JPH0628915A - 導電性高分子材料からなる線材及び該線材を用いたコイル - Google Patents
導電性高分子材料からなる線材及び該線材を用いたコイルInfo
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- JPH0628915A JPH0628915A JP20444792A JP20444792A JPH0628915A JP H0628915 A JPH0628915 A JP H0628915A JP 20444792 A JP20444792 A JP 20444792A JP 20444792 A JP20444792 A JP 20444792A JP H0628915 A JPH0628915 A JP H0628915A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高真空中での使用に耐え得る導電性高分子材
料からなる線材及び該線材を用いたコイルを提供する。 【構成】 導電性高分子材料からなる芯材１と、芯材１
の外周に配置され、芯材１と同一の導電性高分子材料に
脱ドーピング処理が施され絶縁体に戻された絶縁表層２
とからなる。
料からなる線材及び該線材を用いたコイルを提供する。 【構成】 導電性高分子材料からなる芯材１と、芯材１
の外周に配置され、芯材１と同一の導電性高分子材料に
脱ドーピング処理が施され絶縁体に戻された絶縁表層２
とからなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は導電性高分子材料からな
る線材及び該線材を用いたコイルに係り、特に高真空な
どの高度の清浄度雰囲気中で使用する磁気軸受装置等に
好適な導電性材料からなる線材及び該線材を用いた軸受
コイル及びセンサコイル等のコイルに関するものであ
る。
る線材及び該線材を用いたコイルに係り、特に高真空な
どの高度の清浄度雰囲気中で使用する磁気軸受装置等に
好適な導電性材料からなる線材及び該線材を用いた軸受
コイル及びセンサコイル等のコイルに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】ターボ機械等の回転軸を磁気的に非接触
で支持する磁気軸受装置の良く知られた構造は、回転軸
に固着した磁性材料の回転子ヨークと、該回転子ヨーク
から微小間隙を設けてケーシングに固定され且つ起磁力
を発生させる軸受用コイルを備えた電磁石固定子と、回
転軸とケーシング間の相対変位を測定するセンサコイル
を有する変位センサとを具備するものであり、該変位セ
ンサの出力を基に前記回転子ヨークと前記電磁石固定子
の間に作用する磁気力を制御して回転軸を磁気的に非接
触で支持するようになっている。
で支持する磁気軸受装置の良く知られた構造は、回転軸
に固着した磁性材料の回転子ヨークと、該回転子ヨーク
から微小間隙を設けてケーシングに固定され且つ起磁力
を発生させる軸受用コイルを備えた電磁石固定子と、回
転軸とケーシング間の相対変位を測定するセンサコイル
を有する変位センサとを具備するものであり、該変位セ
ンサの出力を基に前記回転子ヨークと前記電磁石固定子
の間に作用する磁気力を制御して回転軸を磁気的に非接
触で支持するようになっている。
【０００３】斯かる磁気軸受装置は、回転部分が非接触
状態を維持しているので、接触部での塵埃発生の恐れが
無く、そのため、塵埃の発生を極端にきらう半導体製造
設備等において、広く利用されている。また、ターボ機
械等の回転機械に限らず、直線型（リニア）磁気軸受を
利用した磁気浮上搬送装置等も、搬送路での塵埃発生の
恐れが無いことから、半導体製造設備等の高清浄度を必
要とされる場所で、広く利用されている。
状態を維持しているので、接触部での塵埃発生の恐れが
無く、そのため、塵埃の発生を極端にきらう半導体製造
設備等において、広く利用されている。また、ターボ機
械等の回転機械に限らず、直線型（リニア）磁気軸受を
利用した磁気浮上搬送装置等も、搬送路での塵埃発生の
恐れが無いことから、半導体製造設備等の高清浄度を必
要とされる場所で、広く利用されている。
【０００４】そして、上記磁気軸受装置の電磁石固定子
に設けられる軸受用コイル、変位センサに用いられるセ
ンサコイル等は、従来、例えばエナメル線に代表される
導電性線材を用いたものが一般的である。また、信号を
伝送するための配線用線材も同様にエナメル線に代表さ
れる導電性線材を使用している。
に設けられる軸受用コイル、変位センサに用いられるセ
ンサコイル等は、従来、例えばエナメル線に代表される
導電性線材を用いたものが一般的である。また、信号を
伝送するための配線用線材も同様にエナメル線に代表さ
