JPH06276097A - モノリシック電圧基準の較正方法及び装置 - Google Patents

モノリシック電圧基準の較正方法及び装置

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JPH06276097A
JPH06276097A JP5235612A JP23561293A JPH06276097A JP H06276097 A JPH06276097 A JP H06276097A JP 5235612 A JP5235612 A JP 5235612A JP 23561293 A JP23561293 A JP 23561293A JP H06276097 A JPH06276097 A JP H06276097A
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    • G01K7/01Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using semiconducting elements having PN junctions
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R35/00Testing or calibrating of apparatus covered by the other groups of this subclass
    • G01R35/005Calibrating; Standards or reference devices, e.g. voltage or resistance standards, "golden" references

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 モノリシック電圧基準を温度の関数として較
正する方法及び装置を提供する。 【構成】 モノリシック電圧基準のエラー較正装置は、
トリミングを受けていない電圧と温度電圧を出力するバ
ンドギャップ電圧基準50を有する。これらの電圧は共
にデルタ−シグマ型A/Dコンバータ52へ送られる。
コンバータ出力はデジタルフィルタ54で処理された
後、EEPROM60へ記憶される。EEPROMは1
つのモードにおいて温度履歴データを、また別のモード
において温度補償データを記憶する。1つのモードで
は、マルチプライヤ/アキュムレータ74が、EEPR
OMからの温度補償パラメータを用いて補償係数を発生
させ、トリミング回路14を制御するD/Aコンバータ
76へデジタルワードとして送る。トリミング回路はバ
ンドギャプ電圧基準の出力を温度補償する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は一般的に電圧基準に関
し、さらに詳細にはアナログ−デジタルコンバータのよ
うなデータ収集装置に用いる、電圧基準を温度の関数と
して較正する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来型電圧基準はアナログ基準回路を用
いてその出力電圧をトリミングすることにより温度ドリ
フトを除去している。かかる方式を曲率補償(curvature
compensation)と呼ぶ。一般的に、この従来型アナログ
電圧基準としてバンドギャップ基準を利用する。このタ
イプのアナログ基準は負の温度係数をもつバイポーラ素
子のベース−エミッタ電圧Vbeと正の温度係数をもつ熱
電圧Vthの和より成る。この熱電圧は異なる電流密度で
作動する2つのバイポーラ素子のベース−エミッタ電圧
の差から求める。Vbe及びVthの値は適当にスケーリン
グして全回路の温度係数を一次精度で相殺する必要があ
る。温度ドリフトをさらに低いレベルにするには二次或
いは三次の補償が必要である。
【0003】従来の温度補償方法の主要な問題点は、こ
れらの操作がアナログ領域においてアナログ温度曲率補
償方式により行われることにある。電圧Vthは絶対温度
に比例する(PTAT)線形電圧であり、ベース−エミ
ッタ電圧は幾つかの二次及び/または三次項をもつため
温度と共に変化する多項式である。電圧Vbeを温度に関
して線形化すると以下の式が得られる。
【0004】
【数1】 上式1の定数K、F、Gはデジタル「整数」値でなくて
アナログの実数「量」である。これらの量は、得られる
電圧が温度変化に感応しないようにスケーリングして加
算する必要がある。全てのスケーリング及び加算操作は
アナログ領域で行われるため、これらの回路は処理の不
確かさ(processing uncertainties)及び時間ドリフトに
影響される度合いが大きい。基準の温度性能の調整には
主としてレーザートリミングした抵抗を用いる。基準は
トリミング完了後実装されるため実装後の応力に起因し
て圧電効果による較正後のシフトが存在するのが普通で
ある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、未補償アナ
ログ電圧を発生するモノリシック基準電圧発生器を備え
る補償電圧基準を提供する。基準電圧発生器のエラーは
アナログ領域で測定した後アナログ−デジタルコンバー
タによりデジタル領域のデジタルエラー情報へ変換す
る。デジタルエラー情報に関連するデジタル補償パラメ
ータを記憶させるために持久型メモリを用いる。補償プ
ロセッサにより、アナログーデジタルコンバータから出
力されるデジタルエラー情報に対応するデジタル補償パ
ラメータの一部をメモリから選択する。このプロセッサ
は選択したデジタル補償パラメータを所定の補償アルゴ
リズムに従って処理することによりデジタル補償ワード
を出力する。補償回路はデジタル補償ワードを受けて該
デジタル補償ワードに応じて未補償アナログ電圧を補償
する。
【0006】本発明の別のもう1つの特徴は、測定され
るエラーが温度エラーであることである。温度モニター
を、モノリシック基準電圧発生器と「共在(co-locate
d)」させてその発生器の温度を測定させアナログ温度信
号を出力させる。アナログ温度信号を該アナログ温度信
号と、モノリシック基準電圧と共在する内部の基準電圧
の比率を表わすデジタル温度信号へアナログ−デジタル
コンバータにより変換する。
【0007】本発明のさらに別の特徴は、モノリシック
基準電圧発生器が発生される内部熱電圧基準を有するバ
ンドギャップ基準発生器より成ることである。この基準
はアナログ温度信号として出力され、アナログ−デジタ
ルコンバータが基準電圧発生器の未補償アナログ出力電
圧に対する熱電圧基準の比率であるデジタル温度信号を
与える。この内部熱電圧基準は絶対温度に比例する。
【0008】本発明のさらに別の特徴は、テスト制御回
路を設けて、複数の温度における温度の関数としての未
補償アナログ出力電圧応答を測定して各測定温度に対し
てデジタル温度信号及びその関連のデジタルエラー電圧
信号が出力されるようにアナログ−デジタルコンバータ
を制御することである。これらの信号は各測定温度にお
いてメモリに記憶させる。アナログ−デジタルコンバー
タの入力にマルチプレクサを設けて外部の標準基準電
圧、未補償アナログ電圧、アナログ温度信号及び内部基
準電圧を受信させる。デジタルエラー信号は未補償アナ
ログ電圧と外部標準基準電圧の比率を表わすが、デジタ
ル温度信号はアナログ温度信号と内部基準電圧の比率を
表わす。
【0009】本発明のさらに別の特徴は、補償回路がヒ
