JPH06302672A - 受け渡し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ベローズの伸縮作動を確保しつつ、軸受と軸
とのクリアランスからの異物の侵入を防止する。 【構成】 ウエハホルダ４１にウエハ受け板４６付きの
軸４５が軸受４４で摺動自在に支承され、軸４５の外側
にベローズ４８がホルダ４１の下面と軸４５の中間部と
の間に伸縮自在に装着されている受け渡し装置におい
て、途中にトラップ５４、５５、５６が介設されたベン
ト路５１がホルダ４１に、ホルダ４１の外周とベローズ
４８の中空部内とを連通させるように開設されている。 【効果】 ベローズ４８の中空部内での気体の出入りは
ベント路５１で確保されるため、軸受４４と軸４５との
クリアランスは小さくできる。よって、ベローズ４８の
中空部内への異物侵入が防止でき、ベローズ４８の損傷
を防止できる。また、ベローズ４８の伸縮作動はベント
路５１での気体の出入りで確保できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、受け渡し装置、特に、
ベローズを有する受け渡し装置の改良に関し、例えば、
半導体装置の製造工程において、種々の半導体製造装置
に使用される真空予備室装置に利用して有効なものに関
する。

【０００２】一般に、半導体装置の製造工程において
は、イオン注入装置やドライエッチング装置等の種々の
半導体製造装置において、真空予備室装置が広く使用さ
れている。半導体装置の製造工程において、真空予備室
装置が広く使用される理由は、次の通りである。イオン
注入装置やドライエッチング装置等の半導体製造装置に
おいては、真空状態の処理室でイオン注入処理やドライ
エッチング処理が半導体ウエハ（以下、ウエハとい
う。）に対して施される。この処理室の真空状態を維持
しつつ、ウエハを処理室に搬入搬出するために、処理室
に真空予備室装置を通じて処理室にウエハが搬入搬出さ
れる。

【０００３】このような真空予備室装置においては、次
のように構成されているウエハ受け渡し装置が使用され
ることになる。すなわち、ウエハ受け渡し装置は、大気
圧の室外からウエハを受け取り、受け取ったウエハを真
空状態に置いた後、真空状態が維持されている処理室に
ウエハを受け渡すように構成されている。

【０００４】従来のこの種のウエハ受け渡し装置とし
て、ウエハが載置されるホルダにウエハ受け板を有する
軸が挿通されて軸受によって摺動自在に支承されてお
り、この軸の外側にベローズが、ホルダの載置側と反対
の主面と軸の中間部との間に軸受と軸とのクリアランス
の下方の周囲を気密を維持した状態で取り囲むように伸
縮自在に装着されている受け渡し装置、がある。そし
て、このようなウエハ受け渡し装置においては、ベロー
ズの伸縮を確保するために、軸受と軸との間のクリアラ
ンスが比較的に大きく設定されている。

【０００５】なお、このような真空予備室装置を備えて
いるイオン注入装置を述べてある例としては、特開平１
−２０６５５２号公報がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述したウエ
ハ受け渡し装置においては、軸受と軸との間のクリアラ
ンスが比較的に大きく設定されているため、このクリア
ランスから異物がベローズの中空部内に侵入し、侵入し
た異物によってベローズが損傷されるという問題点があ
ることが、本発明者によって明らかにされた。

【０００７】本発明の目的は、ベローズの円滑な伸縮作
動を確保しつつ、軸受と軸との間のクリアランスを小さ
く設定し、異物のベローズ中空部内への侵入を防止する
ことができる受け渡し装置を提供することにある。

【０００８】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【００１０】すなわち、ワークが載置されるホルダにワ
ーク受け板を有する軸が挿通されて軸受によって摺動自
在に支承されており、この軸の外側にベローズが、ホル
ダの載置側と反対の主面と軸の中間部との間に軸受と軸
とのクリアランスの下方の周囲を気密を維持した状態で
取り囲むように伸縮自在に装着されている受け渡し装置
において、前記ホルダにベント路が、このホルダの外周
と前記ベローズの中空部内とを連通させるように開設さ
れていることを特徴とする。

