JPH06275075A - ダイナミックram - Google Patents

ダイナミックram

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JPH06275075A
JPH06275075A JP5059110A JP5911093A JPH06275075A JP H06275075 A JPH06275075 A JP H06275075A JP 5059110 A JP5059110 A JP 5059110A JP 5911093 A JP5911093 A JP 5911093A JP H06275075 A JPH06275075 A JP H06275075A
Authority
JP
Japan
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sense amplifier
amplifier drive
control signal
circuit control
circuits
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Application number
JP5059110A
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English (en)
Inventor
Makoto Yanagisawa
誠 柳沢
Yukinori Kodama
幸徳 児玉
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Priority to US08/193,535 priority patent/US5384726A/en
Priority to EP94301134A priority patent/EP0616330A3/en
Priority to KR1019940005073A priority patent/KR0135719B1/ko
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Abstract

(57)【要約】 【目的】回路規模を小さくすると共に、配線数を減ら
し、チップ面積の縮小化を図り、コストの低減化を達成
する。 【構成】センスアンプ駆動回路370〜3763に共用さ
れるセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路66を設け
ると共に、センスアンプ駆動回路370〜3763のそれ
ぞれに対応させてセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲ
ート回路680〜6863を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、リフレッシュ動作を必
要とする随時書込み・読出し可能な半導体記憶装置であ
るダイナミックRAM(dynamic random access memor
y)、いわゆるDRAMに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、例えば、64Mビットのメモリ容
量を有するDRAMとして、図12に、その概略的平面
図を示すようなものが提案されている。
【0003】図中、1はチップ本体、2〜5は外部から
供給されるロウアドレス信号を相補信号化してなる内部
ロウアドレス信号をデコードしてワード線の選択を行う
ロウデコーダ、6〜13は8Mビットのメモリ容量を有
するメモリセルアレイと称される領域である。
【0004】また、14〜21はセンスアンプを構成す
るnMOSトランジスタに供給すべきセンスアンプ駆動
信号NSAを発生してセンスアンプを駆動するセンスア
ンプ駆動回路を配列してなるセンスアンプ駆動回路列で
ある。
【0005】また、22〜29はセンスアンプを構成す
るpMOSトランジスタに供給すべきセンスアンプ駆動
信号PSAを発生してセンスアンプを駆動するセンスア
ンプ駆動回路を配列してなるセンスアンプ駆動回路列で
ある。
【0006】また、図13は、メモリセルアレイ6の構
成を示す概略的平面図であり、他のメモリセルアレイ7
〜13も、同様に構成されている。図中、300〜30
15は512Kビット(512行[ロウ]×1024列
[コラム])のメモリ容量を有するブロックと称される
領域である。
【0007】また、310〜3115、320〜3215は2
56Kビット(256行[ロウ]×1024列[コラ
ム])のメモリ容量を有する小ブロックと称される領
域、33 0〜3315はセンスアンプが配列されてなるセ
ンスアンプ列である。
【0008】また、図14は、メモリセルアレイ6及び
センスアンプ駆動回路列14、22の部分の構成を、よ
り詳しく示す概略的平面図であり、340-0〜3
0-15、341-0〜341-15、347-0〜347-15はセン
スアンプ駆動信号線対である。
【0009】即ち、この例では、各ブロック30j(但
し、j=0、1・・15)に、それぞれ、8個のセンス
アンプ駆動信号線対340-j、341-j・・・347-j
分割して設けられている。
【0010】なお、センスアンプ駆動信号線対340-0
〜340-15、341-0〜341-15、347-0〜347-15
おいて、350-0〜350-15、351-0〜351-15、35
7-0〜357-15はセンスアンプ駆動信号NSA用のセン
スアンプ駆動信号線、360-0〜360-15、361-0〜3
1-15、367-0〜367-15はセンスアンプ駆動信号P