ステリシスを含むことである。補償回路の出力はデジタ
ル補償ワードの値が所定数の最下位ビットだけ変化する
までその変化を禁止される。
【0010】以下、添付図面を参照して本発明を実施例
につき詳細に説明する。
【0011】
【実施例】図1は曲率補償アナログ基準のブロック図を
示す。このアナログ基準は単一のチップ10の上に形成
されたモノリシック回路である。このアナログ基準は電
圧VUNTRIMを出力する未だトリミングされていないモノ
リシックアナログ基準12を含む。この電圧VUNTRIM
デジタルバス16上でデジタルトリミングコマンドワー
ドを受けるトリミング回路14へ入力される。このデジ
タルトリミングコマンドワードはトリミング回路14の
作動を制御するためその内部のデジタル−アナログコン
バータ(DAC)へ入力される。トリミング回路14の
出力が曲率補償済みアナログ電圧VTRIMである。
【0012】バス16上のデジタルトリミングコマンド
ワードはデジタル処理回路15により発生される。この
処理回路15はその1つの入力として温度測定装置18
から温度測定値を受ける。この温度測定値と探索表20
に記憶させた較正パラメータを組み合わせてデジタルバ
ス16上へデジタルトリミングコマンドワードを出力す
る。ここで重要なことは、温度測定回路18はチップ1
0上のアナログ基準12及びそれ以外のブロックと一体
的であるため電圧の直接温度測定が行われることであ
る。これは外部の温度測定装置から温度測定値を外部の
ピンに入力するシステムとは対照的である。
【0013】動作について説明すると、較正パラメータ
を探索表20に記憶させた後、作動時の温度を測定して
デジタル処理回路15に入力し、この温度測定値に対応
するパラメータを探索表20から取り出してデジタル処
理回路15のデジタル処理アルゴリズムに利用させる。
後述するように、電圧の温度ドリフトを補正するこの方
法はデジタル多項曲線当てはめアルゴリズムによるデジ
タル方式を利用する。
【0014】図2は単一チップ10上の図1に示したモ
ノリシック基準のさらに詳細なブロック図である。好ま
しい実施例において、トリミングを受けていないアナロ
グ基準12はバンドギャップ電圧基準50により実現す
る。しかしながら、これはいかなる種類のツェナー素子
或いは埋め込み型ツェナー素子のようなものでよい。バ
ンドギャップ電圧基準50は一次補償されており、また
トリミング回路14のトリミング動作のためその基準の
絶対値は重要ではない。バンドギャップ電圧基準50は
アナログ基準電圧VUNTRIMを出力するが、この基準電圧
は基本的にバイポーラトランジスタのVbeにこのVbe
対するPTAT補正電圧KVTを加えたもので、Vbe
線形温度変動を相殺する、即ち一次補償を行う。PTA
T補正電圧を加えた後、電圧VUNTRIMの変動はほとんど
二次の温度変動によるものである。バンドギャップ電圧
基準の1つの特徴はPTAT熱電圧を出力できることで
あり、この電圧はバンドギャップ基準内の異なる電流密
度で作動する2つのバイポーラ素子のベース−エミッタ
電圧間の差である。この電圧をVthで示す。
【0015】Vthヲバンドギャップ電圧基準50が発生
するものとして示すが、バンドギャップ電圧基準と共在
する、即ち同じパッケージ或いは同じ基板上の別のVth
発生器により発生させることも可能である。この別のV
th発生器は2つの異なる電圧密度で作動する2つのバイ
ポーラ素子により実現することができるが、この電圧V
thはこれら2つの素子のVbe電圧の間の差である。
【0016】電圧VUNTRIMはデルターシグマ型アナログ
−デジタルコンバータ52に入力される。このアナログ
−デジタルコンバータは任意の次数、例えば2、3、4
次のものでよく、任意のトポロジー、例えば単一ルー
プ、マルチループ、マルチビットでよい。好ましい実施
例において、このアナログ−デジタルコンバータ52は
二次電荷再分配型デルターシグマコンバータとしてシリ
コンで実現される。これはEarly et alの米国特許第
4,943,807号(発明の名称:Digitally Calibra
ted Delta-Sigma Analog-to-Digital Converter)に記
載されたデルターシグマコンバータのトポロジーに似て
いる。デルターシグマ型アナログ−デジタルコンバータ
52は高い開ループ利得を有するアナログフィードバッ
クループ(コンパレータを含む)内に埋め込んだ1ビッ
トアナログ−デジタルコンバータより成る二次の変調器
を含む。アナログ入力信号はバンドギャップ電圧基準5
0のトリミングされていない出力VUNTRIMより成る。デ
ルターシグマ型アナログ−デジタルコンバータ52内の
コンパレータの出力は、正または負の出力基準電圧に接
続した1組のスイッチより成る1ビットデジタル−アナ
ログコンバータを駆動する。このデジタルーアナログコ
ンバータの出力信号は積分キャパシタ上の電荷を零に近
い値に維持する。従って、コンパレータの出力のデュー
ティーサイクルはアナログ入力の値を表わす。デルター
シグマ型アナログ−デジタルコンバータ52のサンプリ
ング周波数は327.68kHzである。1ビットデジ
タル−アナログコンバータを用いているが高次の出力レ
ベルを用いてもよい。
【0017】デルターシグマ型アナログ−デジタルコン
バータ52の出力はデジタルフィルタ54へ入力され
る。デジタルフィルタ54は有限長インパルス応答型デ
ジタルフィルタであり、高速で低分解能の1ビットコン
パレータ出力を低周波数の16ビット分解能出力に変換
する。デルターシグマ型アナログ−デジタルコンバータ
52とデジタルフィルタ54全体のダイナミックレンジ
は90dBより大きい。このフィルタの出力ワードレー
トは5Hzである。デルターシグマ型アナログ−デジタ
ルコンバータ52は論理制御回路56により制御される
が、その制御は外部の理想電圧VIDEAL及び接地電圧だ
けでなく入力Vth及びVUNTRIMを選択させるものであ
り、該コンバータの入力として多重化される。以下にお
いて詳しく説明するように、これらの電圧を用いて多項
曲線当てはめアリゴリズムを実行させる。
【0018】デジタルフィルタ54の出力はデジタルデ
ータバス58に接続してあるが、このバスは電気的に消
去可能で且つプログラム可能なリードオンリーメモリ
(EEPROM)に入力される。このEEPROM60
は種々のパラメータを記憶に用いるが、後述するように
これらのパラメータは1つのモードにおいてそのパラメ
ータを測定し、別のモードにおいて最終較正パラメータ
を記憶させるに必要なものである。EEPROM60は
論理制御回路56により発生されるアドレスをアドレス
バス62を介してアドレス入力として受ける。さらに、
I/O回路66の入力としてシリアルポート64上でチ
ップ10の外部においてアドレスを受けることができ
る。このI/O回路66はアドレスバス62及びデータ
バス58とインターフェイスする。後述するように、較
正モードの間多数の温度においてチップ10を較正する
ためのデータをEEPROM60に記憶させる。この情
報は最終テストでEEPROMから取り出され、最終補
正パラメータを計算した後チップの作動時に利用するた
めEEPROM60に記憶させる。しかしながら、後述
するように、これら全ての動作をチップ上で行うことも
可能である。
【0019】EEPROMをプログラミングする際、デ
ータをEEPROM60に永続的に記憶させる必要があ
るが、これは持久型メモリであるからである。これはラ
