JPH0629502A - ゲート・アレイの設計方法 - Google Patents
ゲート・アレイの設計方法Info
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- JPH0629502A JPH0629502A JP5081588A JP8158893A JPH0629502A JP H0629502 A JPH0629502 A JP H0629502A JP 5081588 A JP5081588 A JP 5081588A JP 8158893 A JP8158893 A JP 8158893A JP H0629502 A JPH0629502 A JP H0629502A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F30/00—Computer-aided design [CAD]
- G06F30/30—Circuit design
- G06F30/39—Circuit design at the physical level
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/118—Masterslice integrated circuits
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 個別化に使用されないメタライゼーションを
作り出すデータをなくすことによって、障害のメカニズ
ムを少なくし、歩留まりを改良する。 【構成】 ゲート・アレイの汎用性を考慮すれば必要で
はあるが、個別化された機能回路の特定の動作には不要
な固定メタルが、コンピュータ・プログラムによって、
半導体基板上に金属パターンを被着する前に、識別され
削除される。これによりゲート・アレイを最終形態で製
造することができる、すなわち不使用の固定メタルを削
除する処理ステップが不要になる。
作り出すデータをなくすことによって、障害のメカニズ
ムを少なくし、歩留まりを改良する。 【構成】 ゲート・アレイの汎用性を考慮すれば必要で
はあるが、個別化された機能回路の特定の動作には不要
な固定メタルが、コンピュータ・プログラムによって、
半導体基板上に金属パターンを被着する前に、識別され
削除される。これによりゲート・アレイを最終形態で製
造することができる、すなわち不使用の固定メタルを削
除する処理ステップが不要になる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はゲート・アレイから作ら
れる集積回路チップの歩留りと信頼性を高める方法に関
し、特にゲート・アレイのメタライゼーション・パター
ンを設計/実現する改良された方法に関する。
れる集積回路チップの歩留りと信頼性を高める方法に関
し、特にゲート・アレイのメタライゼーション・パター
ンを設計/実現する改良された方法に関する。
【0002】
【従来の技術】当業者には周知のとおり、いわゆるゲー
ト・アレイ(マスタスライスともいう)は半導体集積回
路チップの製造に広く用いられている。ゲート・アレイ
とは論理ゲートとして接続できる抵抗器やトランジスタ
などのデバイスのアレイ(またはマトリックス)をい
う。ゲート・アレイ製造プロセスでは実装/接続されて
いない一定個数のデバイスがあらかじめセルとしてまと
められる。同じセルがいくつか、チップ上の行列に配置
される。セル間及びセル上のスペースは相互接続のため
に予約される。これにより同じウエハが大量に製造で
き、その後さまざまな方法で個別化されチップ機能が作
り込まれる。設計者は所定のチップ機能を実現するため
に回路機能とその相互接続を指定し、CAD(コンピュ
ータ支援設計)プログラムにより、回路間の接続を作る
メタライゼーション・データが指定されてアレイ内に所
望のチップ機能が実現される。フォトリソグラフィ・マ
スクを形成するためのメタライゼーション・データ、及
び電子ビーム直接描画による製造のためのメタライゼー
ション・データを生成するプログラムが利用できる。
ト・アレイ(マスタスライスともいう)は半導体集積回