SA用のセンスアンプ駆動信号線である。
【0011】また、370〜3763はセンスアンプ駆動
信号NSAを発生してセンスアンプを駆動するセンスア
ンプ駆動回路、380〜3863はセンスアンプ駆動信号
NSA用のセンスアンプ駆動信号母線である。
【0012】また、390〜3963はセンスアンプ駆動
信号PSAを発生してセンスアンプを駆動するセンスア
ンプ駆動回路、400〜4063はセンスアンプ駆動信号
PSA用のセンスアンプ駆動信号母線である。
【0013】ここに、センスアンプ駆動信号母線3
0、400は、より詳しくは、図15に概略的な平面形
状を示すように、先端を対向させて一直線状に延在され
ている。他のセンスアンプ駆動信号母線381〜3
63、401〜4063についても、同様である。
【0014】なお、41はセンスアンプ駆動信号母線3
0とセンスアンプ駆動信号線350 -0との接続部、42
はセンスアンプ駆動信号母線380とセンスアンプ駆動
信号線350-1との接続部である。
【0015】また、43はセンスアンプ駆動信号母線4
0とセンスアンプ駆動信号線360 -0との接続部、44
はセンスアンプ駆動信号母線400とセンスアンプ駆動
信号線360-1との接続部である。
【0016】また、図13、図14に示すブロック30
0の部分は、図16に、その回路図を示すように構成さ
れている。他のブロック301〜3015についても、同
様である。
【0017】図中、WL0、WLn、WLn+1、WL2n
メモリセルの選択を行うワード線、BL0、/BL0、B
m、/BLmはメモリセルに対する情報の書込み、読出
しを行うビット線である。
【0018】また、4500、450m、45n0、45nm
45(n+1)0、45(n+1)m、45(2n) 0、45(2n)mは情報
の記憶を行うメモリセル、46、47は小ブロック31
0、320の選択を行う小ブロック選択回路、480、4
mは読出した情報の増幅を行うセンスアンプである。
【0019】また、490、49mはコラム(ビット線
対)の選択を行うコラムゲート、DB、/DBは複数の
ビット線対に共通に設けられているデータバス、C
0、CLmはコラムゲート490、49mのオン、オフを
制御するコラム選択信号である。
【0020】また、図14、図15に示すセンスアンプ
駆動回路370は、図17に、その回路図を示すように
構成されている。他のセンスアンプ駆動回路371〜3
63についても、同様である。
【0021】図中、50はセンスアンプ駆動信号線35
0-0、350-1をプリチャージするプリチャージ電圧VP
R、例えば、1/2VCCを供給するプリチャージ電圧
線、51〜53はnMOSトランジスタである。
【0022】また、LEAXはセンスアンプ駆動信号線
350-0、350-1のリセットを指示するセンスアンプ駆
動信号線リセット指示信号、PLEZはセンスアンプ駆
動信号線350-0、350-1のプリ活性化を指示するプリ
・センスアンプ駆動信号線活性化指示信号、LEZはセ
ンスアンプ駆動信号線350-0、350-1の本格的な活性
化を指示するセンスアンプ駆動信号線活性化指示信号で
ある。
【0023】また、図14、図15に示すセンスアンプ
駆動回路390は、図18に、その回路図を示すように
構成されている。他のセンスアンプ駆動回路391〜3
63についても同様である。
【0024】また、54は電源電圧VCCを供給するV
CC電源線、55はプリチャージ電圧VPRを供給する
プリチャージ電圧線、56〜58はpMOSトランジス
タである。
【0025】また、LEAZはセンスアンプ駆動信号線
360-0、360-1のリセットを指示するセンスアンプ駆
動信号線リセット指示信号、PLEXはセンスアンプ駆
動信号線360-0、360-1のプリ活性化を指示するプリ
・センスアンプ駆動信号線活性化指示信号、LEXはセ
ンスアンプ駆動信号線360-0、360-1の本格的な活性
化を指示するセンスアンプ活性化指示信号である。
【0026】また、図19は、センスアンプ駆動回路3
0〜3763と、これらセンスアンプ駆動回路370〜3
63の動作を制御するに必要な回路との関係を示す図で
ある。
【0027】図中、590〜597は外部から供給される
ロウアドレス信号RA0〜RA12の上位3ビットRA9
RA11を相補信号化してなる内部ロウアドレス信号ra
9、/ra9〜/ra11をデコードして、ブロック300
〜3015をブロック302k、302k+1(但し、k=0、
1、2・・・7。以下、同様)を単位として選択するに
必要なブロック選択信号BKS0N〜BKS7Nを出力する
ブロック選択回路である。
【0028】また、600〜607はセンスアンプ駆動回
路370〜3763の動作を制御するセンスアンプ駆動回
路制御信号、即ち、センスアンプ駆動信号線リセット指
示信号LEAX、プリ・センスアンプ駆動信号線活性化
指示信号PLEZ、センスアンプ駆動信号線活性化指示
信号LEZを出力するセンスアンプ駆動回路制御信号発
生回路、61はセンスアンプ駆動回路制御信号LEA
X、PLEZ、LEZに必要な配線である。
【0029】この例では、センスアンプ駆動回路制御信
号発生回路60kから出力されるセンスアンプ駆動回路
制御信号LEAX、PLEZ、LEZは、センスアンプ
駆動回路37k、37k+8、37k+16・・・37k+56及び
メモリセルアレイ7〜9の対応するセンスアンプ駆動回
路に供給される。
【0030】したがって、センスアンプ駆動回路制御信
号LEAX、PLEZ、LEZに必要な配線61として
は、3(LEAX、PLEZ、LEZ)×8(選択され
