工物４の近傍に設け
た電流断続部１０２とを具備し、前記電流断続部１０２
は、前記電流供給部１０１側の回生線１００Ａ，１００
Ｃ間にはコンデンサ１０６を並列接続し、前記電流供給
部１０１側の給電線１００Ｂ，１００Ｃ間に各２個のス
イッチ３３１〜３３４を直並列接続し、前記各２個のス
イッチ３３１〜３３４の直列接続点相互間に前記電極５
と被加工物４をインダクタンス３３０を介して直列接続
し、かつ、前記電極５と被加工物４に並列にコンデンサ
３３５を接続し、また、前記給電線１００Ｂと回生線１
００Ａ間にはダイオード１０５を接続したものであり、
請求項２３の発明の実施例に相当する。

【０１７３】また、この実施例は、直列共振時の電圧上
昇が期待できることから、前記電流供給部１０１側の給
電線間に直並列接続した各２個のスイッチ３３１〜３３
４の繰返しスイッチング周波数と、前記各２個のスイッ
チ３３１〜３３４の直列接続点相互間に直列接続したイ
ンダクタンス３３０及び前記電極５と被加工物４に並列
接続したコンデンサ３３５は、前記スイッチング周波数
の共振周波数にその定数を設定するものであり、請求項
２４の発明の実施例に相当する。

【０１７４】この発明の第２５の実施例を図３８及び図
３９に示す。図３８はこの発明の第２５の実施例である
放電加工機に適用した電流供給部１０１と電流断続部１
０２を分離した放電加工機用電源装置を示す回路図であ
る。この第２５実施例は、図３５に示した第２４の実施
例である高周波による放電加工機の他の実施例である
が、ＭＯＳＦＥＴからなるスイッチ３３１，３３２，３
３３，３３４を使用し、この出力にインピーダンスマッ
チング回路３４０を接続し、出来るだけ短い給電線１０
３Ａ、１０３Ｂにより電極５と被加工物４の間を接続し
たものである。インピーダンスマッチング回路３４０
は、スイッチ３３１，３３４とスイッチ３３２，３３３
が交互にスイッチングして出力する高周波電圧の周波数
に共振するようにその値を選択し、前記高周波出力のイ
ンピーダンズと電極５と被加工物４との間の放電のイン
ピーダンスがマッチングするように構成している。

【０１７５】また、図３９（ａ）〜（ｃ）は第２５の実
施例である放電加工機に適用した電流供給部１０１と電
流断続部１０２を分離した放電加工機用電源装置で使用
するインピーダンスマッチング回路の事例である。図に
おいて、（ａ）はＴ形マッチング回路、（ｂ）はπ形マ
ッチング回路、（ｃ）はトランスを使用したマッチング
回路である。インピーダンスマッチング回路３４０を使
用することで高周波電力が電極５と被加工物４との間の
放電電力に効率よく変換できるようになる。

【０１７６】この実施例は、加工液２中に浸漬された電
極５と被加工物４間に加工電力を供給して放電加工する
放電加工機用電源装置において、加工電流を供給する電
流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極５と
被加工物４間に供給する加工電流をスイッチ３３１〜３
３４により断続制御すると共に、前記電流供給部１０１
から分離し、前記電極５または被加工物４の近傍に設け
た電流断続部１０２とを具備し、前記電流断続部１０２
は、前記電流供給部１０１側の回生線１００Ａ，１００
Ｂ間にはコンデンサ１０６を並列接続し、前記給電線１
００Ｃと回生線１００Ａ間にはダイオード１０５を接続
し、また、前記電流供給部１０１側の給電線間に各２個
のスイッチ３３１〜３３４を直並列接続し、各２個のス
イッチ３３１〜３３４の直列接続点相互間と前記電極５
と被加工物４との間には、両側のインピーダンスを整合
させるインピーダンスマッチング回路３４０を接続した
ものであり、請求項２５の発明の実施例に相当する。

【０１７７】ところで、本発明における加工液２中に浸
漬された電極５と被加工物４間に加工電力を供給して放
電加工する放電加工機用電源装置は、加工電流を供給す
る電流供給部１０１と、前記電流供給部１０１から電極
５と被加工物４間に供給する加工電流を断続制御すると
共に、前記電流供給部１０１から分離し、前記電極５ま
たは被加工物４の近傍に設けた電流断続部１０２の構成
を具備している。

【０１７８】ここで、加工電流を供給する電流供給部１
０１としては、電気的にスイッチング制御されるスイッ
チ１１と、加工電流を制限するための抵抗１２またはリ
アクトル１２０、及びダイオード１３で形成されるもの
を中心に説明したが、本発明を実施する場合には、電流
供給部１０１の出力としては、単に定電流源とすること
もできるし、定電流パルス源とすることもできる。ま
た、被加工物４の加工面粗度を良くし、電極消耗を少く
するために、波頭が順次立上るパルスとすることもでき
る。このとき、加工電流を供給する電流供給部１０１の
出力としては、矩形波以外の階段波となる。即ち、加工
電流を供給する電流供給部１０１の出力としては、直流
定電流出力、加工電流の供給時点をそのパルス幅に設定
した矩形波電流出力、特種波形出力となる。

