JPH06307930A - 光量制御装置 - Google Patents

光量制御装置

Info

Publication number
JPH06307930A
JPH06307930A JP5102287A JP10228793A JPH06307930A JP H06307930 A JPH06307930 A JP H06307930A JP 5102287 A JP5102287 A JP 5102287A JP 10228793 A JP10228793 A JP 10228793A JP H06307930 A JPH06307930 A JP H06307930A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light beam
mirror
output
spherical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP5102287A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2634552B2 (ja
Inventor
Yutaka Tokue
豊 徳江
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IMAGICA KK
Original Assignee
IMAGICA KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IMAGICA KK filed Critical IMAGICA KK
Priority to JP5102287A priority Critical patent/JP2634552B2/ja
Priority to US08/113,342 priority patent/US5363232A/en
Publication of JPH06307930A publication Critical patent/JPH06307930A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2634552B2 publication Critical patent/JP2634552B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/108Beam splitting or combining systems for sampling a portion of a beam or combining a small beam in a larger one, e.g. wherein the area ratio or power ratio of the divided beams significantly differs from unity, without spectral selectivity
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/002Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements the movement or the deformation controlling the frequency of light, e.g. by Doppler effect
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/02Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/105Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1006Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/145Beam splitting or combining systems operating by reflection only having sequential partially reflecting surfaces
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00Details of television systems
    • H04N5/222Studio circuitry; Studio devices; Studio equipment
    • H04N5/253Picture signal generating by scanning motion picture films or slide opaques, e.g. for telecine
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/08Arrangements of light sources specially adapted for photometry standard sources, also using luminescent or radioactive material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/04Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
    • G01J2001/0481Preset integrating sphere or cavity

