JPH06304507A - 超音波霧化装置 - Google Patents

超音波霧化装置

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JPH06304507A
JPH06304507A JP9784493A JP9784493A JPH06304507A JP H06304507 A JPH06304507 A JP H06304507A JP 9784493 A JP9784493 A JP 9784493A JP 9784493 A JP9784493 A JP 9784493A JP H06304507 A JPH06304507 A JP H06304507A
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JP
Japan
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piezoelectric vibrator
vibrator
piezoelectric
vibrating
ultrasonic
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Withdrawn
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JP9784493A
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English (en)
Inventor
Koji Toda
耕司 戸田
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • B05B17/0638Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
    • B05B17/0646Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto

Abstract

(57)【要約】 【目的】 霧化効率、多量霧化、粒子の微小性・均一
性、および駆動電源コストのどの面から見ても満足ので
きる超音波霧化装置を提供する。 【構成】 圧電振動子1と振動板2とから成る複合体を
駆動させると圧電振動子1が振動し、その振動は振動板
2に伝搬される。振動部5に供給される液体は振動板2
の振動に伴い振動部5に設けられている穴6を通して霧
化される。圧電振動子1の代わりに圧電振動子1の一部
に欠損を有する構造を成す圧電振動子8または9を用い
ることにより、霧化効率が促進された。 【効果】 構造が簡単で小型軽量で、霧化効率、多量霧
化、粒子の微小性・均一性を向上できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は超音波励振器により発生
させた弾性振動により液体を霧化する超音波霧化装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】従来の超音波霧化装置としては、ボルト
締ランジュバン型振動子を応用した超音波霧化装置およ
びネブライザーが挙げられる。ボルト締ランジュバン型
振動子による霧化装置は数10kHzという周波数の超
音波を利用したもので、多量の霧を発生しうるという長
所を有するが、構造が複雑で装置が大がかりであるとい
う短所をあわせもつ。一方、ネブライザーはMHz領域
の超音波を利用したもので、粒子が微小で均一性に優れ
るという長所を有するものの、霧化効率が悪く低電力で
多量の霧を発生させるのが難しいという短所をもつ。つ
まり、従来の超音波霧化装置では霧化効率、多量霧化、
粒子の微小性または駆動電源コストのいずれかにおいて
難点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は霧化効
率、多量霧化、粒子の微小性かつ均一性、装置が小型か
つ軽量であること、構造が簡単であることおよび駆動電
源コストのどの面からみても満足のできる超音波霧化装
置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の超音波
霧化装置は、圧電振動子に振動板を固着してなる超音波
励振器により発生させた弾性振動により液体を霧化する
超音波霧化装置において、前記圧電振動子は圧電磁器並
びに該圧電磁器の厚さ方向に垂直な両端面にそれぞれ形
成されている電極AおよびBから成り、前記振動板は、
前記圧電振動子の前記電極AまたはBを有する少なくと
も1つの端面上に一体的に連なって固着されていて、前
記圧電振動子に固着された固着部と、前記圧電振動子の
外方に向けて突出する振動部とから成り、前記電極Aお
よびBのうち少なくとも電極Aは互いに絶縁された少な
くとも2つの電極A1およびA2に分割されていて、前