るブロックの単位数)=24本を必要とする。
【0031】また、図20は、センスアンプ駆動回路3
0〜3963と、これらセンスアンプ駆動回路390〜3
63の動作を制御するに必要な回路との関係を示す図で
ある。
【0032】図中、620〜627は外部から供給される
ロウアドレス信号RA0〜RA12の上位3ビットRA9
RA11を相補信号化してなる内部ロウアドレス信号ra
9、/ra9〜/ra11をデコードして、ブロック300
〜307をブロック302k、302k+1を単位として選択
するに必要なブロック信号BKS0P〜BKS7Pを出力す
るブロック選択回路である。
【0033】また、630〜637はセンスアンプ駆動回
路390〜3963の動作を制御するセンスアンプ駆動回
路制御信号、即ち、センスアンプ駆動信号線リセット指
示信号LEAZ、プリ・センスアンプ駆動信号線活性化
指示信号PLEX、センスアンプ駆動信号線活性化指示
信号LEXを出力するセンスアンプ駆動回路制御信号発
生回路、64はセンスアンプ駆動回路制御信号LEA
Z、PLEX、LEXに必要な配線である。
【0034】この例では、センスアンプ駆動回路制御信
号発生回路63Kから出力されるセンスアンプ駆動回路
制御信号LEAZ、PLEX、LEXは、センスアンプ
駆動回路39k、39k+8、39k+16・・・39k+56及び
メモリセルアレイ7〜9の対応するセンスアンプ駆動回
路に供給される。
【0035】したがって、センスアンプ駆動回路制御信
号LEAZ、PLEX、LEXに必要な配線64として
は、3(LEAZ、PLEX、LEX)×8(選択され
るブロックの単位数)=24本を必要とする。
【0036】このDRAMでは、読出し時、メモリセル
アレイ6〜9又はメモリセルアレイ10〜13のいずれ
かの部分が選択され、例えば、メモリセルアレイ6〜9
から読出しが行われる場合には、例えば、メモリセルア
レイ6においては、ブロック302k、302k+1が選択さ
れる。
【0037】したがって、この場合には、メモリセルア
レイ6においては、センスアンプ駆動回路37k、37
8+k、3716+k・・・3756+kからはセンスアンプ駆動
信号線350-2k、350-(2k+1)にセンスアンプ駆動信号
NSAが供給され、センスアンプ駆動回路39k、39
8+k、3916+k・・・3956+k+1からはセンスアンプ駆
動信号線360-2k、360-(2k+1)にセンスアンプ駆動信
号PSAが供給される。
【0038】
【発明が解決しようとする課題】ここに、センスアンプ
駆動回路370〜3763は、センスアンプ駆動信号母線
380〜3863及びセンスアンプ駆動信号線350-0〜3
7-15を介してセンスアンプを駆動しなければならな
い。
【0039】このため、センスアンプ駆動回路370
3763は、サイズの大きなトランジスタを設けて構成し
なければならず、センスアンプ駆動回路370〜3763
を駆動すべきセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路6
0〜607も、サイズの大きなトランジスタを設けて構
成しなければならず、その回路規模は、かなり大きくな
ってしまう。
【0040】また、センスアンプ駆動回路390〜39
63も、センスアンプ駆動信号母線400〜4063及びセ
ンスアンプ駆動信号線360-0〜367-15を介してセン
スアンプを駆動しなければならない。
【0041】このため、センスアンプ駆動回路390
3963も、サイズの大きなトランジスタを設けて構成し
なければならず、センスアンプ駆動回路390〜3963
を駆動すべきセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路6
0〜637も、サイズの大きなトランジスタを設けて構
成しなければならず、その回路規模は、かなり大きくな
ってしまう。
【0042】それにも関わらず、この従来のDRAMに
おいては、メモリセルアレイ6〜9あたり、16個のセ
ンスアンプ駆動回路制御信号発生回路600〜607、6
0〜637、即ち、メモリセルアレイ6〜13あたり、
32個のセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路を設け
ており、これが、チップ面積を増大化させる原因となっ
ていた。
【0043】また、センスアンプ駆動回路制御信号発生
回路600〜607あたり、24本の配線61を必要と
し、センスアンプ駆動回路制御信号発生回路630〜6
7あたり、24本の配線64を必要とし、メモリセル
アレイ6〜13あたりでは、センスアンプ駆動回路制御
信号線として、96本の配線を必要とし、これも、チッ
プ面積を増大させる原因となっていた。
【0044】本発明は、かかる点に鑑み、回路規模を小
さくすると共に、配線数を減らし、チップ面積の縮小化
を図り、コストの低減化を達成することができるように
したDRAMを提供することを目的とする。
【0045】
【課題を解決するための手段】本発明によるDRAM
は、それぞれにセンスアンプ駆動信号線対を設けてなる
複数のメモリセル領域を配列すると共に、これら複数の
メモリセル領域の一又は複数のメモリセル領域ごとにセ
ンスアンプを同時に駆動する複数のセンスアンプ駆動回
路を設けて構成されるDRAMを改良するものであり、
複数のセンスアンプ駆動回路に共用されるセンスアンプ
駆動回路制御信号発生回路と、複数のセンスアンプ駆動
回路のそれぞれに近接して配置され、センスアンプ駆動
回路制御信号発生回路から複数のセンスアンプ駆動回路
に供給されるセンスアンプ駆動回路制御信号の通過を制