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Control Of Exposure In Printing And Copying (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 応答速度並びに制御精度を向上しつつ、出力
光束の断面における光量分布を均一化し得、所望の強度
の出力光束を安定して得ることができる光量制御装置を
提供する。 【構成】 光束を導入する入射開口2と該入射開口2か
ら導入される入射光束が直接当らない位置に開口された
光束出力用の出射開口3とを有し、波長に対して非選択
的で且つ均等拡散面である曲面を内側に設けた球状積分
器具1と、光源5からの光束を反射する角度調整可能な
ミラー6を有し、該ミラー6による光束の反射方向調整
により前記球状積分器具1の入射開口2へ導く光束の光
量を変化せしめるガルバノメータスキャナ4とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、映画フィルムの焼付機
やテレシネ装置等に使用される光量制御装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来、光量を制御する装置としては、光
源と目的物との間に設けられた機械的遮蔽物により開口
の面積を調節する装置、光源の発光量を電気的に制御す
る装置、光の透過率を電気的に変化させることのできる
光変調器を用いる装置、光の透過率の異なるフィルタに
光束を振る装置(例えば、特開平2−83513号公
報)等があった。
【0003】又、光量を制御する際に色調も調整する必
要があるような場合には、色フィルタを用いて色調を変
える装置(いわゆる減色法を利用した装置)、分光手段
(色フィルタ、ダイクロイックミラー、回折格子、プリ
ズム等)で光を複数の色(通常RGBの三原色)に分光
し、前述の光量制御装置で各色の光量を制御して再び混
合する装置(いわゆる加色法を利用した装置)等が用い
られていた。
【0004】尚、前述の如き従来の光量制御装置の場
合、目的物近傍に設けた光センサで光量を検出するのが
一般的である。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ように、光源と目的物の間に設けられた機械的な遮蔽物
により開口の面積を調節する装置では、調節する範囲が
大きい場合には遮蔽物の慣性のために応答速度が十分で
なく、調節する範囲が小さい場合には制御精度に問題が
あった。
【0006】光源の発光量を電気的に制御する装置の場
合、発光量によって色調が変化してしまうと同時に光源
の温度変化を伴うので、安定性に欠けるという欠点を有
していた。
【0007】又、光の透過率を電気的に変化させること
のできる光変調器を用いる装置の場合、光量ロスが大き
く、映画フィルムの焼付機やテレシネ装置等に使用する
のは困難であり、光の透過率の異なるフィルタに光束を
振る装置の場合、光ファイバから入出力されるような細
いビームには適用可能であるが、やはり映画フィルムの
焼付機やテレシネ装置等に使用するのは困難であった。
【0008】又、色調を調整するために、色フィルタを
用いて色調を変える装置の場合、色調を変える度に色調
に対応した色フィルタに交換しなければならず、ごく短
時間に色調を変えることは困難であり、分光手段で光を
複数の色に分光し光量制御装置で各色の光量を制御して
再び混合する装置の場合、異なる波長域の光束が別々の
経路を通るために、経路での反射、透過、分光特性等の
部分的な差異が出力光に現れ、はっきりとした色ムラと
なる場合もあった。
【0009】本発明は、斯かる実情に鑑み、応答速度並
びに制御精度を向上しつつ、出力光束の断面における光
量分布を均一化し得、所望の強度の出力光束を安定して
得ることができる光量制御装置を提供し、又、色ムラを
生じることなく色調を調整し得る光量制御装置を提供し
ようとするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、光束を導入す
る入射開口と、該入射開口から導入される入射光束が直
接当らない位置に開口された光束出力用の出射開口とを
有し、波長に対して非選択的で、且つ均等拡散面である
曲面を内側に設けた球状積分器具と、光源からの光束を
反射する角度調整可能なミラーを有し、該ミラーによる
光束の反射方向調整により前記球状積分器具の入射開口
へ導く光束の光量を変化せしめるガルバノメータスキャ
ナとを備えたことを特徴とする光量制御装置にかかるも
のである。
【0011】又、前記光量制御装置において、光源から
の複数の波長域の光束を夫々個別に球状積分器具の入射
開口へ導く複数のガルバノメータスキャナを備えるよう
にしてもよい。
【0012】
【作用】従って、本発明においては、光源から放射され
る光束は、ガルバノメータスキャナのミラーで反射し、
球状積分器具の入射開口から内部へ導入され、該球状積
分器具内部で拡散して積分されるので、入射光束が直接
当たらない球状積分器具の内面における光量は、入射光
束の方向に依存せず、入射光束の光量にのみ依存するこ
ととなり、入射光束の方向をガルバノメータスキャナで
変化させ、入射開口へ導入する光量を変化させること
で、断面における光量分布が均一で且つ所望の強度の出
力光束が出射開口から出力される。
【0013】又、光源からの複数の波長域の光束を夫々
個別に複数のガルバノメータスキャナによって球状積分
器具の入射開口へ導くようにすれば、複数の波長域の入
射光束の方向を各ガルバノメータスキャナで変化させ、
各波長域の入射光束毎に入射開口へ導入する光量を夫々