イン68上で受けて論理制御回路56とインターフェイ
スする読取り/書込み信号(R/W)を用いて行う。図
示しないがR/W信号ライン68はチップの外部でもイ
ンターフェイスされている。プログラミングは書込み動
作とプログラム電圧に関連して行う。プログラム電圧は
EEPROM60を能率良くプログラミングするため所
定の持続時間、所定のレベルにするに必要な普通の電圧
である。これはEEPROM60に固有の特徴である。
1つの実施例において、このプログラム電圧はオンチッ
プ電荷ポンプ70から得られるが、これはチップのプロ
グラミングに必要な適当な高電圧を与える。しかしなが
ら、好ましい実施例では、この電圧は外部で発生させ
る。電荷ポンプ70におけるプログラム電圧の作用は論
理制御回路56により制御される。
【0020】データバス58はまたマルチプライヤ/ア
キュムレータ74に接続されているが、このマルチプラ
イヤ/アキュムレータ74も論理制御回路56により制
御される。マルチプライヤ/アキュムレータ74はトリ
ミング回路14へ入力するデジタル出力をデジタルバス
16上に発生させる。マルチプライヤ/アキュムレータ
74は16ビット×16ビットの乗算と16ビットの加
算を行うことができる。この回路74を用いて傾きと切
片の計算を下式に従って行う。
【0021】
【数2】 以下においてこの式をさらに詳細に説明する。
【0022】トリミング回路14は基準トリミングデジ
タル−アナログコンバータ76を含み、このコンバータ
はデジタル的にプログラム可能な抵抗分圧器として働く
抵抗型デジタル−アナログコンバータを用いる。その主
要な目的はトリミングされていない基準電圧を3.0ボ
ルトの値に調整することである。トリミングデジタル−
アナログコンバータの分解能は約50マイクロボルトで
ある。基準トリミングデジタル−アナログコンバータ7
6は16ビットの分解能を有するが全てのビットが利用
されるわけではない。トリミングされていない基準電圧
の変動は最悪のケースでも3.4乃至3.8ボルトの範
囲内にあり、3.0ボルトにトリミングするに過ぎない
ため、その範囲の15%だけを利用する。このデジタル
−アナログコンバータのDNL及びINLは普通1/4
LSBに近い。
【0023】図3乃至7を参照して、図示の曲線はデジ
タル曲線当てはめ操作を説明するものである。図3は、
バンドギャップ基準により出力される実際の電圧V
UNTRIMを理想的な電圧VIDEAL比較したプロットであ
る。これは電圧対温度のプロットである。曲線に沿うn
個のポイントにおいて、VUNTRIMを測定してVIDEAL
比較しξnを評価する。これはVUNTRIM曲線とVIDEAL
線の間の差である。温度及び差の値を後で利用するため
記憶させる。後述するように、所与の温度におけるξn
が分かると、VIDEALの電圧を復元するにはこの値を任
意の所与の温度においてVUNTRIMの値から差し引くこと
が必要があるに過ぎない。
【0024】図4はデータ群の2つのセグメント、即ち
最初のセグメントと最後のセグメントに対するVUNTRIM
とVIDEALのプロットを表わす。TN-1<Tx<TNであれ
ば、ξx=ξN-1である。これは長方形近似法であり、図
4の曲線に書き加えたものである。その結果を図5に示
す。各セクションのレベルがシフトされているが傾きは
調整されていない。
【0025】図6はトリミングされていない電圧曲線を
不等辺四辺形で近似したさらに複雑な曲線当てはめ法を
示す。この方法では、N−1個のセグメントの各々が線
形補間アルゴリズムにより補間されている。このアルゴ
リズムはエンドポイントにつき実行した後、傾きと切片
を所与のセグメントについて計算する。例えば、傾きm
1を下式で計算する。
【0026】
【数3】 y切片は下式で計算する。
【0027】
【数4】 通常動作時、温度を連続的にモニターし、その温度に応
じて適当なセグメントの傾き及び切片を共に求める。図
6に示す例では、温度TNとTN-1の間の温度TX及び新
しい差電圧ξxを下式で計算する。
【0028】
【数5】 ξxをトリミングされていない基準電圧から差し引くと
理想電圧VIDEALが得られる。本発明のチップによる実
施例は分解能を増加させるため不等辺四辺形による近似
法を用いる基準を含む。その結果を図7に示すが、これ
は不等辺四辺形による近似を行うためセクションごとに
下記の全体式を利用する。
【0029】
【数6】 不等辺四辺形による近似を好ましい実施例で用いたが、
長方形による近似もまた利用可能である。さらに、他の
種類の高次多項曲線当てはめ法では多項当てはめアルゴ
リズムを利用することが可能である。最小自乗法または
スプライン曲線当てはめ法も利用可能である。さらに複
雑なアルゴリズムを用いると温度の変動により基準電圧
の受ける影響が少なくなる。多項当てはめ法は下式を利
用する。
【数7】 UNTRIMに対して受入れ可能なVTRIMを提供するに十分
な曲線当てはめ法を実行するためには、温度ベースライ
ンに沿って多数の点を設定する必要があることが分か
る。従って、実際の装置を温度を変化させて測定する必
要がある。後述するように、これらの測定はそれぞれバ
ーンイン(burn-in)工程の較正時それぞれの温度で行
う。このデータを持久型メモリに記憶させた後で取り出
す。この後でとは好ましい実施例では最終テストのこと
であるが、最終較正パラメータを計算してチップの実際
の作動時に用いるためEEPROM60に記憶させる。
これについては後述する。
【0030】図8はデルターシグマ多重化方式の概略図
である。この図から分かるように、デルターシグマ型ア
ナログ−デジタルコンバータ52の入力は種々の動作を
行うため多重化されている。即ち、VUNTRIM、Vth、V
IDEAL及び接地電圧を用いてチップの較正及び作動の両
方に必要な情報が発生される。電圧VUNTRIMはノード8
4に接続してある。ノード84はスイッチ86,88,
90,92,94の入力に接続してある。スイッチ8
6,88,92のもう一方の端子はノード96に接続し
てあり、このノードはデルターシグマ型アナログ−デジ
タルコンバータ52のVREFERENCE入力を構成する。ス
イッチ90のもう一方の側はノード98に接続してあ
り、デルターシグマ型アナログ−デジタルコンバータ5
2のVSIGNAL入力を形成する。Vthはスイッチ100の
一方の側に接続してあり、もう一方の側はノード96に
接続してある。電圧VIDEALは外部の電圧標準102に
より発生され、その出力はスイッチ104の一方の側に
接続してあり、もう一方の側はノード98に接続してあ
る。アースはスイッチ106の一方の側に接続してあ
り、そのもう一方の側はノード98に接続してある。
【0031】スイッチ86はマルチプレクス制御信号φ
1により制御される。これはオフセットを測定するため
に利用する。スイッチ88,90は、利得を測定するた
めに利用するマルチプレクス制御信号φ2により制御さ
れる。スイッチ92,100は、温度を測定するために
用いるマルチプレクス制御信号φ3により制御される。
スイッチ94,104は、電圧を測定するために用いる
マルチプレクス制御信号φ4により制御される。従っ
て、4つのマルチプレクス制御信号φ1−φ4により4つ
の動作モードが得られる。較正時、オフセット、利得、
温度及び電圧を全て測定してそれらをEEPROM60
に記憶させたパラメータを発生させるために利用する。
作動時、温度を測定する。オフセットを求めるには、電