御する複数のセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲート
回路と、一又は複数のメモリセル領域ごとにセンスアン
プを同時に駆動させるように、複数のセンスアンプ駆動
回路制御信号伝送ゲート回路のオン、オフ動作を制御す
るセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲート制御回路と
を設けて構成するというものである。
【0046】
【作用】本発明においては、センスアンプ駆動回路ごと
にセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲート回路を設け
るようにしているが、他方において、回路規模が大きく
ならざるを得ないセンスアンプ駆動回路制御信号発生回
路は、複数のセンスアンプ駆動回路に共用されるよう
に、即ち、複数のセンスアンプ駆動回路について、1個
だけ設ければ足りるようにしている。なお、センスアン
プ駆動回路制御信号伝送ゲート制御回路は、従来例にい
うブロック選択回路と同様に構成することができる。
【0047】ここに、センスアンプ駆動回路制御信号伝
送ゲート回路は、簡単な回路で構成することができるの
で、たとえ、センスアンプ駆動回路ごとにセンスアンプ
駆動回路制御信号伝送ゲート回路を設けるようにして
も、回路規模が大きくならざるを得ないセンスアンプ駆
動回路制御信号発生回路を複数のセンスアンプ駆動回路
に共用されるようにしていることから、回路規模が大き
くならざるを得ないセンスアンプ駆動回路制御信号発生
回路を、従来例のように、選択されるブロックの単位数
に対応させて設けるようにする場合よりも、回路規模を
小さくすることができる。
【0048】また、センスアンプ駆動回路制御信号線用
の配線としては、センスアンプ駆動回路制御信号発生回
路から出力されるセンスアンプ駆動回路制御信号の数の
配線を設ければ足る。
【0049】また、センスアンプ駆動回路制御信号伝送
ゲート制御信号線の数としては、センスアンプ駆動回路
制御信号伝送ゲート制御回路の数、即ち、メモリセル領
域の数又はメモリセル領域の数の1/2で足りる。
【0050】即ち、従来例のように選択されるブロック
の単位数のセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路を設
け、これら複数のセンスアンプ駆動回路制御信号発生回
路からセンスアンプ駆動回路にセンスアンプ駆動信号線
を配線する場合に比較して、配線数を減らすことができ
る。
【0051】
【実施例】以下、図1〜図11を参照して、本発明の一
実施例について、本発明を適用して図12〜図20に示
すDRAMを改良する場合を例にして説明する。そこ
で、図1、図2において、図19、図20に対応する部
分には同一符号を付し、その重複説明は省略する。
【0052】図1、図2は、本発明の一実施例の要部を
示す回路図であり、図1において、66はセンスアンプ
駆動回路370〜3763の動作を制御するに必要なセン
スアンプ駆動回路制御信号、即ち、センスアンプ駆動信
号線リセット指示信号LEAX、プリ・センスアンプ駆
動信号線活性化指示信号PLEZ、センスアンプ駆動信
号線活性化指示信号LEZを出力するセンスアンプ駆動
回路制御信号発生回路である。
【0053】本実施例においては、センスアンプ駆動回
路制御信号発生回路66から出力されるセンスアンプ駆
動回路制御信号LEAX、PLEZ、LEZは、センス
アンプ駆動回路370〜3763及びメモリセルアレイ7
〜9に対応して設けられている対応するセンスアンプ駆
動回路に供給される。
【0054】また、670〜677は外部から供給される
ロウアドレス信号RA0〜RA12の上位3ビットRA9
RA11を相補信号化してなる内部ロウアドレス信号ra
9、/ra9〜/ra11をデコードして、ブロック300
〜3015をブロック302k、302k+1を単位として選択
するに必要なブロック選択信号BKS0N〜BKS7Nを出
力するブロック選択回路(センスアンプ駆動回路制御信
号伝送ゲート制御回路)である。
【0055】また、680〜6863はセンスアンプ駆動
回路制御信号LEAX、PLEZ、LEZのセンスアン
プ駆動回路370〜3763への供給を制御するセンスア
ンプ駆動回路制御信号伝送ゲート回路である。
【0056】ここに、センスアンプ駆動回路制御信号伝
送ゲート回路68k、68k+8、68 k+16・・・68k+56
は、ブロック選択回路67kから出力されるブロック選
択信号BKSkNによりオン、オフ動作が制御される。
【0057】また、69はセンスアンプ駆動回路制御信
号LEAX、PLEZ、LEZ及びブロック選択信号B
KS0N〜BKS7Nに必要な配線であり、本実施例におい
ては、配線69の配線数は、センスアンプ駆動回路制御
信号LEAX、PLEZ、LEZ用の3本と、ブロック
選択信号BKS0N〜BKS7N用の8本との合計の11本
で足りる。
【0058】また、図2において、70はセンスアンプ
駆動回路390〜3963の動作を制御するに必要なセン
スアンプ駆動回路制御信号、即ち、センスアンプ駆動信
号線リセット指示信号LEAZ、プリ・センスアンプ駆
動信号線活性化指示信号PLEX、センスアンプ駆動信
号線活性化指示信号LEXを出力するセンスアンプ駆動
回路制御信号発生回路である。
【0059】本実施例においては、センスアンプ駆動回
路制御信号発生回路70から出力されるセンスアンプ駆
動回路制御信号LEAZ、PLEX、LEXは、センス
アンプ駆動回路390〜3963及びメモリセルアレイ7