れる導電性線材を使用している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記エ
ナメル線に代表される導電性線材は、金属からなる芯材
に絶縁被膜を被着させたものからなり、超高真空中で使
用すると、絶縁皮膜の劣化やガス放出要因となり、高真
空状態の高度な清浄度の環境を汚染するという問題があ
った。
ナメル線に代表される導電性線材は、金属からなる芯材
に絶縁被膜を被着させたものからなり、超高真空中で使
用すると、絶縁皮膜の劣化やガス放出要因となり、高真
空状態の高度な清浄度の環境を汚染するという問題があ
った。
【０００６】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、上記問題点を除去し、超高真空中での使用に耐え得
る導電性高分子材料からなる線材及び該線材を用いたコ
イルを提供することを目的とする。
で、上記問題点を除去し、超高真空中での使用に耐え得
る導電性高分子材料からなる線材及び該線材を用いたコ
イルを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、本発明の導電性高分子材料からなる線材は、導電性
高分子材料からなる芯材と、該芯材の外周に配置され、
該芯材と同一の導電性高分子材料に脱ドーピング処理が
施され絶縁体に戻された絶縁表層とからなることを特徴
とするものである。
め、本発明の導電性高分子材料からなる線材は、導電性
高分子材料からなる芯材と、該芯材の外周に配置され、
該芯材と同一の導電性高分子材料に脱ドーピング処理が
施され絶縁体に戻された絶縁表層とからなることを特徴
とするものである。
【０００８】また、本発明のコイルは、請求項１記載の
線材を巻回することにより形成したことを特徴とするも
のである。
線材を巻回することにより形成したことを特徴とするも
のである。
【０００９】
【作用】前述した構成からなる本発明によれば、導電性
高分子材料からなる芯材は、ドーピング処理等により金
属並みの導電率となり、従来の金属からなる芯材の役割
を果たす。また導電性高分子材料を脱ドーピング処理す
ることより絶縁体に戻された絶縁表層は、芯材に対して
絶縁皮膜としての役割を果たす。
高分子材料からなる芯材は、ドーピング処理等により金
属並みの導電率となり、従来の金属からなる芯材の役割
を果たす。また導電性高分子材料を脱ドーピング処理す
ることより絶縁体に戻された絶縁表層は、芯材に対して
絶縁皮膜としての役割を果たす。
【００１０】そして、芯材及び絶縁表層は、共に同一の
導電性高分子材料からなり、分子構造は芯材及び絶縁表
層間で連続的に共通となっている。そして、芯材及び絶
縁表層の相違は、単に脱ドーピング処理による僅かなエ
ネルギー状態の変化のみである。従って、芯材と絶縁表
層間の物理的な結合は強く、線材及びこの線材を使用し
たコイルが高真空中に置かれても、絶縁表層の劣化やガ
ス放出等の問題が生じない。したがって、例えば、磁気
軸受装置の配線用線材やコイルとして用いて、高真空な
どの高度な清浄度環境を汚染するという問題を防止する
ことができる。
導電性高分子材料からなり、分子構造は芯材及び絶縁表
層間で連続的に共通となっている。そして、芯材及び絶
縁表層の相違は、単に脱ドーピング処理による僅かなエ
ネルギー状態の変化のみである。従って、芯材と絶縁表
層間の物理的な結合は強く、線材及びこの線材を使用し
たコイルが高真空中に置かれても、絶縁表層の劣化やガ
ス放出等の問題が生じない。したがって、例えば、磁気
軸受装置の配線用線材やコイルとして用いて、高真空な
どの高度な清浄度環境を汚染するという問題を防止する
ことができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明に係る導電性高分子材料からなる
線材を示す断面図である。線材は図１に示すように、高
分子材料にドーピング処理を施して形成した導電性高分
子材料からなる芯材１と、この芯材１の外周に配置さ
れ、芯材と同一の導電性高分子材料に脱ドーピング処理
が施され、絶縁体に戻された絶縁表層２とからなる。
明する。図１は本発明に係る導電性高分子材料からなる
線材を示す断面図である。線材は図１に示すように、高
分子材料にドーピング処理を施して形成した導電性高分
子材料からなる芯材１と、この芯材１の外周に配置さ
れ、芯材と同一の導電性高分子材料に脱ドーピング処理
が施され、絶縁体に戻された絶縁表層２とからなる。
【００１２】次に本発明の線材として適用可能な高分子
材料（ポリマー）とドーパントとを以下の表に列挙す