圧VUNTRIMを接地電圧と比較するだけでよく、利得につ
いては、VREFERENCE入力とデルターシグマ型アナログ
−デジタルコンバータ52のVSIGNAL信号をVUNTRIM
号に接続するだけでよい。温度の測定は、Vth信号をV
SIGNAL入力に入力させ、VUNTRIM信号をVREFERENCE
力に入力させて行う。電圧の測定は較正時VIDEAL信号
とVUNTRIM信号を入力として与えることにより行う。
【0032】図9はデルターシグマ型アナログ−デジタ
ルコンバータのブロック図である。VREFERENCE入力は
スイッチトキャパシタセクション130の一方の側に接
続され、もう一方の側は入力ノード132に接続されて
いる。この入力ノードは増幅器134の非反転入力に接
続されている。同様に、VSIGNAL入力はスイッチトキャ
パシタセクション136の一方の側を構成し、そのもう
一方の側も入力ノード132に接続されている。スイッ
チトキャパシタセクション130,136は従来型スイ
ッチトキャパシタセクションであり、キャパシタの各側
は2つの別個に制御されるスイッチを介してアースとス
イッチトキャパシタセクション130の入力及び出力に
接続される。作動について説明すると、第1サイクルに
おいてキャパシタの一方の側が接地されもう一方の側が
入力信号に接続されるが、第2サイクルではキャパシタ
のもう一方の側が接地され、前に接地されていた側が入
力ノード132に接続される。
【0033】増幅器134の反転入力はアースに接続さ
れ、またフィードバックキャパシタ135は非反転入力
と出力との間に接続されている。増幅器134の出力は
スイッチトキャパシタセクション137の一方の側に接
続され、そのもう一方の側は第2段増幅器138の非反
転入力に接続されている。この増幅器138の負の入力
はアースに接続され、また増幅器の非反転入力と出力の
間にはフィードバックキャパシタ140が接続されてい
る。増幅器138の出力はスイッチ141の一方の側に
接続され、そのもう一方の側はノード142に接続され
ている。このノード142はスイッチ144を介して接
地され、またキャパシタ146の一方の側にも接続され
ている。キャパシタ146のもう一方の側はノード14
8に接続されている。ノード148はスイッチ150を
介して接地されまたスイッチ154を介してコンパレー
タ152の入力に接続されている。コンパレータ152
の出力はI/Oデジタル流を構成する。ノード148は
またフィードバックパスを介してキャパシタ158の一
方の側とキャパシタ160の一方の側に接続されてい
る。このキャパシタ158のもう一方の側はアースに、
またキャパシタ160のもう一方の側はノード162に
接続されている。ノード162はスイッチ164を介し
てアースに接続されまたスイッチ166を介して増幅器
134の出力に接続されている。これらのスイッチ14
0,144,150,154及びキャパシタ146は出
力部のスイッチトキャパシタセクションを構成する。ス
イッチ164,166及びキャパシタ158,160よ
りなるフィードバックパスは1ビットのデジタル−アナ
ログコンバータ・フィードバックパスを提供する。これ
は従来型動作である。これら全てのスイッチトキャパシ
タセクション及びスイッチのタイミングは周知であるた
めこれ以上説明しない。
【0034】図10はトリミング回路14の詳細な論理
図である。電圧VUNTRIMはマルチタップ抵抗182の一
方の側に接続されている。この抵抗のもう一方の側はア
ースに接続されている。ワイパー184は抵抗182の
65,536個のうちの任意の点に接続されるが、この
点はそれぞれデジタル的に選択可能である。ワイパーの
もう一方の端部はノード186に接続されている。この
ノード186はバッファ構成の演算増幅器188の一方
の入力に接続されている。演算増幅器188の反転入力
は出力に接続され、非反転入力はノード186に接続さ
れている。この演算増幅器は出力における出力電圧V
TRIMの駆動条件を満足させる。基準トリミングデジタル
−アナログコンバータ76はワイパー184が接続され
るタップを選択することによりこの基準をトリミングす
るが、この新しい接続点または位置はデジタルバス16
で受けたデジタルワードに応じて決まる。
【0035】図11はEEPROM60の作動を示すブ
ロック図である。上述したように、このEEPROM6
0はチップがその内部で発生したデータを記憶すると共
に較正プロセスの実行及び最終的なデジタル補償ワード
発生のためそのデータのダウンロード及びアップロード
を行うべく外部からそのデータへアクセスしてきるよう
にする。従って、EEPROM60はチップの外部から
アクセスできなければならない。これはチップ上のピン
を多重化することにより容易に行える。さらに、プログ
ラム電圧制御スイッチ190に加えて、チップの外部に
おいてプログラム電圧を発生させる。これにより完全な
プログラム電圧がVPROG端子に入力され、プログラム電
圧がEEPROM60へ印加することが可能となる。R
/W信号は、マルチプレクサ192を介してEEPRO
M60のR/W信号に接続されるピン上に入力される。
図示しないが、テストピンがあり、これは高レベルにな
ると多重化されたピンをテスト目的の信号を受けるテス
トモードにする。
【0036】シリアルI/Oポート64は1つのピン
と、マルチプレクサ194を介して並直列コンバータ1
96とに接続されている。この並直列コンバータ196
は、マルチプレクサ194からのシリアル入力をデータ
バス58へ出力するためのパラレルデータに変換すると
共に、バス58からのパラレルデータをシリアルI/O
バス64へ出力するように変換可能である。さらに、ア
ドレス発生器200への接続のためマルチプレクサ19
8によって多重化されたピン上にアドレス情報が受信さ
れる。アドレス発生器200は論理制御回路56の一部
であり、アドレスバス62上へ出力されるアドレスを発
生することができる。テストモードでは、このモードの
アドレスピンを所定の持続時間の間、高レベルにするこ
とによりアドレスを入力させる。アドレス発生器200
の内部カウンタが入力ピン上のパルスの長さによりその
アドレスを決定する。このアドレスはその後EEPRO
M60への出力でラッチされ、読取りモード時このデー
タは出力されるが書込みモード時は入力される。上述し
たように、チップの外部からこのEEPROM60にア
クセスする目的はデータをアップロード及びダウンロー
ドするためである。しかしながら、システム全体をチッ
プ上に形成するとEEPROM60への外部からのアク
セスは不要となる。
【0037】較正動作時、外部温度制御器195及び温
度センサー196が提供される。外部温度制御器はバー
ンイン・オーブン内の運転温度を決定し、データを収集
するためのテストを始動させるTEST信号を発生する
ことができる。テスト時、システムは初期化され、信号
が論理制御ブロック56へ入力される。論理制御ブロッ
ク56はデータを測定するようにアナログ−デジタルコ
ンバータ52に命令することが可能であり、その後この
データはEEPROM60に記憶される。外部温度制御
器195は130°Cから30°Cに減少する温度範囲
内の23のポイントにおいて論理制御ブロック56への
測定プロンプト信号を周期的に発生させることが可能で
ある。アナログ−デジタルコンバータ52が測定を行う
と、その結果がEEPROM60内の最初に利用可能な
場所に記憶される。内部カウンタ及び論理制御回路56