〜9の対応するセンスアンプ駆動回路に供給される。
【0060】また、710〜717は外部から供給される
ロウアドレス信号RA0〜RA12の上位3ビットRA9
RA11を相補信号化してなる内部ロウアドレス信号ra
9、/ra9〜/ra11をデコードして、ブロック300
〜3015をブロック302k、302k+1を単位として選択
するに必要なブロック選択信号BKS0P〜BKS7Pを出
力するブロック選択回路(センスアンプ駆動回路制御信
号伝送ゲート制御回路)である。
【0061】また、720〜7263はセンスアンプ駆動
回路制御信号LEAZ、プリ・センスアンプ駆動信号線
活性化指示信号PLEX、センスアンプ駆動信号線活性
化指示信号LEXのセンスアンプ駆動回路390〜39
63への供給を制御するセンスアンプ駆動回路制御信号伝
送ゲート回路である。
【0062】ここに、センスアンプ駆動回路制御信号伝
送ゲート回路72k、72k+8、72 k+16・・・72k+56
は、ブロック選択回路71kから出力されるブロック選
択信号BKSkNによりオン、オフ動作が制御される。
【0063】また、73はセンスアンプ駆動回路制御信
号LEAX、PLEX、LEX及びブロック選択信号B
KS0P〜BKS7Pに必要な配線であり、本実施例におい
ては、配線73の配線数は、センスアンプ駆動回路制御
信号LEAX、PLEX、LEZ用の3本と、ブロック
選択信号BKS0P〜BKS7P用の8本との合計の11本
で足りる。
【0064】ここに、図1に示すセンスアンプ駆動回路
制御信号発生回路66は、例えば、図3、図4にその回
路図を分図して示すように構成することができ、図2に
示すセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路70は、例
えば、図5、図6にその回路図を分図して示すように構
成することができる。なお、図3、図5において、PL
Zはセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路活性化信号
である。
【0065】また、図1、図2に示すブロック選択回路
670〜677、710〜717は、例えば、図7に、その
回路図を示すように構成することができる。なお、AP
Eはノード74を電源電圧VCCにプリチャージしてリ
セットするためのリセット信号、APGCXはnMOS
トランジスタ75のソースを接地するためのグランド活
性化信号である。
【0066】また、図1に示すセンスアンプ駆動回路制
御信号伝送ゲート回路680〜686 3及びセンスアンプ
駆動回路370〜3763は、例えば、図8にその回路図
を示すように構成することができる。
【0067】なお、76〜78はアナログスイッチ回路
であるが、これらアナログスイッチ回路76〜78は、
それぞれ、図9に示すようなデジタルスイッチ回路81
及びインバータ82からなる回路で置き換えることもで
きる。
【0068】また、図2に示すセンスアンプ駆動回路制
御信号伝送ゲート回路720〜726 3及びセンスアンプ
駆動回路390〜3963は、例えば、図10にその回路
図を示すように構成することができる。
【0069】なお、83〜85はアナログスイッチ回路
であるが、これらアナログスイッチ回路83〜85は、
それぞれ、図11に示すようなデジタルスイッチ回路8
8及びインバータ89からなる回路で置き換えることも
できる。
【0070】以上のように、本実施例においては、セン
スアンプ駆動回路370〜3763にそれぞれセンスアン
プ駆動回路制御信号伝送ゲート回路680〜6863を設
けるようにしているが、回路規模が大きくならざるを得
ないセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路66をセン
スアンプ駆動回路370〜3763に共用されるように、
即ち、センスアンプ駆動回路370〜3763について、
1個のセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路66だけ
設ければ足りるようにしている。
【0071】なお、センスアンプ駆動回路制御信号伝送
ゲート制御回路をなすブロック選択回路670〜67
7は、図19、図20に示すブロック選択回路590〜5
7と同様に構成することができる。
【0072】ここに、センスアンプ駆動回路制御信号伝
送ゲート回路680〜6863は、図8にその回路図を示
すように、簡単な回路で構成することができるので、た
とえ、センスアンプ駆動回路370〜3763に対応させ
てセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲート回路680
〜6863を設けるようにしても、回路規模が大きくなら
ざるを得ないセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路6
6をセンスアンプ駆動回路370〜3763に共用される
ようにしていることから、図19に示すように、センス
アンプ駆動回路370〜3763につき、回路規模が大き
くならざるを得ない8個のセンスアンプ駆動回路制御信
号発生回路600〜607を設けるようにする場合より
も、回路規模を小さくすることができる。
【0073】また、センスアンプ駆動回路390〜39
63にそれぞれセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲート
回路720〜7263を設けるようにしているが、回路規
模が大きくならざるを得ないセンスアンプ駆動回路制御
信号発生回路70をセンスアンプ駆動回路390〜39