変化させることで、断面における光量分布が均一で且つ
所望の強度の出力光束が得られると同時に、色調の調整
が行える。
【0014】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。
【0015】図1は本発明の一実施例であり、1は光束
を導入する入射開口2と、該入射開口2から導入される
入射光束が直接当らない位置に開口された光束出力用の
出射開口3とを有し、内側曲面が波長に対して非選択的
で且つ均等拡散面となるよう、内側曲面に硫酸バリウム
や酸化マグネシウム等の拡散反射性白色塗料を塗布した
球状積分器具、4は光源5からの光束を反射する角度調
整可能なミラー6を有し、該ミラー6による光束の反射
方向調整により前記球状積分器具1の入射開口2へ導く
光束の光量を変化せしめるガルバノメータスキャナであ
る。
【0016】本実施例の場合、前記光源5としては、可
視光のみを透過するフィルタと、該フィルタを透過した
光を収束光とする集光レンズとを具備したものを用いて
いるが、光源5からの光を必ずしも収束光とする必要が
ないことは言うまでもない。
【0017】前記球状積分器具1には、前記出射開口3
と同様に入射開口2から導入される入射光束が直接当ら
ない位置にフォトダイオード等の光センサ7を設けてあ
り、又、該光センサ7によって検出され電流に変換され
た光量(照度)を表わす検出信号8を電圧に変換し増幅
するアンプ9と、該アンプ9から出力されるアナログ信
号である電圧信号10をデジタル信号12に変換するA
/D変換器11と、該A/D変換器11からのデジタル
信号12を予め設定された設定値と比較演算し、該比較
演算結果に基づき前記ガルバノメータスキャナ4のミラ
ー6用の制御信号14を出力する演算器13と、該演算
器13から出力されるデジタル信号である制御信号14
をアナログ信号16に変換するD/A変換器15と、該
D/A変換器15からのアナログ信号16並びに前記ガ
ルバノメータスキャナ4からのミラー6の位置情報信号
17に基づきガルバノメータスキャナ4に対しミラー6
の位置制御指令信号19を出力するコントローラ18と
を設けてある。
【0018】次に、上記実施例の作動を説明する。
【0019】光源5から放射される光束は、ガルバノメ
ータスキャナ4のミラー6で反射し、球状積分器具1の
入射開口2から内部へ導入され、該球状積分器具1内部
で拡散して積分され、出射開口3から出力される。
【0020】ここで、前記球状積分器具1内部へ導入さ
れた光束の光量は、光センサ7によって検出され電流に
変換されて検出信号8としてアンプ9へ入力される。
【0021】前記アンプ9へ入力された検出信号8は、
電圧に変換されて増幅された後、A/D変換器11にお
いてアナログ信号である電圧信号10からデジタル信号
12に変換され、演算器13へ入力される。
【0022】前記演算器13へ入力されたデジタル信号
12は、演算器13において予め設定された設定値と比
較演算され、該比較演算結果に基づきガルバノメータス
キャナ4のミラー6用の制御信号14が出力される。
【0023】前記演算器13から出力された制御信号1
4は、D/A変換器15においてデジタル信号からアナ
ログ信号16に変換された後、コントローラ18へ入力
される。
【0024】前記コントローラ18には前記ガルバノメ
ータスキャナ4からのミラー6の位置情報信号17も入
力されており、前記アナログ信号16並びに前記位置情
報信号17に基づき、コントローラ18からガルバノメ
ータスキャナ4に対しミラー6の位置制御指令信号19
が出力され、該位置制御指令信号19に応じてミラー6
の角度が調整され、前記光源5から放射されミラー6で
反射する光束の方向が調整され、該ミラー6を介して前
記球状積分器具1の入射開口2へ導入される光束の光量
が制御され、この結果、出射開口3から出力される光束
の光量が設定値に制御される。
【0025】前記ガルバノメータスキャナ4は、応答速
度が極めて速く且つ制御精度も非常に高い。
【0026】又、球状積分器具1の場合、導入される光
束は球状積分器具1内部で拡散して積分されるので、入
射光束が直接当たらない球状積分器具1の内面における
光量は、入射光束の方向に依存せず、入射光束の光量に
のみ依存することとなり、上述の如く、入射光束の方向
をガルバノメータスキャナ4で変化させ、入射開口2へ
導入する光量を変化させることで、断面における光量分
布が均一で且つ所望の強度の出力光束を得ることが可能
となる。しかも、入射光が直接当らない位置に設けた光
センサ7によって検出される光量は、出射開口3から出
力される光束の光量そのものであるため、従来のように
目的物近傍に設けた光センサで光量を検出する場合に比
べ検出面での精度も大幅に高まり、これにより、光源5
における発光体の光量の経時変化にも精度よく追従する
ことが可能となる。
【0027】こうして、応答速度並びに制御精度を向上
しつつ、出力光束の断面における光量分布を均一化し
得、所望の強度の出力光束を安定して得ることができ
る。
【0028】図2は本発明の他の実施例であって、図
中、図1と同一の符号を付した部分は同一物を表わして
おり、基本的な構成は図1に示すものと同様であるが、
本実施例の特徴とするところは、図2に示す如く、光源
5からの複数の波長域の光束を夫々個別に球状積分器具
1の入射開口2へ導く複数のガルバノメータスキャナ4
R,4G,4Bを備えた点にある。
【0029】図中、20R,20G,20Bは、光源5
からの光束を複数の波長域(RGBの三色)に分光する
ダイクロイックミラーである。
【0030】又、6R,6G,6Bは光源5からダイク
ロイックミラー20R,20G,20Bを介して放射さ