【００１１】

【作用】前記した手段によれば、ベローズの中空部内に
対する流体の出入りはホルダに開設されたベント路によ
って確保された状態になっているため、ベローズは軸の
ホルダに対する進退作動に追従して円滑に伸縮作動する
ことができる。

【００１２】他方、ベローズの伸縮作動がベント路によ
って確保されているため、軸受と軸とのクリアランスは
小さく設定することができる。軸受と軸とのクリアラン
スが小さく設定されると、当該クリアランスから異物が
侵入するのは抑制されるため、ベローズの中空部内に異
物が侵入するのを防止することができる。その結果、ベ
ローズの中空部内に侵入した異物によってベローズが損
傷される事故の発生は未然に回避されることになる。

【００１３】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるウエハ受け渡
し装置を示す一部省略一部切断斜視図である。図２はそ
のウエハ受け渡し装置が使用されている真空予備室装置
を示す一部省略正面断面図である。図３以降はその作用
を示す各一部省略正面断面図である。

【００１４】本実施例において、本発明に係る受け渡し
装置は、ワークとしてのウエハを外部から注入室へ搬入
する真空予備室装置に使用されている。この真空予備室
装置はイオン注入装置（図示せず）における注入室２に
隣接して並設されており、注入室２と外部との間でワー
クとしてのウエハ１が受け渡し装置によって搬入搬出さ
れるに際して、注入室２の真空状態を維持し得るように
構成されている。

【００１５】真空予備室装置１０は注入室２に連通する
チャンバ１１を備えている。チャンバ１１の上面壁にお
ける注入室２に近傍位置には、ウエハ出し入れ口として
の第１開口１２が開設されており、この第１開口１２は
最大外径を有するウエハ１の直径よりも大径の円形に形
成されている。

【００１６】チャンバ１１の上面壁における第１開口１
２の開口縁辺部にはバルブシート１３が実質的に形成さ
れており、第１開口１２には上側ロックバルブ１４がバ
ルブシート１３に離着座して、第１開口１２を開閉させ
るように同心的に配設されている。上側ロックバルブ１
４は図示しない駆動装置によって昇降されるように構成
されている。第１開口１２の近傍位置には給排路１５の
一端が接続されており、給排路１５の他端は真空ポンプ
および窒素ガス供給装置（いずれも図示せず）に適宜接
続されるようになっている。

【００１７】チャンバ１１の上面壁には案内筒１６が第
１開口１２に隣接するように配されて円筒形状に形成さ
れており、この案内筒１６はその内径が最大外径のウエ
ハ１の外径よりも大径に形成されている。案内筒１６の
筒壁の一部には第２開口１７が開設されており、この第
２開口１７は案内筒１６の中空部内と注入室２との間を
連絡するように形成されている。また、この第２開口１
７は後記する第１軸３１が下側位置に下降された際に、
後記するウエハホルダ４１が筒壁に対向する位置に開設
されている。

【００１８】そして、案内筒１６には内外にわたって下
側バルブ装置２０が設備されている。すなわち、下側バ
ルブ装置２０はエアシリンダ装置２１を備えており、こ
のエアシリンダ装置２１は案内筒１６の真下位置におい
てピストンロッド２２が同軸に、かつ、垂直方向上向き
に配されて据え付けられている。エアシリンダ装置２１
の上面と案内筒１６の下面との間にはガイドレール２３
が複数本、垂直方向に配されて固定されており、これら
ガイドレール２３には上側支持板２４および下側支持板
２５が、ガイドブッシュ２６を介して垂直方向に摺動自
在に支持されている。上側支持板２４と下側支持板２５
とは上下方向に適当間隔だけ離間されており、その間に
介設された連結棒２７によって連結されて一体的に昇降
するようになっている。