63に共用されるように、即ち、センスアンプ駆動回路3
0〜3963について、1個のセンスアンプ駆動回路制
御信号発生回路70だけ設ければ足りるようにしてい
る。
【0074】なお、センスアンプ駆動回路制御信号伝送
ゲート制御回路をなすブロック選択回路710〜71
7は、図19、図20に示すブロック選択回路590〜5
7と同様に構成することができる。
【0075】ここに、センスアンプ駆動回路制御信号伝
送ゲート回路720〜7263は、図10にその回路図を
示すように、簡単な回路で構成することができるので、
たとえ、センスアンプ駆動回路390〜3963に対応し
てセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲート回路720
〜7263を設けるようにするにしても、回路規模が大き
くならざるを得ないセンスアンプ駆動回路制御信号発生
回路70をセンスアンプ駆動回路390〜3963に共用
されるようにしていることから、図20に示すように、
センスアンプ駆動回路390〜3963につき、回路規模
が大きくならざるを得ない8個のセンスアンプ駆動回路
制御信号発生回路630〜637を設ける場合よりも、回
路規模を小さくすることができる。
【0076】また、本実施例では、センスアンプ駆動回
路370〜3763に供給すべきセンスアンプ駆動回路制
御信号線LEAX、PLEZ、LEZ用の配線として
は、3本の配線を延在させれば足り、また、ブロック選
択信号BKS0N〜BKS7Nとしては、8本の配線を延在
させれば足りる。
【0077】また、センスアンプ駆動回路390〜39
63に供給すべきセンスアンプ駆動回路制御信号線LEA
Z、PLEX、LEX用の配線としては、3本の配線を
延在させれば足り、また、ブロック選択信号BKS0P
BKS7Pとしては、8本の配線を延在させれば足りる。
【0078】即ち、センスアンプ駆動回路制御信号及び
ブロック選択信号の配線としては、メモリセルアレイ6
〜9あたり、(3+8)×2=22本、即ち、メモリセ
ルアレイ6〜13あたり、22×2=44本で足りる。
【0079】これに対して、図12に示す従来のDRA
Mにおいては、センスアンプ駆動回路制御信号及びブロ
ック選択信号の配線として、メモリセルアレイ6〜9あ
たり、3×8×2=48本、メモリセルアレイ6〜13
あたり、48×2=96本の配線を必要としていた。
【0080】以上のように、本実施例によれば、複数の
センスアンプ駆動回路のそれぞれに対応させてセンスア
ンプ駆動回路制御信号伝送ゲート回路を設けるようにし
ているが、回路規模が大きくならざるを得ないセンスア
ンプ駆動回路制御信号発生回路は、複数のセンスアンプ
駆動回路に共用されるようにしたことにより、回路規模
を小さくすることができると共に、配線数を減らすこと
ができるので、図12に示すようにレイアウトされた6
4Mビットのメモリ容量を有するDRAMについて、チ
ップ面積の縮小化を図り、コストの低減化を達成するこ
とができる。
【0081】なお、上述の実施例においては、本発明を
図12に示すようにレイアウトされる64Mビットのメ
モリ容量を有するDRAMに適用した場合について説明
したが、本発明は、メモリ容量の大きさに関係なく適用
することができるが、チップ面積の縮小化を図ることが
できることから、特に、64Mビットを越えるメモリ容
量を有するDRAM、例えば、256Mビット以上のメ
モリ容量を有するメモリ容量を有するDRAMに適用す
る場合に効果的である。
【0082】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、複数の
センスアンプ駆動回路のそれぞれに対応させてセンスア
ンプ駆動回路制御信号伝送ゲート回路を設けるようにし
ているが、センスアンプ駆動回路制御信号発生回路は、
複数のセンスアンプ駆動回路に共用されるように構成し
たことにより、回路規模を小さくすることができると共
に、配線数を減らすことができるので、チップ面積の縮
小化を図り、コストの低減化を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の要部を示す回路図である。
【図2】本発明の一実施例の要部を示す回路図である。
【図3】図1に示すセンスアンプ駆動回路制御信号発生
回路の構成例を分図して示す回路図である。
【図4】図1に示すセンスアンプ駆動回路制御信号発生
回路の構成例を分図して示す回路図である。
【図5】図2に示すセンスアンプ駆動回路制御信号発生
回路の構成例を分図して示す回路図である。
【図6】図2に示すセンスアンプ駆動回路制御信号発生
回路の構成例を分図して示す回路図である。
【図7】ブロック選択回路の構成例を示す回路図であ
る。
【図8】図1に示すセンスアンプ駆動回路制御信号伝送
ゲート回路及びセンスアンプ駆動回路の構成例を示す回
路図である。
【図9】図1に示すセンスアンプ駆動回路制御信号伝送
ゲート回路が有する伝送ゲート回路と置換することがで
きるデジタルスイッチ回路の構成を示す回路図である。
【図10】図2に示すセンスアンプ駆動回路制御信号伝
送ゲート回路及びセンスアンプ駆動回路の構成例を示す
回路図である。
【図11】図2に示すセンスアンプ駆動回路制御信号伝
送ゲート回路が有する伝送ゲート回路と置換することが
できるデジタルスイッチ回路の構成を示す回路図であ
る。
【図12】従来のDRAMの一例の要部を示す概略的平
面図である。
【図13】図12に示す従来のDRAMを構成するメモ
リセルアレイの構成を示す概略的平面図である。
【図14】図12に示す従来のDRAMを構成するメモ
