JPH06273113A

JPH06273113A - 干渉計

Info

Publication number: JPH06273113A
Application number: JP8813393A
Authority: JP
Inventors: Yusaku Fujii; 雄作藤井; Osamu Kamatani; 修鎌谷
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1993-03-22
Filing date: 1993-03-22
Publication date: 1994-09-30

Abstract

(57)【要約】【目的】測定範囲および分解能を改善することが可
能な干渉計を提供することを目的とする。【構成】光源にスペクトル線幅の広いインコヒーレ
ント光源を用い、参照光を複数の異なる光路長を有する
光から構成する手段、および、参照光および／または信
号光の光路長を変化させる手段とを有することを特徴と
する干渉計において、参照光を複数の異なる光路長を有
する光から構成する手段として、１周あたりの光路長が
互いに異なる複数の光遅延ループを用いることにより、
信号光の光路長が大きな場合でも、参照光と干渉させる
ことが可能な干渉計を提供することが可能となる。この
干渉計を用い、参照光路の可動鏡を掃引することで、長
距離に渡る反射光分布の高分解能な測定を行うことが可
能な射光分布計測手法を提供することが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、反射光分布計測手法に
関し、特に、測定可能距離と空間分解能を飛躍的に向上
させるのに好適な、反射光分布計測手法に関する。

【０００２】

【従来の技術】

【発明が解決しようとする課題】従来、反射光分布計測
手法としては、光パルスを用いて反射光パルスの時間遅
れが反射位置に対応することを用いた、時間領域反射光
分布計測手法が知られている。しかしながら、光パルス
を用いた手法においては、空間分解能が光パルス幅に依
存するため、高分解能化が困難であり、数ｋｍ程度の距
離を数ｍの分解能で測定する、長距離低分解能型が一般
的である。一方、スペクトル線幅の広いインコヒーレン
ト光源の、可干渉距離が数１０μｍであることを利用し
た、干渉光計測による反射光分布計測手法が知られてい
る。しかしながら、この手法では反射位置に対応して可
動鏡を移動させるために、測定範囲は数１０ｃｍ程度に
制限され、短距離高分解能型となっている。このよう
に、従来技術においては、長距離を高い分解能で測定す
る、適切な手法が存在しなかった。

【０００３】上記の点に鑑み、発明者らは、特に、測定
距離と分解能を飛躍的に向上させるのに好適な、反射光
分布計測等の目的で用いられる干渉計を、特願平5-4868
7において開示した。しかしながら、測定範囲が数km以
上となると、可動鏡の移動量、光遅延ループ周回数等の
制約から、高いダイナミックレンジを維持することに困
難が生じた。本発明の目的は、この干渉計に若干の改良
を加えることにより、小さな可動鏡移動量で長距離に渡
る測定範囲を、高感度で計測可能とすることである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は以下の事項を特
徴とする反射光分布計測等の目的で用いられる干渉計で
ある。参照光を複数の異なる光路長を有する光から構成
する手段、および、参照光および／または信号光の光路
長を変化させる手段とを有することを特徴とする干渉計
において、参照光を複数の異なる光路長を有する光から
構成する手段として、１周あたりの光路長が互いに異な
る複数の光遅延ループを用いることを特徴とする干渉計
である。前記干渉計の光路長を変化させる手段の一例と
して、参照光および／または信号光の光路上に可動鏡、
または、光集積回路からなる光路長制御手段を挿入する
ことなどがある。

【０００５】また、前記干渉計において、参照光を複数
の異なる光路長を有する光から構成する手段の一例とし
て、参照光路に複数の光路長の互いに異なる光遅延ルー
プを用いる方法がある。この光遅延ループの例として、
光ファイバと光結合器からなる光遅延ループ、または、
複数の反射鏡からなる光遅延ループ等がある。特に、光
の周回数を記録する目的で、光遅延ループ内に光周波数
シフタを挿入することを特徴とする前記の反射光分布計
測手法がある。また、光遅延ループ内に、光周波数シフ
タ等の損失を補償する、光増幅器を挿入した光遅延ルー
プがある。

【０００６】また、前記干渉計において、参照光を複数
の異なる光路長を有する光から構成する手段の例とし
て、参照光路に対向する複数の反射鏡を挿入する方法が
ある。この干渉計を用いて、反射光分布計測を行うこと
ができる。上記の干渉計を用いた反射光分布計測を行う
装置例として、距離計、あるいは、光ファイバー欠陥位
置計測装置等がある。