れる光束を反射するガルバノメータスキャナ4R,4
G,4Bの角度調整可能なミラー、7R,7G,7Bは
球状積分器具1の入射開口2から導入される入射光束が
直接当らない位置に設けられRGBの各波長域に対応す
るようフィルタが設けられたフォトダイオード等の光セ
ンサ、9R,9G,9Bは光センサ7R,7G,7Bに
よって検出され電流に変換された光量(照度)を表わす
検出信号8R,8G,8Bを電圧に変換し増幅するアン
プ、11R,11G,11Bはアンプ9R,9G,9B
から出力されるアナログ信号である電圧信号10R,1
0G,10Bをデジタル信号12R,12G,12Bに
変換するA/D変換器、13はA/D変換器11R,1
1G,11Bからのデジタル信号12R,12G,12
Bを予め設定された設定値と比較演算し、該比較演算結
果に基づき前記ガルバノメータスキャナ4R,4G,4
Bのミラー6R,6G,6B用の制御信号14R,14
G,14Bを出力する演算器、15R,15G,15B
は演算器13から出力されるデジタル信号である制御信
号14R,14G,14Bをアナログ信号16R,16
G,16Bに変換するD/A変換器、18R,18G,
18BはD/A変換器15R,15G,15Bからのア
ナログ信号16R,16G,16B並びに前記ガルバノ
メータスキャナ4R,4G,4Bからのミラー6R,6
G,6Bの位置情報信号17R,17G,17Bに基づ
きガルバノメータスキャナ4R,4G,4Bに対しミラ
ー6R,6G,6Bの位置制御指令信号19R,19
G,19Bを出力するコントローラである。
【0031】図2に示す実施例においては、光源5から
放射される光束は、ダイクロイックミラー20R,20
G,20BによってRGBの三色の光束に分光され、各
々ガルバノメータスキャナ4R,4G,4Bのミラー6
R,6G,6Bで反射し、球状積分器具1の入射開口2
から内部へ導入され、該球状積分器具1内部で拡散して
積分され、出射開口3から出力される。
【0032】ここで、前記球状積分器具1内部へ導入さ
れたRGBの三色の光束の光量は、光センサ7R,7
G,7Bによって検出され電流に変換されて検出信号8
R,8G,8Bとしてアンプ9R,9G,9Bへ入力さ
れる。
【0033】前記アンプ9R,9G,9Bへ入力された
検出信号8R,8G,8Bは、電圧に変換されて増幅さ
れた後、A/D変換器11R,11G,11Bにおいて
アナログ信号である電圧信号10R,10G,10Bか
らデジタル信号12R,12G,12Bに変換され、演
算器13へ入力される。
【0034】前記演算器13へ入力されたデジタル信号
12R,12G,12Bは、演算器13において予め設
定された設定値と比較演算され、該比較演算結果に基づ
きガルバノメータスキャナ4R,4G,4Bのミラー6
R,6G,6B用の制御信号14R,14G,14Bが
出力される。
【0035】前記演算器13から出力された制御信号1
4R,14G,14Bは、D/A変換器15R,15
G,15Bにおいてデジタル信号からアナログ信号16
R,16G,16Bに変換された後、コントローラ18
R,18G,18Bへ入力される。
【0036】前記コントローラ18R,18G,18B
には前記ガルバノメータスキャナ4R,4G,4Bから
のミラー6R,6G,6Bの位置情報信号17R,17
G,17Bも入力されており、前記アナログ信号16
R,16G,16B並びに前記位置情報信号17R,1
7G,17Bに基づき、コントローラ18R,18G,
18Bからガルバノメータスキャナ4R,4G,4Bに
対しミラー6R,6G,6Bの位置制御指令信号19
R,19G,19Bが出力され、該位置制御指令信号1
9R,19G,19Bに応じてミラー6R,6G,6B
の角度が調整され、前記光源5から放射されミラー6
R,6G,6Bで反射するRGBの三色の光束の方向が
調整され、該ミラー6R,6G,6Bを介して前記球状
積分器具1の入射開口2へ導入されるRGBの三色の光
束の光量が制御され、この結果、出射開口3から出力さ
れる光束の光量が設定値に制御されると同時に、色調が
調整される。
【0037】こうして、図2に示す実施例の場合、応答
速度並びに制御精度を向上しつつ、出力光束の断面にお
ける光量分布を均一化し得、所望の強度の出力光束を安
定して得ることができることに加え更に、色ムラを生じ
ることなく色調を調整し得る。
【0038】尚、本発明の光量制御装置は、上述の実施
例にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱
しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論で
ある。
【0039】
【発明の効果】以上、説明したように本発明の光量制御
装置によれば、応答速度並びに制御精度を向上しつつ、
出力光束の断面における光量分布を均一化し得、所望の
強度の出力光束を安定して得ることができるという優れ
た効果を奏し得、更に、光源からの複数の波長域の光束
を夫々個別に球状積分器具の入射開口へ導く複数のガル
バノメータスキャナを備えるようにすれば、上述の効果
に加え更に、色ムラを生じることなく色調を調整し得る
という優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の全体概要構成図である。
【図2】本発明の他の実施例の全体概要構成図である。
【符号の説明】
1 球状積分器具 2 入射開口 3 出射開口 4 ガルバノメータスキャナ 4R ガルバノメータスキャナ 4G ガルバノメータスキャナ 4B ガルバノメータスキャナ 5 光源 6 ミラー 6R ミラー 6G ミラー 6B ミラー