【０１７９】また、電流断続部１０２としては、電流供
給部１０１から電極５と被加工物４間に供給する加工電
流を断続制御すると共に、電流供給部１０１から分離
し、電極５または被加工物４の近傍に設けたものであ
る。しかし、本発明を実施する場合には、単純に加工電
流の開始及び終了をスイッチング制御するものに限定さ
れるものでなく、一旦、放電加工電流を通電させた後
に、加工電流を順次増加させ、放電開始の加工エネルギ
ーを小さく、順次増加させることにより被加工物４の加
工面粗度を良くし、電極消耗を少くすることもできる。
即ち、加工電流を断続制御とは、加工電流の開始及び終
了を制御するものであり、その間の、加工電流制御も含
むものである。

【０１８０】上記各実施例の電流供給部１０１と電流断
続部１０２を構成するスイッチは、外部から電気的また
は機械的制御可能で、高速開閉できる必要性から、通
常、トランジスタまたはＭＯＳＦＥＴ等によるスイッチ
ング動作を行なう素子とすることができる。また、回路
的にはアナログゲート等のゲート回路とすることができ
る。

【０１８１】なお、第１７（図２１）、第１８（図２
４）、第１９（図２５）、第２０（図２６）、第２２
（図２８）、第２３（図３２）の実施例で述べた制御回
路はマイクロコンピュータ或いはＤＳＰ（デジタルシグ
ナルプロセッサ）とメモリ、ＡＤ変換器、ＤＡ変換器等
を使用し、ソフトウエアによるデジタル制御により構成
しても上記実施例と同等の効果を奏する。

【０１８２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明の
放電加工機用電源装置は、放電加工機用電源装置を加工
電流を供給する電流供給部、及び前記電流供給部から電
極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると共
に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加工
物の近傍に設けた電流断続部とに分割し、そして前記電
流供給部から前記電流断続部に電流を供給する給電線
と、前記電流断続部から前記電流供給部に電力を回生す
る回生線で接続したものである。したがって、電流断続
部を電流供給部から分離したことによって、電流断続部
が小型軽量になり、電流断続部を電極と被加工物の近傍
に設置可能であるから、電極と被加工物と電流断続部と
の間の給電線のインダクタンスが殆ど無くなり高速な加
工電流の制御が可能となった。特に、電流断続部におい
てスイッチング制御の際発生する過渡現象等で発生する
余剰電力を電流供給部の電源側に回生することができ、
それだけ、電流断続部のスイッチング制御を高速化でき
る。この高速スイッチング制御により、加工仕上がりが
均一になり、面粗度も良くなるという効果がある。

【０１８３】請求項２の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流断続部を、電極送り手段の構造体に
取付けたものであり、電極と被加工物と電流断続部との
間の給電線のインダクタンスが殆ど無くし、高速な加工
電流制御を可能としたものである。請求項１の効果に加
えて、特に、ここでは、アース側でない電位側を短くす
ることができ、かつ、その長さを均一とすることができ
る。

【０１８４】請求項３の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流断続部を、電極または電極と電極送
り手段の間に取付けたものであり、電極と被加工物と電
流断続部との間の給電線のインダクタンスが殆ど無く
し、高速な加工電流制御を可能としたものである。請求
項２と同様の効果を奏する。

【０１８５】請求項４の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流断続部を、被加工物と加工テーブル
の間に電流断続部を取付けたものであり、電極と被加工
物と電流断続部との間の給電線のインダクタンスが殆ど
無くし、高速な加工電流制御を可能としたものである。
請求項１の効果に加えて、特に、ここでは、電流断続部
の大きさが若干大きくなってもよいし、また、強制冷却
で対応する手段を採用することもでき、設計自由度を高
くすることができる。

【０１８６】請求項５の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流断続部を、加工テーブルまたは加工
テーブルの下部に電流断続部を取付けたものであり、電
極と被加工物と電流断続部との間の給電線のインダクタ
ンスが殆ど無くし、高速な加工電流制御を可能としたも
のである。請求項４と同様の効果を奏する。

【０１８７】請求項６の発明の放電加工機用電源装置
は、金属線を前記電極とし、前記金属線に給電子を介し
て給電して前記被加工物を任意の形状に加工するワイヤ
カット放電加工機として使用する場合で、前記電流を給
電する給電子と前記被加工物の近傍に電流断続部を取付
け、給電線のインダクタンスをなくすため電流断続部を
電源から分離して給電子と被加工物近傍に設けたもので
ある。したがって、請求項１の効果を奏することにな
る。

【０１８８】請求項７の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流供給部を、電源、スイッチ、ダイオ
ード及び抵抗によって構成し、前記電流断続部は、前記
電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、
前記電流供給部側の給電線にはスイッチを直列接続して
前記電極または被加工物に接続し、前記スイッチの前記
給電線側と回生線間との間にはダイオードを接続したも
のである。したがって、請求項１の効果に加えて、構成
を単純化でき、かつ、小形化でき、全回路素子が誘導性
及び容量性を持たないものであるから、スイッチング制
御による断続を高速化できる。また、電流断続部におい
てスイッチング制御の際発生する過渡現象等で発生する
余剰電力を、ダイオードによって電流供給部の電源側に
回生することができ、それだけ、電流断続部のスイッチ
ング制御を高速化でき、加工仕上がりが均一になり、面
粗度も良くなるという効果がある。