リセルアレイ及びセンスアンプ駆動回路列の構成を示す
概略的平面図である。
【図15】図12に示す従来のDRAMを構成するセン
スアンプ駆動信号母線の平面的形状を示す概略的平面図
である。
【図16】図12に示す従来のDRAMを構成するメモ
リセルアレイを構成するブロックの構成を示す回路図で
ある。
【図17】図12に示す従来のDRAMを構成するセン
スアンプ駆動回路のうち、センスアンプ駆動信号NSA
を発生するセンスアンプ駆動回路の構成を示す回路図で
ある。
【図18】図12に示す従来のDRAMを構成するセン
スアンプ駆動回路のうち、センスアンプ駆動信号PSA
を発生するセンスアンプ駆動回路の構成を示す回路図で
ある。
【図19】センスアンプ駆動信号NSAを発生するセン
スアンプ駆動回路と、センスアンプ駆動回路の動作を制
御するに必要な回路との関係を示す図である。
【図20】センスアンプ駆動信号PSAを発生するセン
スアンプ駆動回路と、センスアンプ駆動回路の動作を制
御するに必要な回路との関係を示す図である。
【符号の説明】
(図1) 6 メモリセルアレイ 370〜3763 センスアンプ駆動回路 380〜3863 センスアンプ駆動信号母線 66 センスアンプ駆動回路制御信号発生回路 670〜677 ブロック選択回路 680〜6863 センスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲ
ート回路 (図2) 6 メモリセルアレイ 390〜3963 センスアンプ駆動回路 400〜4063 センスアンプ駆動信号母線 70 センスアンプ駆動回路制御信号発生回路 710〜717 ブロック選択回路 720〜7263 センスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲ
ート回路

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】それぞれにセンスアンプ駆動信号線対を設
    けてなる複数のメモリセル領域を配列すると共に、これ
    ら複数のメモリセル領域の一又は複数のメモリセル領域
    ごとにセンスアンプを同時に駆動する複数のセンスアン
    プ駆動回路を設けて構成されるダイナミックRAMにお
    いて、前記複数のセンスアンプ駆動回路に共用されるセ
    ンスアンプ駆動回路制御信号発生回路と、前記複数のセ
    ンスアンプ駆動回路のそれぞれに近接して配置され、前
    記センスアンプ駆動回路制御信号発生回路から前記複数
    のセンスアンプ駆動回路に供給されるセンスアンプ駆動
    回路制御信号の通過を制御する複数のセンスアンプ駆動
    回路制御信号伝送ゲート回路と、前記一又は複数のメモ
    リセル領域ごとにセンスアンプを同時に駆動させるよう
    に、前記複数のセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲー
    ト回路のオン、オフ動作を制御するセンスアンプ駆動回
    路制御信号伝送ゲート制御回路とを設けていることを特
    徴とするダイナミックRAM。
  2. 【請求項2】それぞれにセンスアンプ駆動信号線対を設
    けてなる複数のメモリセル領域を配列すると共に、これ
    ら複数のメモリセル領域の一又は複数のメモリセル領域
    ごとにセンスアンプを同時に駆動する、前記センスアン
    プ駆動信号線対の一方のセンスアンプ駆動信号線に第1
    のセンスアンプ駆動信号を供給する複数の第1のセンス
    アンプ駆動回路及び前記センスアンプ駆動信号線対の他
    方のセンスアンプ駆動信号線に第2のセンスアンプ駆動
    信号を供給する複数の第2のセンスアンプ駆動回路を設
    けて構成されるダイナミックRAMにおいて、前記複数
    の第1のセンスアンプ駆動回路に共用される第1のセン
    スアンプ駆動回路制御信号発生回路と、前記複数の第1
    のセンスアンプ駆動回路のそれぞれに近接して配置さ
    れ、前記第1のセンスアンプ駆動回路制御信号発生回路
    から前記複数の第1のセンスアンプ駆動回路に供給され
    るセンスアンプ駆動回路制御信号の通過を制御する複数
    の第1のセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲート回路
    と、前記一又は複数のメモリセル領域ごとにセンスアン
    プを同時に駆動させるように、前記複数の第1のセンス
    アンプ駆動回路制御信号伝送ゲート回路のオン、オフ動
    作を制御する第1のセンスアンプ駆動回路制御信号伝送
    ゲート制御回路と、前記複数の第2のセンスアンプ駆動
    回路に共用される第2のセンスアンプ駆動回路制御信号
    発生回路と、前記複数の第2のセンスアンプ駆動回路の
    それぞれに近接して配置され、前記第2のセンスアンプ
    駆動回路制御信号発生回路から前記複数の第2のセンス
    アンプ駆動回路に供給されるセンスアンプ駆動回路制御
    信号の通過を制御する複数の第2のセンスアンプ駆動回
    路制御信号伝送ゲート回路と、前記一又は複数のメモリ
    セル領域ごとにセンスアンプを同時に駆動させるよう
    に、前記複数の第2のセンスアンプ駆動回路制御信号伝
    送ゲート回路のオン、オフ動作を制御する第2のセンス
    アンプ駆動回路制御信号伝送ゲート制御回路とを設けて
    いることを特徴とするダイナミックRAM。
  3. 【請求項3】第1の方向に延在された第1のセンスアン
