JPH0627898Y2 - 高圧ガス容器弁 - Google Patents
高圧ガス容器弁Info
- Publication number
- JPH0627898Y2 JPH0627898Y2 JP1985181670U JP18167085U JPH0627898Y2 JP H0627898 Y2 JPH0627898 Y2 JP H0627898Y2 JP 1985181670 U JP1985181670 U JP 1985181670U JP 18167085 U JP18167085 U JP 18167085U JP H0627898 Y2 JPH0627898 Y2 JP H0627898Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- pressure gas
- spindle
- container
- valve seat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Safety Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はダイアフラム形式の高圧ガス容器弁に関し、特
に毒性、可燃性などの危険性を有する高圧ガスの容器に
取付け使用するに適した高圧ガス容器弁に関する。
に毒性、可燃性などの危険性を有する高圧ガスの容器に
取付け使用するに適した高圧ガス容器弁に関する。
（従来の技術） 半導体の製造に使用されるアルシン、ホスフイン、シラ
ンなど毒性、可燃性を有するガスは、通常、高圧ガスと
してボンベに収容し、このボンベの１本又は複数本を気
密性を有しかつ排気機能を具えた不燃性構造のボンベボ
ックスに収納し配管を介して使用場所に配送されるよう
にしている。
ンなど毒性、可燃性を有するガスは、通常、高圧ガスと
してボンベに収容し、このボンベの１本又は複数本を気
密性を有しかつ排気機能を具えた不燃性構造のボンベボ
ックスに収納し配管を介して使用場所に配送されるよう
にしている。
第２図は従来の高圧ガスボンベすなわち高圧ガス容器の
容器弁の一例としてダイアフラム形式の弁を示す。弁の
主要部材料としては黄銅またはステンレス鋼が使用され
ている。弁の開閉はハンドル１０を回転せしめることに
よってスピンドル９′を本体１′（これは図示しない高
圧ガス容器にねじこみ固定されている）およびグランド
ナット８′に対して上下動せしめ、ピース１４を介して
可撓性のダイアフラム７を上下動させる、容器側のガス
路１５内の圧力とばね５の張力によつて弁シート２及び
弁シート填物３が上方に動くことによって弁が開くよう
になっている。
容器弁の一例としてダイアフラム形式の弁を示す。弁の
主要部材料としては黄銅またはステンレス鋼が使用され
ている。弁の開閉はハンドル１０を回転せしめることに
よってスピンドル９′を本体１′（これは図示しない高
圧ガス容器にねじこみ固定されている）およびグランド
ナット８′に対して上下動せしめ、ピース１４を介して
可撓性のダイアフラム７を上下動させる、容器側のガス
路１５内の圧力とばね５の張力によつて弁シート２及び
弁シート填物３が上方に動くことによって弁が開くよう
になっている。
通常このような容器弁をつけた高圧ガスボンベはボンベ
ボックス内に収容され、ボンベボックス内には高圧ガス
ボンベの外、圧力調整弁、圧力計、切替弁、フイルタお
よび緊急遮断弁などが配管を介して設けられ、ガス洩れ
などの異常時には遠隔操作によりガスの供給を遮断する
ようにしている。
ボックス内に収容され、ボンベボックス内には高圧ガス
ボンベの外、圧力調整弁、圧力計、切替弁、フイルタお
よび緊急遮断弁などが配管を介して設けられ、ガス洩れ
などの異常時には遠隔操作によりガスの供給を遮断する
ようにしている。
通常、緊急遮断弁は高圧ガスボンベとは別個に配管の途
中に設けられているが、これは高圧ガスボンベと緊急遮
断弁との配管途中の洩れに対処することができないの
で、高圧ガスボンベの容器弁のハンドルをロータリ・ア
クチュエータ等の遠隔操作によって回転させてガスの供
給を緊急遮断するものも実用されている。
中に設けられているが、これは高圧ガスボンベと緊急遮
断弁との配管途中の洩れに対処することができないの
で、高圧ガスボンベの容器弁のハンドルをロータリ・ア
クチュエータ等の遠隔操作によって回転させてガスの供
給を緊急遮断するものも実用されている。
（考案が解決しょうとする問題点） 上述の高圧ガスボンベと緊急遮断弁とを離隔した位置に
設けるものは配管途中のガス洩れに対処することができ
ないという問題点があり、ロータリ・アクチュエータを