【０１８９】請求項８の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流供給部を、電源、スイッチ、ダイオ
ード及びリアクトルによって構成し、前記電流断続部
は、前記電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列
接続し、前記電流供給部側の給電線にはスイッチを直列
接続して前記電極または被加工物に接続し、前記スイッ
チの前記給電線側と回生線間にはダイオードを接続した
ものである。したがって、請求項１の効果に加えて、構
成を単純化でき、かつ、小形化でき、また、リアクトル
のバックアップにより、はるかに高速に立上がることが
できスイッチング制御による断続を高速化できる。ま
た、電流断続部においてスイッチング制御の際発生する
過渡現象等で発生する余剰電力を、ダイオードによって
電流供給部の電源側に回生することができ、それだけ、
電流断続部のスイッチング制御を高速化でき、加工仕上
がりが均一になり、面粗度も良くなるという効果があ
る。

【０１９０】請求項９の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流供給部を、電源、スイッチ、ダイオ
ード及び抵抗によって構成し、前記電流断続部は、前記
電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、
前記電流供給部側の一方の給電線と回生線との共通線に
はスイッチを直列接続して前記電極または被加工物に接
続し、他方の給電線と回生線間にはダイオードを接続し
たものである。したがって、請求項７の効果を奏する。

【０１９１】請求項１０の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流供給部を、電源、スイッチ、ダイオ
ード及びリアクトルによって構成し、前記電流断続部
は、前記電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列
接続し、前記電流供給部側の一方の給電線と回生線との
共通線にはスイッチを直列接続して前記電極または被加
工物に接続し、他方の給電線と回生線間にはダイオード
を接続したものである。したがって、請求項８の効果を
奏する。

【０１９２】請求項１１の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流供給部を、電源、スイッチ、ダイオ
ード及び抵抗によって構成し、前記電流断続部は、前記
電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、
前記電流供給部側の一対の給電線には、電流を供給する
前記電極と被加工物間にスイッチを並列接続したもので
ある。したがって、請求項９の効果に加えて、スイッチ
が前記電極と被加工物間に配設されており、放電させる
とき以外は短絡状態とするものであるから、前記電極と
被加工物間の静電容量の影響をなくすことができる。

【０１９３】請求項１２の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流供給部を、電源、スイッチ、ダイオ
ード及びリアクトルによって構成し、前記電流断続部
は、前記電流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列
接続し、前記電流供給部側の一対の給電線には、前記電
極及び被加工物とスイッチとを並列接続し、かつ、前記
給電線と回生線間にはダイオードを接続したものであ
る。したがって、請求項１１の効果に加えて、リアクト
ルのバックアップにより、はるかに高速に立上がること
ができスイッチング制御による断続を高速化できる。

【０１９４】請求項１３の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流供給部を、電源、スイッチ、ダイオ
ード及びリアクトルによって構成し、前記電流断続部
は、前記電流供給部側の回生線間にコンデンサを並列接
続し、前記電流供給部側の一方の給電線に第１のスイッ
チを直列接続し、更に、前記第１のスイッチに対し、前
記電極と被加工物間に第２のスイッチを並列接続したも
のを直列接続し、かつ、記給電線と回生線間にはダイオ
ードを接続したものである。したがって、請求項１２の
効果に加えて、特に、第１のスイッチは前記電極と被加
工物間の近くに配設することができるから、スイッチン
グ動作をより高速化できる。

【０１９５】請求項１４の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流供給部を、電源、スイッチ、ダイオ
ード及びリアクトルによって構成し、前記電流断続部
は、前記電流供給部側の回生線間にコンデンサを並列接
続し、前記電流供給部側の給電線間に各２個のスイッチ
を直並列接続し、各２個のスイッチの直列接続点相互間
に前記電極と被加工物を直列接続し、かつ、前記給電線
と回生線間にはダイオードを接続したものである。した
がって、各２個のスイッチの直並列の開閉制御の仕方を
任意に設定することができ、また、加工電流の立上がり
及び遮断により、確実に高速に加工電流のオン・オフ制
御制御を行なうことができ、請求項８、請求項１０、請
求項１２、請求項１３の効果を奏することができる。

【０１９６】請求項１５の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流供給部を、電源、スイッチ、ダイオ
ード及びリアクトル、各２個のスイッチを直並列接続し
た４個のスイッチによって構成し、前記各２個のスイッ
チの直列接続点相互間と前記電流断続部とを給電線で接
続し、前記電流断続部は、前記電流供給部側の回生線間
にコンデンサを並列接続し、前記電流供給部側の給電線
間にダイオードブリッジを接続し、前記ブリッジ接続し
た４つのダイオードの接続点間にスイッチを接続し、ま
た、前記電流供給部側の給電線間に電極及び被加工物を
接続し、そして、前記給電線と回生線間にはダイオード
を接続したものである。したがって、請求項８、請求項
１０、請求項１２、請求項１３の効果の他に、各２個の
スイッチを直並列接続した４個のスイッチによって、電
源極性の切替え制御、電極間の短絡、交流出力など放電
加工機の電源の必要とする全ての動作ができる。