路チップの製造に広く用いられている。ゲート・アレイ
とは論理ゲートとして接続できる抵抗器やトランジスタ
などのデバイスのアレイ(またはマトリックス)をい
う。ゲート・アレイ製造プロセスでは実装/接続されて
いない一定個数のデバイスがあらかじめセルとしてまと
められる。同じセルがいくつか、チップ上の行列に配置
される。セル間及びセル上のスペースは相互接続のため
に予約される。これにより同じウエハが大量に製造で
き、その後さまざまな方法で個別化されチップ機能が作
り込まれる。設計者は所定のチップ機能を実現するため
に回路機能とその相互接続を指定し、CAD(コンピュ
ータ支援設計)プログラムにより、回路間の接続を作る
メタライゼーション・データが指定されてアレイ内に所
望のチップ機能が実現される。フォトリソグラフィ・マ
スクを形成するためのメタライゼーション・データ、及
び電子ビーム直接描画による製造のためのメタライゼー
ション・データを生成するプログラムが利用できる。
【0003】図1はこれまでの代表的なゲート・アレイ
・コンピュータ設計プログラムであり、本発明をこれに
応用することができる。プログラムの要素として、「回
路メタルライブラリ」、「ゲート・アレイ記述」、「チ
ップ機能記述」、「及び固定メタル」がある。
・コンピュータ設計プログラムであり、本発明をこれに
応用することができる。プログラムの要素として、「回
路メタルライブラリ」、「ゲート・アレイ記述」、「チ
ップ機能記述」、「及び固定メタル」がある。
【0004】回路メタルライブラリはゲート・アレイ・
セル内のデバイスから各論理機能(OR、AND、XO
Rなど)を実現するのに必要な、コンピュータに格納さ
れたメタライゼーション・データのデータベースを含
む。
セル内のデバイスから各論理機能(OR、AND、XO
Rなど)を実現するのに必要な、コンピュータに格納さ
れたメタライゼーション・データのデータベースを含
む。
【0005】ゲート・アレイ記述は格納されたデータ・
イメージであり、セルの配置を示し、電源バスを形成す
るために予約された相互接続のパスと領域を与える。
イメージであり、セルの配置を示し、電源バスを形成す
るために予約された相互接続のパスと領域を与える。
【0006】チップ機能記述は設計者が特定の用途のた
めに設計したチップ機能を実行するのに、必要な回路機
能とその相互接続のデータベースである。
めに設計したチップ機能を実行するのに、必要な回路機
能とその相互接続のデータベースである。
【0007】固定メタルはチップ上のすべてのセル位置
に電力を供給するのに必要なメタライゼーション・デー
タのデータベースであり、これにより、想定されるあら
ゆる回路配置が可能になる。ただ、ゲート・アレイ・セ
ルを設計する際に集積度を最適化することから、セル内
に対称性はない。対称性は普通、固定メタル内の電源の
配分に限定される。
に電力を供給するのに必要なメタライゼーション・デー
タのデータベースであり、これにより、想定されるあら
ゆる回路配置が可能になる。ただ、ゲート・アレイ・セ
ルを設計する際に集積度を最適化することから、セル内
に対称性はない。対称性は普通、固定メタル内の電源の
配分に限定される。
【0008】CADプログラムは、配置の段階ではチッ
プ機能記述に従って所要回路をゲート・アレイ・セル内
に最適に配置する。
プ機能記述に従って所要回路をゲート・アレイ・セル内
に最適に配置する。
【0009】配線ステップではチップ機能記述に従って
配置された回路間の物理的な相互接続を記述するために
迷路ルーティング・コードが用いられる。配線ステップ
の出力は、「グローバル・メタル」と呼ばれる配線およ
びレベル間バイア接続のパターンを指定したメタライゼ
ーション・データである。
配置された回路間の物理的な相互接続を記述するために
迷路ルーティング・コードが用いられる。配線ステップ
の出力は、「グローバル・メタル」と呼ばれる配線およ
びレベル間バイア接続のパターンを指定したメタライゼ
ーション・データである。
【0010】「形状作成/検査」というステップには
「組合わせ/パターン作成」ステップが含まれ、回路、