記振動部には多数の孔が設けてあり、前記圧電振動子
は、互いに垂直な2辺の寸法比が1に近くしかも1に等
しくない矩形状の角柱の一部分に欠損を有する構造を成
すことを特徴とする。
【0005】請求項2に記載の超音波霧化装置は、前記
圧電振動子が前記角柱の12辺のうちの少なくとも1辺
において該1辺を高さとし該1辺を含む三角柱を前記欠
損として切除された構造を成すことを特徴とする。
【0006】請求項3に記載の超音波霧化装置は、前記
圧電振動子の共振周波数が前記圧電振動子と前記振動板
との複合体における共振周波数とほぼ等しいことを特徴
とする。
【0007】
【作用】本発明の超音波霧化装置の使用時、圧電振動子
には圧電振動子と振動板との複合体の共振周波数にほぼ
等しい周波数を有する交流信号が印加され圧電振動子は
励振される。圧電振動子の励振は振動板を振動させるの
で、振動板に供給された液体は振動部に設けられている
穴を通して霧化される。穴を通しての霧化は粒子の微小
性、均一性を促し、しかも霧化効率を増大させることが
できる。また、霧化効率が高いことから多量の霧化が低
消費電力で実現できるだけでなく装置の小型化も容易に
できる。自励式駆動も可能で電池での駆動も容易なこと
から温度などの環境変化に対応しうる形で低消費電力で
の駆動が可能となる。
【0008】圧電振動子は圧電磁器並びにその圧電磁器
の厚さ方向に垂直な両端面にそれぞれ形成されている電
極AおよびBから成る。交流電圧は電極AおよびBを介
して圧電振動子に印加され圧電振動子は励振される。こ
のような簡単な構造の圧電振動子の採用により超音波霧
化装置を小型化でき、しかもこの装置では高い効率で液
体を霧化することができる。
【0009】振動板が圧電振動子の電極AまたはBを有
する少なくとも1つの端面上に一体的に連なって固着さ
れていることにより、振動部は固着部を固定端とする形
で振動する。従って、振動部に供給された液体はその弾
性振動により霧化され振動部の上方に向けて霧として放
散される。
【0010】前記電極AおよびBのうち少なくとも電極
Aが互いに絶縁された少なくとも2つの電極A1および
A2に分割されていることから、電極A1を自励式電源
のための電極として用いることができる。従って、本発
明の超音波霧化装置では温度などの環境の変化に対応し
うる形で低消費電力での駆動が可能となる。
【0011】圧電振動子が互いに垂直な2辺の寸法比が
1に近くしかも1に等しくない矩形状の角柱である場
合、該圧電振動子と振動板との複合体の結合振動が増強
され霧化効率が促進される。その上、該角柱の一部分に
欠損が設けられていることにより、圧電振動子と振動板
との複合体の結合振動がさらに増強されるので、霧化効
率を増大することができる。さらに、その欠損の場所や
度合を調整することにより霧化効率が最も促進される結
合振動を起こさせることができるので、霧化効率をより
増大することができる。
【0012】圧電振動子として角柱の12辺のうちの少
なくとも1辺において該1辺を高さとし該1辺を含む三
角柱を欠損として切除された構造を採用することによ
り、該圧電振動子と振動板との複合体の結合振動が増強
されるから霧化効率が促進される。
【0013】圧電振動子の共振周波数が該圧電振動子と
振動板との複合体における共振周波数にほぼ等しくなる
ときの電圧が圧電振動子に印加されることにより、振動
板は効率的に励振され、霧化効率が促進され、霧の発生
量はさらに増大する。
【0014】
【実施例】図1は本発明の超音波霧化装置の一実施例を
示す斜視図である。本実施例は圧電振動子1および振動
板2から成る。図1では圧電振動子1に交流電圧を供給
する電源回路および端子が省いて描かれている。圧電振
動子1は板状の圧電磁器3を有し、圧電磁器3の材質は
TDK72A材(製品名)でその長さは10mm、幅は
5mm、厚さは6mmである。TDK72A材は電気機
械結合係数が大きいことからここでの実施例に用いてい
る。圧電磁器3の分極軸の方向は厚さ方向に一致してお
り、この厚さ方向に垂直な両端面にドライブ電極D、フ
ィードバック電極Fおよびグランド電極Gが形成されて
いる。電極DおよびFは同一面上に設けられていて互い
に絶縁状態にある。電極Dは圧電磁器3の長さ方向の先
端から4.5mmの部位を覆い、電極Fは電極Dから1
mm離れた残りの部分を覆っている。このような形態の
電極D,FおよびGを用いることにより、自励発振駆動
が可能となる。電極D,FおよびGにはそれぞれ銅箔か
ら成る端子が導電性接着剤によって固着されている。振
動板2は電極Fを介して圧電振動子1に設けられてい
る。振動板2はニッケル製で、細長い板状の固着部4に
おいて圧電振動子1と一体的に連なって固着されてお
り、圧電振動子1より突出している部分の振動板2が振
動部5をなしている。固着部4は電極Fを介して圧電振
動子1に接着剤で接着されている。振動板2は長さ6.