【０００７】さて、図１に、本発明の基本構成を説明す
るための図を示す。インコヒーレント光源１００から出
射した光は、ハーフミラー１０１−１によって信号光と
参照光とに２分される。信号光は、被測定体１０４へ導
かれ、被測定体の表面および／または内部で生じた反射
光がハーフミラー１０１−２によって光検出器１０５へ
到達する。

【０００８】まず、参照光は、第１の光遅延手段１０３
−１へ導かれる。光遅延手段１０３−１内部において、
入射した参照光が、入射した光の一部を適当な結合比に
おいて結合する光結合器１０６−１により、光ファイバ
ーループ１０７−１へ導かれる。光ファイバーループに
導かれた光は、第１の光周波数シフタ１１０−１及び第
１の光増幅器１２０−１を通過し、１周するごとにその
一部分が光結合器１０６−１によりループ１０７−１の
外に取り出される。こうして、参照光は、光ファイバー
ループ長Ｌf1づつ異なる複数の光路長を有する光から構
成される。

【０００９】次に、参照光は、第２の光遅延手段１０３
−２へ導かれる。光遅延手段１０３−２内部において、
入射した参照光が、入射した光の一部を適当な結合比に
おいて結合する光結合器１０６−２により、光ファイバ
ーループ１０７−２へ導かれる。光ファイバーループに
導かれた光は、第２の光周波数シフタ１１０−２及び第
２の光増幅器１２０−２を通過し、１周するごとにその
一部分が光結合器１０６−２によりループ１０７−２の
外に取り出される。こうして、参照光は、光ファイバー
ループ長Ｌf2づつ異なる複数の光路長を有する光から構
成される。

【００１０】参照光は、次に、ハーフミラー１０１−３
によって、光路長を十分に大きな範囲に渡り、分解能程
度の小さなピッチで変化させる可動ミラー１０２へ導か
れる。可動ミラー１０２によって反射した光は、ハーフ
ミラー１０１−４によって光検出器１０５へ到達する。
ここで、光遅延ループ内の第１及び第２の光周波数シフ
タは、干渉成分のヘテロダイン検出のためであり、参照
光を位相変調する等、種々の従来技術を用いることが可
能である。また、光遅延ループ内の光増幅器は、光周波
数シフタ等の損失を補償するためのものである。この光
増幅器としては、エルビウムドープ光ファイバ増幅器、
半導体光増幅器等、種々の従来技術を用いることが可能
である。また、光遅延ループは光ファイバ、空間伝搬、
光導波路等、種々の手法で達成可能であり、光ファイバ
の場合、偏波維持ファイバ等を用いて構成してもよい。
また、光遅延ループ内及びあるいは参照光路上に光フィ
ルタ、ポラライザ等を挿入してもよい。

【００１１】本発明では、光源に、スペクトル線幅の広
いインコヒーレント光源あるいは、パルス光源等を用
い、干渉計を構成する。前記干渉計において、参照光を
複数の異なった光路差を有する光から構成させて、参照
光路の可動鏡を掃引することで反射光分布の高分解能な
精密測定を行う。従って、従来の反射光分布計測手法に
比べて、短距離から長距離に渡る種々の測定対象に対し
て高分解能測定できるような、反射光分布計測手法を提
供することが可能となる。

【００１２】なお、興味ある信号光のおおよその光路長
が既知である場合には、光結合器の結合比を所望の周回
数における参照光の光量が最大となるように調節しても
よい。また、光結合器を反射鏡によって構成してもよ
く、反射鏡の反射率を、参照光の光路長が信号光の光路
長とほぼ等しくなる周回数における参照光の光量が最大
となるように調節してもよい。また、光結合器を光ファ
イバーループ１０７上の２箇所に分けて設置し、それぞ
れを参照光のファイバーループ内への入射あるいは出射
専用とし、それぞれの結合比を最適化してもよい。