グローバル、及び固定のメタライゼーション・データが
組合わせられて、完全なメタライゼーション・パターン
を形成する出力が得られる。
「組合わせ/パターン作成」ステップが含まれ、回路、
グローバル、及び固定のメタライゼーション・データが
組合わせられて、完全なメタライゼーション・パターン
を形成する出力が得られる。
【0011】ゲート・アレイの価値はすべての論理素子
がチップ入力からチップ出力までの信号を正しく処理す
るときにしか現われない。したがって、メタライゼーシ
ョン・パターンは誤りのないものでなければならない。
ゲート・アレイの固定メタルは、どのような回路をも受
入れられるように設計しなければならない。配置ステッ
プに入るまでは、どの回路がどのセルに配置されかが分
からないからである。特に、どのセルも占有される可能
性があるため、固定メタルは電力をすべてのセル位置に
供給しなければならない。固定メタルがすべてのセル内
の回路条件を満足しない場合は製品は機能しなくなる。
がチップ入力からチップ出力までの信号を正しく処理す
るときにしか現われない。したがって、メタライゼーシ
ョン・パターンは誤りのないものでなければならない。
ゲート・アレイの固定メタルは、どのような回路をも受
入れられるように設計しなければならない。配置ステッ
プに入るまでは、どの回路がどのセルに配置されかが分
からないからである。特に、どのセルも占有される可能
性があるため、固定メタルは電力をすべてのセル位置に
供給しなければならない。固定メタルがすべてのセル内
の回路条件を満足しない場合は製品は機能しなくなる。
【0012】フル・カスタム・セルにはないゲート・ア
レイの利点は、設計期間が短いこと、個別化されないゲ
ート・アレイ・チップの大量生産によってコストが下が
ること、マスク数が少なくなること、及び最終的なメタ
ライゼーション・パターンとコンタクト層だけを仕様に
応じて設計すればよいため製造期間が短縮されることで
ある。欠点としてはチップ面積が無駄になる。これは、
一般的にすべてのセルが用いられるわけではないという
理由による。更に、一般用途を考慮して不使用セルに設
けられた固定メタルは歩留りや信頼性を損なう原因にな
る。ゲート・アレイの固定メタルを少なくするこれまで
の方法では、固定メタルがチップの製造後にフォトリソ
グラフィによって取除かれる。しかしこの方法はサイク
ル時間が長くなり、プロセスが複雑になるため適切では
ない。
レイの利点は、設計期間が短いこと、個別化されないゲ
ート・アレイ・チップの大量生産によってコストが下が
ること、マスク数が少なくなること、及び最終的なメタ
ライゼーション・パターンとコンタクト層だけを仕様に
応じて設計すればよいため製造期間が短縮されることで
ある。欠点としてはチップ面積が無駄になる。これは、
一般的にすべてのセルが用いられるわけではないという
理由による。更に、一般用途を考慮して不使用セルに設
けられた固定メタルは歩留りや信頼性を損なう原因にな
る。ゲート・アレイの固定メタルを少なくするこれまで
の方法では、固定メタルがチップの製造後にフォトリソ
グラフィによって取除かれる。しかしこの方法はサイク
ル時間が長くなり、プロセスが複雑になるため適切では
ない。
【0013】図2は論理ゲートと、典型的なゲート・ア
レイ・セルにこの論理ゲートを実現した回路パターンを
示している。固定メタルは斜線で示した。不使用の固定
メタル1は、回路メタル3に接触しないものである。回
路のタイプによっては各セルに供給される電力の一部し
か必要としない。またゲート・アレイ・チップでは通
常、すべてのセルに回路が配置されることはない。その
ため回路が配置されたセルについても、セル全体につい
ても固定メタルが過剰になる。
レイ・セルにこの論理ゲートを実現した回路パターンを
示している。固定メタルは斜線で示した。不使用の固定
メタル1は、回路メタル3に接触しないものである。回
路のタイプによっては各セルに供給される電力の一部し
か必要としない。またゲート・アレイ・チップでは通
常、すべてのセルに回路が配置されることはない。その
ため回路が配置されたセルについても、セル全体につい