は次の測定データが次の場所に記憶されるようにアドレ
スをインクリメントする。後述するように、情報の一部
は温度データである。温度データはそのデータがいかな
る温度で測定されたかについての情報を与える。後で、
データを取り出す際、関連の較正データを見付けるには
この温度データが必要であるにすぎない。
【0038】図12は本発明の別の実施例であり、その
較正動作は、テストモード時のデジタルエラー電圧及び
デジタル温度信号の発生と、温度が所定の温度範囲を越
えそして外部のTEST信号が存在するときEEPRO
M60へ記憶させるための補償パラメータの計算とより
なる。EEPROM60に記憶させる補償パラメータは
その後バス16上にデジタル補償ワードを発生させるた
めマルチプライヤ/アキュムレータにより利用される。
【0039】動作について説明すると、マルチプレクサ
63がデジタルフィルタ54が出力したデータを受けて
それをデータバス58或いはアドレスバス62へ差し向
けることによりデータまたはアドレス情報を供給する。
較正モードでは、非常に小さい増分で多数の温度測定が
行われる。これは23回の測定を行うに過ぎない上述の
実施例とは対照的である。従って、各温度値に対して較
正パラメータが計算される。EEPROM60に情報を
記憶させるためのアドレスは、温度測定の際デジタルフ
ィルタ54により出力されるTEMPデジタル値に対応
する。従って、後述するように、RUNまたは作動時、
補償パラメータを出力するようEEPROM60をアド
レスすることだけが必要である。さらに、マルチプライ
ヤ/アキュムレータ74の制御により論理制御回路56
が補償パラメータを発生し、それによりデジタル補償ワ
ードがRUN動作時、補償パラメータとしてEEPRO
M60に記憶されるようにする。
【0040】TEST信号があると、マルチタップしき
い回路201はデータバス58からデータを受けてその
温度で較正動作を始動させ、しきい値を過ぎると必ずE
EPROM60へ記憶させるためデジタル補償ワードを
決定する。例えば、もし部品またはチップの温度が13
0°Cから30°Cへ変化すると、デジタルフィルタ5
4により出力されるデジタル温度値が多数のしきい値の
うちの1つを通過する。デジタル温度値がしきい値を通
過するごとに較正動作が始動され、その温度におけるア
ナログ−デジタルコンバータ52が発生したデジタル温
度値及びデジタルエラー電圧がマルチプライヤ/アキュ
ムレータ74へ入力され、マルチプライヤ/アキュムレ
ータ74に関連する補償アルゴリズムに従ってデジタル
補償ワードが計算される。その後このデジタル補償ワー
ドが較正動作を始動させたデジタル温度値に関連してE
EPROM60に記憶される。
【0041】上述したように、これはデジタルフィルタ
50により出力されるデジタル温度信号の値に関連する
EEPROM60内のアドレスにすぎない。さらに、ア
ドレス発生器200はマルチタップしきい回路により制
御することが可能であり、その後温度電圧とデジタル補
償ワードの両方がそのアドレスに記憶される。このモー
ドでは、RUN動作はデジタルフィルタ54により出力
される値と、関連のデジタル補償ワードを出力させるた
めEEPROM60に記憶されるTEMP値との比較を
必要とする。図12の実施例では、集積回路或いはモノ
リシック電圧基準発生器がTEST信号の存在に関連す
るある特定の温度範囲を過ぎるという事実だけによって
デジタル補償ワードを自動的に発生可能であることが分
かる。外部での測定は不要で、デジタルフィルタ54の
出力へのアクセスも不要でありまた補償トリミング動作
を行うためEEPROM60の内容へアクセスすること
も不要である。
【0042】図13はデータ収集動作を表わすフローチ
ャートである。この好ましい実施例では、複数のチップ
10がバーイン工程を通るが、この工程ではチップは所
定時間、所定の高い温度及び低い温度でおいて不足電圧
状態に維持される。しかしながら、テストが完了すると
バーイン・オーブンを高温から室温へ変化させた後その
デバイスを取り出す。この温度低下時において、チップ
は較正を行うに十分な数の温度ポイントを与えるに必要
な温度範囲を通過する。この較正はその温度低下時にお
いて、温度制御器194により温度及び他のパラメータ
を温度の各増分ごとに自動的に測定することによって行
う。これらの温度増分は前もって決められている。この
方式は、チップを特殊なテストボード上に置いて主とし
て温度テストを行い、補正係数を指示させてそれを記憶
させる必要のある方式とは対照的である。この方式は、
後述するように、自動的に較正演算を行い、所定の情報
を計算し、EEPROM60にこの情報を記憶させるも
のである。
【0043】さらに図13を参照して、このフローチャ
ートはスタートブロック204でスタートし、ブロック
206へ進んでNの初期値を零にセットする。好ましい
実施例のNの値は23個ある。プログラムは次に機能ブ
ロック208へ進んでVBGと呼ぶ接地電圧とVUNTRIM
の比率を測定する。これがオフセット値OFSTであ
る。この測定はマルチプレクス制御信号φ1により容易
に行える。機能ブロック210で示すようにこれを記憶
させた後、プログラムは機能ブロック212へ進んでマ
ルチプレクス制御電圧φ2により利得を測定する。この
ためデルターシグマ型アナログ−デジタルコンバータ5
2の両方の入力に電圧VUNTRIMが印加されVBG対GN
Dの比率を得られる。機能ブロック214で示すよう
に、その後プログラムはこれを利得としてEEPROM
60に記憶させる。
【0044】次いでプログラムは機能ブロック216へ
進んで絶対電圧測定値を求める。これはマルチプレクス
制御信号φ4により行われるが、この信号は電圧を測定
するために用いられる。これは電圧VUNTRIMとVIDEAL
の比率を測定する。これは機能ブロック218で示すよ
うに項VBGAとして記憶される。さらにプログラムは
機能ブロック220へ進んでマルチプレクス制御信号φ
3により電圧Vth/電圧VUNTRIMまたはVBGを測定す
ることにより温度を測定する。これは機能ブロック22
2に示すように可変TEMPとして記憶される。
【0045】ここで重要なことは、TEMPの値を求め
るときアナログ−デジタルコンバータ52の基準入力が
電圧VUNTRIMに接続されていることである。このように
して、アナログ−デジタルコンバータ52上のTEMP
として出力される電圧信号はRUN動作時に出力される
電圧と同一である。これはVUNTRIMの温度による変動が
反復的であるという事実による。このため、TEMPの
値はEEPROM60に記憶させた較正データの「タ
グ」として働く。EEPROM60に記憶された2つの
TEMP値の間の電圧を測定すると、これら2つの電圧
間の外挿が必要であるに過ぎない。このようにして、精
度がほぼ0.1度に維持される。
【0046】TEMPの値を記憶させた後、プログラム
は判定ブロック224へ進んでNの値が最大値に等しい
か否かを判定する。もし等しくなければプログラムは
「N」パスを進んで機能ブロック226へ入りNの値を
増分して機能ブロック208の入力へ戻る。しかしなが
ら、全測定完了後、プログラムは「Y」パスに沿ってエ
ンドブロック228へ進む。各パラメータを計算により
求めた後記憶させると説明したが、システムは実際、N
の所与の値に対する4つの変数を全て蓄積した後これら
4つの値を4つの16ビット・ブロックより成る1つの
64ビットワードとしてEEPROMに記憶させる。こ
