JPH06289238A - レンズ付き石英系光ファイバとその製造方法 - Google Patents
レンズ付き石英系光ファイバとその製造方法Info
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- JPH06289238A JPH06289238A JP5073420A JP7342093A JPH06289238A JP H06289238 A JPH06289238 A JP H06289238A JP 5073420 A JP5073420 A JP 5073420A JP 7342093 A JP7342093 A JP 7342093A JP H06289238 A JPH06289238 A JP H06289238A
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- optical fiber
- core
- silica
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- Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体レーザとの結合効率が高いレンズ付き
石英系光ファイバとその製造方法を提供する。 【構成】 この光ファイバは、エッチング溶液によるエ
ッチング速度が相対的に最小である石英系ガラスで形成
されているコア１と外側にいくほどエッチング溶液によ
るエッチング速度が相対的に増大していく石英系ガラス
で形成されているクラッド２ａ，２ｂとから成る石英系
光ファイバの端面をエッチング溶液に浸漬することによ
り、前記端面に、突出するコアと外側にいくほど前記コ
アの突出長よりも短い長さで突出するクラッドを有する
レンズ部を形成して製造される。
石英系光ファイバとその製造方法を提供する。 【構成】 この光ファイバは、エッチング溶液によるエ
ッチング速度が相対的に最小である石英系ガラスで形成
されているコア１と外側にいくほどエッチング溶液によ
るエッチング速度が相対的に増大していく石英系ガラス
で形成されているクラッド２ａ，２ｂとから成る石英系
光ファイバの端面をエッチング溶液に浸漬することによ
り、前記端面に、突出するコアと外側にいくほど前記コ
アの突出長よりも短い長さで突出するクラッドを有する
レンズ部を形成して製造される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、新規構造のレンズ付き
石英系光ファイバとその製造方法に関する。
石英系光ファイバとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光通信システムに組込む発光素子
モジュールは、光源である半導体レーザと石英系光ファ
イバの間にそのレーザ光を石英系光ファイバのコアに集
光するレンズを介挿することにより構成されている。こ
のモジュールは、半導体レーザと石英系光ファイバとの
間における結合効率を高くすることが必要であるため、
両者の結合パワーが最大となるように半導体レーザとレ
ンズと石英系光ファイバのコアとを調心して組立てられ
る。
モジュールは、光源である半導体レーザと石英系光ファ
イバの間にそのレーザ光を石英系光ファイバのコアに集
光するレンズを介挿することにより構成されている。こ
のモジュールは、半導体レーザと石英系光ファイバとの
間における結合効率を高くすることが必要であるため、
両者の結合パワーが最大となるように半導体レーザとレ
ンズと石英系光ファイバのコアとを調心して組立てられ
る。
【０００３】ところで、最近は、石英系光ファイバの端
面に直接レンズ部が形成されたレンズ付き石英系光ファ
イバが提案されている。この石英系光ファイバは、それ
自体の端面がレンズ機能を備えているため、上記モジュ
ールの製造に際しては、部品点数が減少し、しかも調心
作業の工数を低減することができ、コスト低減に資する
という利点がある。
面に直接レンズ部が形成されたレンズ付き石英系光ファ
イバが提案されている。この石英系光ファイバは、それ
自体の端面がレンズ機能を備えているため、上記モジュ
ールの製造に際しては、部品点数が減少し、しかも調心
作業の工数を低減することができ、コスト低減に資する
という利点がある。
【０００４】このレンズ付き石英系光ファイバのレンズ
部としては、例えば、図１〜図４で示したような構造の
ものが知られている。これらレンズ部のうち、図４で示
した構造のように、光ファイバの端面に曲面形状をなし
て突出するコア１とクラッド２の間が滑らかな連続曲面
を形成しているものは、半導体レーザと結合したときに
最も高い結合効率を示すことが知られている。
部としては、例えば、図１〜図４で示したような構造の
