JPH06288929A - ワーク表面の検査装置 - Google Patents

ワーク表面の検査装置

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JPH06288929A
JPH06288929A JP7355093A JP7355093A JPH06288929A JP H06288929 A JPH06288929 A JP H06288929A JP 7355093 A JP7355093 A JP 7355093A JP 7355093 A JP7355093 A JP 7355093A JP H06288929 A JPH06288929 A JP H06288929A
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JP
Japan
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work
light projecting
peripheral surface
camera
light
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Pending
Application number
JP7355093A
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English (en)
Inventor
Kiyoshi Inoue
清 井上
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Canon Machinery Inc
Original Assignee
Nichiden Machinery Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 投光系(5)を傾けたり受台(2)を回転させ
たりすることなく、検査対象ワーク(1)の内周面(1
A)や外周面(1B)の傷や汚れを検出する。 【構成】 カメラ(3)および照明用光源(4)からなる
投光系(5)の下方に、検査対象ワーク(1)を上下動可
能に支持する受台(2)と、円錐状の反射鏡(6)および
/または逆円錐台状の反射鏡(6')からなる受光系
(7)を配設する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はワーク表面の検査装置に
関するものであり、詳細には、小型電子製品の構成部材
等に使用される小口径の円筒状ワークの内周面や外周面
に傷が発生したり汚れが付着している場合に、これらの
品質欠点を光学的に検出するための検査装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】小型電子製品の構成部材等に使用される
小口径の円筒状ワーク(1)は、使用前にその内周面や
外周面、あるいは端面部分に傷が発生したり汚れが付着
している場合があるので、製品への組込みに先立って1
個ずつ検査して後続工程へ供給している。図2は、傷や
汚れの検査装置の従来例を示す一部破断正面図で、受台
(2)上に検査対象ワーク(1)を位置決め固定し、受台
(2)を回転させながらカメラ(3)および照明用光源
(4)からなる投光系(5)から光軸の方向を変化させな
がら光線Lを照射することによって、検査対象ワーク
(1)の内周面(1A)および外周面(1B)に傷や汚れが
有るか否かを検出している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】検査対象ワーク(1)
の内周面(1A)の傷や汚れを検出しようとするとき、図
2に示す従来装置では、検査対象ワーク(1)の軸線に
対して投光系(5)を傾け、受台(2)毎検査対象ワーク
(1)を水平方向に回転させながら斜め上方から内周面
(1A)に光線Lを照射していた。このような検査方法を
採用した場合、検出精度を所定の水準に維持するために
は、投光系(5)の傾斜角θを正確に設定する必要があ
り、投光系(5)の駆動機構が大幅に複雑化してしま
う。
【0004】また、投光系(5)から投射された光線L
がワーク(1)の内周面(1A)上の所望の位置に入射す
るように、投光系(5)の傾斜との同調下に受台(2)を
回転させる必要があり、同調精度の不足に起因して傷や
汚れの検出能力が損われる場合が少なくなかった。更
に、検査対象ワーク(1)の高さ方向寸法が口径寸法に
比較して大きい場合、投光系(5)の傾斜角θを大き
く、例えば60゜以上に設定することは可成り困難で、
操作性の面からも大きな制約が認められていた。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題の解決手段とし
て本発明は、円筒状ワークの内周面の汚れや傷を光学的
に検出する装置であって、カメラおよび照明用光源から
なる投光系と、この投光系の投受光経路上に配置された
受光系から構成され、当該受光系が、積載された検査対
象ワークを上下動可能に支持する受台と、この受台上に
位置決め固定された上記検査対象ワークの内周面に対し
て所定の傾斜角で鏡面を対向させた円錐状の反射鏡から
構成されていることを特徴とするワーク表面の検査装置
を提供するものである。
【0006】また、ワークの外周面の検査装置として
は、上記円錐状の反射鏡の代りに傾斜角で鏡面を対向さ
せた逆円錐台状の反射鏡を使用する。
【0007】
【作用】カメラおよび照明用光源からなる投光系から検
査用の光線を投射し、この光線を円筒状ワークの内側に
配置された円錐状の反射鏡で反射させ、受台上に位置決
め固定されている円筒状ワークの内周面に入射させた
後、反射光線を投光系にフィードバックすることによっ
て、傷や汚れの有無を検出する。円筒状ワークの外周面
を検出するときには、上記円錐状の反射鏡の代りに、当
該円筒状ワークを囲繞するように配置された逆円錐台状
の反射鏡を使用する。
【0008】
【実施例】本発明の具体例を図1を参照しながら説明す
る。尚、以下の説明において、従来技術を示す図2と同
一の構成部材は同一の参照番号で表示し、重複事項に関
しては説明を省略する。
【0009】先ず、円筒状ワーク(1)の内周面(1A)
に傷や汚れが有るか否かを検出する際には、受光系
(7)として図1(A)および(B)に示すように、受
台(2)上に位置決め固定された検査対象ワーク(1)の
内周面(1A)に対して所定の傾斜角、例えば45゜の傾
斜角で鏡面(8)を対向させた円錐状の反射鏡(6)を使
用する。
【0010】検査に際しては、2値化カメラ(3)およ
び照明用光源、例えばリング照明器(4)からなる投光
系(5)から検査用の平行光線Lを投射し、この光線L
を円筒状ワーク(1)の内側に配置されている円錐状反
射鏡(6)の鏡面(8)で反射させ、受台(2)上に位置
決め固定されている上記円筒状ワーク(1)の内周面(1
A)に入射させる。平行光線Lは、円筒状ワーク(1)の
内周面(1A)に当って反射し、鏡面(8)から2値化カ
メラ(3)にフィードバックされる。円筒状ワーク(1)
の内周面(1A)に傷や汚れ等があると、黒色のスポット
として2値化カメラ(3)に記録される。内周面(1A)
に傷や汚れが無ければ、2値化カメラ(3)には白色の
画像が記録される。円筒状ワーク(1)は、受台(2)上
に位置決め固定状態で載置されているが、検査対象ワー
ク(1)の軸線方向に沿う高さ寸法、あるいは傷や汚れ
の付着部位によっては、受台(2)毎上下に動かし、平
行光線Lの入射位置を調節することも可能である。
【0011】尚、上記第1の具体例においては、2値化
カメラ(3)に記録される黒色スポットの焦点深度を考
慮し、円筒状ワーク(1)の内周面(1A)と対向する円
錐状反射鏡(6)の平坦な鏡面(8)が、その上端に90
゜の頂角を形成するように、即ち、内周面(1A)と上記
平坦な鏡面(8)との間に45゜の位相角が形成される
ように円錐状反射鏡(6)の全体構造を設計する。円錐
状反射鏡(6)の鏡面(8)は、当該鏡面の母線が直線と
なる平坦面に形成する場合が一般的であるが、検査対象
部位の特性に応じて凸状鏡面あるいは凹状鏡面に形成す
ることも可能である。
【0012】これに対し円筒状ワーク(1)の外周面(1
B)に傷や汚れが有るか否かを検出する際には、受光系
(7)として図1(C)に示すように、受台(2)上に位
置決め固定された検査対象ワーク(1)の外周面(1B)
に対して所定の傾斜角、例えば上記第1の具体例と同様
の45゜の傾斜角で鏡面(9)を対向させた逆円錐台状
の反射鏡(6')を使用する。逆円錐台状の反射鏡(6')
は、上記第1の具体例と反対に円筒状ワーク(1)の外
側に配置されているが、平行光線Lの投射および反射方
式は上記第1の具体例と同じである。
【0013】円錐状の反射鏡(6)と逆円錐台状の反射
鏡(6')を受光系(7)に使用した二つの具体例に基い
て本発明を説明したが、円筒状ワーク(1)の内周面(1
A)と外周面(1B)の傷や汚れを同時に検出するときに
は、上記円錐状の反射鏡(6)と逆円錐台状の反射鏡
(6')を併用する。
【0014】
【発明の効果】本発明によれば、受台を回転させること
なく、かつ、カメラと照明用光源からなる投光系を傾け
ることなく検査対象ワークの表面の傷や汚れを検出する
ことが可能となる。従って、ワーク欠点の検出能力が向
上するだけでなく、従来装置で問題とされていた投光系
の駆動機構の複雑化や、受台の回転と投光系の傾動との
同調不良等が略完全に回避される。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明装置の全体構造を例示する概念
図 (B)は本発明装置の第1の具体例を説明する受光系の
部分拡大正面図 (C)は本発明装置の第2の具体例を説明する受光系の
部分拡大正面図
【図2】従来装置の部分拡大正面図
【符号の説明】
1 検査対象ワーク(円筒状ワーク) 1A 検査対象ワークの内周面 1B 検査対象ワークの外周面 2 受台 3 カメラ(2値化カメラ) 4 照明用光源 5 投光系 6 円錐状反射鏡 6' 逆円錐台状反射鏡 7 受光系 8 鏡面 9 鏡面