【００１９】上側支持板２４には第１軸３１がピストン
ロッド２２の延長線上に配されて、その下端部が固定板
３０によって固定されており、第１軸３１はその上端が
案内筒１６の下面壁を貫通されて案内筒１６の内部に挿
通されている。第１軸３１は長い円筒形状にされてお
り、その中空部内には後記する第２軸４５が進退自在に
挿通されている。そして、第１軸３１はエアシリンダ装
置２１のピストンロッド２２に、固定板３０、上側支持
板２４および下側支持板２５を介して連結された状態に
なっているため、エアシリンダ装置２１によって上下動
されるように構成されている。

【００２０】第１軸３１の外側には第１ベローズ３２が
同心円的に配設されており、この第１ベローズ３２の上
下端部は案内筒１６の下面壁および上側支持板２４に、
上側シート３３および下側シート３４を介して固定され
ている。詳細な説明は省略するが、この第１ベローズ３
２はステンレスからなるリング形状の薄板が多数枚、互
いに重合されてその内周縁辺と外周縁辺とを溶接されて
円筒形の蛇腹形状に形成されており、軸心方向（上下方
向）に伸縮し得るように構成されている。したがって、
この第１ベローズ３２は第１軸３１の上下動に追従して
上下方向に伸縮するようになっている。

【００２１】案内筒１６の中空部内には下側ロックバル
ブ３５が同心的に配されて上下方向に摺動自在に嵌装さ
れており、下側ロックバルブ３５は上下端面がいずれも
閉塞された円筒形状にされている本体３６を備えてい
る。本体３６の外周にはバルブ部３７が上端部付近に配
されて、径方向外向きに円形リング形状に突設されてお
り、このバルブ部３７は案内筒１６の内周における上端
部に径方向内向きに円形リング形状に突設されたバルブ
シート３８に離着座するようになっている。

【００２２】そして、上側ロックバルブ１４と下側ロッ
クバルブ３５との間における第１開口１２内にはロック
室３９が実質的に形成されるようになっている。このロ
ック室３９の気密を維持するために、バルブシート１３
と上側ロックバルブ１４との間、および、バルブ部３７
とバルブシート３８との間にはシールリング１４ａおよ
び３７ａがそれぞれ適宜介設されている。

【００２３】下側ロックバルブ３５の内部にはウエハ受
け渡し装置４０が組み込まれている。ウエハ受け渡し装
置４０はウエハホルダ４１を備えており、ウエハホルダ
４１は最大外径を有するウエハ１よりも大径の円盤形状
に形成されている。また、ウエハホルダ４１は上側プレ
ート４２と下側プレート４３とが同軸に配されて重合さ
れた状態で、固定されて一体化された状態になってい
る。本実施例において、ウエハ１と接触する上側プレー
ト４２はウエハ１を重金属汚染させない材料であるアル
ミニウムが用いられて形成されており、下側プレート４
３はステンレス鋼が用いられて形成されている。

【００２４】ウエハホルダ４１の中心には軸受４４が固
定されており、この軸受４４には第２軸４５の上端部が
垂直方向に挿通されて摺動自在に支持されている。本実
施例において、軸受４４は耐摩耗性および耐熱性を有す
るエンジニアリング・プラスチックが使用されて形成さ
れており、その軸受面における第２軸４５とのクリアラ
ンスは、異物の侵入を阻止するために、きわめて小さく
なるように設定されている。

【００２５】第２軸４５は細長い丸棒形状に形成されて
おり、第１軸３１の中空部内に同心的に配されて上下方
向に挿通されている。第２軸４５の上端部は軸受４４に
摺動自在に挿通されてウエハホルダ４１の上面に貫通さ
れており、その上端にはウエハ受け板４６が直交するよ
うに配されて固定されている。このウエハ受け板４６は
最小直径を有するウエハ１よりも小径の円板形状に形成
されている。そして、ウエハホルダ４１の上側プレート
４２における上面には収容凹部４２ａが円形穴形状に没
設されており、この収容凹部４２ａによってウエハ受け
板４６が収容されるようになっている。