使用するものは寸法・重量が大であって高価格であると
いう問題点がある。
設けるものは配管途中のガス洩れに対処することができ
ないという問題点があり、ロータリ・アクチュエータを
使用するものは寸法・重量が大であって高価格であると
いう問題点がある。
本考案はこれらの問題点を解決することを目的としてい
る。
る。
（問題点を解決するための手段） 本考案によれば、高圧ガス容器に固定される下部本体内
で可動の弁シートと、下部本体に固定された上部本体
と、上部本体に設けられたシリンダ孔内で可動のピスト
ンと、下部本体と上部本体との間に設けられ下面が弁シ
ートの上端に係合し上面がピストンの下端に接するダイ
アフラムと、上部本体を封止的に貫通してその下端がピ
ストンの上端を押圧するスピンドルと、スピンドルの上
端に設けたハンドルと、上部本体に設けられ緊急操作用
高圧ガスをピストンの上端に作用せしめるためのガス導
入口とを含む高圧ガス容器弁が提供される。
で可動の弁シートと、下部本体に固定された上部本体
と、上部本体に設けられたシリンダ孔内で可動のピスト
ンと、下部本体と上部本体との間に設けられ下面が弁シ
ートの上端に係合し上面がピストンの下端に接するダイ
アフラムと、上部本体を封止的に貫通してその下端がピ
ストンの上端を押圧するスピンドルと、スピンドルの上
端に設けたハンドルと、上部本体に設けられ緊急操作用
高圧ガスをピストンの上端に作用せしめるためのガス導
入口とを含む高圧ガス容器弁が提供される。
望ましくはシリンダ孔を段つき孔とし、ピストンが大径
の上方部分と小径の下方部分とから成るものとする。
の上方部分と小径の下方部分とから成るものとする。
（作用） ハンドル操作によって弁シートが上動して弁が開いてい
る状態でも緊急操作用高圧ガス例えば圧縮窒素をガス導
入口から導入することによって急速に弁を閉じることが
でき、また、緊急操作用高圧ガスを解放すれば従来技術
による高圧ガス容器弁と同様な開閉動作をハンドル操作
によって行うことができる。
る状態でも緊急操作用高圧ガス例えば圧縮窒素をガス導
入口から導入することによって急速に弁を閉じることが
でき、また、緊急操作用高圧ガスを解放すれば従来技術
による高圧ガス容器弁と同様な開閉動作をハンドル操作
によって行うことができる。
段つきのシリンダ孔を設けることにより緊急操作用高圧
ガスの圧力を低くすることができる。
ガスの圧力を低くすることができる。
下部本体および可動の弁シートは従来の技術によるもの
と同等のものとすることができ、従って全体として構造
が簡単であり信頼性が高く、安価である。
と同等のものとすることができ、従って全体として構造
が簡単であり信頼性が高く、安価である。
（実施例） 本考案の実施例を第１図に示すが、第２図と同一又は同
一の部品は同一参照数字で示す。
一の部品は同一参照数字で示す。
第２図における本体１′とほぼ同等な構造の下部本体１
には、高圧ガス容器（図示しない）内に連通するガス路
１５と高圧ガス配管に連結されるガス路１６との間の連
通を開閉する可動の弁シート２と、弁シート２を開方向
に押上げるばね５とが設けられ、弁シート２の上端はダ
イアフラム７の下面に接している。
には、高圧ガス容器（図示しない）内に連通するガス路
１５と高圧ガス配管に連結されるガス路１６との間の連
通を開閉する可動の弁シート２と、弁シート２を開方向
に押上げるばね５とが設けられ、弁シート２の上端はダ
イアフラム７の下面に接している。
上部本体１８が下部本体の上端に設けたねじ孔にねじこ
み固定され、ダイアフラム７を周縁を上部本体１８と下
部本体１との間に挟着固定する。上部本体１８には段つ
きのシリンダ孔が設けられ、大径の上方部分と小径の下
方部分とを有する段つきピストン１７がシリンダ孔内で
動作する。ピストン１７の下端はダイアフラム７の上面
と接し、ピストン１７の上端はスピンドル９の下端と接
している。スピンドル９は上部本体１７にねじこみ固定
されたグランドナット８にねじ係合し、ハンドル１０の
回転によってグランドナット８に対して上下動する。第
２図の場合と異り、スピンドル９とグランドナット８と
の間にシール２２が設けられている。なお、グランドナ
ット８と上部本体１７との間にはシール２１が、段つき
ピストン１７の大径部とシリンダ孔との間にはシール２
３がそれぞれ設けられて、これによって封止空間１９が
作られる。封止空間１９には緊急操作用高圧ガス例えば
高圧窒素を導入するためのガス導入口２０が設けられ、
継手２４、配管２５を介して高圧ガスが導入される。
み固定され、ダイアフラム７を周縁を上部本体１８と下
