JPH0626989A - 空間分解能測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 空間分解能の測定にための前準備を要さず、
分解能の値を連続的に測定することができ、かつ測定時
間そのものも短時間とすることができる共焦点型レーザ
走査型顕微鏡の空間分解能を測定する装置を提供する。 【構成】 等間隔に鋸歯状の溝が多数刻線されている平
面回折格子１と、平面回折格子１を顕微鏡の対物レンズ
３の下方に保持し、平面回折格子上に焦点面を形成する
保持台２と、保持台２を記平面回折格子１の溝方向を回
転軸として軸回転させる駆動手段４〜７と、保持台２の
回転角と平面回折格子１の溝間隔から顕微鏡の空間分解
能を求める演算手段１２，１３とによって空間分解能測
定装置を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、共焦点型レーザ走査型
顕微鏡の空間分解能を測定する空間分解能測定装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、共焦点型レーザ走査型顕微鏡の空
間分解能を検査する手段としては、通常のレーザ走査型
顕微鏡の空間分解能を検査する手段を用いており、その
手段として例えば以下のものが知られている。 （１）レーザ走査型顕微鏡の空間分解能を検査する一つ
の手段は、解像力チェック用ラインテストパターンを用
いるものである。

【０００３】前記解像力チェック用ラインテストパター
ンとし、従来クロム蒸着膜によって形成されたテストパ
ターンが使用されている。図１１は従来の空間分解能の
検査に使用するテストパターンマスクの構成図である。
図において、テストパターンマスクは石英ガラスの基板
にクロムの蒸着膜が形成され、その上に反射防止膜など
が形成されている。そして、前記テストパターンマスク
は、例えば０．６ｍｍ角のワンチップの中に０．５μ，
１μ，１．５μ，３μ，４μ，５μ，６μ，８μ，１０
μ，１５μ等の線幅を持つ白黒ラインで形成されたテス
トパターンが形成されたチップＡを一辺に５個ずつ計２
５個を市松模様に配して３ｍｍ角のチップとし、さらに
この３ｍｍ角のチップを３．１ｍｍピッチで複数個配す
ることによって構成される。

【０００４】そして、この解像力チェック用ラインテス
トパターンの種々の線幅のラインをレーザ走査顕微鏡に
よって実際に画像計測し、その画像計測によって分解能
の検査を行うものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の空間分解能検査においては、以下の様な問題点を有
している。 （１）解像力チェック用ラインテストパターンによる空
間分解能検査においては、検査可能な空間分解能の値は
前記テストパターンに左右される。

【０００６】つまり、ガラス基板上にクロム膜などを蒸
着することによって形成された解像力チェック用ライン
テストパターンでは、パターンの線幅及び線間隔が原版
作成時に決定され、かつ、空間分解能の値は前記パター
ンの線幅及び線間隔によって決定されるため、空間分解
能検査装置の検査可能な空間分解能の値は解像力チェッ
ク用ラインテストパターンによって定まり、予め定めら
れた値の空間分解能のみの検査しか行うことができな
い。 （２）したがって、解像力チェック用ラインテストパタ
ーンによる空間分解能検査においては、空間分解能を連
続的に変化させながらチェックしたり、また空間分解能
を連続的に測定することは不可能である。 （３）また、ラテックス粒子を用いて蛍光や反射光像を
とって調べる方法では、該ラテックス粒子を懸濁液にし
たり、あるいは場合によっては適当な基板上への固定が
必要となるなど、チェック用の試料を作成するための煩
わしい前準備が必要である。 （４）さらに、前記ラテックス粒子を用いて蛍光や反射
光像をとって調べる方法では、顕微画像の解釈は等間隔
の線の並びを目視するのに比べるとやや難しく、分解能
の有無を判定する効率や精度は低くなる。 （５）前記解像力チェック用ラインテストパターンによ
る空間分解能検査、及びラテックス粒子を用いて蛍光や
反射光像をとって調べる方法のいずれの方法において
も、測定対象の顕微鏡の空間分解能を精細に検定するた
めには、その空間分解能に対応するラインテストパター
ンやラテックス粒子を選定する必要があり、そのサンプ
ル選定に手数がかかり、長時間の検査時間を必要とす
る。