る。 ──────────────────────────────────── ポリマー ドーパント ──────────────────────────────────── ポリアセチレン Ｈ2 ＳＯ4 Ｉ2 ──────────────────────────────────── ポリパラフェニレン ＡｓＦ5 ＡｓＦ6 - ──────────────────────────────────── ポリフェニレンビニレン Ｈ2 ＳＯ4 ──────────────────────────────────── ポリチオフェン ＣｌＯ4 - ──────────────────────────────────── ポリ（３−アルキルチオフェン） ＣｌＯ4 - ──────────────────────────────────── ポリアニリン ＨＣｌ ──────────────────────────────────── その他の高分子材料としてポリピロール、ポリイソチア
ナフテン等が本発明の線材に適用可能である。
材料（ポリマー）とドーパントとを以下の表に列挙す
る。 ──────────────────────────────────── ポリマー ドーパント ──────────────────────────────────── ポリアセチレン Ｈ2 ＳＯ4 Ｉ2 ──────────────────────────────────── ポリパラフェニレン ＡｓＦ5 ＡｓＦ6 - ──────────────────────────────────── ポリフェニレンビニレン Ｈ2 ＳＯ4 ──────────────────────────────────── ポリチオフェン ＣｌＯ4 - ──────────────────────────────────── ポリ（３−アルキルチオフェン） ＣｌＯ4 - ──────────────────────────────────── ポリアニリン ＨＣｌ ──────────────────────────────────── その他の高分子材料としてポリピロール、ポリイソチア
ナフテン等が本発明の線材に適用可能である。
【００１３】本発明によれば、線材を図１に示す構造と
することにより、導電性高分子材料からなる芯材は、ド
ーピング処理により金属並みの導電率となり、従来の金
属材料の導電性材料からなる線材と同等の役割を果た
す。そして、導電性高分子材料を脱ドーピング処理によ
り絶縁体に戻された絶縁表層は、芯材に対して絶縁皮膜
としての役割を果たす。
することにより、導電性高分子材料からなる芯材は、ド
ーピング処理により金属並みの導電率となり、従来の金
属材料の導電性材料からなる線材と同等の役割を果た
す。そして、導電性高分子材料を脱ドーピング処理によ
り絶縁体に戻された絶縁表層は、芯材に対して絶縁皮膜
としての役割を果たす。
【００１４】図２は本発明に係る線材を用いて構成した
高真空用の磁気軸受装置用電磁石固定子の構造を示す斜
視図である。図示するように、珪素鋼板を積層してなる
環状の磁気軸受ヨーク６の磁極用凸部７の外周に図１に
示す線材を巻いて軸受用コイル８を形成している。
高真空用の磁気軸受装置用電磁石固定子の構造を示す斜
視図である。図示するように、珪素鋼板を積層してなる
環状の磁気軸受ヨーク６の磁極用凸部７の外周に図１に
示す線材を巻いて軸受用コイル８を形成している。
【００１５】図３は本発明に係る線材を用いて構成した
高真空用の磁気軸受装置用変位センサのセンサコイルを
示す斜視図である。図示するように、センサコイル１０
は、カップ状のセンサ用コアの中央部に形成された凸部
の外周に、図１に示す線材を巻回して形成したものであ
る。
高真空用の磁気軸受装置用変位センサのセンサコイルを
示す斜視図である。図示するように、センサコイル１０
は、カップ状のセンサ用コアの中央部に形成された凸部
の外周に、図１に示す線材を巻回して形成したものであ
る。
【００１６】図４は上記構造の軸受コイル及びセンサコ
イルを用いる高真空用磁気軸受装置の構造を示す図であ
る。図示するように、高周波モータ２１の回転子軸２２
が２個のラジアル磁気軸受２３，２４と１個のスラスト
磁気軸受２５により磁気的に非接触で回転自在に支持さ
れるようになっている。ラジアル磁気軸受２３，２４の
磁気力は回転子軸２２とケーシング２６間のラジアル方
向の相対変位を測定するラジアル変位センサ２７，２８
の出力に基づいて制御されるようになっており、スラス
ト磁気軸受２５の磁気力は回転子軸２２とケーシング２
６間のスラスト方向の相対変位を測定するスラスト変位
センサ２９の出力に基づいて制御されるようになってい
る。
イルを用いる高真空用磁気軸受装置の構造を示す図であ
る。図示するように、高周波モータ２１の回転子軸２２
が２個のラジアル磁気軸受２３，２４と１個のスラスト
磁気軸受２５により磁気的に非接触で回転自在に支持さ
れるようになっている。ラジアル磁気軸受２３，２４の
磁気力は回転子軸２２とケーシング２６間のラジアル方