ものが知られている。これらレンズ部のうち、図４で示
した構造のように、光ファイバの端面に曲面形状をなし
て突出するコア１とクラッド２の間が滑らかな連続曲面
を形成しているものは、半導体レーザと結合したときに
最も高い結合効率を示すことが知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現在ま
でのところ、図４で示した構造のレンズ部が最適である
ことは知られているが、しかしそれを製造する実用的な
方法は提案されていない。その理由は、光ファイバの端
面中央に突出するコアから外側のクラッドにかけて滑ら
かな連続曲面を形成することが技術的に困難であったか
らである。
でのところ、図４で示した構造のレンズ部が最適である
ことは知られているが、しかしそれを製造する実用的な
方法は提案されていない。その理由は、光ファイバの端
面中央に突出するコアから外側のクラッドにかけて滑ら
かな連続曲面を形成することが技術的に困難であったか
らである。
【０００６】本発明は、上記した問題を解決し、図４で
示した構造のレンズ部であっても容易に形成することが
でき、もって半導体レーザとの結合効率が高いレンズ付
き石英系光ファイバとそれを製造する方法の提供を目的
とする。
示した構造のレンズ部であっても容易に形成することが
でき、もって半導体レーザとの結合効率が高いレンズ付
き石英系光ファイバとそれを製造する方法の提供を目的
とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記した目
的を達成するために鋭意研究を重ねる過程で、ゲルマニ
ウムを純粋石英にドープした石英系ガラス（ガラスＡと
いう）と、ゲルマニウムとフッ素を純粋石英に一緒にド
ープした石英系ガラス（ガラスＢという）と、純粋石英
またはそれにフッ素をドープした石英系ガラス（ガラス
Ｃという）との屈折率の大小を比較すると、ガラスＡ〜
ガラスＢ＞ガラスＣの順であり、またこれら石英系ガラ
スのフッ酸溶液によるエッチング速度は、ガラスＡ＜ガ
ラスＢ＜ガラスＣの順で大きくなるという事実に着目し
た。
的を達成するために鋭意研究を重ねる過程で、ゲルマニ
ウムを純粋石英にドープした石英系ガラス（ガラスＡと
いう）と、ゲルマニウムとフッ素を純粋石英に一緒にド
ープした石英系ガラス（ガラスＢという）と、純粋石英
またはそれにフッ素をドープした石英系ガラス（ガラス
Ｃという）との屈折率の大小を比較すると、ガラスＡ〜
ガラスＢ＞ガラスＣの順であり、またこれら石英系ガラ
スのフッ酸溶液によるエッチング速度は、ガラスＡ＜ガ
ラスＢ＜ガラスＣの順で大きくなるという事実に着目し
た。
【０００８】したがって、コアをガラスＡで構成し、そ
の外側にガラスＢを配置し、更にその外側にガラスＣを
配置して光ファイバを製造し、その光ファイバの端面を
フッ酸溶液でエッチングすれば、エッチング速度が最も
小さいガラスＡのコアが端面中央に最も長く突出し、そ
の外側にはガラスＢ（ガラスＡに対するクラッドとして
機能する）がコアの突出長より短い長さで突出するとの
着想を抱き、この着想に基づいて本発明を開発するに至
った。
の外側にガラスＢを配置し、更にその外側にガラスＣを
配置して光ファイバを製造し、その光ファイバの端面を
フッ酸溶液でエッチングすれば、エッチング速度が最も
小さいガラスＡのコアが端面中央に最も長く突出し、そ
の外側にはガラスＢ（ガラスＡに対するクラッドとして
機能する）がコアの突出長より短い長さで突出するとの
着想を抱き、この着想に基づいて本発明を開発するに至
った。
【０００９】すなわち、本発明のレンズ付き石英系光フ
ァイバは、突出するコアと外側にいくほど前記コアの突
出長より短い長さで突出するクラッドとを有するレンズ
部を端面に備えていることを特徴とし、とくに、前記端
面が端面に突出するコアと、前記コアの外側に配置さ
れ、前記コアの突出長より短い長さで突出する第１クラ
ッド部と、前記第１クラッド部の外側に配置された第２
クラッド部から成り、また、前記コアが純粋石英にゲル
マニウムをドープして成り、前記第１クラッド部が純粋
石英にゲルマニウムとフッ素を一緒にドープして成り、
前記第２クラッド部が純粋石英またはそれにフッ素をド
ープして成り、そして、レンズ部の全体が曲面形状にな
っているレンズ付き石英系光ファイバである。
ァイバは、突出するコアと外側にいくほど前記コアの突
出長より短い長さで突出するクラッドとを有するレンズ
部を端面に備えていることを特徴とし、とくに、前記端
面が端面に突出するコアと、前記コアの外側に配置さ
れ、前記コアの突出長より短い長さで突出する第１クラ
ッド部と、前記第１クラッド部の外側に配置された第２
クラッド部から成り、また、前記コアが純粋石英にゲル
マニウムをドープして成り、前記第１クラッド部が純粋
石英にゲルマニウムとフッ素を一緒にドープして成り、