【０００７】本発明は上記の問題点を除去し、空間分解
能の測定にための前準備を要さず、分解能の値を連続的
に測定することができ、かつ測定時間そのものも短時間
とすることができる共焦点型レーザ走査型顕微鏡の空間
分解能を測定する装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記の問題点
を克服するために、空間分解能測定装置を等間隔に鋸歯
状の溝が多数刻線されている平面回折格子と、平面回折
格子を顕微鏡の対物レンズの下方に保持し、前記平面回
折格子上に焦点面を形成する保持台と、保持台を前記平
面回折格子の溝方向を回転軸として軸回転させる駆動手
段と、保持台の回転角と前記平面回折格子の溝間隔から
顕微鏡の空間分解能を求める演算手段とによって構成す
るものである。

【０００９】また、保持台は、平面回折格子の鋸歯状の
斜面部上にちょうど回転中心が置かれるようにして一つ
の回転軸の周りに回転できるように形成することもでき
る。また、平面回折格子を回転させる手段はレーザ顕微
鏡の試料ステージ部に取付ることもできる。

【００１０】

【作用】本発明によれば、共焦点レーザ走査型顕微鏡の
焦点面と平面回折格子の表面とがほとんど連続的に任意
の値、少なくとも分解能チェックのために必要とされる
角度可変範囲内の値で交わるように構成し、このとき既
知である二つの面の交差角θと得られるべき分解能ｆ
（θ）との関係を利用して、制御用コンピュータから回
折格子を回転させるモータに回転角を与える信号を送り
ながら顕微画像を評価し、画像から分解の上限に達した
と判定された時点で回折格子の累積回転角から得られた
分解能の値をコンピュータによって算出する。

【００１１】また、保持台の回転軸及びステッピングモ
ータなどのモータの回転軸上に取り付けられたタイミン
グプーリ並びに各々のプーリ間をつないでモータの動力
を伝達するタイミングベルトによって駆動装置を構成
し、電気信号入力によって平面回折格子を微小角度ずつ
回転させるものである。また、平面回折格子を回転させ
る手段はレーザ顕微鏡の試料ステージ部に取付け可能な
ものとし、顕微鏡の対物レンズによってレーザ光が前記
平面回折格子表面の前記回転軸上に微小な集光点を形成
し、この位置に生ずる対物レンズの焦点面と平面回折格
子の基準面との成す角をコンピュータから送られる信号
で制御することによって、共焦点レーザ顕微鏡の空間分
解能を検査するものである。

【００１２】さらに、焦点面の深度が極めて浅い共焦点
型レーザ走査型顕微鏡の最も重要な仕様である空間分解
能のチェックを効果的に行うための一種の検査用治具と
して使用することができるものである。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の実施例について図を参照しな
がら詳細に説明する。図１は本発明の空間分解能測定装
置の構成図である。図において、１は平面回折格子、２
は保持台、３は共焦点レーザ顕微鏡の対物レンズ、４は
タイミングプーリ、５はタイミングベルト、６はタイミ
ングプーリ、７はモータ、１０はインターフェース、１
１はモータ用電源、１２はＣＰＵ、１３は記憶装置、１
４は入力装置、１５は表示装置である。

【００１４】本発明の空間分解能測定装置の測定対象で
ある共焦点型レーザ走査顕微鏡は、焦点面の深度が極め
て浅く焦点面内のみの試料画像が観察可能な高性能顕微
鏡である。この様な特性を持つ共焦点型レーザ走査顕微
鏡においては、空間分解能は最も重要な仕様であり、こ
の空間分解能を測定することは共焦点型レーザ走査顕微
鏡の評価の上で重要な事項である。