ても固定メタルが過剰になる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上述
のようなゲート・アレイ・プロセスを用いて製造された
正常なチップの歩留りと信頼性を高めることである。
のようなゲート・アレイ・プロセスを用いて製造された
正常なチップの歩留りと信頼性を高めることである。
【0015】
【課題を解決するための手段】いうまでもなく、ハード
ウェア・チップの最終コストはこの歩留り、すなわち製
造されたすべてのチップに対する正常なチップの割合に
直接関係する。また、このようなチップ製品そのものの
価値は、その耐用期間における信頼性に直接関係する。
ウェア・チップの最終コストはこの歩留り、すなわち製
造されたすべてのチップに対する正常なチップの割合に
直接関係する。また、このようなチップ製品そのものの
価値は、その耐用期間における信頼性に直接関係する。
【0016】半導体集積回路チップの歩留りと信頼性を
損なう障害の主な態様は、レベル内及びレベル間のメタ
ライゼーションの短絡である。本発明者は、このような
障害を最小限にした結果を研究し、個別化に使用されな
いメタライゼーションを作り出すデータをなくすことに
よって、障害のメカニズムを少なくし、歩留りを改良で
きることを確認した。本発明に従って、ゲート・アレイ
の汎用性を考慮すれば必要ではあるが、個別化された機
能回路の特定の動作には不要な固定メタルがコンピュー
タ・プログラムによって、半導体基板上に金属パターン
を被着する前に、識別され削除される。これによりゲー
ト・アレイを最終形態で製造することができる、すなわ
ち不使用の固定メタルを削除する処理ステップが不要に
なる。
損なう障害の主な態様は、レベル内及びレベル間のメタ
ライゼーションの短絡である。本発明者は、このような
障害を最小限にした結果を研究し、個別化に使用されな
いメタライゼーションを作り出すデータをなくすことに
よって、障害のメカニズムを少なくし、歩留りを改良で
きることを確認した。本発明に従って、ゲート・アレイ
の汎用性を考慮すれば必要ではあるが、個別化された機
能回路の特定の動作には不要な固定メタルがコンピュー
タ・プログラムによって、半導体基板上に金属パターン
を被着する前に、識別され削除される。これによりゲー
ト・アレイを最終形態で製造することができる、すなわ
ち不使用の固定メタルを削除する処理ステップが不要に
なる。
【0017】本発明の1実施例では、個別化された回路
メタライゼーション・データがコンピュータに入力され
る。目的のチップ設計の非物理表現がコンピュータ・ソ
フトウェアによって生成される。次に、各固定メタル形
状の必要性、すなわち電子回路の構成を検出するのにハ
イレベル・ソフトウェア・コマンドが用いられる。回路
メタルに接触しない固定メタル形状は、マスクの作成や
電子ビーム直接描画の制御に用いられるデータ出力から
消去される。次に、この最終データ出力からゲート・ア
レイ・チップが作られる。
メタライゼーション・データがコンピュータに入力され
る。目的のチップ設計の非物理表現がコンピュータ・ソ
フトウェアによって生成される。次に、各固定メタル形
状の必要性、すなわち電子回路の構成を検出するのにハ
イレベル・ソフトウェア・コマンドが用いられる。回路
メタルに接触しない固定メタル形状は、マスクの作成や
電子ビーム直接描画の制御に用いられるデータ出力から
消去される。次に、この最終データ出力からゲート・ア
レイ・チップが作られる。
【0018】
【実施例】各図、特に図3を参照する。図3は本発明に
従ってゲート・アレイを個別化するプログラムのハイ・
レベル流れ図を示す。従来のゲート・アレイ・コンピュ
ータ設計プログラムのように、本発明のプログラム要素
にも「回路ライブラリ」、「ゲート・アレイ記述」、
「チップ機能記述」、及び「固定メタル」が含まれる。
回路ライブラリはゲート・アレイ・セル内のデバイスか
ら個々の論理機能を実現するのに必要なメタライゼーシ
ョン・データをコンピュータに格納したデータベースで
あり、ゲート・アレイ記述はセルの配置を示し、電源バ