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 円筒状ワークの内周面の汚れや傷を光学
    的に検出する装置であって、カメラおよび照明用光源か
    らなる投光系と、この投光系の投受光経路上に配置され
    た受光系から構成され、当該受光系が、積載された検査
    対象ワークを上下動可能に支持する受台と、この受台上
    に位置決め固定された上記検査対象ワークの内周面に対
    して所定の傾斜角で鏡面を対向させた円錐状の反射鏡か
    ら構成されていることを特徴とするワーク表面の検査装
    置。
  2. 【請求項2】 円筒状ワークの外周面の汚れや傷を光学
    的に検出する装置であって、カメラおよび照明用光源か
    らなる投光系と、この投光系の投受光経路上に配置され
    た受光系から構成され、当該受光系が、積載された検査
    対象ワークを上下動可能に支持する受台と、この受台上
    に位置決め固定された上記検査対象ワークの外周面に対
    して所定の傾斜角で鏡面を対向させた逆円錐台状の反射
    鏡から構成されていることを特徴とするワーク表面の検
    査装置。
  3. 【請求項3】 円筒状ワークの表面の汚れや傷を光学的
    に検出する装置であって、カメラおよび照明用光源から
    なる投光系と、この投光系の投受光経路上に配置された
    受光系から構成され、当該受光系が、積載された検査対
    象ワークを上下動可能に支持する受台と、この受台上に
    位置決め固定された上記検査対象ワークの内周面に対し
    て所定の傾斜角で鏡面を対向させた円錐状の反射鏡と、
    上記検査対象ワークの外周面に対して所定の傾斜角で鏡
    面を対向させた逆円錐台状の反射鏡から構成されている
    ことを特徴とするワーク表面の検査装置。
JP7355093A 1993-03-31 1993-03-31 ワーク表面の検査装置 Pending JPH06288929A (ja)

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Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20020716