【００１５】本発明の空間分解能測定装置においては、
その空間分解能を測定するために平面回折格子１を用い
る。該平面回折格子１はガラス基板上に等間隔に１ｍｍ
当たり１，０００本以上の溝を刻線したものであり、本
発明の空間分解能測定装置は、該平面回折格子１を共焦
点型レーザ走査顕微鏡の観察試料とすることによって得
られる試料画像を分析して、その共焦点型レーザ走査顕
微鏡自体の分解能を測定するものである。

【００１６】前記平面回折格子１は保持台２に収めら
れ、測定対象の共焦点型レーザ走査顕微鏡の対物鏡３の
焦点上に配置されて保持される。前記保持台２に基準面
及び凹部あるいは突出部等の位置決め部分を形成するこ
とによって、前記平面回折格子１の位置決めを行うこと
ができる。したがって、平面回折格子１を保持台２に収
納するだけで共焦点型レーザ走査顕微鏡の対物鏡３から
の入射光軸に対する平面回折格子１の角度の初期設定を
行うことができる。

【００１７】また、保持台２は平面回折格子１上に形成
される焦点面に対する平面回折格子１の傾斜角度を変更
可能とする手段を有している。この傾斜角度変更手段
は、図１において保持台２、タイミングプーリ４、タイ
ミングベルト５、タイミングプーリ６、モータ７、イン
ターフェース１０、モータ用電源１１、及びＣＰＵ１２
によって構成され、保持台２を平面回折格子１の上表面
上を通る回転軸を中心にして回転可能としており、顕微
鏡の試料ステージに設置することもできる。

【００１８】保持台２の回転は、保持台２の側部に配置
されたタイミングプーリ４によって行われる。タイミン
グプーリ４の設置位置は、平面回折格子１がその平面回
折格子１の上表面上を通る回転軸を中心にして回転可能
となる様に設定される。前記タイミングプーリ４にはタ
イミングベルト５が掛けられ、該タイミングベルト５が
掛けられた他方のタイミングプーリ６をモータ７で駆動
することによって回転運動を行う。したがって、モータ
７の駆動力はタイミングプーリ６、タイミングベルト
５、及びタイミングプーリ４の順に伝達され、平面回折
格子１が一回転軸の周りに回転する。

【００１９】前記モータ７はステッピングモータなどに
よって構成され、専用のモータ用の駆動電源１１によっ
て電力を供給され、その回転角信号などの制御信号はＣ
ＰＵ１２から入力され、それぞれインターフェース１０
を介して供給される。共焦点レーザ顕微鏡の対物レンズ
３から出射されたレーザ照射光は、前記保持台２に保持
された平面回折格子１の表面の回転軸上に微小な集光点
を形成するように配置される。

【００２０】ところで、共焦点型レーザ顕微鏡ではよく
知られているように、焦点深度がサブμｍオーダの焦点
面を有している。この焦点面の深度が極めて浅いという
特徴を利用すると、例えば平面回折格子１の表面形状を
測定する場合には、平面回折格子１の最表面から光軸方
向に任意の深さだけ下がった位置の焦点面内の画像を得
ることができる。本発明は、前記特徴を利用するもので
ある。

【００２１】前記の点について説明する。図２及び図３
は平面回折格子と焦点面との位置関係図である。図にお
いて、１は平面回折格子、２０，２１は平面回折格子の
溝斜面、２３は平面回折格子の溝斜面の先端部分、３
０，３２は焦点面、３１，３３，３４は交線である。

【００２２】図２は共焦点型レーザ顕微鏡の焦点面３０
が平面回折格子１の最表面にある場合を示したものであ
り、この位置関係において共焦点型レーザ顕微鏡によっ
て得られる像は図の太線で示される平面回折格子１の溝
斜面の先端部分２３である。したがって、共焦点型レー
ザ顕微鏡の像は平面回折格子１の溝と同じ間隔の等間隔
の複数本の直線３１の並びとなる。