スを形成するために予約された相互接続のパスと領域を
与える、格納されたデータ・イメージである。チップ機
能記述は設計者が特定の用途のために設計したチップ機
能の実行に必要な回路機能とその相互接続のデータベー
スである。固定メタルはチップ上のすべてのセル位置に
電力を供給するのに必要なメタライゼーション・データ
のデータベースであり、これにより、想定される回路配
置はすべて可能になる。回路や固定メタルに必要なデー
タベースはこれまでのカスタム設計ツールを用いて作成
される。
従ってゲート・アレイを個別化するプログラムのハイ・
レベル流れ図を示す。従来のゲート・アレイ・コンピュ
ータ設計プログラムのように、本発明のプログラム要素
にも「回路ライブラリ」、「ゲート・アレイ記述」、
「チップ機能記述」、及び「固定メタル」が含まれる。
回路ライブラリはゲート・アレイ・セル内のデバイスか
ら個々の論理機能を実現するのに必要なメタライゼーシ
ョン・データをコンピュータに格納したデータベースで
あり、ゲート・アレイ記述はセルの配置を示し、電源バ
スを形成するために予約された相互接続のパスと領域を
与える、格納されたデータ・イメージである。チップ機
能記述は設計者が特定の用途のために設計したチップ機
能の実行に必要な回路機能とその相互接続のデータベー
スである。固定メタルはチップ上のすべてのセル位置に
電力を供給するのに必要なメタライゼーション・データ
のデータベースであり、これにより、想定される回路配
置はすべて可能になる。回路や固定メタルに必要なデー
タベースはこれまでのカスタム設計ツールを用いて作成
される。
【0019】これまでと同様「配置」ステップでは、ゲ
ート・アレイ・セル内に必要な回路が最適に配置され、
「配線」ステップではチップ機能記述に従って配置され
た回路間の物理的相互接続を記述するのに迷路ルーティ
ング・コードが用いられる。配線ステップの出力は、線
パターンと「グローバル・メタル」と呼ばれる配線およ
びレベル間バイア接続のパターンとを指定したメタライ
ゼーション・データである。
ート・アレイ・セル内に必要な回路が最適に配置され、
「配線」ステップではチップ機能記述に従って配置され
た回路間の物理的相互接続を記述するのに迷路ルーティ
ング・コードが用いられる。配線ステップの出力は、線
パターンと「グローバル・メタル」と呼ばれる配線およ
びレベル間バイア接続のパターンとを指定したメタライ
ゼーション・データである。
【0020】本発明の方法では、従来の「形状作成/検
査」ステップが変更され、「比較/削除」ステップが追
加される。従来の「組合わせ」ステップのように、回
路、グローバル、及び固定のメタライゼーション・パタ
ーンがシステム設計者によって指定されたカスタム論理
設計に従って組合わせられる。この設計は次にコンピュ
ータ・システムに入力され、そのシステムがシミュレー
ションを通して、パターンが正しく指定されているか、
また有効かどうかを検査する。パターンが正しく選択さ
れコード化されていれば、コンピュータ・システムが指
定されたチップ設計の非物理表現を生成する。これには
詳細なブロックの割当てと配置、ブロッケージ、及びル
ーティングされた相互接続が含まれる。良好な実施例で
は「比較」ステップで、固定メタル接続メタライゼーシ
ョン形状のどれが不使用かが識別される。その際、配置
された回路メタライゼーション・パターンが、コンピュ
ータによって所定の固定メタル形状の必要性を検出する
ための基準として用いられる。具体的には、コンピュー
タが回路メタルに接触しない固定メタル形状を検索す
る。検索はCadence などのソースから一般に入手できる
コンピュータ・ソフトウェアのハイ・レベル・コンピュ
ータ・コマンドを使って実行することができる。「削
除」ステップでは不使用の固定メタル形状が非物理表現
から取除かれる。固定メタル形状の削除は、メタルやバ
イアを含むカスタム論理設計のさまざまな金属層に及ぶ
ことがある。「パターン作成」ステップでは、ゲート・
アレイの最終的なメタライゼーション・データ・パター
ンが、回路メタル・データ・パターンと、変更された固
定メタル・データ・パターンを組合わせることによって