【０１９７】請求項１６の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１における電流供給部は前記電極と被加工物
間に並列接続したスイッチを有し、前記スイッチは、前
記電極と被加工物間の電圧変動を検出する微分回路、前
記微分回路の出力と所定の閾値とを比較するコンパレー
タを有し、前記コンパレータの出力によって前記スイッ
チを電極と被加工物との間の放電が発生した後、所定の
時間後に所定の時間幅だけ前記スイッチをオン状態とす
るものであるから、請求項１、請求項１１、請求項１
２、請求項１３、請求項１４、請求項１５の効果に加え
て、大きな面積の電極においても、ピーク電流を低減し
た微小な放電加工が可能となり、これによって、従来不
可能であった大面積の微細な加工が可能となり、加工性
能の良い放電加工機が得られる。

【０１９８】請求項１７の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１における電流断続部は前記給電線間にダイ
オードブリッジを接続し、前記ブリッジ接続した４つの
ダイオードの接続点間にスイッチを接続し、前記スイッ
チは、前記電極と被加工物間の電圧を検出する絶対値回
路、前記絶対値回路の電圧変動を検出する微分回路、前
記微分回路の出力と所定の閾値とを比較するコンパレー
タとを有し、前記コンパレータの出力によって前記スイ
ッチを電極と被加工物との間の放電が発生した後、所定
の時間後に、所定の時間幅だけ前記スイッチをオン状態
とするものであるから、請求項１６の効果に加えて、電
源の極性が何れであっても、大きな面積の電極において
も、ピーク電流を低減した微小な放電加工が可能とな
り、これによって、従来不可能であった大面積の微細な
加工が可能となり、加工性能の良い放電加工機が得られ
る。

【０１９９】請求項１８の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１における前記電流断続部は前記電極と被加
工物間に並列接続し、ソースを共通にして直列接続した
複数のＭＯＳＦＥＴを有し、前記複数のＭＯＳＦＥＴ
は、前記電極と被加工物間の電圧変動を検出する微分回
路、前記微分回路の出力と所定の閾値とを比較するコン
パレータを有し、前記コンパレータの出力によって前記
複数のＭＯＳＦＥＴを電極と被加工物との間の放電が発
生した後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ前記複数
のＭＯＳＦＥＴをオン状態とするものであるから、請求
項１７の効果と同様の効果を奏する。

【０２００】請求項１９の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１における前記電流断続部は前記給電線間に
スイッチを接続し、前記スイッチは外部制御手段から制
御されたタイミングで電極と被加工物との間の放電可能
時間を制御し、その放電可能時間中において、前記電極
と被加工物間の電圧変動を検出する微分回路、前記微分
回路の出力と所定の閾値とを比較するコンパレータとを
有し、前記コンパレータの出力によって前記スイッチを
電極と被加工物との間の放電が発生した後、所定の時間
後に、所定の時間幅だけ前記スイッチをオン状態とする
ものであるから、請求項１６及び請求項１７の効果と同
様の効果を奏する。

【０２０１】請求項２０の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１における前記電流断続部は、前記電流供給
部側の回生線間にコンデンサを接続し、前記電極と被加
工物間の給電線間にスイッチを接続し、前記給電線と回
生線間にはダイオードを接続し、また、前記電極と被加
工物間にコンデンサとパルストランスの１次コイルを直
列接続し、パルストランスの２次側に発生する電圧によ
り前記スイッチを放電発生の直後に所定の時間幅だけオ
ンさせるものであるから、簡単な回路構成で、しかも、
廉価に、請求項１６、請求項１７、請求項１８の効果と
同様の効果を奏する。

【０２０２】請求項２１の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１における前記給電線と電極と被加工物との
間に直列にスイッチを接続し、前記スイッチは、外部制
御手段から制御されたタイミングで電極と被加工物との
間の放電開始時間及び放電可能間隔を制御し、その放電
可能間隔中に、前記電極と被加工物間の放電電流及び放
電電圧を検出し、それを乗算する乗算回路及びその乗算
された出力を積分する積分回路を有し、前記積分回路の
出力が所定の閾値に達したとき前記放電可能間隔中にか
かわらず、前記スイッチを開放するものであるから、請
求項１の効果に加え、放電エネルギーを一定に制御する
ことにより、一つ一つの放電のエネルギーを一定に制御
し、被加工物の表面の加工穴を均一な形状に加工でき、
結果として、加工面が均一で、面粗度の良い放電加工機
が得られる効果がある。

【０２０３】請求項２２の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項２１の構成において、前記スイッチによって
電極と被加工物との間の放電可能時間を制御し、その放
電可能時間中に、前記電極と被加工物間の電圧変動を検
出する微分回路、前記微分回路の出力と所定の閾値とを
比較するコンパレータとを有し、前記コンパレータの出
力によって前記スイッチを電極と被加工物との間の放電
発生後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ前記スイッ
チをオン状態とするものであるから、請求項１及び請求
項２１の効果に加えて、大きな面積の電極においてもピ
ーク電流を低減した微小な放電加工を可能とし、従来不
可能であった、大面積の微細な加工が可能となり、加工
性能の良い放電加工機が得られる。また、放電エネルギ
ーを一定に制御することにより、一つ一つの放電のエネ
ルギーを一定に制御し、被加工物の表面の加工穴を均一
な形状に加工でき、加工面が均一で、面粗度の良い放電
加工機が得られる。