【００２３】このときの焦点面内の分解能は平面回折格
子１の溝間隔に等しいと考えることができる。例えば、
平面回折格子１が１ｍｍに２０００本の溝本数を有して
いる場合の分解能は、ｍｍ当たりの溝本数の逆数として
表され、ここでは０．５０μｍとなる。図３は共焦点型
レーザ顕微鏡の焦点面３２が平面回折格子１の最表面か
ら光軸方向にある深さだけ下がった位置にある場合を示
したものであり、この位置関係において共焦点型レーザ
顕微鏡によって得られる像は、図の太線で示される交線
３３，３４であり、平面回折格子１の溝斜面部分２０，
２１と共焦点型レーザ顕微鏡の焦点面３２との交差部分
である。

【００２４】したがって、共焦点型レーザ顕微鏡の像は
平面回折格子１の溝と同じ間隔の等間隔の複数本の直線
３３及び３４の並びとなる。また、前記の点を図４〜図
６によってさらに説明する。図４〜図６は平面回折格子
と焦点面との交差状態を示す側面図である。図４におい
て、焦点面３０は平面回折格子１の最表面にあり、この
位置関係において共焦点型レーザ顕微鏡によって得られ
る像３１は平面回折格子１の溝斜面の先端部分２３から
得られる。像３１は平面回折格子１の溝と同じ間隔の等
間隔の複数本の直線の並びとなる。

【００２５】次に、図５は焦点面３２が平面回折格子１
の最表面から光軸方向にある深さだけ下がった位置にあ
り、この位置関係において共焦点型レーザ顕微鏡によっ
て得られる像３３及び３４は、平面回折格子１の溝斜面
部分２０，２１と焦点面３２との交線であり図において
細線と太線で示される。像３３は平面回折格子１の溝と
同じ間隔の等間隔の複数本の直線の並びとなり、同様に
像３４も平面回折格子１の溝と同じ間隔の等間隔の複数
本の直線の並びとなる。また、像３３と像３４の間隔は
平面回折格子１の溝間隔よりも短く、焦点面３２の平面
回折格子１の最表面からの光軸方向の深さによって定ま
るものである。

【００２６】さらに、図６は焦点面３２´が平面回折格
子１の最表面から光軸方向に図５の場合よりも深く下が
った位置にあり、この位置関係において共焦点型レーザ
顕微鏡によって得られる像３３´及び３４´は図の細線
と太線で示されるものとなる。像３３´は平面回折格子
１の溝と同じ間隔の等間隔の複数本の直線の並びとな
り、同様に像３４´も平面回折格子１の溝と同じ間隔の
等間隔の複数本の直線の並びとなる。また、像３３´と
像３４´の間隔は平面回折格子１の溝間隔よりも短く、
図５の間隔と異なる間隔となる。

【００２７】前記の場合における焦点面内分解能につい
て説明する。図７は平面回折格子と焦点面との位置関係
図である。図において、１は平面回折格子、２０，２１
は溝斜面、２４は溝斜面の傾斜角、２５，２６，２７は
線間隔、４１は初期焦点面、４２は新焦点面、４３は入
射光軸、４４は焦点面の傾斜角である。

【００２８】前記の場合における焦点面内分解能は、図
７の平面回折格子１と初期焦点面４１との交線から得ら
れる像の間隔２５によって定められる。このとき、平面
回折格子１は水平状態にあり、初期焦点面４１は平面回
折格子１と平行となる。該像間隔２５は平面回折格子１
の溝斜面２０と初期焦点面４１との二つの交点ＯとＡと
の間隔として得られる。例えば、１ｍｍに２０００本の
溝本数を有している平面回折格子１の分解能は０．５０
μｍとなる。