5mm、幅5mm、厚さ0.05mmである。固着部4
は長さ1.5mm、幅5mm、厚さ0.05mmであ
る。振動部5は圧電振動子1の幅方向に沿う縁部から外
方に向けて突出している。振動部5は長さ5mm、幅5
mm、厚さ0.05mmである。
【0015】図2は板面に垂直な平面で切断したときに
現れる振動部5の断面を示す図である。振動部5にはそ
の厚さ方向に貫通する微細な多数の穴6が設けられてい
る。図2では穴6の縦断面形状および寸法が示されてい
る。穴6の形状はすり鉢状であって、一方の開口面積が
他方の開口面積より大きいものをここでの実施例で用い
ていて、一方の開口を入口側とし他方を出口側としてい
る。入口側の直径は0.1mm、出口側の直径は0.0
1mmであって、穴6は等しいピッチで配列されてい
る。
【0016】図3は振動部5の部分拡大平面図である。
図3では穴6の形状および配列ならびに寸法が示されて
いる。
【0017】図1の超音波霧化装置の駆動時、圧電振動
子1と振動板2との複合体の共振周波数にほぼ等しい周
波数を有する交流信号を圧電振動子1に印加すると圧電
振動子1が励振される。このとき、その交流信号の周波
数は圧電振動子1単体の共振周波数のうちの1つにほぼ
一致している。振動板2を圧電振動子1の少なくとも一
方の端面上に一体的に連なって固着させる構造を採用し
ていることから、圧電振動子1の励振に伴って振動板2
はその固着部4を固定端とする形で振動され、振動部5
の弾性振動が液体の霧化に有効に機能する。振動部5に
液体を供給すると、該液体は毛細管現象により各穴6に
導かれる。前記液体が各穴6を通過するとき各穴6の液
体の通過面積はその入口側から出口側に向けて減少する
から、前記液体は穴6によって絞り作用を受け、微小で
かつ均一な粒子となって穴6の出口側に流出する。その
結果、前記絞り作用および振動部5の弾性振動により穴
6から流出した液体は効率良く霧化される。
【0018】図4は図1の超音波霧化装置において圧電
振動子1の代わりに用いられる圧電振動子7の斜視図で
ある。圧電振動子7は圧電振動子1の1辺が三角柱状に
切り取られた形状を成し、該三角柱の高さ方向に垂直な
平面で切断したときに現れる断面は2辺がともに0.3
mmの2等辺三角形を成す。圧電振動子1の3辺がそれ
ぞれ前記三角柱状に切除されることにより形成される圧
電振動子8または圧電振動子1の4辺がそれぞれ前記三
角柱状に切除されることにより形成される圧電振動子9
を用いることにより、霧化効果が特に促進されることが
確認された。
【0019】図5は圧電振動子1の共振周波数付近での
サセプタンスとコンダクタンスとの関係を示す特性図、
すなわち共振周波数付近でのアドミタンスサークルを示
す図である。図6は圧電振動子8の共振周波数付近での
アドミタンスサークルを示す図であり、図7は圧電振動
子9の共振周波数付近でのアドミタンスサークルを示す
図である。各アドミタンスサークルを比較した場合、サ
セプタンスが零のときのコンダクタンスの最大値は圧電
振動子1よりも圧電振動子8の方が大きく、圧電振動子
8よりも圧電振動子9の方が大きいことがわかる。本発
明の超音波霧化装置では圧電振動子1よりも圧電振動子
8および9を用いた方が霧化効率が促進されることが確
認された。
【0020】このようにして本発明の超音波霧化装置で
は、圧電磁器3の一方の端面上に互いに絶縁状態にある
2つの電極DおよびFを設けもう一方の端面上に電極G
を設けることにより自励式駆動を実現し、角柱の辺に欠
損を有する構造を成す圧電振動子8や9を用いることに
よって圧電振動子と振動板との複合体の結合振動を強化
し、霧化効率の促進を可能にしている。
【0021】
【発明の効果】本発明の超音波霧化装置によれば振動部
に設けられた穴を通過しながら液体が霧化されるので、
霧の粒子の微小性、均一性を促すことができる。霧化効
率が高いことから多量の霧化が低消費電力で実現できる
だけでなく装置の小型化も容易にできる。自励式駆動も
可能で電池での駆動も容易なことから温度などの環境変
化に対応しうる形で低消費電力での駆動が可能となる。
【0022】圧電振動子として圧電磁器と、その圧電磁
器の厚さ方向に垂直な両端面にそれぞれ形成されている
電極とから成る簡単な構造を採用することにより、装置
を小型化できしかも高い効率で液体を霧化することがで
き低消費電力での駆動が可能となる。また、圧電磁器の
少なくとも一方の電極を互いに絶縁された少なくとも2
つの部分に分割することにより自励式駆動が可能とな
る。従って、温度などの環境変化に対応しうる形での駆
動が可能となる。
【0023】振動板を圧電振動子の少なくとも一方の端