こで重要なことは、データは温度低下時、自動的に収集
されてEEPROM60に記憶されるということであ
る。これは補償パラメータを計算してEEPROM60
内のこれらの補償パラメータを取り出した後、最終テス
トにおいて利用される。従って、EEPROM60は温
度補償パラメータ或いは関連の任意の温度より成るチッ
プの温度履歴を含む。さらに、温度低下時、較正パラメ
ータをチップにつき計算して補償係数だけをEEPRO
Mに記憶させることも可能である。
【0047】図14は、スタートブロック234でスタ
ートされる最終テストを表わすフローチャートである。
バーイン・オーブンから部品またはチップを取り出した
後、プログラムは機能ブロック236へ進んで変数TE
MP、VBGA、GAIN、OFSTをダウンロードす
る。その後プログラムは機能プログラム238へ進んで
Nの値を零にセットし、機能ブロック240へ進んでエ
ラー値を計算する。このエラー値は本質的に、GAIN
のオフセット値をVBGAのオフセット値で割算し、そ
れから1を差し引いた後216を乗算したものである。プ
ログラムはその後機能ブロック242へ進んでNの傾き
を計算する。これはNとN−1のエラー値の差をTEM
P(N)とTEMP(N−1)の温度差で割算した値に
等しい。その後プログラムは機能ブロック244へ進ん
でy切片を計算する。このy切片はN−1のエラーとN
の傾きとN−1のTEMP値の積の差に等しい。その後
プログラムは機能ブロック246へ進んでTEMP、S
LOPE及びy切片値をアップロードする。プログラム
はその後判定ブロック248へ進んでNの値が最大値に
等しいか否かを判定する。もし等しくなければ、プログ
ラムは機能ブロック250へ進んでその値を増分しその
後機能ブロック240の入力へ戻る。全ての計算が終わ
るとプログラムはエンドブロック252へ進む。
【0048】図15はRUN動作のフローチャートであ
り、スタートブロック254でスタートした後機能ブロ
ック256へ進んで温度電圧Vthとトリミングされてい
ない電圧VBGの比率を測定する。その後プログラムは
判定ブロック258へ進んでTEMPの値がTEMP
(1)の値より低く曲線の最初の点を示すものであるか
否かを判定する。もしそうであれば、SLOPEとY
INTERCEPTはブロック259で示すようにN=1に対し
て与えられるSLOPE及びYINTERCEPTの値に等しい
値にセットされる。もしそうでなければ、プログラムは
判定ブロック260へ進んでTEMPの値が曲線のエン
ドポイントであるTEMP(21)より大きいか否かを
判定する。もしそうであれば、プログラムは判定ブロッ
ク262へ進んでSLOPE及びYINTERCEPTの値をN
=21の値に等しいようにリセットする。もしTEMP
の値が下方の境界より低いか或いは上方の境界よりも高
い場合は、プログラムは判定ブロック264へ進んでT
EMPがTEMP(N)とTEMP(N+1)との間に
あるか否かの判定を行う。もしそうでなければ、プログ
ラムは判定ブロック258の入力へ戻ってTEMPの値
がどこにあるかを再びチェックする。しかしながら、T
EMPの値がこれらの範囲間にある場合、プログラムは
機能ブロック266へ進んでSLOPEとYINTERCEPT
の値をNの値に対するSLOPE及びYINTERCEPTに等
しい値にセットする。機能ブロック259,262,2
66の出力は機能ブロック268へ進む。
【0049】機能ブロック268においてERRORの
値を求めるが、これはSLOPE(N)とTEMPの積
にNの切片値を加えたものに等しい。その後プログラム
は機能ブロック272へ進んでVDACの値を計算する
が、この値はERROR値をVUNTRIM/216で割算した
もので、ERROR値は216個のセグメントの各々に対
して50マイクロボルトの増分で変化する。プログラム
はその後機能ブロック274へ進んで出力VBG(V
UNTRIM)とVDACの差であるVTRIMの値を計算する。そ
の後プログラムは機能ブロック256の入力へ戻るが、
200ミリ秒の一定の時間インターバルで循環する。
【0050】この通常動作時、デルタ−シグマ型コンバ
ータはマルチプレクス制御信号φ3に対応するモードに
ロックされ、200ミリ秒の一定の時間インターバルで
測定値が得られる。温度が変化すると、デジタルマルチ
プライヤ/アキュムレータ74がデルタ−シグマ出力ワ
ードに基づいて正しい温度セグメントを選択し、この対
象となるセグメントに対応する傾き及び切片情報を用い
てその計算を行う。この計算の結果が基準トリミングデ
ジタル−アナログコンバータ76を制御し、トリミング
された基準電圧が常に正しくなるようにエラー電圧を調
整する。
【0051】図16はヒステリシスのない場合とヒステ
リシスのある場合の2つの状態に対する補償された出力
電圧VTRIMのプロットを示す。ヒステリシス曲線は曲線
280で示し、ヒステリシスのない曲線は曲線282で
表わす。ヒステリシスにより一定の時間での補償方式に
存在する問題が解決する。例えば、集積回路の温度が2
つの可能なデジタル−アナログコンバータ・トリミング
コードの正確にその境界上の温度であるとき、トリミン
グされた基準は3.0ボルトの電圧上の、周波数5Hz
のDACトリミングが1LSBの(±50マイクロボル
ト)の方形波をもつかもしれない。その結果曲線282
が得られる。好ましい実施例では、集積回路に対してデ
ジタルヒステリシスアルゴリズムを実行するため、基準
トリミングデジタル−アナログコンバータは電圧基準が
トリミングされる前に1よりも大きい一定数の最下位ビ
ットだけ変化する必要がある。好ましい実施例では、ヒ
ステリシスの値は5にセットされているため、これがデ
ジタル−アナログコンバータ・トリミング出力が変化す
る前に変化する必要のある最下位ビットの数となる。こ
れにより小さな温度偏移に対する基準電圧の見掛上のス
テップ数が減少する。
【0052】較正時、マルチプレクサへの制御信号φ4
が存在する間トリミングされていない電圧基準VUNTRIM
の絶対値を得るために外部の標準基準電圧を用いる。こ
の外部電圧はバーンイン・オーブン内の全ての集積回路
に接続されているため、長い印刷回路板が必要である。
このバーンイン・オーブンの環境は、望ましくない周波
数60Hzの干渉の存在を回避できない環境である。外
部の標準基準電圧を読み取ると60Hzのライン周波数
の干渉の問題が悪化するだけである。
【0053】この問題を解決するため、マルチプレクサ
制御信号φ4が存在する期間の間逆デルタ−シグマ変換
を行う。通常、外部電圧標準がデルタ−シグマ基準入力
に接続され、トリミングされていない電圧VUNTRIMがデ
ルタ−シグマ信号入力に接続される。本実施例では、そ
の逆でもよい。そのようにするとデジタルフィルタのデ
ルタ−シグマ信号入力における減衰が利用できる。デジ
タルフィルタ54の零点は5Hzの倍数点にあるため、
外部の電圧標準に存在する任意の50Hzまたは60H
zのライン周波数による干渉がデジタルフィルタ54に
より大きく減衰され、測定値を不正確にすることはな
い。この逆変換は各セグメントに対して傾き及びy切片
値を計算するときテストを行う人が留意する。
【0054】要約すると、本発明はバンドギャップ電圧
基準回路のようなアナログ基準電圧発生器をトリミング
する方法を提供する。アナログ−デジタルコンバータを
用いて、トリミングされていない電圧を理想電圧と比較
すると共にそのトリミングされていない電圧を温度電圧
とも比較する。この情報を用いて補償パラメータを較正