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光束を導入する入射開口と、該入射開口
    から導入される入射光束が直接当らない位置に開口され
    た光束出力用の出射開口とを有し、波長に対して非選択
    的で、且つ均等拡散面である曲面を内側に設けた球状積
    分器具と、 光源からの光束を反射する角度調整可能なミラーを有
    し、該ミラーによる光束の反射方向調整により前記球状
    積分器具の入射開口へ導く光束の光量を変化せしめるガ
    ルバノメータスキャナとを備えたことを特徴とする光量
    制御装置。
  2. 【請求項2】 光源からの複数の波長域の光束を夫々個
    別に球状積分器具の入射開口へ導く複数のガルバノメー
    タスキャナを備えた請求項1記載の光量制御装置。
JP5102287A 1993-04-28 1993-04-28 光量制御装置 Expired - Fee Related JP2634552B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5102287A JP2634552B2 (ja) 1993-04-28 1993-04-28 光量制御装置
US08/113,342 US5363232A (en) 1993-04-28 1993-08-30 Device for controlling luminous energy

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5102287A JP2634552B2 (ja) 1993-04-28 1993-04-28 光量制御装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH06307930A true JPH06307930A (ja) 1994-11-04
JP2634552B2 JP2634552B2 (ja) 1997-07-30

Family

ID=14323402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5102287A Expired - Fee Related JP2634552B2 (ja) 1993-04-28 1993-04-28 光量制御装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5363232A (ja)
JP (1) JP2634552B2 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010139483A (ja) * 2008-12-15 2010-06-24 Synergy Optosystems Co Ltd 光導波路の検査システム及び検査方法
CN105866891A (zh) * 2016-05-16 2016-08-17 中国电子科技集团公司第四十研究所 一种基于往复丝杠的双向直线型连续可调光衰减单元
CN111856745A (zh) * 2019-04-30 2020-10-30 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种光照射装置