前記第２クラッド部が純粋石英またはそれにフッ素をド
ープして成り、そして、レンズ部の全体が曲面形状にな
っているレンズ付き石英系光ファイバである。
【００１０】このレンズ付き石英系光ファイバの製造方
法は、エッチング溶液によるエッチング速度が相対的に
最小である石英系ガラスで形成されているコアと、外側
にいくほどエッチング溶液によるエッチング速度が相対
的に増大していく石英系ガラスで形成されているクラッ
ドとから成る石英系光ファイバの端面をエッチング溶液
に浸漬することにより、前記端面に、突出するコアと外
側にいくほど前記コアの突出長よりも短い長さで突出す
るクラッドを有するレンズ部を形成することを特徴とす
る。
法は、エッチング溶液によるエッチング速度が相対的に
最小である石英系ガラスで形成されているコアと、外側
にいくほどエッチング溶液によるエッチング速度が相対
的に増大していく石英系ガラスで形成されているクラッ
ドとから成る石英系光ファイバの端面をエッチング溶液
に浸漬することにより、前記端面に、突出するコアと外
側にいくほど前記コアの突出長よりも短い長さで突出す
るクラッドを有するレンズ部を形成することを特徴とす
る。
【００１１】本発明のレンズ付き石英系光ファイバの製
造に際しては、まず、つぎのような光ファイバが用意さ
れる。コアは、フッ酸とフッ化アンモニウムの混合溶液
によるエッチング速度が後述するクラッドに比べて相対
に小さく、かつ、その屈折率は相対的に高い石英系ガラ
スで構成されている。具体的には、純粋石英にゲルマニ
ウムがドープされている石英系ガラスであることが好ま
しい。
造に際しては、まず、つぎのような光ファイバが用意さ
れる。コアは、フッ酸とフッ化アンモニウムの混合溶液
によるエッチング速度が後述するクラッドに比べて相対
に小さく、かつ、その屈折率は相対的に高い石英系ガラ
スで構成されている。具体的には、純粋石英にゲルマニ
ウムがドープされている石英系ガラスであることが好ま
しい。
【００１２】このコアの外周を被覆するクラッドは、前
記したコアよりも上記の混合溶液によるエッチング速度
が大きく、かつ、屈折率は小さい石英系ガラスで構成さ
れている。この場合、外側に位置するクラッドの部分ほ
ど、その混合溶液によるエッチング速度が小さい石英系
ガラスで構成される。例えば、クラッドのうち、ガラス
Ａのコアを直接被覆するある厚みの部分を純粋石英にゲ
ルマニウムとフッ素を一緒にドープした石英系ガラス
（ガラスＢ）で構成して第１クラッド部とし、その層の
外側に位置するクラッドの部分を純粋石英またはこれに
フッ素をドープした石英系ガラス（ガラスＣ）で構成し
て第２クラッド部とした２層構造を形成し、混合溶液に
よるエッチング速度が、光ファイバの断面で段階的（こ
の場合は２段階）に変化するようにすればよい。
記したコアよりも上記の混合溶液によるエッチング速度
が大きく、かつ、屈折率は小さい石英系ガラスで構成さ
れている。この場合、外側に位置するクラッドの部分ほ
ど、その混合溶液によるエッチング速度が小さい石英系
ガラスで構成される。例えば、クラッドのうち、ガラス
Ａのコアを直接被覆するある厚みの部分を純粋石英にゲ
ルマニウムとフッ素を一緒にドープした石英系ガラス
（ガラスＢ）で構成して第１クラッド部とし、その層の
外側に位置するクラッドの部分を純粋石英またはこれに
フッ素をドープした石英系ガラス（ガラスＣ）で構成し
て第２クラッド部とした２層構造を形成し、混合溶液に
よるエッチング速度が、光ファイバの断面で段階的（こ
の場合は２段階）に変化するようにすればよい。
【００１３】また、この段階的なクラッドの形成は、上
記した２段階に限定されるものではなく、外側にいくほ
どエッチング速度が大きくなる石英系ガラスを複数種用
いることにより、多段階で形成してもよい。また、上記
した第１クラッド部の形成時に、純粋石英にドープする
ゲルマニウムとフッ素の共ドープ量を外側にいくほど多
くなるように連続的に変化させると、後述するエッチン
グ時には、これらドーパントの分布に基づいてエッチン
グ速度が径方向で連続的に変化するようになるので、コ
アとクラッドとの境界部分をある厚みに亘って連続的に
滑らかな面にすることができる。
記した２段階に限定されるものではなく、外側にいくほ
どエッチング速度が大きくなる石英系ガラスを複数種用
いることにより、多段階で形成してもよい。また、上記
した第１クラッド部の形成時に、純粋石英にドープする
ゲルマニウムとフッ素の共ドープ量を外側にいくほど多
くなるように連続的に変化させると、後述するエッチン
グ時には、これらドーパントの分布に基づいてエッチン
グ速度が径方向で連続的に変化するようになるので、コ
アとクラッドとの境界部分をある厚みに亘って連続的に
滑らかな面にすることができる。
【００１４】このような断面構造を有する光ファイバを