面上に一体的に連なって固着させる構造を採用すること
により、振動部は固着部を固定端とする形で振動するか
ら、振動部に供給された液体はその弾性振動により霧化
され振動部の上方に向けて霧として放散される。
【0024】圧電振動子と振動板との複合体における共
振周波数が圧電振動子単体の共振周波数とほぼ等しくな
るような構造を採用することにより、圧電振動子と振動
板との複合体の結合振動が増強するから霧の発生量はさ
らに増加する。
【0025】圧電振動子として互いに垂直な2辺の寸法
比が1に近くしかも1に等しくない角柱構造を採用する
ことにより、該圧電振動子と振動板との複合体の結合振
動が増強され霧化効率が促進される。その上、該角柱の
一部分に欠損が設けられた構造を採用することにより、
圧電振動子と振動板との複合体の結合振動がさらに増強
されるので、霧化効率を増大することができる。さら
に、その欠損の場所や度合を調整することにより霧化効
率が最も促進される結合振動を起こさせることができる
ので、霧化効率をより増大することができる。
【0026】圧電振動子として角柱の12辺のうちの少
なくとも1辺において該1辺を高さとし該1辺を含む三
角柱を欠損として切除された構造を採用することによ
り、該圧電振動子と振動板との複合体の結合振動が増強
されるから霧化効率が促進される。
【0027】印加電圧を増加させるとそれにつれて霧化
量も増加するので、目的に応じて電圧を変えれば霧化量
を自由に変えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の超音波霧化装置の一実施例を示す斜視
図。
【図2】板面に垂直な平面で切断したときに現れる振動
部5の断面を示す図。
【図3】振動部5の部分拡大平面図。
【図4】図1の超音波霧化装置において圧電振動子1の
代わりに用いられる圧電振動子7の斜視図。
【図5】圧電振動子1の共振周波数付近でのアドミタン
スサークルを示す図。
【図6】圧電振動子8の共振周波数付近でのアドミタン
スサークルを示す図。
【図7】圧電振動子9の共振周波数付近でのアドミタン
スサークルを示す図。
【符号の説明】
1 圧電振動子 2 振動板 3 圧電磁器 4 固着部 5 振動部 6 穴 7 圧電振動子 8 圧電振動子 9 圧電振動子 D,F,G 電極

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電振動子に振動板を固着してなる超音
    波励振器により発生させた弾性振動により液体を霧化す
    る超音波霧化装置において、 前記圧電振動子は圧電磁器並びに該圧電磁器の厚さ方向
    に垂直な両端面にそれぞれ形成されている電極Aおよび
    Bから成り、 前記振動板は、前記圧電振動子の前記電極AまたはBを
    有する少なくとも1つの端面上に一体的に連なって固着
    されていて、前記圧電振動子に固着された固着部と、前
    記圧電振動子の外方に向けて突出する振動部とから成
    り、 前記電極AおよびBのうち少なくとも電極Aは互いに絶
    縁された少なくとも2つの電極A1およびA2に分割さ
    れていて、 前記振動部には多数の孔が設けてあり、 前記圧電振動子は、互いに垂直な2辺の寸法比が1に近
    くしかも1に等しくない矩形状の角柱の一部分に欠損を
    有する構造を成すことを特徴とする超音波霧化装置。
  2. 【請求項2】 前記圧電振動子は前記角柱の12辺のう
    ちの少なくとも1辺において該1辺を高さとし該1辺を
    含む三角柱を前記欠損として切除された構造を成すこと
    を特徴とする請求項1に記載の超音波霧化装置。
  3. 【請求項3】 前記圧電振動子の共振周波数は、前記圧
    電振動子と前記振動板との複合体における共振周波数と
    ほぼ等しいことを特徴とする請求項1または2に記載の
    超音波霧化装置。
JP9784493A 1993-04-23 1993-04-23 超音波霧化装置 Withdrawn JPH06304507A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006061785A (ja) * 2004-08-25 2006-03-09 Fukoku Co Ltd 超音波動ユニットおよびこれを用いた霧化装置
CN110193442A (zh) * 2019-04-24 2019-09-03 深圳市尚进电子科技有限公司 一种网孔式超声波雾化片及制造工艺

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Effective date: 20000704