【０２０４】請求項２３の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１の電流断続部において、前記電流供給部側
の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記電流供給
部側の給電線間に各２個のスイッチを直並列接続し、前
記各２個のスイッチの直列接続点相互間に前記電極と被
加工物をインダクタンスを介して直列接続し、かつ、前
記電極と被加工物に並列にコンデンサを接続し、また、
前記給電線と回生線間にはダイオードを接続したもので
ある。したがって、直並列接続した各２個のスイッチに
よって高周波を印加可能とするものであり、高周波によ
る放電加工を行なうことにより被加工物の表面の加工穴
を均一な形状に加工でき、仕上加工として優れ、加工速
度も従来の方法と比べ格段に速いという効果がある。

【０２０５】請求項２４の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項２３の各２個のスイッチの繰返しスイッチン
グ周波数と、前記各２個のスイッチの直列接続点相互間
に直列接続したインダクタンス及び前記電極と被加工物
に並列接続したコンデンサは、前記スイッチング周波数
の共振周波数にその定数を設定するものであるから、請
求項２２の効果に加え、その直列共振によって極間電圧
を上昇させ、放電を発生し易く制御できる。

【０２０６】請求項２５の発明の放電加工機用電源装置
は、請求項１において、前記電流断続部は、前記電流供
給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記給
電線と回生線間にはダイオードを接続し、また、前記電
流供給部側の給電線間に各２個のスイッチを直並列接続
し、各２個のスイッチの直列接続点相互間と前記電極と
被加工物との間には、両側のインピーダンスを整合させ
るインピーダンスマッチング回路を接続したものであ
る。したがって、請求項２２、請求項２３の効果に加え
て、放電エネルギーの伝達効率を良くすることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はこの発明の第１の実施例による放電加工
機用電源装置を示す全体構成図である。