切断し、その端面の部分をエッチング溶液に所望の時間
浸漬する。端面部分においては、コア，クラッドがエッ
チングされる。このとき、コアのエッチング速度は最も
遅く、端面の外側にいくほどエッチングは早く進む。そ
の結果、端面の中央には最も長い突出長でコアが残留
し、外側にいくほど突出長が短くなっていくクラッドが
残留する。
切断し、その端面の部分をエッチング溶液に所望の時間
浸漬する。端面部分においては、コア，クラッドがエッ
チングされる。このとき、コアのエッチング速度は最も
遅く、端面の外側にいくほどエッチングは早く進む。そ
の結果、端面の中央には最も長い突出長でコアが残留
し、外側にいくほど突出長が短くなっていくクラッドが
残留する。
【００１５】例えば、前記した第１クラッドと第２クラ
ッドを有する光ファイバの端面は、図５で示したよう
に、最も突出した円錐台形状のコア１、その外側にコア
の突出長より短い長さで突出するある厚みの第１クラッ
ド部２ａ、そしてその外側に位置する第２クラッド部２
ｂから成り、全体が階段の円錐台形状になる。この端面
は、このままの状態でもレンズ部として機能することが
可能であるが、更に、例えばこの階段状端面にレーザビ
ームを照射して加熱溶融すれば、図６で示したように、
端面全体を曲面形状にすることができる。すなわち、コ
ア１の頂部もエッジがとれて曲面になり、第１クラッド
２ａの部分は第２クラッド２ｂに連なる滑らかな曲面に
なり、図４で示した構造のレンズ部を製造することがで
きる。
ッドを有する光ファイバの端面は、図５で示したよう
に、最も突出した円錐台形状のコア１、その外側にコア
の突出長より短い長さで突出するある厚みの第１クラッ
ド部２ａ、そしてその外側に位置する第２クラッド部２
ｂから成り、全体が階段の円錐台形状になる。この端面
は、このままの状態でもレンズ部として機能することが
可能であるが、更に、例えばこの階段状端面にレーザビ
ームを照射して加熱溶融すれば、図６で示したように、
端面全体を曲面形状にすることができる。すなわち、コ
ア１の頂部もエッジがとれて曲面になり、第１クラッド
２ａの部分は第２クラッド２ｂに連なる滑らかな曲面に
なり、図４で示した構造のレンズ部を製造することがで
きる。
【００１６】この端面エッチングに用いる溶液として
は、フッ酸とフッ化アンモニウムとの混合水溶液などを
あげることができる。このときの混合溶液の濃度は、コ
アやクラッドの組成などによって適宜に選定されるが、
概ね、１０〜５０モル％程度であればよい。
は、フッ酸とフッ化アンモニウムとの混合水溶液などを
あげることができる。このときの混合溶液の濃度は、コ
アやクラッドの組成などによって適宜に選定されるが、
概ね、１０〜５０モル％程度であればよい。
【００１７】
【発明の実施例】次のような石英径光ファイバを用意し
た。すなわち、コアは、直径が約６μｍであり、純粋石
英に比屈折率差で0.２５％相当のゲルマニウムがドープ
され、そして、このコアの外周には、単独では比屈折率
差がそれぞれ＋0.０５％相当，−0.１５％相当であるゲ
ルマニウムとフッ素を一緒に純粋石英にドープして比屈
折率差を純粋石英にドープして比屈折率差を純粋石英と
同等にした第１クラッドが厚み約４μｍで形成され、更
にその外周には、純粋石英に−0.１０％相当のフッ素が
ドープされている第２クラッドが厚み約３μｍで形成さ
れている。この石英系光ファイバは、コアとクラッドと
の比屈折率差が0.３５％のシングルモード構造のもので
ある。
た。すなわち、コアは、直径が約６μｍであり、純粋石
英に比屈折率差で0.２５％相当のゲルマニウムがドープ
され、そして、このコアの外周には、単独では比屈折率
差がそれぞれ＋0.０５％相当，−0.１５％相当であるゲ
ルマニウムとフッ素を一緒に純粋石英にドープして比屈
折率差を純粋石英にドープして比屈折率差を純粋石英と
同等にした第１クラッドが厚み約４μｍで形成され、更
にその外周には、純粋石英に−0.１０％相当のフッ素が
ドープされている第２クラッドが厚み約３μｍで形成さ
れている。この石英系光ファイバは、コアとクラッドと
の比屈折率差が0.３５％のシングルモード構造のもので
ある。
【００１８】この石英系光ファイバを長手方向と直角に
切断し、その端面をフッ酸とフッ化アンモニウムとの混
合水溶液（混合体積比、１：４）に１５分間浸漬した。
端面は、図５で示したような形状になった。第２クラッ
ド部２ｂの端面を基準にして、コア１の突出長は６μ
ｍ，第１クラッド部２ａの突出長は３μｍであった。こ
れを試料１とする。
切断し、その端面をフッ酸とフッ化アンモニウムとの混
合水溶液（混合体積比、１：４）に１５分間浸漬した。
端面は、図５で示したような形状になった。第２クラッ
ド部２ｂの端面を基準にして、コア１の突出長は６μ