部本体１との間に挟着固定する。上部本体１８には段つ
きのシリンダ孔が設けられ、大径の上方部分と小径の下
方部分とを有する段つきピストン１７がシリンダ孔内で
動作する。ピストン１７の下端はダイアフラム７の上面
と接し、ピストン１７の上端はスピンドル９の下端と接
している。スピンドル９は上部本体１７にねじこみ固定
されたグランドナット８にねじ係合し、ハンドル１０の
回転によってグランドナット８に対して上下動する。第
２図の場合と異り、スピンドル９とグランドナット８と
の間にシール２２が設けられている。なお、グランドナ
ット８と上部本体１７との間にはシール２１が、段つき
ピストン１７の大径部とシリンダ孔との間にはシール２
３がそれぞれ設けられて、これによって封止空間１９が
作られる。封止空間１９には緊急操作用高圧ガス例えば
高圧窒素を導入するためのガス導入口２０が設けられ、
継手２４、配管２５を介して高圧ガスが導入される。
正常動作時にはハンドル１０の回転操作によってスピン
ドル９を上動せしめる。高圧ガスボンベ内のガス圧力が
ガス路１５から弁シート２に作用し、このガス圧力とば
ね５の張力とによって弁シート２、ダイアフラム７、ピ
ストン１７が上方に動いて弁は開き、ガスはガス路１５
からガス路１６に流れる。
ドル９を上動せしめる。高圧ガスボンベ内のガス圧力が
ガス路１５から弁シート２に作用し、このガス圧力とば
ね５の張力とによって弁シート２、ダイアフラム７、ピ
ストン１７が上方に動いて弁は開き、ガスはガス路１５
からガス路１６に流れる。
緊急遮断時には高圧窒素、高圧空気などの緊急操作用高
圧ガスがガス導入口２０から空間１９内に供給される。
ピストン１７はその大径端に作用するガス圧力によって
スピンドル９から離れて下方に動き、弁シート２を閉位
置とする。この高圧ガスの圧力は２０〜１００kg／c
m2、望ましくは５０〜７０kg／cm2とするが、ピストン
１７の大径部と小径部との面積比を大とすることによっ
てさらに圧力を低くすることもできる。
圧ガスがガス導入口２０から空間１９内に供給される。
ピストン１７はその大径端に作用するガス圧力によって
スピンドル９から離れて下方に動き、弁シート２を閉位
置とする。この高圧ガスの圧力は２０〜１００kg／c
m2、望ましくは５０〜７０kg／cm2とするが、ピストン
１７の大径部と小径部との面積比を大とすることによっ
てさらに圧力を低くすることもできる。
緊急操作用高圧ガスの導入は手動によって行ってもよ
く、ガス洩れ検知器などの信号によって自動的に導入す
るようにしてもよい。実験によれば圧力６０kg／cm2の
緊急操作用高圧ガスを手動により導入することによって
瞬時に弁閉状態となり、１〜２秒で弁閉状態から弁開状
態に戻すことができた。
く、ガス洩れ検知器などの信号によって自動的に導入す
るようにしてもよい。実験によれば圧力６０kg／cm2の
緊急操作用高圧ガスを手動により導入することによって
瞬時に弁閉状態となり、１〜２秒で弁閉状態から弁開状
態に戻すことができた。
（考案の効果） ハンドル操作によって弁シートが上動して弁が開いてい
る状態でも緊急操作用高圧ガス例えば圧縮窒素をガス導
入口から導入することによって急速に弁を閉じることが
でき、また、緊急操作用高圧ガスを解放すれば従来技術
による高圧ガス容器弁と同様な開閉動作をハンドル操作
によって行うことができる。
る状態でも緊急操作用高圧ガス例えば圧縮窒素をガス導
入口から導入することによって急速に弁を閉じることが
でき、また、緊急操作用高圧ガスを解放すれば従来技術
による高圧ガス容器弁と同様な開閉動作をハンドル操作
によって行うことができる。
ダイアフラム形式であるから毒性、可燃性などの危険性
のある高圧ガスを操作部から完全に遮断した状態で弁の
開閉操作を行うことができる。
のある高圧ガスを操作部から完全に遮断した状態で弁の
開閉操作を行うことができる。
段つきのシリンダ孔を設けることにより緊急操作用高圧
ガスの圧力を低くすることができる。
ガスの圧力を低くすることができる。
下部本体および可動の弁シートは従来の技術によるもの
と同等のものとすることができ、従って全体として構造
が簡単であり信頼性が高く、安価である。
と同等のものとすることができ、従って全体として構造
が簡単であり信頼性が高く、安価である。
第１図は本考案による高圧ガス容器弁の縦断面図、第２
図は従来の技術を示す図。 １：下部本体、１８：上部本体、２：弁シート ５：ばね、７：ダイアフラム 8,8′：グランドナット、9,9′：スピンドル １０：ハンドル、１５：容器側ガス路 １７：ピストン、２０：緊急操作用ガス導入路 21,22,23：シール