【図２】図２はこの発明の第２の実施例による放電加工
機用電源装置を示す全体構成図である。

【図３】図３はこの発明の第３の実施例による放電加工
機用電源装置を示す全体構成図である。

【図４】図４はこの発明の第４の実施例による放電加工
機用電源装置を示す全体構成図である。

【図５】図５はこの発明の第５の実施例による放電加工
機用電源装置を示す全体構成図である。

【図６】図６はこの発明の第６の実施例による放電加工
機用電源装置を示す全体構成図である。

【図７】図７はこの発明の第７の実施例による放電加工
機用電源装置を示す回路図である。

【図８】図８は図７に示した第７の実施例の動作を示す
タイミングチャートである。

【図９】図９はこの発明の第８の実施例による放電加工
機用電源装置を示す回路図である。

【図１０】図１０は図９に示した第８の実施例の動作を
示すタイミングチャートである。

【図１１】図１１はこの発明の第９の実施例による放電
加工機用電源装置を示す回路図である。

【図１２】図１２はこの発明の第１０の実施例による放
電加工機用電源装置を示す回路図である。

【図１３】図１３はこの発明の第１１の実施例による放
電加工機用電源装置を示す回路図である。

【図１４】図１４はこの発明の第１２の実施例による放
電加工機用電源装置を示す回路図である。

【図１５】図１５は図１４に示した第１２の実施例の動
作を示すタイミングチャートである。

【図１６】図１６はこの発明の第１３の実施例による放
電加工機用電源装置を示す回路図である。

【図１７】図１７は図１６に示した第１３の実施例の動
作を示すタイミングチャートである。

【図１８】図１８はこの発明の第１４の実施例による放
電加工機用電源装置を示す回路図である。

【図１９】図１９はこの発明の第１５の実施例による放
電加工機用電源装置を示す回路図である。

【図２０】図２０はこの発明の第１６の実施例による放
電加工機用電源装置を示す回路図である。

【図２１】第２１図はこの発明の第１７の実施例である
放電加工機用電源装置を示す制御回路図である。

【図２２】図２２はこの発明の第１７の実施例である放
電加工機用電源装置における放電加工現象の説明図であ
る。

【図２３】図２３はこの発明の第１７の実施例の放電加
工現象における漂遊静電容量の影響の説明図である。

【図２４】図２４はこの発明の第１８の実施例である放
電加工機用電源装置を示す制御回路図である。

【図２５】図２５はこの発明の第１９の実施例である放
電加工機用電源装置を示す制御回路図である。

【図２６】図２６はこの発明の第２０の実施例である放
電加工機用電源装置を示す回路図である。

【図２７】図２７は図２６に示した第２０の実施例の動
作を示すタイミングチャートである。

【図２８】図２８はこの発明の第２１の実施例である放
電加工機用電源装置を示す制御回路図である。

【図２９】図２９はこの発明の第２２の実施例である放
電加工機用電源装置を示す制御回路図である。

【図３０】図３０は図２９に示した第２２の実施例の動
作を示すタイミングチャートである。

【図３１】図３１は図２９に示した第２２の実施例の放
電エネルギーの一定制御により加工した結果を従来の方
法と比較した加工状態を示す説明図である。

【図３２】図３２はこの発明の第２３の実施例である放
電加工機用電源装置を示す制御回路図である。

【図３３】図３３は図３２に示した第２３の実施例の動
作を示すタイミングチャートである。

【図３４】図３４は図３２に示した第２３の実施例の放
電エネルギーの一定制御により加工した結果を従来の方
法と比較した加工状態を示す説明図である。

【図３５】図３５はこの発明の第２４の実施例である放
電加工機用電源装置を示す制御回路図である。

【図３６】図３６は図３５に示した第２４の実施例の動
作を示すタイミングチャートである。

【図３７】図３７は図３５に示した第２４の実施例の放
電エネルギー制御により加工した状態を示す説明図であ
る。

【図３８】図３８はこの発明の第２５の実施例である放
電加工機用電源装置を示す回路図である。

【図３９】図３９（ａ）〜（ｃ）は図３８に示した第２
５の実施例である放電加工機用電源装置で使用するイン
ピーダンスマッチング回路の事例を示す回路図である。

【図４０】図４０は従来の放電加工機の一例を示す全体
の構成図である。

【図４１】図４１は従来の放電加工機に使用している電
源から電極及び被加工物までの第１の事例による回路図
である。

【図４２】図４２は図４１に示した従来の第１の事例に
よる動作を示すタイミングチャートである。

【図４３】図４３は従来の放電加工機に使用している電
源から電極及び被加工物までの第２の事例による回路図
である。

【図４４】図４４は従来の放電加工機に使用している電
源から電極及び被加工物までの第３の事例による回路図
である。

【図４５】図４５は従来の放電加工機に使用している電
源から電極及び被加工物までの第４の事例による回路図
である。

【図４６】図４６は従来の放電加工機に使用している電
源から電極及び被加工物までの第５の事例による回路図
である。

【符号の説明】

２ 加工液 ４ 被加工物 ５ 電極 ６ 電極送り手段 １０ 電圧源 １１ スイッチ １２ 抵抗 １３ ダイオード ３４ 給電子 ３５ ワイヤ １０１ 電流供給部 １０２ 電流断続部 １０５ ダイオード １０６ コンデンサ １０４ スイッチ １００Ａ，（１００Ｃ） 回生線 １００Ｂ，１００Ｃ 給電線 １０３Ａ，１０３Ｂ 給電線 １２０ リアクトル １４０，１６０，２１１ スイッチ １９１〜１９４ スイッチ ２０１〜２０４ スイッチ ２０５〜２１０ ダイオード ５１０ スイッチ ２１１ 微分回路 ２１３ コンパレータ ２１４ 単安定マルチバイブレータ ２１５ ゲートドライバー ２１６ ディレイ回路 ３３１〜３３４ スイッチ ２４０，２４２，２４３ スイッチ ２４１ 絶対値回路 ２６３ コンデンサ ２６４ パルストランス ２６５ スイッチ ３３０ インダクタンス ３３５ コンデンサ ３４０ インピーダンスマッチング回路