ｍ，第１クラッド部２ａの突出長は３μｍであった。こ
れを試料１とする。
【００１９】ついで、この試料１の端面に、炭酸ガスレ
ーザを照射して、図６で示したように端面を曲面形状に
した。、これを試料２とする。比較のために、上記した
第１クラッド部を形成することなく、上記コア１の外周
に上記組成の第２クラッド部２ｂが全体のクラッドにな
っている石英系光ファイバの端面を上記混合水溶液に浸
漬して、図７で示したような構造の端面にした。これを
試料３とする。そしてこの試料３の端面に炭酸ガスレー
ザを照射して、図８で示したように、突出コアを曲面形
状にした。これを試料４とする。
ーザを照射して、図６で示したように端面を曲面形状に
した。、これを試料２とする。比較のために、上記した
第１クラッド部を形成することなく、上記コア１の外周
に上記組成の第２クラッド部２ｂが全体のクラッドにな
っている石英系光ファイバの端面を上記混合水溶液に浸
漬して、図７で示したような構造の端面にした。これを
試料３とする。そしてこの試料３の端面に炭酸ガスレー
ザを照射して、図８で示したように、突出コアを曲面形
状にした。これを試料４とする。
【００２０】以上４種類の石英系光ファイバの端面と0.
９８μｍ用レーザダイオード（ＦＦＰが水平方向で１５
°，垂直方向で３５°，出力３０ｍＷ）との結合効率
を、光軸距離約３μｍで測定した。試料１では４０％，
試料２では５０％，試料３では２０％，試料４では２５
％であった。
９８μｍ用レーザダイオード（ＦＦＰが水平方向で１５
°，垂直方向で３５°，出力３０ｍＷ）との結合効率
を、光軸距離約３μｍで測定した。試料１では４０％，
試料２では５０％，試料３では２０％，試料４では２５
％であった。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明方
法によれば、半導体レーザとの結合効率が高いレンズ付
き石英系光ファイバを容易に製造することができる。こ
れは、エッチング溶液によるエッチング速度が異なる石
英系ガラスを適切に組み合わせて石英系光ファイバを製
造し、その端面にエッチング処理を施すことがもたらす
効果である。
法によれば、半導体レーザとの結合効率が高いレンズ付
き石英系光ファイバを容易に製造することができる。こ
れは、エッチング溶液によるエッチング速度が異なる石
英系ガラスを適切に組み合わせて石英系光ファイバを製
造し、その端面にエッチング処理を施すことがもたらす
効果である。
【図１】従来のレンズ付き石英系光ファイバのレンズ部
側を示す側面図である。
側を示す側面図である。
【図２】従来のレンズ付き石英系光ファイバのレンズ部
の他の例を示す側面図である。
の他の例を示す側面図である。
【図３】従来のレンズ付き光ファイバのレンズ部の別の
例を示す側面図である。
例を示す側面図である。
【図４】従来のレンズ付き石英系光ファイバのレンズ部
の更に別の例を示す側面図である。
の更に別の例を示す側面図である。
【図５】本発明のレンズ付き光ファイバのレンズ部の例
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図６】本発明のレンズ付き光ファイバのレンズ部の他
の例を示す側面図である。
の例を示す側面図である。
【図７】比較例であるレンズ付き光ファイバのレンズ部
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図８】別の比較例であるレンズ付き光ファイバのレン
ズ部を示す側面図である。
ズ部を示す側面図である。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１２月２８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記した目
的を達成するために鋭意研究を重ねる過程で、ゲルマニ
ウムを純粋石英にドープした石英系ガラス（ガラスＡと
いう）と、ゲルマニウムとフッ素を純粋石英に一緒にド
ープした石英系ガラス（ガラスＢという）と、純粋石英
またはそれにフッ素をドープした石英系ガラス（ガラス
Ｃという）との屈折率の大小を比較すると、ガラスＡ＞
ガラスＢ〜ガラスＣの順であり、またこれら石英系ガラ
スのフッ酸溶液によるエッチング速度は、ガラスＡ＜ガ
ラスＢ＜ガラスＣの順で大きくなるという事実に着目し
た。
的を達成するために鋭意研究を重ねる過程で、ゲルマニ
ウムを純粋石英にドープした石英系ガラス（ガラスＡと
いう）と、ゲルマニウムとフッ素を純粋石英に一緒にド
ープした石英系ガラス（ガラスＢという）と、純粋石英
またはそれにフッ素をドープした石英系ガラス（ガラス
Ｃという）との屈折率の大小を比較すると、ガラスＡ＞
ガラスＢ〜ガラスＣの順であり、またこれら石英系ガラ
スのフッ酸溶液によるエッチング速度は、ガラスＡ＜ガ