図は従来の技術を示す図。 １：下部本体、１８：上部本体、２：弁シート ５：ばね、７：ダイアフラム 8,8′：グランドナット、9,9′：スピンドル １０：ハンドル、１５：容器側ガス路 １７：ピストン、２０：緊急操作用ガス導入路 21,22,23：シール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実公 平２−9162（ＪＰ，Ｙ２) 実願昭58−158257号（実開昭60−65488 号）の願書に添付した明細書及び図面の内 容を撮影したマイクフィルム（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】高圧ガス容器に固定され、内部に前記容器
内部に通じる弁室を備えた下部本体と、前記弁室内に可
動に設けられ、前記弁室から前記容器内部へ通じる弁口
を開閉する弁シートと、前記弁シートを前記弁口を開く
方向へ付勢する付勢手段と、前記下部本体に固定され内
部にシリンダ孔を有する上部本体と、前記下部本体と上
部本体との間に設けられたダイアフラムと、前記上部本
体に封止状態で上下動可能に挿入されたスピンドルと、
該スピンドルの上端に取り付けられたハンドルとを含ん
でなり、前記スピンドルを下降させることにより前記ダ
イアフラムを介して前記封止手段に抗して前記弁シート
を下降させて前記弁口を閉じ、前記スピンドルを上昇さ
せると前記弁シートが前記付勢手段により上昇させられ
前記弁口を開くようになっている高圧ガス容器弁におい
て、前記シリンダ孔内で前記スピンドルの下にピストン
を可動に設けて該ピストンの上方にガス導入室を形成
し、前記上部本体には前記ガス導入室に緊急操作用高圧
ガスを導入するための導入口を設けたことを特徴とする
高圧ガス容器弁。 - 【請求項２】前記シリンダ孔が段つき孔であって、前記
ピストンが大径の上方部分と小径の下方部分とからな
る、実用新案登録請求の範囲第１項記載の高圧ガス容器
弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985181670U JPH0627898Y2 (ja) | 1985-11-26 | 1985-11-26 | 高圧ガス容器弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985181670U JPH0627898Y2 (ja) | 1985-11-26 | 1985-11-26 | 高圧ガス容器弁 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6289587U JPS6289587U (ja) | 1987-06-08 |
| JPH0627898Y2 true JPH0627898Y2 (ja) | 1994-07-27 |
Family
ID=31126752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985181670U Expired - Lifetime JPH0627898Y2 (ja) | 1985-11-26 | 1985-11-26 | 高圧ガス容器弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627898Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3734644B2 (ja) * | 1999-06-23 | 2006-01-11 | 日野自動車株式会社 | 過流防止弁復帰装置 |
| JP2014225282A (ja) * | 2014-07-23 | 2014-12-04 | 株式会社ニコン | 圧弁、加圧装置、重ね合わせ装置、加圧方法および重ね合わせ方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6065488U (ja) * | 1983-10-13 | 1985-05-09 | 大阪バルブ株式会社 | 燃料タンク用非常遮断弁 |
| JPH0434749Y2 (ja) * | 1988-07-01 | 1992-08-18 |
-
1985
- 1985-11-26 JP JP1985181670U patent/JPH0627898Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6289587U (ja) | 1987-06-08 |
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