Claims (25)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工液中に浸漬された電極と被加工物間
   に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源装
   置において、 加工電流を供給する電流供給部と、 前記電流供給部から電極と被加工物間に供給する加工電
   流を断続制御すると共に、前記電流供給部から分離し、
   前記電極または被加工物の近傍に設けた電流断続部と、 前記電流供給部から前記電流断続部に電流を供給する給
   電線と、 前記電流断続部から前記電流供給部に電力を回生する回
   生線とを具備することを特徴とする放電加工機用電源装
   置。
2. 【請求項２】 前記電流断続部を、電極送り手段の構造
   体に取付けたことを特徴とする請求項１記載の放電加工
   機用電源装置。
3. 【請求項３】 前記電極または電極と電極送り手段の間
   に電流断続部を取付けたことを特徴とする請求項１記載
   の放電加工機用電源装置。
4. 【請求項４】 前記被加工物と加工テーブルの間に電流
   断続部を取付けたことを特徴とする請求項１記載の放電
   加工機用電源装置。
5. 【請求項５】 前記加工テーブルまたは加工テーブルの
   下部に電流断続部を取付けたことを特徴とする請求項１
   記載の放電加工機用電源装置。
6. 【請求項６】 金属線を前記電極とし、前記金属線に給
   電子を介して給電して前記被加工物を任意の形状に加工
   するワイヤカット放電加工機とし、前記電流を給電する
   給電子と前記被加工物の近傍に電流断続部を取付けたこ
   とを特徴とする請求項１記載の放電加工機用電源装置。
7. 【請求項７】 加工液中に浸漬された電極と被加工物間
   に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源装
   置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
   電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
   共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
   工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
   前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
   部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
   え、 前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及び抵
   抗によって構成され、前記電流断続部は、前記電流供給
   部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記電流
   供給部側の給電線にはスイッチを直列接続して前記電極
   または被加工物に接続し、前記スイッチの前記給電線側
   と回生線間との間にはダイオードを接続したことを特徴
   とする放電加工機用電源装置。
8. 【請求項８】 加工液中に浸漬された電極と被加工物間
   に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源装
   置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
   電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
   共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
   工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
   前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
   部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
   え、 前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及びリ
   アクトルによって構成され、前記電流断続部は、前記電
   流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前
   記電流供給部側の給電線にはスイッチを直列接続して前
   記電極または被加工物に接続し、前記スイッチの前記給
   電線側と回生線間にはダイオードを接続したことを特徴
   とする放電加工機用電源装置。
9. 【請求項９】 加工液中に浸漬された電極と被加工物間
   に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源装
   置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
   電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
   共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
   工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
   前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
   部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
   え、 前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及び抵
   抗によって構成され、前記電流断続部は、前記電流供給
   部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記電流
   供給部側の一方の給電線と回生線との共通線にはスイッ
   チを直列接続して前記電極または被加工物に接続し、他
   方の給電線と回生線間にはダイオードを接続したことを
   特徴とする放電加工機用電源装置。
10. 【請求項１０】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及びリ
    アクトルによって構成され、前記電流断続部は、前記電
    流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前
    記電流供給部側の一方の給電線と回生線との共通線には
    スイッチを直列接続して前記電極または被加工物に接続
    し、他方の給電線と回生線間にはダイオードを接続した
    ことを特徴とする放電加工機用電源装置。
11. 【請求項１１】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及び抵
    抗によって構成され、前記電流断続部は、前記電流供給
    部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前記電流
    供給部側の一対の給電線には、電流を供給する前記電極
    と被加工物間にスイッチを並列接続したものを接続し、
    かつ、前記給電線と回生線間にはダイオードを接続した
    ことを特徴とする放電加工機用電源装置。
12. 【請求項１２】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及びリ
    アクトルによって構成され、前記電流断続部は、前記電
    流供給部側の回生線間にはコンデンサを並列接続し、前
    記電流供給部側の一対の給電線には、前記電極及び被加
    工物とスイッチとを並列接続し、かつ、前記給電線と回
    生線間にはダイオードを接続したことを特徴とする放電
    加工機用電源装置。
13. 【請求項１３】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及びリ
    アクトルによって構成され、前記電流断続部は、前記電
    流供給部側の回生線間にコンデンサを並列接続し、前記
    電流供給部側の一方の給電線に第１のスイッチを直列接
    続し、更に、前記第１のスイッチに対し、前記電極と被
    加工物間に第２のスイッチを並列接続したものを直列接
    続し、かつ、前記給電線と回生線間にはダイオードを接
    続したことを特徴とする放電加工機用電源装置。
14. 【請求項１４】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及びリ