ラスＢ＜ガラスＣの順で大きくなるという事実に着目し
た。
Claims (6)
- 【請求項１】 突出するコアと外側にいくほど前記コア
の突出長より短い長さで突出するクラッドとを有するレ
ンズ部を端面に備えていることを特徴とするレンズ付き
石英系光ファイバ。 - 【請求項２】 端面に突出するコアと、前記コアの外側
に配置され、前記コアの突出長より短い長さで突出する
第１クラッド部と、前記第１クラッド部の外側に配置さ
れた第２クラッド部から成る請求項１のレンズ付き石英
系光ファイバ。 - 【請求項３】 前記コアが純粋石英にゲルマニウムをド
ープして成り、前記第１クラッド部が純粋石英にゲルマ
ニウムとフッ素を一緒にドープして成り、前記第２クラ
ッド部が純粋石英またはそれにフッ素をドープして成る
請求項２のレンズ付き石英系光ファイバ。 - 【請求項４】 前記レンズ部が曲面形状になっている請
求項１〜請求項３のレンズ付き石英系光ファイバ。 - 【請求項５】 エッチング溶液によるエッチング速度が
相対的に最小である石英系ガラスで形成されているコア
と、外側にいくほどエッチング溶液によるエッチング速
度が相対的に増大していく石英系ガラスで形成されてい
るクラッドとから成る石英系光ファイバの端面をエッチ
ング溶液に浸漬することにより、前記端面に、突出する
コアと外側にいくほど前記コアの突出長よりも短い長さ
で突出するクラッドを有するレンズ部を形成することを
特徴とするレンズ付き石英系光ファイバの製造方法。 - 【請求項６】 前記レンズ部にレーザを照射して曲面形
状にする請求項５のレンズ付き石英系光ファイバの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07342093A JP3282874B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | レンズ付き石英系光ファイバとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07342093A JP3282874B2 (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | レンズ付き石英系光ファイバとその製造方法 |
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|---|---|---|---|---|
| EP0971252A2 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-12 | Mitsubishi Chemical Corporation | Laser diode module |
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| CN103676017A (zh) * | 2012-09-18 | 2014-03-26 | 富士通株式会社 | 制造光连接器的方法和光连接器 |
| JP2015099329A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路、光電気混載基板および電子機器 |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP07342093A patent/JP3282874B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0971252A2 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-12 | Mitsubishi Chemical Corporation | Laser diode module |
| EP0971252A3 (en) * | 1998-07-10 | 2001-10-04 | Mitsubishi Chemical Corporation | Laser diode module |
| JP2006221159A (ja) * | 2005-01-17 | 2006-08-24 | Murata Mfg Co Ltd | 光送信モジュールおよびその製造方法 |
| CN103676017A (zh) * | 2012-09-18 | 2014-03-26 | 富士通株式会社 | 制造光连接器的方法和光连接器 |
| JP2015099329A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 住友ベークライト株式会社 | 光導波路、光電気混載基板および電子機器 |
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