【００２９】次に、図１の構成によって焦点面内分解能
を向上させる点について説明する。図１の機構によって
平面回折格子１を回転させて格子の表面を初期の水平面
からある角度だけ傾いたときには、平面回折格子１の溝
斜面２１と焦点面との交線（図においては交点によって
示される）は点Ａから点Ｐ₁ に移り、分解能としてはＯ
Ｐ₁ の長さとなる。図７において、平面回折格子１は傾
斜して図示されていないが、平面回折格子１の回転状態
は破線によって示される新焦点面４２と平面回折格子１
との相対関係によって示されている。

【００３０】ここで、平面回折格子１が図１の機構によ
って反時計方向に傾斜角４４だけ回転すると、例えば６
°だけ回転させた場合の像間隔２６はＯＰ₁ ＝０．３９
μｍとなる。この時、顕微画像をチェックして、等間隔
の直線の並びの像が確認される場合には、焦点面内分解
能は０．３９μｍまであると判定することができる。し
たがって、前記のように平面回折格子１を傾斜すること
によって得られる像の間隔を変更して焦点面内分解能を
求めることができる。このことは、平面回折格子１の傾
斜角と分解能との関係が既知であれば、その傾斜角から
共焦点型レーザ顕微鏡の分解能が連続的に求められるこ
とを示している。

【００３１】そこで、次に平面回折格子１の傾斜角と分
解能との関係を求める。図８は平面回折格子と焦点面と
の関係図であり、図９は平面回折格子の傾斜角と分解能
との関係図である。図８において、２０は溝斜面、４０
は焦点面、Ｏ，Ａは平面回折格子の溝斜面２０と焦点面
４０との交線（図では交点によって示される）、Ｐ₁ は
平面回折格子の溝斜面２０と新焦点面４２との交線（図
では交点によって示される）、Ｘは基準面、αは溝斜面
の傾斜角、ｄは溝間隔、ｈは焦点面の平面回折格子の最
表面からの深さ、θは傾斜角である。

【００３２】平面回折格子１が傾斜したときの分解能を
ｆ（θ）と表すと、該ｆ（θ）はＯＰ₁ の距離によって
表わされる。図において、ＯＰ₁ の距離はｄ・ｓｉｎα
／ｓｉｎ（θ＋α）となるので、分解能は ｆ（θ）＝ ｄ・ｓｉｎα／ｓｉｎ（θ＋α） …（１） のθの関数として表される。

【００３３】ここで、溝間隔ｄはＮをｍｍ当たりの溝本
数とすると１／Ｎである。したがって、θを０°の前後
で変化させていくと、ｆ（θ）がθの変化に応じて連続
的に変化するので分解能の評価を行うのに好都合であ
る。図９は回転角θとそのときの分解能値ｆ（θ）との
関係を示した図であり、回転角θがπ／２−αのときに
分解能値ｆ（θ）は最小のｄ・ｓｉｎαとなり、回転角
θが反対方向のαのときに分解能値ｆ（θ）は発散する
ことがわかる。

【００３４】次に、図１の本発明の空間分解能測定装置
によって共焦点型レーザ走査顕微鏡の分解能の測定の方
法に付いて説明する。図１０は分解能を求めるフローチ
ャートである。この分解能を求めるフローチャートにお
いては平面回折格子１が水平の状態、つまり回転角θ＝
０°の状態からスタートして最高分解能値を求めるもの
である。

【００３５】ステップＳ１：ＣＰＵ１２からの制御信号
によってモータ７の回転量を制御して回転角θ＝０°と
し、平面回折格子１を水平の状態とする。このとき、モ
ータ７はインターフェース１０を介してモータ用電源１
１から電源が接続され、該モータ７の駆動力はタイミン
グプーリ６、タイミングベルト５及びタイミングプーリ
４を介して保持部２に伝達され、保持部２を軸回動す
る。

【００３６】ステップＳ２：前記の状態で顕微鏡の焦点
合わせを行い、平面回折格子１の溝斜面の位置に焦点面
を位置させる。 ステップＳ３：ステップＳ２の焦点位置において画像走
査を行い、その画像を表示装置１５に表示する。 ステップＳ４：表示装置１５の走査像を眼視によってチ
ェックして、平面回折格子から得られる像が等間隔の直
線の並びとして確認することができるかを判定する。