    アクトルによって構成され、前記電流断続部は、前記電
    流供給部側の回生線間にコンデンサを並列接続し、前記
    電流供給部側の給電線間に各２個のスイッチを直並列接
    続し、各２個のスイッチの直列接続点相互間に前記電極
    と被加工物を直列接続し、かつ、前記給電線と回生線間
    にはダイオードを接続したことを特徴とする放電加工機
    用電源装置。
15. 【請求項１５】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流供給部は、電源、スイッチ、ダイオード及びリ
    アクトル、各２個のスイッチを直並列接続した４個のス
    イッチによって構成され、前記各２個のスイッチの直列
    接続点相互間と前記電流断続部とを給電線で接続し、前
    記電流断続部は、前記電流供給部側の回生線間にコンデ
    ンサを並列接続し、 前記電流供給部側の給電線間にダイオードブリッジを接
    続し、前記ブリッジ接続した４つのダイオードの接続点
    間にスイッチを接続し、また、前記電流供給部側の給電
    線間に電極及び被加工物を接続し、そして、前記給電線
    と回生線間にはダイオードを接続したことを特徴とする
    放電加工機用電源装置。
16. 【請求項１６】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流断続部は前記電極と被加工物間に並列接続した
    スイッチを有し、前記スイッチは、前記電極と被加工物
    間の電圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の出力
    と所定の閾値とを比較するコンパレータを有し、前記コ
    ンパレータの出力によって前記スイッチを電極と被加工
    物との間の放電が発生した後、所定の時間後に所定の時
    間幅だけ前記スイッチをオン状態とすることを特徴とす
    る放電加工機用電源装置。
17. 【請求項１７】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流断続部は前記給電線間にダイオードブリッジを
    接続し、前記ブリッジ接続した４つのダイオードの接続
    点間にスイッチを接続し、前記スイッチは、前記電極と
    被加工物間の電圧を検出する絶対値回路、前記絶対値回
    路の電圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の出力
    と所定の閾値とを比較するコンパレータとを有し、前記
    コンパレータの出力によって前記スイッチを電極と被加
    工物との間の放電が発生した後、所定の時間後に、所定
    の時間幅だけ前記スイッチをオン状態とすることを特徴
    とする放電加工機用電源装置。
18. 【請求項１８】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流断続部は前記電極と被加工物間に並列接続し、
    ソースを共通にして直列接続した複数のＭＯＳＦＥＴを
    有し、前記複数のＭＯＳＦＥＴは、前記電極と被加工物
    間の電圧変動を検出する微分回路、前記微分回路の出力
    と所定の閾値とを比較するコンパレータを有し、前記コ
    ンパレータの出力によって前記複数のＭＯＳＦＥＴを電
    極と被加工物との間の放電が発生した後、所定の時間後
    に、所定の時間幅だけ前記複数のＭＯＳＦＥＴをオン状
    態とすることを特徴とする放電加工機用電源装置。
19. 【請求項１９】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流断続部は前記給電線間にスイッチを接続し、前
    記スイッチは外部制御手段から制御されたタイミングで
    電極と被加工物との間の放電可能時間を制御され、その
    放電可能時間中において、前記電極と被加工物間の電圧
    変動を検出する微分回路、前記微分回路の出力と所定の
    閾値とを比較するコンパレータとを有し、前記コンパレ
    ータの出力によって前記スイッチを電極と被加工物との
    間の放電が発生した後、所定の時間後に、所定の時間幅
    だけ前記スイッチをオン状態とすることを特徴とする放
    電加工機用電源装置。
20. 【請求項２０】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流断続部は、前記電流供給部側の回生線間にコン
    デンサを接続し、前記電極と被加工物間の給電線間にス
    イッチを接続し、前記給電線と回生線間にはダイオード
    を接続し、また、前記電極と被加工物間にコンデンサと
    パルストランスの１次コイルを直列接続し、パルストラ
    ンスの２次側に発生する電圧により前記スイッチを放電
    発生の直後に所定の時間幅だけオンさせることを特徴と
    する放電加工機用電源装置。
21. 【請求項２１】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記給電線と電極と被加工物との間に直列にスイッチを
    接続し、前記スイッチは、外部制御手段から制御された
    タイミングで電極と被加工物との間の放電開始時間及び
    放電可能間隔を制御され、その放電可能間隔中に、前記
    電極と被加工物間の放電電流及び放電電圧を検出し、そ
    れを乗算する乗算回路及びその乗算された出力を積分す
    る積分回路を有し、前記積分回路の出力が所定の閾値に
    達したとき前記放電可能間隔中にかかわらず、前記スイ
    ッチを開放することを特徴とすることを特徴とする放電
    加工機用電源装置。
22. 【請求項２２】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流断続部は前記給電線間にスイッチを接続し、前
    記スイッチは外部制御手段から制御されたタイミングで
    電極と被加工物との間の放電可能時間を制御され、その
    放電可能時間中において、前記電極と被加工物間の電圧
    変動を検出する微分回路、前記微分回路の出力と所定の
    閾値とを比較するコンパレータとを有し、前記コンパレ
    ータの出力によって前記スイッチを電極と被加工物との
    間の放電発生後、所定の時間後に、所定の時間幅だけ前
    記スイッチをオン状態とし、また、前記電極と被加工物
    間の放電電流及び放電電圧を検出し、それを乗算する乗
    算回路及びその乗算された出力を積分する積分回路を有
    し、前記積分回路の出力が所定の閾値に達したとき前記
    放電可能間隔中にかかわらず、前記スイッチをオン状態
    とすることを特徴とする放電加工機用電源装置。
23. 【請求項２３】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流断続部は、前記電流供給部側の回生線間にはコ
    ンデンサを並列接続し、前記電流供給部側の給電線間に
    各２個のスイッチを直並列接続し、前記各２個のスイッ
    チの直列接続点相互間に前記電極と被加工物をインダク
    タンスを介して直列接続し、かつ、前記電極と被加工物
    に並列にコンデンサを接続し、また、前記給電線と回生
    線間にはダイオードを接続したことを特徴とする放電加
    工機用電源装置。
24. 【請求項２４】 前記電流供給部側の給電線間に直並列
    接続した各２個のスイッチの繰返しスイッチング周波数
    と、前記各２個のスイッチの直列接続点相互間に直列接
    続したインダクタンス及び前記電極と被加工物に並列接
    続したコンデンサは、前記スイッチング周波数の共振周
    波数にその定数を設定することを特徴とする請求項２３
    記載の放電加工機用電源装置。
25. 【請求項２５】 加工液中に浸漬された電極と被加工物
    間に加工電力を供給して放電加工する放電加工機用電源
    装置において、 加工電流を供給する電流供給部と、前記電流供給部から
    電極と被加工物間に供給する加工電流を断続制御すると
    共に、前記電流供給部から分離し、前記電極または被加
    工物の近傍に設けた電流断続部と、前記電流供給部から
    前記電流断続部に電流を供給する給電線と前記電流断続
    部から前記電流供給部に電力を回生する回生線とを備
    え、 前記電流断続部は、前記電流供給部側の回生線間にはコ
    ンデンサを並列接続し、前記給電線と回生線間にはダイ
    オードを接続し、また、前記電流供給部側の給電線間に
    各２個のスイッチを直並列接続し、各２個のスイッチの
    直列接続点相互間と前記電極と被加工物との間には、両
    側のインピーダンスを整合させるインピーダンスマッチ
    ング回路を接続したことを特徴とする放電加工機用電源
    装置。