する。これらの補償パラメータはチップの内部温度が変
化するバーンイン工程の間に計算により求める。温度が
このように変化する間、トリミングされていない電圧を
温度に対して補償するに必要な較正パラメータを求めて
これを持久型メモリに記憶させる。チップの作動時、温
度を測定して適当な補償係数を持久型メモリから取り出
し、これを用いてその電圧をトリミングするアナログト
リミング回路を制御するデジタル補償ワードを発生させ
る。
【0055】
【図面の簡単な説明】
【図1】アナログ基準をトリミングする回路の全体ブロ
ック図。
【図2】アナログ基準をトリミングする好ましい実施例
のさらに詳細なブロック図。
【図3】図2のブロック図に用いる曲線当てはめアルゴ
リズムを示す図。
【図4】図2のブロック図に用いる曲線当てはめアルゴ
リズムを示す図。
【図5】図2のブロック図に用いる曲線当てはめアルゴ
リズムを示す図。
【図6】図2のブロック図に用いる曲線当てはめアルゴ
リズムを示す図。
【図7】図2のブロック図に用いる曲線当てはめアルゴ
リズムを示す図。
【図8】異なる動作モードを制御するためのデルタ−シ
グマコンバータの多重化方式を示す詳細なブロック図。
【図9】デルタ−シグマ型アナログ−デジタルコンバー
タの詳細なブロック図
【図10】トリミング回路及びセグメント化されたデジ
タル−アナログコンバータの簡単なブロック図。
【図11】EEPROMのプログラミング動作を示すブ
ロック図。
【図12】EEPROMのプログラミング動作を示すブ
ロック図。
【図13】データ収集動作のフローチャート。
【図14】EEPROMに記憶させる補償係数を発生さ
せるための最終テストのフローチャート。
【図15】温度補償動作のフローチャート。
【図16】ヒステリシスがある場合とない場合のセグメ
ント化されたデジタル−アナログコンバータ出力の比較
プロットである。
【符号の説明】
10 チップ 12 トリミングされていないモノリシックアナログ基
準 14 トリミング回路 15 デジタル処理回路 16 デジタルバス 18 温度測定装置 20 探索表 50 バンドギャプ電圧基準 52 デルタ−シグマ型アナログ−デジタルコンバータ 54 デジタルフィルタ 56 論理制御回路 60 EEPROM 62 アドレスバス 66 I/O回路 70 電荷ポンプ 74 マルチプライヤ/アキュミュレータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エリック ジェイ スワンソン アメリカ合衆国 テキサス州 オースティ ン レジャーウッズ 505

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 未補償アナログ電圧及び二次デジタル補
    償ワードを受け、二次デジタル補償ワードの入力値に応
    じて未補償アナログ電圧を補償し、補償済みアナログ電
    圧を出力する補償回路と、 補償回路の環境の関数として変化する環境パラメータを
    受け、所定の補償アルゴリズムに従って一次デジタル補
    償ワードを発生させる補償プロセッサと、 一次デジタル補償ワードを受け、二次デジタル補償ワー
    ドを出力するヒステリシス回路とよりなり、 一次デジタル補償ワードと二次デジタル補償ワードの間
    に、二次デジタル補償ワードの値が変化する前に一次デ
    ジタル補償ワードの値が変化するようなヒステリシスが
    与えられていることを特徴とするモノリシック補償済み
    電圧基準。
  2. 【請求項2】 前記補償回路は、 未補償アナログ電圧を発生させる基準電圧発生器と、 基準電圧発生器に関連する所定環境パラメータを測定
    し、測定環境パラメータに対応するアナログ環境情報を
    発生させるアナログ環境パラメータ測定装置と、 アナログ環境情報をデジタル環境情報へ変換するアナロ
    グ−デジタルコンバータと、 デジタル環境情報に関連するデジタル補償パラメータを
    記憶させる持久型メモリとより成り、 前記補償プロセッサは、 アナログーデジタルコンバータが出力するデジタル環境
    情報に対応するデジタル補償パラメータをメモリから選
    択する手段と、 デジタル補償ワードを受け、該デジタル補償ワードの値
    に応じて未補償アナログ電圧を補償する補償回路とより
    成り、 前記補償プロセッサは選択されたデジタル補償パラメー
    タを所定の補償アルゴリズムに従って処理することによ
    りアナログ環境情報に対応するデジタル補償ワードを出
    力するように作動可能なことを特徴とする請求項1に記
    載に電圧基準。
  3. 【請求項3】 前記電圧基準発生器はアナログ温度信号
    を与える熱電圧出力を有するバンドギャップ基準発生器
    より成り、前記アナログ温度信号は絶対温度に比例する
    電圧応答を有することを特徴とする請求項2の電圧基
    準。
  4. 【請求項4】 前記アナログ環境パラメータ測定装置は
    基準電圧発生器と共在し該基準電圧発生器の温度を測定
    してアナログ温度信号を与える温度モニターより成り、
    前記アナログ−デジタルコンバータの出力はデジタル温
    度信号であることを特徴とする請求項2の電圧基準。
  5. 【請求項5】 前記アナログ−デジタルコンバータは温
    度モニターの出力と基準電圧発生器と共在する内部電圧
    基準との比率を出力するように作動可能なことを特徴と
    する請求項4の電圧基準。
  6. 【請求項6】 前記基準電圧発生器は内部熱電圧基準を
    有するバンドギャップ基準発生器より成り、前記内部熱
    電圧基準は絶対温度に比例する温度応答に対応する温度
    エラーを有することを特徴とする請求項5の電圧基準。
  7. 【請求項7】 前記所定補償アルゴリズムは補償プロセ
    ッサが用いる多項曲線当てはめアルゴリズムより成るこ
    とを特徴とする請求項2の電圧基準。
  8. 【請求項8】 前記補償回路はデジタル的にプログラム
    可能な抵抗分圧器を有する抵抗分圧器より成り、デジタ
    ル的にプログラム可能な抵抗分圧器の値は二次デジタル
    補償ワードにより選択されることを特徴とする請求項2
    の電圧基準。
  9. 【請求項9】 アナログ−デジタルコンバータを制御し
    て温度の関数としての未補償アナログ電圧の応答を複数
    の温度において測定することにより各測定温度に対して
    デジタル温度信号及びその関連のデジタルエラー電圧信
    号を発生させ、また各測定温度においてその関連のデジ
    タル温度信号及びデジタルエラー電圧信号をメモリに記
    憶させるテスト制御回路をさらに具備し、前記デジタル
    エラー電圧信号は各デジタル温度信号について補償パラ
    メータへ変換されることを特徴とする請求項2の電圧基
    準。
  10. 【請求項10】 前記テスト制御回路は外部の測定プロ
    ンプト信号に応答してデジタル温度信号及びその関連の
    デジタルエラー電圧信号を出力させ、それらをメモリに
    記憶させるように作動することを特徴とする請求項9の
    電圧基準。
  11. 【請求項11】 前記アナログーデジタルコンバータは
    外部の標準基準電圧、未補償アナログ電圧及びアナログ
    温度信号を受けるマルチプレクサを入力側に有し、前記
    マルチプレクサはテスト制御回路の制御下にあるテスト