【００１３】また、信号光および／または参照光の出力
光強度を増加させるために、適当な位置に光増幅器を挿
入してもよい。

【００１４】

【作用】図１に基づいて、本発明による干渉計の作用を
説明する。図１において、信号光の光路長をＬｓ、参照
光の光路長をＬｒとし、第１の光ファイバーループ１０
７−１の１周当たりの光路長をＬf1、第２の光ファイバ
ーループ１０７−２の１周当りの光路長をＬf2、可動ミ
ラーによる光路長の変化量をＬｍ、参照光の光路長Ｌｒ
において光ファイバーループと可動ミラーの部分以外の
光路長の合計をＬｃとする。ここで、参照光の光路長
は、第１の光ファイバーループを周回数ｎ1、第２の光
ファイバループを周回数ｎ2だけ、それぞれ周回した成
分が合成されたものとなっている。したがって、Ｌｒ
は、Ｌｒ＝ｎ1・Ｌf1＋ｎ2・Ｌf2＋Ｌｍ＋Ｌｃによって表される。ここで、周回数ｎ1及びｎ2は整数で
あり、ｎ1＝０，１，２，３，・・・ｎ1max、ｎ2＝
０，１，２，３，・・・ｎ2max、によってそれぞれ表
される。ここで、ｎ1max及びｎ2maxは、有効周回数であ
り、所望のダイナミックレンジあるいは最低検出反射率
を達成するために必要とされる、参照光強度を与える、
最大周回数である。つまり、周回数を重ねることによっ
て、光遅延ループを構成する光結合器あるいは反射鏡の
結合比あるいは反射率に応じて、参照光強度が低下する
が、所望のダイナミックレンジを達成するために必要
な、最低参照光強度が存在する。

【００１５】光結合器を用いた光遅延ループの場合、光
結合器の結合係数によって、周回数に応じた、参照光強
度の低下量が算出される。図１の第１の光遅延ループに
おいて、光結合器の結合比をαとすると、周回数ｎ後の
参照光強度は、α²（１−α）^n-1倍低下する。このと
き、有効周回数を１０回とすると、前式を周回数１０で
最大値をとるようにすると、α＝０．１８、最大値５．
４×１０^-3となる。

【００１６】インコヒーレント光源を用いた、干渉光計
測による反射光分布計測法における、ダイナミックレン
ジ、つまり、最低検出可能反射率に関する報告が、W.V.
Sorin,D.M.Baneyらの、"A Simple Intensity Noise Red
uction Technique for Optical Low-Coherence Reflect
ometry", IEEE Photonics technology letters, vol.4,
no.12, Dec., 1992、に示されている。その結果によれ
ば、参照光強度が０．１マイクロワット（μＷ）程度に
おいて、ダイナミックレンジとして１２１ｄＢ／Ｈｚが
達成可能であると報告されている。従って、図１の光遅
延ループにおいて、インコヒーレント光源の出力が２ミ
リワット（ｍＷ）である場合、第１及び第２の光遅延ル
ープを通過した後の参照光強度は、２．５×１０^-2μＷ
となる。従って、この場合のダイナミックレンジは、約
７０〜１００ｄＢが達成可能である。

【００１７】一般に、測定範囲を拡大するために、光遅
延ループ内の周回数を増加させると、光周波数シフタ、
光結合器等での損失が問題となる。また、可動鏡等の光
路長変化手段の変化量が制限される場合、長距離測定の
ためには、光遅延ループ内の周回数が増加する。例え
ば、可動鏡の光路長変化距離が５０ｃｍに制限される場
合、光遅延ループに必要な光路長は１ｍとなり、測定範
囲を１ｋｍとするには、周回数として１０００回が必要
とされる。本発明においては、例えば、光遅延ループと
して、光路長がそれぞれ、１ｍ、１０ｍ、１００ｍのよ
うな複数の光遅延ループを参照光側に設置することによ
り、各光遅延ループの有効周回数を、１０回程度に設定
することが可能となる。

【００１８】図１の光遅延ループにおいて、第１及び第
２の光遅延ループの光路長の設定は、可動鏡等の光路長
変化手段の最大変化量に応じて、有効周回数内で、各周
回成分から構成された参照光が、測定範囲を掃引可能な
ように設定すればよい。例えば、可動鏡の最大移動量が
５０ｃｍの場合、第１の光遅延ループの光路長を１０
ｍ、第２の光遅延ループの光路長を１ｍとすれば、有効
周回数を１０回とすると、測定可能距離は１１０ｍとな
る。

【００１９】図１の光遅延ループにおいて、第１及び第
２の光遅延ループ内の光周波数シフタの光周波数シフト
量の設定は、各周回成分が、干渉成分のヘテロダイン検
出後の電気周波数軸上で分離可能なように設定すればよ
い。例えば、第１の光周波数シフタのシフト量を４０．
１ＭＨｚ、第２の光周波数シフタのシフト量を４０．２
ＭＨｚとすれば、干渉成分のヘテロダイン周波数成分に
よって、各光遅延ループの周回数がそれぞれ一意的に決
定される。例えば、干渉成分の電気周波数成分が４４
１．４ＭＨｚとして得られた場合、第１の光遅延ループ
の周回数が８回、第２の光遅延ループの周回数が３回と
決定され、他の周回数の組合せは存在しない。その結
果、参照光の光路長が決定され、所望の反射光分布計測
が達成される。