    プ駆動信号用の第1のセンスアンプ駆動信号線及び前記
    第1の方向に延在された第2のセンスアンプ駆動信号用
    の第2のセンスアンプ駆動信号線からなるセンスアンプ
    駆動信号線対を配列してなる複数のメモリセル領域を前
    記第1の方向と直交する第2の方向に配列してなる領域
    と、この複数のメモリセル領域を配列してなる領域の前
    記センスアンプ駆動信号線対の第2のセンスアンプ駆動
    信号線よりも第1のセンスアンプ駆動信号線に近い側の
    前記第2の方向と直交する第1の外側部及び前記複数の
    メモリセル領域を配列してなる領域の前記センスアンプ
    駆動信号線対の第1のセンスアンプ駆動信号線よりも第
    2のセンスアンプ駆動信号線に近い側の前記第2の方向
    と直交する第2の外側部に、それぞれ、第i、第i+1
    (但し、i=1以上の奇数)番目のセンスアンプ駆動信
    号線対に対応させて前記第1のセンスアンプ駆動信号を
    発生する第(i+1)/2番目の第1のセンスアンプ駆
    動回路及び前記第2のセンスアンプ駆動信号を発生する
    第(i+1)/2番目の第2のセンスアンプ駆動回路を
    対向させて配置し、前記第(i+1)/2番目の第1の
    センスアンプ駆動回路及び前記第(i+1)/2番目の
    第2のセンスアンプ駆動回路の対向する位置から、それ
    ぞれ、前記第i、第i+1のセンスアンプ駆動信号線対
    の第1のセンスアンプ駆動信号線に前記第1のセンスア
    ンプ駆動信号を供給する前記第(i+1)/2番目の第
    1のセンスアンプ駆動信号母線及び前記第i、第i+1
    のセンスアンプ駆動信号線対の第2のセンスアンプ駆動
    信号線に前記第2のセンスアンプ駆動信号を供給する第
    (i+1)/2番目の第2のセンスアンプ駆動信号母線
    を前記第2の方向に平行に延在させ、前記第i及び第i
    +1のセンスアンプ駆動信号線対の第1のセンスアンプ
    駆動信号線及び前記第i及び第i+1のセンスアンプ駆
    動信号線対の第2のセンスアンプ駆動信号線に、それぞ
    れ、同時に前記第1、第2のセンスアンプ駆動信号を供
    給するように構成されるダイナミックRAMにおいて、
    複数の第1のセンスアンプ駆動回路に共用される第1の
    センスアンプ駆動回路制御信号発生回路と、前記複数の
    第1のセンスアンプ駆動回路のそれぞれに近接して配置
    され、前記第1のセンスアンプ駆動回路制御信号発生回
    路から前記複数の第1のセンスアンプ駆動回路に供給さ
    れるセンスアンプ駆動回路制御信号の通過を制御する複
    数の第1のセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲート回
    路と、前記1又は2個のメモリセル領域ごとにセンスア
    ンプを同時に駆動させるように、前記複数の第1のセン
    スアンプ駆動回路制御信号伝送ゲート回路のオン、オフ
    動作を制御する第1のセンスアンプ駆動回路制御信号伝
    送ゲート制御回路と、複数の第2のセンスアンプ駆動回
    路に共用される第2のセンスアンプ駆動回路制御信号発
    生回路と、前記複数の第2のセンスアンプ駆動回路のそ
    れぞれに近接して配置され、前記第2のセンスアンプ駆
    動回路制御信号発生回路から前記複数の第2のセンスア
    ンプ駆動回路に供給されるセンスアンプ駆動回路制御信
    号の通過を制御する複数の第2のセンスアンプ駆動回路
    制御信号伝送ゲート回路と、前記1又は2個のメモリセ
    ル領域ごとにセンスアンプを同時に駆動させるように、
    前記複数の第2のセンスアンプ駆動回路制御信号伝送ゲ
    ート回路のオン、オフ動作を制御する第2のセンスアン
    プ駆動回路制御信号伝送ゲート制御回路とを設けている
    ことを特徴とするダイナミックRAM。
  4. 【請求項4】前記センスアンプ駆動信号線対は、前記複
    数のメモリセル領域のそれぞれに複数、かつ、同一数、
    設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記
    載のダイナミックRAM。
JP5059110A 1993-03-18 1993-03-18 ダイナミックram Pending JPH06275075A (ja)

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EP94301134A EP0616330A3 (en) 1993-03-18 1994-02-16 Semiconductor memory device having the controlled activation capability of sense amplifiers.
KR1019940005073A KR0135719B1 (ko) 1993-03-18 1994-03-15 센스 증폭기의 구동을 제어하는 반도체 메모리 장치
US08/643,834 US5592433A (en) 1993-03-18 1996-05-07 Semiconductor memory device having a capability for controlled activation of sense amplifiers

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