    モードにおいて外部の標準基準電圧と未補償アナログ電
    圧の比率を表わすデジタル値及び標準基準電圧とアナロ
    グ温度電圧の比率を表わすデジタル値を与えるように作
    動可能であり、前記マルチプレクサはまた動作モードに
    おいて標準基準電圧とアナログ温度信号との比率を表わ
    すデジタル値をデジタル温度信号として与えるように作
    動可能であることを特徴とする請求項9の電圧基準。
  12. 【請求項12】 モノリシック基準電圧発生器からの未
    補償アナログ電圧出力を補償して補償済みアナログ出力
    電圧を与える方法であって、 基準電圧発生器の近傍において該基準電圧発生器に関連
    する所定の環境パラメータを測定して所定の環境パラメ
    ータの測定値に対応するアナログ環境信号を発生させ、 アナログ−デジタルコンバータによりアナログ環境信号
    をデジタル環境信号へ変換し、 デジタル環境信号に関連するデジタル補償パラメータを
    持久型メモリに記憶させ、 変換ステップから得たデジタル環境信号に対応するデジ
    タル補償パラメータをメモリから取り出し、 デジタル補償パラメータを所定の補償アルゴリズムに従
    って処理することによりデジタル補償ワードを出力し、 アナログ領域の未補償アナログ電圧をデジタル補償ワー
    ドの値に対応する値に応じて補償するステップよりなる
    ことを特徴とする補償方法。
  13. 【請求項13】 前記測定ステップは基準電圧発生器の
    測定及びアナログ環境信号としてのアナログ温度信号の
    発生より成り、前記変換ステップはアナログ温度信号の
    デジタル温度信号への変換より成ることを特徴とする請
    求項12の方法。
  14. 【請求項14】 前記変換ステップはアナログ温度信号
    及び基準電圧発生器と共在する内部電圧基準の値を処理
    してそれらの比率をデジタル信号として与えることを特
    徴とする請求項13の方法。
  15. 【請求項15】 前記基準電圧発生器はバンドギャップ
    基準発生器より成り、基準電圧発生器温度の測定ステッ
    プはバンドギャップ基準発生器が出力する内部の熱的電
    圧基準を測定して絶対温度に比例する温度応答を有する
    アナログ温度信号を与えることを特徴とする請求項14
    の方法。
  16. 【請求項16】 所定の環境パラメータは温度パラメー
    タより成り、所定の環境パラメータを測定する前記ステ
    ップは基準電圧発生器近傍の温度を測定し絶対温度に比
    例するアナログ温度信号を発生するステップより成り、
    デジタル環境信号はデジタル温度信号よりなることを特
    徴とする請求項12の方法。
  17. 【請求項17】 基準電圧発生器が出力する未補償アナ
    ログ電圧の応答を複数の温度において温度の関数として
    測定し、 各測定温度についてデジタル温度信号及びその関連のデ
    ジタルエラー電圧信号を出力し、 各測定温度においてその関連のデジタル温度信号及びデ
    ジタルエラー電圧信号をメモリに記憶させるステップを
    さらに含み、 デジタルエラー電圧信号は各デジタル温度信号について
    補償パラメータに変換されることを特徴とする請求項1
    6の方法。
  18. 【請求項18】 温度の関数として未補償アナログ電圧
    の応答を測定する前記ステップは外部の測定プロンプト
    信号の受信に応答して作動することにより温度信号及び
    その関連のエラー電圧信号を出力させ、それらの値がメ
    モリに記憶されるようにすることを特徴とする請求項1
    7の方法。
  19. 【請求項19】 温度の関数として未補償アナログ電圧
    の応答を測定する前記ステップは、アナログ−デジタル
    コンバータの変換動作時、入力を多重化して外部の標準
    基準電圧、未補償アナログ電圧、内部の基準電圧及びア
    ナログ温度信号を受信し、 前記多重化ステップはテストモードにおいて、未補償ア
    ナログ電圧だけでなく外部の基準電圧のデジタル値と外
    部の基準電圧とアナログ温度電圧の比率を表わすデジタ
    ル値をアナログーデジタルコンバータの出力に与えるよ
    うに作動し、 前記多重化ステップは動作モードにおいて内部の基準電
    圧とアナログ温度信号の比率を表わすデジタル値をデジ
    タル温度信号として与えるように作動することを特徴と
    する請求項17の方法。
  20. 【請求項20】 デジタル補償ワードの値に応じて未補
    償アナログ電圧を補償する前記ステップはデジタル補償
    ワードにヒステリシスを与えることによりヒステリシス
    をかけたデジタル補償ワードを出力させ、該ヒステリシ
    スをかけたデジタル補償ワードはデジタル補償ワードが
    所定数の最下位ビットだけ変化するまでその変化を禁止
    されており、未補償アナログ電圧はヒステリシスをかけ
    たデジタルワードの値に応じて補償されることを特徴と
    する請求項12の方法。
  21. 【請求項21】 一次デジタル補償ワードの値に対応す
    る値によってアナログ領域の未補償アナログ電圧を補償
    し、 未補償アナログ電圧補償ステップに関連する環境パラメ
    ータに応答して作動される所定の補償アルゴリズムによ
    り二次デジタル補償ワードを発生させ、 二次補償ワードが所定数の最下位ビットだけ変化するま
    で一次デジタル補償ワードの変化を禁止することによ
    り、二次デジタル補償ワードに関して一次デジタル補償
    ワードにヒステリシスをかけることを特徴とする請求項
    12の方法。
  22. 【請求項22】 基準電圧発生器を第1の温度にし、 基準電圧発生器の温度を第1の温度から第2の温度へ変
    化させ、 基準電圧発生器の温度変化に従って第1の温度と第2の
    温度の間の複数の温度測定点において基準電圧発生器の
    アナログ出力電圧を測定し、 複数の温度測定点の各々において基準電圧発生器のアナ
    ログ出力電圧の温度エラーを表わすデジタルエラー電圧
    信号を所定のエラー測定アルゴリズムに従って発生さ
    せ、 各温度測定点についてその温度に対応する値をもつデジ
    タル温度信号を発生させ、 各温度測定点についてデジタル温度信号と共にデジタル
    エラー電圧信号を持久型メモリに記憶させるステップよ
    りなることを特徴とする請求項12の方法。
  23. 【請求項23】 第1の温度と第2の温度の間のランダ
    ムな任意の温度にある基準電圧発生器の温度を第1の温
    度から第2の温度へ変化させた後測定し、 基準電圧発生器の測定温度を該温度に対応する測定デジ
    タル温度値に変換し、 所定の選択アルゴリズム及び記憶させた関連のデジタル
    温度信号に応じて測定デジタル温度信号に対応する補償
    パラメータを選択し、 所定の補償アルゴリズムに応じて測定デジタル温度信号
    及び取り出した補償パラメータを処理してデジタル補償
    ワードを発生させ、 デジタル補償ワードの値に応じて基準電圧発生器のアナ
    ログ出力電圧を補償することによりデジタル補償出力電
    圧を発生させることを特徴とする請求項22の方法。
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