向の相対変位を測定するラジアル変位センサ２７，２８
の出力に基づいて制御されるようになっており、スラス
ト磁気軸受２５の磁気力は回転子軸２２とケーシング２
６間のスラスト方向の相対変位を測定するスラスト変位
センサ２９の出力に基づいて制御されるようになってい
る。
【００１７】ラジアル磁気軸受２３，２４はそれぞれ回
転子軸２２に固定された珪素鋼板を積層してなる磁性材
料からなる回転子ヨーク２３ａ，２４ａと、該回転子ヨ
ーク２３ａ，２４ａから微小間隙を設けてケーシング２
６に固定され且つ起磁力を発生させる軸受コイル２３
ｂ，２４ｂを備えた電磁石固定子２３ｃ，２４ｃからな
る。またスラスト磁気軸受２５は回転子軸２２に固定さ
れた磁性材料からなる回転子ヨーク２５ａと該回転子ヨ
ーク２５ａから微小間隙を設けてケーシング２６に固定
され且つ起磁力を発生させる軸受用コイル２５ｂ，２５
ｂを備えた電磁石固定子２５ｃ，２５ｃからなる。
転子軸２２に固定された珪素鋼板を積層してなる磁性材
料からなる回転子ヨーク２３ａ，２４ａと、該回転子ヨ
ーク２３ａ，２４ａから微小間隙を設けてケーシング２
６に固定され且つ起磁力を発生させる軸受コイル２３
ｂ，２４ｂを備えた電磁石固定子２３ｃ，２４ｃからな
る。またスラスト磁気軸受２５は回転子軸２２に固定さ
れた磁性材料からなる回転子ヨーク２５ａと該回転子ヨ
ーク２５ａから微小間隙を設けてケーシング２６に固定
され且つ起磁力を発生させる軸受用コイル２５ｂ，２５
ｂを備えた電磁石固定子２５ｃ，２５ｃからなる。
【００１８】また、ラジアル変位センサ２７，２８はそ
れぞれセンサ用コア２７ｂ，２８ｂとセンサコイル２７
ａ．２８ａからなり、またスラスト変位センサ２９はセ
ンサ用コア２９ｂとセンサコイル２９ａからなる。
れぞれセンサ用コア２７ｂ，２８ｂとセンサコイル２７
ａ．２８ａからなり、またスラスト変位センサ２９はセ
ンサ用コア２９ｂとセンサコイル２９ａからなる。
【００１９】上記構造の高真空用磁気軸受装置におい
て、ラジアル磁気軸受２３，２４の軸受コイル２３ｂ，
２４ｂに図２に示す軸受コイル８を用い、スラスト磁気
軸受２５の軸受コイル２５ｂにも形状は異なるが、図２
に示す軸受コイル８と略同一のものを用いる。また、ラ
ジアル変位センサ２７，２８のセンサコイル２７ａ，２
８ａに図３に示すセンサコイル１０を用いる。またスラ
スト変位センサ２９のセンサコイル２９ａにも図３に示
すセンサコイル１０を用いる。これにより、上記構造の
磁気軸受装置は高真空雰囲気中で使用するのに好適な磁
気軸受装置となる。
て、ラジアル磁気軸受２３，２４の軸受コイル２３ｂ，
２４ｂに図２に示す軸受コイル８を用い、スラスト磁気
軸受２５の軸受コイル２５ｂにも形状は異なるが、図２
に示す軸受コイル８と略同一のものを用いる。また、ラ
ジアル変位センサ２７，２８のセンサコイル２７ａ，２
８ａに図３に示すセンサコイル１０を用いる。またスラ
スト変位センサ２９のセンサコイル２９ａにも図３に示
すセンサコイル１０を用いる。これにより、上記構造の
磁気軸受装置は高真空雰囲気中で使用するのに好適な磁
気軸受装置となる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の線材は、
導電性高分子材料を用いた芯材と、この芯材の表層に脱
ドーピング処理を施すことにより形成した絶縁表層とか
らなる。従って、本発明の線材は高分子材料のみで構成
されているため、高真空中においても絶縁表層の劣化や
ガス放出等の問題が生じない。よって、高真空などの高
清浄度環境下で用いられるのに好適な線材及びコイルが
実現された。
導電性高分子材料を用いた芯材と、この芯材の表層に脱
ドーピング処理を施すことにより形成した絶縁表層とか
らなる。従って、本発明の線材は高分子材料のみで構成
されているため、高真空中においても絶縁表層の劣化や
ガス放出等の問題が生じない。よって、高真空などの高
清浄度環境下で用いられるのに好適な線材及びコイルが
実現された。
【図１】本発明に係る導電性高分子材料からなる線材の
一実施例を示す断面図である。
一実施例を示す断面図である。
【図２】本発明に係るコイルの一実施例である高真空用
の磁気軸受装置用電磁石固定子構造を示す斜視図であ
る。
の磁気軸受装置用電磁石固定子構造を示す斜視図であ
る。
【図３】本発明に係るコイルの他の実施例である高真空
用の磁気軸受装置用変位センサを示す斜視図である。
用の磁気軸受装置用変位センサを示す斜視図である。
【図４】本発明の軸受コイル及びセンサコイルを用いる
高真空用の磁気軸受装置の構造を示す断面図である。
高真空用の磁気軸受装置の構造を示す断面図である。
１ 芯材 ２ 絶縁表層 ６ 磁気軸受ヨーク ７ 磁極用凸部 ８ 軸受コイル ９ センサ用コア １０ センサコイル