【００２０】また、図２に示すように、第１、第２、及
び第３の光結合器、２０６−１、２０６−２、２０６−
３を用いた、第１、第２、及び第３の光遅延ループ、２
０３−１、２０３−２、２０３−３を用いて構成しても
よい。第１、第２及び第３の光遅延ループ内の光周波数
シフタ、２１０−１、２１０−２、２１０−３の光周波
数シフト量の設定は、各周回成分が、干渉成分のヘテロ
ダイン検出後の電気周波数軸上で分離可能なように設定
すればよい。例えば、第１の光周波数シフタのシフト量
を４０．０１ＭＨｚ、第２の光周波数シフタのシフト量
を４０．０２ＭＨｚ、第３の光周波数シフタのシフト量
を４１．００ＭＨｚとすれば、干渉成分のヘテロダイン
周波数成分によって、各光遅延ループの周回数がそれぞ
れ一意的に決定される。例えば、干渉成分の電気周波数
成分が５２２．１４ＭＨｚとして得られた場合、第１の
光遅延ループの周回数が８回、第２の光遅延ループの周
回数が３回、第３の光遅延ループの周回数が２回と決定
され、他の周回数の組合せは存在しない。その結果、参
照光の光路長が決定され、所望の反射光分布計測が達成
される。

【００２１】この方法は、任意の光路長を有する信号光
の強度等の計測が可能となり、通信用光ファイバーの欠
陥位置測定装置等への適用も有効である。本発明では、
光源に、スペクトル線幅の広いインコヒーレント光源を
用い、干渉計を構成する。参照光を複数の異なった光路
差を有する光から構成させて、参照光路の可動鏡を掃引
することで反射光分布の高分解能な精密測定を行う。

【００２２】従って、従来の反射光分布計測手法に比べ
て、短距離から長距離に渡る種々の測定対象に対して、
インコヒーレント光源の可干渉距離程度の精度、つまり
数１０ミクロンの空間分解能で測定できる干渉計を提供
することが可能となる。従来技術として知られるよう
に、インコヒーレント光源としてスーパールミネッセン
トダイオード（ＳＬＤ）等を用いれば、可干渉距離は数
１０ミクロン程度となる。インコヒーレント光源として
は、ＳＬＤの他にも、光ファイバ増幅器の自然放出光を
増幅する等、種々の従来技術が適用可能である。また、
本手法はヘテロダイン検出方式を用いているため、被測
定体内部の偏波状態変動に対応するために、偏波ダイバ
ーシティ等、種々の従来技術を用いることが可能であ
る。

【００２３】

【実施例】前記干渉計において、光遅延手段は、参照光
を複数の異なった光路差を有する光から構成させる目的
のものである。光遅延手段は光遅延ループ等から構成さ
れる遅延手段であり、一般に第ｎの光遅延ループでは、
入射光に対して周回数毎に光路差Ｌfnに相当する遅延を
与える。従って、光遅延手段からの出射光には、光遅延
ループの周回数をｎとして、Ｌfn、２Ｌfn、・・・、ｎ
Ｌfn、・・・の光路差を有する成分が含まれる。この光
遅延ループは、複数直列及びあるいは並列接続して、前
記干渉系における設計状の自由度を向上させることが可
能となる。

【００２３】図３に、光遅延手段の実施例を示す。参照
光は、第１の光遅延手段３０３−１へ導かれる。光遅延
手段３０３−１内部において、入射した参照光が、入射
した光の一部を適当な結合比において結合する光結合器
３０６−１により、光ファイバーループへ導かれる。光
ファイバーループに導かれた光は、第１の光位相変調器
３１０−１及び第１の光増幅器３２０−１を通過し、１
周するごとにその一部分が光結合器３０６−１によりル
ープの外に取り出される。光位相変調器は従来技術であ
るセロダイン変調法により、所望の光周波数シフトを与
えるものである。こうして、参照光は、光ファイバール
ープ長Ｌf1づつ異なる複数の光路長を有する光から構成
される。参照光は順次、光遅延手段３０３−２、３０３
−３を通過する。例として、第１、第２、第３の光ファ
イバーループ長をそれぞれ、Ｌf1＝１００ｍ、Ｌf2＝１
０ｍ、Ｌf3＝１ｍとし、各光周波数シフト量を、１ＭＨ
ｚ、１００ｋＨｚ、１０ｋＨｚと設定する。この場合測
定範囲は１１１０ｍとなり、得られたヘテロダイン周波
数成分から上述のように所望の反射光分布が測定され
る。

【００２４】図４に、光遅延手段の実施例を示す。図示
されるように、参照光は、第１の光遅延手段４０３−１
へ導かれる。光遅延手段４０３−１内部において、入射
した参照光が、入射した光の一部を適当な結合比におい
て結合する光結合器４０６−１により、光ファイバール
ープへ導かれる。光ファイバーループに導かれた光は、
１周するごとにその一部分が光結合器４０６−１により
ループの外に取り出される。次に第２の光遅延手段に導
かれ同様に、遅延量が与えられる。例として、第１、第
２の光遅延ループの光路長を、１０ｍ、１ｍとすると、
あらかじめ粗計測により反射点がある範囲に特定される
場合には、この光遅延手段により、測定範囲１０１ｍを
測定可能である。

【００２５】図５に、本発明を距離計に応用した場合の
光遅延手段の他の実施例を示す。図示されるように、対
向する反射鏡によって光遅延手段が形成されている。上
記手段において、ループ内に光周波数シフタ５１０−１
及び５１０−２が挿入され、光周波数シフタの損失を補
償し、出力光強度を増加させるために、ループ内に光増
幅器５２０−１及び５２０−２が挿入される。信号光
は、被測定体５０４へ導かれ、被測定体で生じた反射光
が、適当なレンズ系によって集光され、ハーフミラー５
０１−２によって光検出器５０５へ到達する。もう一方
の光は、第１及び第２の、反射鏡及び光周波数シフタに
よって構成された、光遅延手段を通過した後、ハーフミ
ラー５０１−３によって可動ミラー５０２へ導かれる。
可動ミラーによって反射した光は、ハーフミラー５０１
−４によって光検出器５０５へ到達する。光周波数シフ
タ５１０は、干渉成分のヘテロダイン検出のためであ
り、参照光を位相変調する等、種々の従来技術を用いる
ことが可能である。

【００２６】図６に、本発明を光ファイバセンサに応用
した場合の光遅延手段の他の実施例を示す。図示される
ように、参照光は、測定範囲のオフセット調節用光ファ
イバループ６５０を通過した後、２つの光ファイバルー
プ６０７−１及び６０７−２によって光遅延手段が形成
されている。光路長の制御は、光集積回路６６０によっ
て達成されている。センシング光ファイバには、所望の
間隔で反射体が形成されており、被測定量の変化が、各
反射体の間隔によって、高精度に検出可能である。

【００２７】図７に、本発明を光ファイバセンサに応用
した場合の光遅延手段の他の実施例を示す。図示される
ように、参照光は、第１の光遅延手段７０３−１へ導か
れる。光遅延手段７０３−１内部において、入射した参
照光が、入射した光の一部を適当な結合比において結合
する光結合器７０６−１により、光ファイバーループへ
導かれる。光ファイバーループに導かれた光は、第１の
光周波数シフタ７１０−１及び第１の光増幅器７２０−
１を通過し、１周するごとにその一部分が光結合器７０
６−１によりループの外に取り出される。次に第２の光
遅延手段に導かれ同様に、遅延量が与えられる。例とし
て、第１、第２の光遅延ループの光路長は、上述のよう
に種々の設定が可能である。センシング光ファイバに
は、所望の間隔で配置された、光ファイバループを有す
る反射体によって形成されており、被測定量の変化が、
各反射体の間隔によって、高精度に検出可能である。

【００２８】前述のように、本発明による反射光分布計
測手法を用いることによって、被測定光ファイバ内の破
断点等で生じる反射光地点を特定することで、所望の欠
陥位置計測装置が実現される。本装置は、被測定光ファ
イバ内で生じる反射光分布を測定することによって、欠
陥位置の特定のみならず、損失特性等、光ファイバ通信
線路の特性評価に用いることも可能である。

【００２９】上記の実施例は本発明を明確に説明するた
めのものであって、本発明の主旨を逸脱することなく、
種々の変形例が実施可能である。

【発明の効果】以上に述べたように、本発明では、光源
にスペクトル線幅の広いインコヒーレント光源を用い、
参照光を複数の異なる光路長を有する光から構成する手
段、および、参照光および／または信号光の光路長を変
化させる手段とを有することを特徴とする干渉計におい
て、参照光を複数の異なる光路長を有する光から構成す
る手段として、１周あたりの光路長が互いに異なる複数
の光遅延ループを用いることにより、信号光の光路長が
大きな場合でも、参照光と干渉させることが可能な干渉
計を提供することが可能となる。この干渉計を用い、参
照光路の可動鏡を掃引することで、長距離に渡る反射光
分布の高分解能な測定を行うことが可能な射光分布計測
手法を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による、干渉計の基本構成を説明するた
めの図。