生成される。パターン作成ではマスクの作成や電子ビー
ム直接描画の制御データを加えることもできる。最後の
「被着」ステップでは、最終メタライゼーション・デー
タ・パターンに従った被着パターンで金属が基板上に被
着される。
査」ステップが変更され、「比較/削除」ステップが追
加される。従来の「組合わせ」ステップのように、回
路、グローバル、及び固定のメタライゼーション・パタ
ーンがシステム設計者によって指定されたカスタム論理
設計に従って組合わせられる。この設計は次にコンピュ
ータ・システムに入力され、そのシステムがシミュレー
ションを通して、パターンが正しく指定されているか、
また有効かどうかを検査する。パターンが正しく選択さ
れコード化されていれば、コンピュータ・システムが指
定されたチップ設計の非物理表現を生成する。これには
詳細なブロックの割当てと配置、ブロッケージ、及びル
ーティングされた相互接続が含まれる。良好な実施例で
は「比較」ステップで、固定メタル接続メタライゼーシ
ョン形状のどれが不使用かが識別される。その際、配置
された回路メタライゼーション・パターンが、コンピュ
ータによって所定の固定メタル形状の必要性を検出する
ための基準として用いられる。具体的には、コンピュー
タが回路メタルに接触しない固定メタル形状を検索す
る。検索はCadence などのソースから一般に入手できる
コンピュータ・ソフトウェアのハイ・レベル・コンピュ
ータ・コマンドを使って実行することができる。「削
除」ステップでは不使用の固定メタル形状が非物理表現
から取除かれる。固定メタル形状の削除は、メタルやバ
イアを含むカスタム論理設計のさまざまな金属層に及ぶ
ことがある。「パターン作成」ステップでは、ゲート・
アレイの最終的なメタライゼーション・データ・パター
ンが、回路メタル・データ・パターンと、変更された固
定メタル・データ・パターンを組合わせることによって
生成される。パターン作成ではマスクの作成や電子ビー
ム直接描画の制御データを加えることもできる。最後の
「被着」ステップでは、最終メタライゼーション・デー
タ・パターンに従った被着パターンで金属が基板上に被
着される。
【0021】本発明の方法により作成された最終メタラ
イゼーション・パターンは、これまでの方法によって作
成されたパターンよりもチップ歩留りがよい。図4の歩
留り曲線に示すとおり、歩留りの改良はチップの回路密
度によるが、11%にもなる。この曲線は「バイア・チ
ェーン」の歩留りデータから作成したものである。バイ
ア・チェーンは、本発明によって改良される歩留りを制
限する主な障害メカニズムの1つ、すなわちバイアと金
属の短絡を測定する。バイア・チェーンとは製品と同じ
ような相互関係で、ウエハ上の特定の位置に組付けられ
たバイア及び隣接する金属線の列である。このようなチ
ェーンには金属とバイアの短絡によるチップ障害の可能
性を、確実に判定するのに充分な量のバイアと金属の線
が含まれる。この可能性は、他の同様なチェーンで測定
された歩留りを制限する障害メカニズムによるチップ障
害の可能性と組合わせられ、チップ全体の歩留りが判定
される。個々の可能性をこのように組合わせたものは数
学上の積であるから、いずれの可能性についても、その
増加率がチップ全体の歩留りと同じ増加率として反映さ
れる。したがって、図4に示すように金属とバイアの短
絡の歩留り率が改良された結果は、チップ全体の歩留り
と同じ改良率(11%)になる。
イゼーション・パターンは、これまでの方法によって作
成されたパターンよりもチップ歩留りがよい。図4の歩
留り曲線に示すとおり、歩留りの改良はチップの回路密
度によるが、11%にもなる。この曲線は「バイア・チ
ェーン」の歩留りデータから作成したものである。バイ
ア・チェーンは、本発明によって改良される歩留りを制
限する主な障害メカニズムの1つ、すなわちバイアと金
属の短絡を測定する。バイア・チェーンとは製品と同じ
ような相互関係で、ウエハ上の特定の位置に組付けられ
たバイア及び隣接する金属線の列である。このようなチ
ェーンには金属とバイアの短絡によるチップ障害の可能
性を、確実に判定するのに充分な量のバイアと金属の線