Claims (2)
- 【請求項１】 導電性高分子材料からなる芯材と、該芯
材の外周に配置され、該芯材と同一の導電性高分子材料
に脱ドーピング処理が施され絶縁体に戻された絶縁表層
とからなることを特徴とする導電性高分子材料からなる
線材。 - 【請求項２】 請求項１記載の線材を巻回することによ
り形成したことを特徴とするコイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20444792A JPH0628915A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | 導電性高分子材料からなる線材及び該線材を用いたコイル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20444792A JPH0628915A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | 導電性高分子材料からなる線材及び該線材を用いたコイル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0628915A true JPH0628915A (ja) | 1994-02-04 |
Family
ID=16490682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20444792A Pending JPH0628915A (ja) | 1992-07-08 | 1992-07-08 | 導電性高分子材料からなる線材及び該線材を用いたコイル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0628915A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1987004184A1 (en) * | 1985-12-27 | 1987-07-16 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Process for granulating enzyme |
| WO2007045226A1 (de) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Webasto Ag | Induktivität mit leitfähigem kunststoff |
| JP2008500495A (ja) * | 2004-05-21 | 2008-01-10 | クローズ，ウェイン，エフ． | 水の動きを介して発電する装置及びシステム |
| DE102008024888A1 (de) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH | Induktionsheizeinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Induktionsheizeinrichtung |
-
1992
- 1992-07-08 JP JP20444792A patent/JPH0628915A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1987004184A1 (en) * | 1985-12-27 | 1987-07-16 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Process for granulating enzyme |
| JP2008500495A (ja) * | 2004-05-21 | 2008-01-10 | クローズ，ウェイン，エフ． | 水の動きを介して発電する装置及びシステム |
| WO2007045226A1 (de) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Webasto Ag | Induktivität mit leitfähigem kunststoff |
| DE102008024888A1 (de) * | 2008-05-16 | 2009-11-26 | E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH | Induktionsheizeinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Induktionsheizeinrichtung |
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