【００３７】ステップＳ５：前記ステップＳ４において
像が等間隔の直線の並びとして確認される場合には、顕
微鏡の分解能はこのステップにおいて求められる値以上
の可能性があるため、さらに像間隔を狭めてその狭い間
隔による像が等間隔の直線の並びとして確認されるか否
かを再び判定するためにステップＳ６に進む。 ステップＳ６：モータ７を回転させて平面回折格子１の
傾斜角度θを変更させる。そしてこの新しい傾斜角度θ
において、再びステップＳ２から顕微鏡の焦点合わせ、
画像走査及び表示、並びに眼視によるチェックを繰り返
し、ステップＳ５において分解能の有無を判定する。

【００３８】ステップＳ５において、像が等間隔の直線
の並びとして確認されない場合には、ステップＳ７に進
む。 ステップＳ７：前記ステップＳ５における平面回折格子
１の傾斜角度θでは、えられる像の間隔は狭すぎてその
顕微鏡の分解能では識別できないことを意味しているの
で、顕微鏡の分解能は前回の傾斜角度θにおける分解能
値ｆ（θ）となる。したがって、このステップでは前の
傾斜角度θを求める。

【００３９】ステップＳ８：ステップＳ７で求めた傾斜
角度θを前記分解能をもとめる関係式（１）のｆ（θ）
に代入して分解能値を求め、ＣＲＴなどの表示装置１５
に表示する。前記分解能をもとめる関係式ｆ（θ）やそ
のための溝斜面の傾斜角α、溝間隔ｄ等の設定値はＲＯ
ＭやＦＤＤの記憶装置１３に予め記憶させておき、ＣＰ
Ｕ１２においてθの値とともにｆ（θ）の演算を行う。

【００４０】前記説明においては、平面回折格子１はそ
の回転中心を平面回折格子１の溝斜面上にある場合を前
提としているが、次に平面回折格子１の回転中心が平面
回折格子１の溝斜面上にない場合について説明する。図
１２は平面回折格子の回転中心が溝斜面上にない場合の
位置関係図である。図において、Ｏ₁ は平面回折格子１
の溝斜面上の回転中心であり、このときの焦点面内分解
能に相当する長さはＯ₁ Ｐ₁ ′である。これに対して、
Ｏは平面回折格子１の溝斜面以外にある回転中心であ
り、このときの焦点面内分解能に相当する長さはＯ₂ Ｐ
₁ である。

【００４１】ところで、Ｏ₁ Ｐ₁ ′／／Ｏ₂ Ｐ₁ 及びＯ
₁ Ｏ₂ ／／Ｐ₁ Ｐ₁ ′関係があるため、Ｏ₂ Ｐ₁ とＯ₁
Ｐ₁ ′の長さは等しくなり、平面回折格子１の回転中心
が平面回折格子１の溝斜面上にない場合においても、前
記の空間分解能測定の方法を同様にして適用することが
できる。また、前記実施例においては、図７において、
ＯＰ₁ の部分の像の間隔を基にして空間分解能測定を行
っているが、ＯＰ₂ の部分の像の間隔を基にして空間分
解能測定を行うことも可能である。

【００４２】図７において、焦点面４１及び４２は溝斜
面２０とともに溝斜面２１とも交差しており、溝斜面２
１との交差による交線と溝斜面２０交差による交線との
像の間隔ＯＰ₂ は、前記ＯＰ₁ よりも短くなり、この短
い間隔ＯＰ₂ を用いることによってより高い分解能の測
定を行うことが可能である。次に、この短い間隔ＯＰ₂
を用いた分解能の測定の方法について説明する。