【００２６】また、第２軸４５の下端部は第１軸３１の
下端から下方に突出されており、その突出した下端部に
は上下動レバー４７が直角に配されて固定されている。
この上下動レバー４７はエアシリンダ装置２１と別に設
備された上下動装置（図示せず）によって上下方向に操
作されるようになっている。

【００２７】第２軸４５の外側には第２ベローズ４８が
同心円的に配設されており、この第２ベローズ４８の上
下端部は下側プレート４３の下面壁および第２軸４５の
中間部に上側シート４９および下側シート５０を介して
固定されている。詳細な説明は省略するが、第１ベロー
ズ３２と同様に、この第２ベローズ４８はステンレスか
らなるリング形状の薄板が多数枚、互いに重合されてそ
の内周縁辺と外周縁辺とを溶接されて円筒形の蛇腹形状
に形成されており、軸心方向（上下方向）に伸縮し得る
ように構成されている。したがって、この第２ベローズ
４８は第２軸４５の上下動に追従して上下方向に伸縮す
るようになっている。

【００２８】本実施例において、ウエハホルダ４１の内
部にはラビリンス（迷路）構造に構成されているベント
路５１が複数本、放射状に配されて第２ベローズ４８の
内外を連通させるようにそれぞれ開設されている。各ベ
ント路５１は互いに周方向に間隔を置いて放射状に配さ
れており、ベント路５１のそれぞれは上側プレート４２
および下側プレート４３の合わせ面に形成されている。
すなわち、各ベント路５１は上側プレート４２の下面お
よび下側プレート４３の上面にそれぞれ没設された細長
い溝同士が互いに合わせられることによって、気体を流
通し得る通気路構造に構成されている。但し、ベント路
５１の溝は上側プレート４２または下側プレート４３の
いずれか一方だけに没設してもよい。

【００２９】そして、ベント路５１の内側開口５２は上
側シート４９の第２軸４５と対向する内周面に位置され
ており、第２ベローズ４８の中空部内に連通するように
なっている。他方、ベント路５１の外側開口５３はウエ
ハホルダ４１の外周面に位置されており、前記給排路１
５に連通し得るようになっている。

【００３０】ベント路５１の中間部には第１トラップ５
４、第２トラップ５５および第３トラップ５６がそれぞ
れ介設されており、これらによってベント路５１のラビ
リンス構造が実質的に構成されている。第１トラップ５
４および第２トラップ５５は、上側プレート４２と下側
プレート４３とに互いに対向する凹凸部がウエハホルダ
４１の軸方向に微小の間隙をとって形成されることによ
って、それぞれ構成されている。第３トラップ５６はそ
の経路がウエハホルダ４１の法線から周方向に屈曲され
た後、法線方向に戻されて構成されている。

【００３１】次に、前記構成に係る真空予備室装置１０
の作用をチャンバ１１における注入室２にワークとして
のウエハ１を搬入する場合について説明する。

【００３２】ウエハ１が注入室２に搬入されるに際し
て、図３に示されているように、上側ロックバルブ１４
がバルブシート１３から離座されて第１開口１２が開放
される。この際、下側ロックバルブ３５は第１軸３１に
よって上限に位置されており、下側ロックバルブ３５の
バルブ部３７はバルブシート３８に着座された状態にな
っている。したがって、常時真空状態の注入室２に連通
する案内筒１６の中空部内は真空状態を保つための気密
が維持された状態になっている。

【００３３】また、第１開口１２が開放される前に、不
活性ガスである窒素ガスが給排路１５からロック室３９
の内部に供給され、ロック室３９に窒素ガスが充満され
る。この窒素ガスの供給によって、ロック室３９の圧力
が大気圧に維持されるとともに、ロック室３９内への大
気の侵入が防止される状態になる。

【００３４】この状態で、第２軸４５が上下動レバー４
７によって上昇されると、ワークとしてのウエハ１が搬
送ロボット等から構成されたハンドリング装置（図示せ
ず）によって、第２軸４５のウエハ受け板４６に移載さ
れる。