が含まれる。この可能性は、他の同様なチェーンで測定
された歩留りを制限する障害メカニズムによるチップ障
害の可能性と組合わせられ、チップ全体の歩留りが判定
される。個々の可能性をこのように組合わせたものは数
学上の積であるから、いずれの可能性についても、その
増加率がチップ全体の歩留りと同じ増加率として反映さ
れる。したがって、図4に示すように金属とバイアの短
絡の歩留り率が改良された結果は、チップ全体の歩留り
と同じ改良率(11%)になる。
【0022】
【発明の効果】個別化に使用されないメタライゼーショ
ンを作り出すデータをなくすことによって、障害のメカ
ニズムを少なくし、歩留りを改良することができる。
ンを作り出すデータをなくすことによって、障害のメカ
ニズムを少なくし、歩留りを改良することができる。
【図1】ゲート・アレイを個別化する従来のプログラム
のハイ・レベル流れ図である。
のハイ・レベル流れ図である。
【図2】論理ゲート回路とこの論理ゲートを従来のメタ
ライゼーション・プログラムによってゲート・アレイ・
チップに実現した回路パターンとを示す図である。
ライゼーション・プログラムによってゲート・アレイ・
チップに実現した回路パターンとを示す図である。
【図3】本発明に従ってゲート・アレイを個別化するプ
ログラムの図1と同様のハイ・レベル流れ図である。
ログラムの図1と同様のハイ・レベル流れ図である。
【図4】不使用固定メタルを削除する前後の歩留りと回
路数の関係を示す図である。
路数の関係を示す図である。
フロントページの続き (72)発明者 グレン・エドワード・ホルメス アメリカ合衆国12590、ニューヨーク州ワ ッピンガーズ・フォールズ、ファーム・ビ ュー・ロード 24 (72)発明者 スティーブン・マグド アメリカ合衆国12533、ニューヨーク州ホ ープウェル・ジャンクション、フランシ ス・ドライブ 56
Claims (2)
- 【請求項1】回路セルのゲート・アレイを指定された機
能設計に個別化するコンピュータ・プログラムによる方
法であって、 上記回路セルを上記指定された機能設計にもとづいて相
互接続するために、グローバル相互接続メタライゼーシ
ョンと回路メタル相互接続メタライゼーションとを与え
るグローバル・メタル・データ・パターンと回路メタル
・データ・パターンとを生成するステップと、 電力をゲート・アレイ内の上記回路セルに統合する固定
メタル形状を与える固定メタル・データ・パターンを選
択するステップと、 上記固定メタル・データ・パターンにおいて、上記ゲー
ト・アレイ内で用いられない固定メタル形状に関連した
固定メタル・データを識別するステップと、 上記識別ステップで識別された上記用いられない固定メ
タル形状に関連した上記固定メタル・データ・パターン
の固定メタル・データを削除することによって、変更さ
れた固定メタル・データ・パターンを生成するステップ
と、 上記回路メタル・データ・パターン、上記グローバル・
メタル・データ・パターン、及び上記変更された固定メ
タル・データ・パターンを組合わせることによって上記
ゲート・アレイ用のメタライゼーション・データ・パタ
ーンを生成するステップと、 を含む個別化の方法。 - 【請求項2】上記識別ステップが上記回路メタル相互接
続メタライゼーションに接触しない、上記固定メタル・
データ・パターン内の上記固定メタル形状を識別するス
テップを含む請求項1記載の方法。
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US881961 | 1992-05-12 | ||
US07/881,961 US5347465A (en) | 1992-05-12 | 1992-05-12 | Method of integrated circuit chips design |
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JP (1) | JPH0629502A (ja) |
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