【図２】本発明による、光遅延手段の実施例を説明する
ための図。

【図３】本発明による、光遅延手段の他の実施例を説明
するための図。

【図４】本発明による、光遅延手段の他の実施例を説明
するための図。

【図５】本発明による、干渉計を距離計に適用した実施
例を説明するための図。

【図６】本発明による、干渉計を光ファイバセンサに適
用した実施例を説明するための図。

【図７】本発明による、干渉計を光ファイバセンサに適
用した他の実施例を説明するための図。

【符号の説明】

１００インコヒーレント光源１０１ハーフミラー１０２可動ミラー１０３光遅延手段１０４被測定体１０５光検出器１０６光結合器１１０光周波数シフタ１２０光増幅器２０３光遅延手段２１０光周波数シフタ２０６光結合器３０３光遅延手段３０６光結合器３１０光位相変調器３２０光増幅器３３０光増幅器４０３光遅延手段４０６光結合器５００インコヒーレント光源５０１ハーフミラー５０２可動ミラー５０３光遅延手段５０４被測定体５０５光検出器５０６ミラー５１０光周波数シフタ５２０光増幅器６００インコヒーレント光源６０１ハーフミラー６０７光遅延手段６５０オフセット光ファイバループ６６０光路長制御用光集積回路６７０センシング光ファイバ７００インコヒーレント光源７０１ハーフミラー７０２可動ミラー７０３光遅延手段７０４被測定体７０５光検出器７０７光遅延手段７１０光周波数シフタ７２０光増幅器７７０センシング光ファイバ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】参照光を複数の異なる光路長を有する光
から構成する手段、および、参照光および／または信号
光の光路長を変化させる手段とを有することを特徴とす
る干渉計において、参照光を複数の異なる光路長を有す
る光から構成する手段として、１周あたりの光路長が互
いに異なる複数の光遅延ループを用いることを特徴とす
る、干渉計
【請求項２】前記干渉計の光路長を変化させる手段
が、参照光および／または信号光の光路上に可動鏡を挿
入することにより構成されることを特徴とする、請求項
１に記載の干渉計。
【請求項３】前記干渉計の光路長を変化させる手段
が、参照光および／または信号光の光路上に光集積回路
からなる光路長制御手段を挿入することにより構成され
ることを特徴とする、請求項１に記載の干渉計。
【請求項４】前記干渉計において、参照光を複数の異
なる光路長を有する光から構成する手段が、参照光路に
光遅延ループを用いて構成されることを特徴とする、請
求項１または請求項２または請求項３に記載の干渉計。
【請求項５】前記干渉計の光遅延ループが、光ファイ
バと光結合器からなる光遅延ループを用いて構成される
ことを特徴とする、請求項４に記載の干渉計。
【請求項６】前記干渉計の光遅延ループが、複数の反
射鏡からなる光遅延ループにより構成されるを特徴とす
る、請求項４に記載の干渉計。
【請求項７】前記干渉計において、光遅延ループ内に
光周波数シフタを挿入することを特徴とする、請求項４
または請求項５または請求項６に記載の干渉計。
【請求項８】前記干渉計において、光遅延ループ内に
光増幅器を挿入することを特徴とする、請求項４〜７に
記載の干渉計。
【請求項９】前記干渉計において、参照光を複数の異
なる光路長を有する光から構成する手段が、参照光路
に、対向する複数の反射鏡を挿入することによって構成
されることを特徴とする、請求項１または請求項２また
は請求項３に記載の干渉計。
【請求項１０】参照光を複数の異なる光路長を有する
光から構成する手段、および、参照光および／または信
号光の光路長を変化させる手段とを有することを特徴と
する、請求項１〜９に記載の干渉計を用いた反射光分布
計測手法。
【請求項１１】請求項１０に記載の反射光分布計測手法
を用いた距離計。
【請求項１２】請求項１０に記載の反射光分布計測手法
を用いた光ファイバー欠陥位置計測装置。
【請求項１３】請求項１０に記載の反射光分布計測手法
を用いた、光ファイバーセンサー。