【００３５】ウエハ１がウエハ受け板４６に移載される
と、第２軸４５が上下動レバー４７によって下降され、
図４に示されているように、ウエハ受け板４６が収容凹
部４２ａに収容されるとともに、ウエハ受け板４６の上
のウエハ１はウエハホルダ４１の上に移載される。

【００３６】以上の第２軸４５の上下動に追従して、第
２ベローズ４８は伸縮作動する。この際、第２ベローズ
４８の中空部内に充満した窒素ガスはベント路５１を通
って出入りすることができるため、第２ベローズ４８の
伸縮作動が確保されるとともに、きわめて円滑に実行さ
れることになる。

【００３７】そして、ロック室３９側の窒素ガスが第２
ベローズ４８の伸長作動に伴って第２ベローズ４８の中
空部内に吸い込まれるに際して、ロック室３９側の異物
（図示せず）がその窒素ガスに随伴して、第２ベローズ
４８の中空部内に吸い込まれて侵入しようとする。しか
し、本実施例において、侵入しようとする異物はベント
路５１の途中において第１トラップ５４、第２トラップ
５５および第３トラップ５６によって捕捉されるため、
侵入を確実に阻止されることになる。

【００３８】他方、第２軸４５を摺動自在に支承してい
る軸受４４の第２軸４５に対するクリアランスはきわめ
て小さく設定されているため、ロック室３９側の異物が
そのクリアランスを通って、第２ベローズ４８の中空部
内に侵入するのは防止される。したがって、ベント路５
１および軸受４４と第２軸４５とのクリアランスのいず
れの経路においても、異物の第２ベローズ４８の中空部
内への侵入は阻止されるため、第２ベローズ４８が中空
部内へ侵入した異物によって損傷される事故の発生は、
未然に防止されることになる。

【００３９】また、換言すると、ベント路５１によって
第２ベローズ４８の円滑な伸縮作動が確保されているた
め、軸受４４の第２軸４５に対するクリアランスをきわ
めて小さく設定することができる。そして、軸受４４に
耐摩耗性および耐熱性を有するエンジニアリング・プラ
スチックを使用することにより、摺動特性を損なうこと
なく、軸受４４と第２軸４５との間のクリアランスをき
わめて小さく設定することができる。

【００４０】続いて、図４に示されているように、上側
ロックバルブ１４が上側バルブシート１３に着座されて
第１開口１２が閉鎖される。第１開口１２が閉鎖される
と、ロック室３９は給排路１５を介して真空排気され
る。この際、第２ベローズ４８の中空部内に充満した窒
素ガスは、ベント路５１を通じて完全に排気される。こ
の窒素ガスがベント路５１を流通する時、ベント路５１
の途中における第１トラップ５４、第２トラップ５５お
よび第３トラップ５６に捕捉されている異物は、流通す
る窒素ガスと一緒にベント路５１から排出されて行く。

【００４１】ロック室３９が真空排気されると、図５に
示されているように、下側ロックバルブ３５は第１軸３
１によって案内筒１６の内部を下限位置まで下降され
る。この下降によって、下側ロックバルブ３５のウエハ
ホルダ４１は案内筒１６に開設された第２開口１７に対
向する状態になる。

【００４２】続いて、図６に示されているように、第２
軸４５が上下動レバー４７によって上昇されると、ウエ
ハ受け板４６に載置されたウエハ１がウエハホルダ４１
の上面から持ち上げられる。ウエハ１がウエハホルダ４
１から持ち上げられると、注入室２の内部に設備された
ハンドリング装置（図示せず）によってウエハ１がウエ
ハホルダ４１からピックアップされる。ピックアップさ
れたウエハ１はハンドリング装置によって注入室２の内
部に搬入されて、イオン注入装置のプラテン（図示せ
ず）の上に移載される。

【００４３】他方、ウエハ１がハンドリング装置に受け
取られると、第２軸４５が上下動レバー４７によって下
降され、ウエハ受け板４６はウエハホルダ４１の上面に
没設された収納凹部４２ａに収容される。

【００４４】ちなみに、この下側ロックバルブ３５の下
限位置における第２軸４５の上下動に伴って、第２ベロ
ーズ４８が伸縮作動するが、第２ベローズ４８の中空部
内は真空排気されているため、この場合における気体の
出入りは殆どない。

【００４５】ウエハ受け板４６がウエハホルダ４１の収
納凹部４２ａに収容されると、下側ロックバルブ３５が
第１軸３１によって上昇されて、下側ロックバルブ３５
のバルブ部３７がバルブシート３８に着座される。バル
ブ部３７がバルブシート３８に着座されることによっ
て、上側ロックバルブ１４と下側ロックバルブ３５との
間にロック室３９が形成されると、給排路１５から窒素
ガスが供給されて、ロック室３９の圧力が大気圧に設定
される。

【００４６】ちなみに、第１軸３１の上下動に追従し
て、第１ベローズ３２が伸縮作動するが、第１ベローズ
３２は常時真空状態が保たれているチャンバ１の室内に
設備されているため、第１ベローズ３２の中空部内に対
して気体が出入りすることはない。したがって、第１軸
３１を支承する軸受のクリアランスは大きくてもよい。

【００４７】以降、前記作動が繰り返されることによ
り、ウエハ１が注入室２に順次搬入されて行く。

【００４８】以上説明した前記実施例によれば次の効果
が得られる。 （１） ウエハホルダ４１にベント路５１をこのウエハ
ホルダ４１の外周と第２ベローズ４８の中空部内とを連
通させるように開設することにより、第２ベローズ４８
の中空部内に対する気体の出入りはウエハホルダ４１に
開設されたベント路５１によって確保された状態になる
ため、第２ベローズ４８は第２軸４５のウエハホルダ４
１に対する進退作動に追従して円滑に伸縮作動すること
ができる。

【００４９】（２） 他方、第２ベローズ４８の伸縮作
動がベント路５１によって確保されていることにより、
軸受４４と第２軸４５とのクリアランスは小さく設定す
ることができるため、小さく設定されたクリアランスか
ら異物が侵入するのを抑制することができる。その結
果、第２ベローズ４８の中空部内に異物が侵入するのを
防止することができ、第２ベローズ４８の中空部内に侵
入した異物によって第２ベローズ４８が損傷される事故
の発生を未然に回避することができる。

【００５０】（３） ベント路５１に異物を捕捉するた
めのトラップを介設することにより、ベント路５１を通
じて第２ベローズ４８の中空部内に異物が侵入するのを
確実に防止することができるため、異物によって第２ベ
ローズ４８が損傷されるのをより一層確実に防止するこ
とができる。

【００５１】（４） ウエハホルダ４１を上側プレート
４２および下側プレート４３を重合して製作することに
より、上側プレート４２と下側プレート４３との合わせ
面を利用してベント路５１を簡単に形成することができ
る。

【００５２】（５） ウエハホルダ４１を上側プレート
４２および下側プレート４３を重合して製作することに
より、上側プレート４２と下側プレート４３とを材質の
異なる板材によってそれぞれ形成することができるた
め、ウエハ１と接触するウエハホルダ４１にウエハ１を
汚染させない材質の板材を使用することができる。

【００５３】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５４】例えば、ウエハホルダ４１は上側プレート
４２と下側プレート４３とを重合して製作するに限ら
ず、一体構造に構成してもよい。

【００５５】ベント路５１に介設されるトラップは第１
トラップ５４、第２トラップ５５および第３トラップ５
６に限らず、第１トラップ５４、第２トラップ５５およ
び第３トラップ５６のうちいずれか１個でもよいし、４
個以上であってもよい。また、ベント路のトラップは省
略することもできる。

【００５６】軸受４４は耐熱性および耐摩耗性を有する
エンジニアリング・プラスチックを使用するに限らず、
軸受用の金属材料を使用してもよい。

【００５７】前記実施例では、ワークがウエハである場
合について説明したが、ワークはウエハに限らず、液晶
パネルやホトマスク等であってもよい。

【００５８】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である真空予
備室装置に使用されるウエハ受け渡し装置に適用した場
合について説明したが、それに限定されるものではな
く、加圧された処理室に連設される加圧予備室装置に使
用される受け渡し装置等の受け渡し装置全般に適用する
ことができる。特に、本発明は、大気圧の室外からワー
クを受け取り、受け取ったワークを減圧または加圧雰囲
気に置いた後、減圧または加圧状態が維持されている処
理室にワークを受け渡す受け渡し装置に利用して優れた
効果を得ることができる。

【００５９】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００６０】ワークホルダにベント路をこのワークホル
ダの外周とベローズの中空部内とを連通させるように開
設することにより、ベローズの中空部内に対する気体の
出入りはワークホルダに開設されたベント路によって確
保された状態になるため、ベローズは軸のワークホルダ
に対する進退作動に追従して円滑に伸縮作動することが
できる。

【００６１】他方、ベローズの伸縮作動がベント路によ
って確保されていることにより、軸受と軸とのクリアラ
ンスは小さく設定することができるため、小さく設定さ
れたクリアランスから異物が侵入するのを抑制すること
ができる。その結果、ベローズの中空部内に異物が侵入
するのを防止することができ、ベローズの中空部内に侵
入した異物によってベローズが損傷される事故の発生を
未然に回避することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるウエハ受け渡し装置を
示す一部省略一部切断斜視図である。

【図２】そのウエハ受け渡し装置が使用されている真空
予備室装置を示す一部省略正面断面図である。

【図３】ウエハ受け取り工程を示す一部省略正面断面図
である。

【図４】真空排気工程を示す一部省略正面断面図であ
る。

【図５】下限位置工程を示す一部省略正面断面図であ
る。

【図６】ウエハ受け渡し工程を示す一部省略正面断面図
である。

【符号の説明】

１…ウエハ（ワーク）、２…注入室、１０…真空予備室
装置、１１…チャンバ、１２…第１開口、１３…バルブ
シート、１４…上側ロックバルブ、１５…給排路、１６
…案内筒、１７…第２開口、２０…下側バルブ装置、２
１…エアシリンダ装置、２２…ピストンロッド、２３…
ガイドレール、２４…上側支持板、２５…下側支持板、
２６…ガイドブッシュ、２７…連結棒、３０…固定板、
３１…第１軸、３２…第１ベローズ、３３…上側シー
ト、３４…下側シート、３５…下側ロックバルブ、３６
…本体、３７…バルブ部、３８…バルブシート、３９…
ロック室、４０…ウエハ受け渡し装置、４１…ウエハホ
ルダ、４２…上側プレート、４３…下側プレート、４４
…軸受、４５…第２軸、４６…ウエハ受け板、４７…上
下動レバー、４８…第２ベローズ、４９…上側シート、
５０…下側シート、５１…ベント路、５２…内側開口、
５３…外側開口、５４…第１トラップ、５５…第２トラ
ップ、５６…第３トラップ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木賀 敏雄 東京都青梅市藤橋３丁目３番地２ 日立東 京エレクトロニクス株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークが載置されるホルダにワーク受け
   板を有する軸が挿通されて軸受によって摺動自在に支承
   されており、この軸の外側にベローズが、ホルダの載置
   側と反対の主面と軸の中間部との間に軸受と軸とのクリ
   アランスの下方の周囲を気密を維持した状態で取り囲む
   ように伸縮自在に装着されている受け渡し装置におい
   て、 前記ホルダにベント路が、このホルダの外周と前記ベロ
   ーズの中空部内とを連通させるように開設されているこ
   とを特徴とする受け渡し装置。
2. 【請求項２】 ベント路の途中に異物を捕捉するトラッ
   プが、少なくとも１箇所に介設されていることを特徴と
   する請求項１に記載の受け渡し装置。
3. 【請求項３】 軸受が、耐熱性および耐摩耗性を有する
   樹脂が用いられて形成されているとともに、軸受と軸と
   のクリアランスがきわめて小さく設定されていることを
   特徴とする請求項１に記載の受け渡し装置。