【００４３】図１３は分解能を求めるフローチャートで
ある。このフローチャートにおいても、図１０のフロー
チャートと同様にして平面回折格子１が水平の状態、つ
まり回転角θ＝０°の状態からスタートして最高分解能
値を求めるものである。図１３の分解能を求めるフロー
チャートにおいては、図１０のフローチャートのステッ
プＳ１からステップＳ３及びステップＳ５からステップ
Ｓ９は同様のステップとなり、それぞれステップＳ１１
からステップＳ１３及びステップＳ１５からステップＳ
１９として表される。

【００４４】また、図１３のフローチャートにおいて
は、図１０のフローチャートのステップＳ４はステップ
Ｓ１４−１及びステップＳ１４−２となる。 ステップＳ１４−１：ステップＳ１３の走査画像の像を
検討して、前記短い間隔ＯＰ₂ を確認する。この短い間
隔ＯＰ₂ が確認できる場合には、このＯＰ₂ を用いてよ
り高い分解能を評価することができる。

【００４５】ステップＳ１４−２：前記短い間隔ＯＰ₂
の間隔を設定してステップＳ１８の分解能値ｆ（θ）の
演算式に用いる設定値を定める。これによって、短い間
隔ＯＰ₂ の確認ができるばあいには、さらに高い分解能
の測定が可能である。なお、本発明は上記実施例に限定
されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形
が可能であり、それらを本発明の範囲から排除するもの
ではない。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、 （１）１種類の分解能チェック用サンプルから連続的に
テスト値を得ることができ、チェック用サンプルをテス
ト値を変更するたびに取り替える必要がない。 （２）正確に幾何学的に刻線された平面回折格子と、そ
れを顕微鏡の焦点面とを組み合わせて高精度に角度位置
制御することによって溝間隔以下の分解能テスト値に対
しても精度良くチェックすることができるようになる。 （３）平面回折格子の回転角の任意に設定可能とし、分
解能値はコンピュータを用いて容易に算出することがで
きるため、分解能の測定、評価のための操作自体が簡単
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の空間分解能測定装置の構成図である。

【図２】平面回折格子と焦点面との位置関係図である。

【図３】平面回折格子と焦点面との位置関係図である。

【図４】平面回折格子と焦点面との交差状態を示す側面
図である。

【図５】平面回折格子と焦点面との交差状態を示す側面
図である。

【図６】平面回折格子と焦点面との交差状態を示す側面
図である。

【図７】平面回折格子と焦点面との位置関係図である。

【図８】平面回折格子と焦点面との関係図である。

【図９】平面回折格子の傾斜角と分解能との関係図であ
る。

【図１０】分解能を求めるフローチャートである。

【図１１】従来の空間分解能の検査に使用するテストパ
ターンマスクの構成図である。

【図１２】平面回折格子の回転中心が溝斜面上にない場
合の位置関係図である。

【図１３】分解能を求める他の実施例のフローチャート
である。

【符号の説明】

１…平面回折格子、２…保持台、３…対物レンズ、４，
６…タイミングプーリ、５…タイミングベルト、７…モ
ータ、１０…インターフェース、１１…モータ用電源、
１２…ＣＰＵ、１３…記憶装置、１４…入力装置、１５
…表示装置、２０，２１…平面回折格子の溝斜面、２３
…平面回折格子の溝斜面の頂先端部分、２４…溝斜面の
傾斜角、２５，２６，２７…線間隔、３０，３２，３２
´…焦点面、３１，３３，３３´，３４，３４´…交
線、 ４１…初期焦点面、４２…新焦点面、４３…入射
光軸、４４…焦点面の傾斜角

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 （ａ）等間隔に溝が多数刻線されている
   平面回折格子と、（ｂ）前記平面回折格子を顕微鏡の対
   物レンズの下方に保持し、前記平面回折格子上に焦点面
   を形成する保持台と、（ｃ）前記保持台を前記平面回折
   格子の溝方向を回転軸として軸回転させる駆動手段と、
   （ｄ）前記保持台の回転角と前記平面回折格子の溝間隔
   から顕微鏡の空間分解能を求める演算手段とからなるこ
   とを特徴とする空間分解能測定装置。