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2233754A1 (en) * 1997-04-04 1998-10-04 Sony Corporation Single light source additive lamphouse with digital light modulation
US6542179B1 (en) * 1998-09-30 2003-04-01 Eastman Kodak Company Light integrating system with reduced dynamic shading
US7177050B2 (en) * 2000-12-20 2007-02-13 Cintel International Limited System for reducing scratch visibility
GB0031127D0 (en) * 2000-12-20 2001-01-31 Cintel Internat Ltd Film scanner scratch reduction
US8294898B2 (en) * 2007-08-28 2012-10-23 Trustees Of Princeton University Rotationally asymmetric chaotic optical multi-pass cavity
CN101520548B (zh) * 2008-02-29 2010-09-08 久元电子股份有限公司 用于测试图像感测装置的均匀光产生系统及其使用方法
US8218014B2 (en) * 2009-07-30 2012-07-10 Microvision, Inc. Electromagnetic scanner having variable coil width
DE102013219930A1 (de) * 2013-10-01 2015-04-02 Osram Gmbh Beleuchtungsvorrichtung mit Messvorrichtung und Verfahren zum Betreiben dieser Beleuchtungsvorrichtung

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0283513A (ja) * 1988-09-20 1990-03-23 Fujitsu Ltd 光無瞬断アッテネータ
US4932779A (en) * 1989-01-05 1990-06-12 Byk Gardner, Inc. Color measuring instrument with integrating sphere
US5044730A (en) * 1989-02-08 1991-09-03 Artifex Corporation Color changing device
US5068739A (en) * 1989-02-10 1991-11-26 Optum Corporation Method to image transparent media utilizing integrated scanning
US5031078A (en) * 1989-08-28 1991-07-09 Vari-Lite, Inc. Additive color mixing system with variable hue and saturation light sources
JPH03212611A (ja) * 1990-01-17 1991-09-18 Canon Inc 光量制御装置
US5155596A (en) * 1990-12-03 1992-10-13 Eastman Kodak Company Film scanner illumination system having an automatic light control

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010139483A (ja) * 2008-12-15 2010-06-24 Synergy Optosystems Co Ltd 光導波路の検査システム及び検査方法
CN105866891A (zh) * 2016-05-16 2016-08-17 中国电子科技集团公司第四十研究所 一种基于往复丝杠的双向直线型连续可调光衰减单元
CN111856745A (zh) * 2019-04-30 2020-10-30 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种光照射装置
CN111856745B (zh) * 2019-04-30 2023-03-17 上海微电子装备(集团)股份有限公司 一种光照射装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5363232A (en) 1994-11-08
JP2634552B2 (ja) 1997-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5398058A (en) Color image pickup device having color temperature converting filters
JP2634552B2 (ja) 光量制御装置
JPH0650817A (ja) 試料の光学特性測定装置
JP2002303548A (ja) 平坦な測定対象物の光電測定用装置
CA2751231A1 (en) Laser light source device and image display apparatus
JP4333050B2 (ja) 測定用光学系及びこの光学系を備えた三刺激値型光電色彩計
JPH056951B2 (ja)
US5136674A (en) Light admitting device
JPH05228672A (ja) 自動アライメント調整装置
US3560647A (en) Automatic focusing system
US4907077A (en) Method and apparatus for white balancing
JPS6161586A (ja) カラ−撮像装置の照明装置
US4080624A (en) Optical color-separation system for use in a color television camera
JP2719064B2 (ja) 画像記録装置
JPS60105390A (ja) カメラ装置
JP2000121438A (ja) カラー画像測定装置
JP3675121B2 (ja) 画像記録装置
US5118926A (en) Device for separating a beam of white light into a plurality of elementary beams of particular color
JPS59230366A (ja) カラ−読取装置
JP2798449B2 (ja) 画像読取装置
JPS63166355A (ja) 読取り装置
JPH11317958A (ja) スキャナ
JPS6260879B2 (ja)
JPH02248918A (ja) 3色色分解光学ユニット
JPH02298187A (ja) カラー撮像装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees