JPH06265483A - 液晶表示パネルの欠陥検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】液晶表示パネルの欠陥をリアルタイムで検出す
る。 【構成】液晶表示パネルの欠陥検出装置１０は未製品又
は半製品としての液晶表示パネル２０を走査する為の光
線１８を発生させ、同パネル２０に同光線１８が照射さ
れて反射、屈折、散乱する或は他所へ伝達される光線を
検出し、この反射光線等の検出信号（電気信号）を処理
して液晶表示パネル２０の欠陥を検出、即ち、液晶表示
パネル２０に欠陥が存在する事を突き止め且つその欠陥
が液晶表示パネル２０の何処に存在するかを明らかにす
る。かくしてこの欠陥検出装置１０は液晶表示パネルを
光学的に検査して、反射パターン並びに非反射パターン
の通常の規則的な線或は領域に於ける欠陥を検出するも
のである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子部品の検査に関する
ものである。もっと詳しく言えば、本発明は液晶表示パ
ネル（ＬＣＤパネル）のリアルタイム光学式検査並びに
同パネルの欠陥検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルはコンピューターモニタ
ー、デジタル機器、計算器、時計、航空機、自動車等広
い分野でディスプレーとして使用されている。液晶表示
パネル組み立て作業時の品質並びにコスト管理の為には
素早くしかも確実な検査が必要である。従来の多くの半
導体装置検査方法は、比較的時間がかかる、信頼性が低
い、コストが高い、複雑である、という欠点を共通して
持っている。

【０００３】ある種の従来の光学式検査装置、例えば光
学式線幅測定器などは、加工中の部品材料等をレーザー
光線で走査して材料等の特性を精確に評価出来る。しか
しこの種の従来装置は液晶表示パネルの欠陥を自動的且
つリアルタイムで検出できるものでなく、検査作業の統
合的且つ相互作用的管理を可能ならしめるものでない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述の従来
技術の欠点を排除すべく、液晶表示パネルの欠陥のリア
ルタイム検出装置であって、レーザー光線を使用した測
光式装置、を提供する事をその目的とする。本発明のも
う一つの目的は、高度の信頼性と精確度を備え且つ液晶
表示パネル検査作業の統合的、相互作用的管理を可能な
らしめる上記装置を提供するにある。本発明の他の目的
のうち幾つかのものは以下の説明により明らかとなろ
う。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の目的は液晶表示パ
ネルの欠陥の検出装置を提供する本発明により達成され
る。本発明の一実施例としての欠陥検出装置は、液晶表
示パネルに照射されるべき走査光線を発生させる光源、
同走査光線と液晶表示パネルを相対的に動作させること
により走査光線を所定パターンに従って液晶表示パネル
に照射する走査エレメント、及び走査光線が液晶表示パ
ネルに照射されて反射、屈折、散乱或は伝達される光線
を検出する光検出器を備えている。

【０００６】上記の光検出器は上記の反射、屈折或は伝
達光線の光度を表す値を持つ検出信号を発生させる。同
検出信号の値が連続性を失えばそれは液晶表示パネルに
欠陥が有る証拠であり、欠陥検出手段がこの不連続性を
検出する。

【０００７】本発明の欠陥検出装置は、更に、液晶表示
パネルに対する走査光線の相対的な位置を表す位置信号
を発生させる位置告知エレメントと欠陥位置検出モジュ
ールを含んでいる。このモジュールは、上記の検出信号
と位置信号の内容に応じて、同検出信号の値の不連続性
を液晶表示パネルの特定位置と関係付けることにより、
検出欠陥が液晶表示パネルの何処に存在するかを突き止
める。

【０００８】光源としてはレーザーを使用でき、真空チ
ャックによって液晶表示パネルを光源に対する所望位置
に保持することができる。液晶表示パネルの走査にあた
り、光源と真空チャックのうち一方を他方に対し相対的
に動作させる。即ち、真空チャックを動作させるか、或
は、光源の照射方向を変化させる。光源の照射方向を変
化させるには光線方向調節手段を使用し、真空チャック
を動作させるにはＸ−Ｙテーブルを使用することが出来
る。この相対的動作により走査光線による液晶表示パネ
ルの走査を行う。

【０００９】更に本発明によれば、欠陥検出モジュール
がコンピューター或はマイクロプロセッサー等のデジタ
ルデータプロセッサーを含んでいる。そして光検出器は
１個設けてもよいし、複数個設けてもよい。例えば、光
検出器を２個設ける場合には、走査光線が液晶表示パネ
ルに照射されて反射する光線を検出する位置に一方の光
検出器を配置し、走査光線が液晶表示パネルに照射され
て伝達、散乱或は屈折する光線を検出する位置に他方の
光検出器を配置することが出来る。そしてデジタルデー
タプロセッサーが光検出器に液晶表示パネル全体の走査
を行わせる為の制御信号を送り、そして、光検出器によ
る検出信号を相互比較して液晶表示パネルの欠陥を検出
する。

【００１０】本発明の一実施例によれば、上記のデジタ
ルデータプロセッサーの制御により、液晶表示パネルの
ＬＣＤエレメントのアレイにより形成されるパスを辿っ
て同パネルの走査を行うことが出来る。典型的な液晶表
示パネルにあってはこのパスはぎざぎざの方形波になっ
ていることがある。或は別の方法として、即ち、本発明
の別の実施例によれば、上記デジタルプロセッサーの制
御により、走査エレメントをして、先ず液晶表示パネル
の特徴に就いての知識ベース（基本データ）を蓄積すべ
くパネルの任意のパスを辿って走査を行わしめ、そして
次に今度は欠陥を検出すべくパネル走査を行わしめるこ
とが可能である。

【００１１】また本発明によれば、液晶表示パネルの像
を形成する為に１台又はそれ以上のカメラを上記のデジ
タルデータプロセッサーに電気的に接続させて使用し、
このカメラにより形成された像をモニターに映し出す。
映し出された像はデジタルデータプロセッサーで制御し
て液晶表示パネルの検出欠陥の場所を強調表示させるこ
とが出来る。

【００１２】更に本発明によれば、デジタルデータプロ
セッサーの作動を制御する為のキーボードその他のユー
ザー入力装置、デジタルデータプロセッサーに制御され
ながら走査エレメントの制御を行うプロセスコントロー
ラー、そして、同じくデジタルデータプロセッサーに制
御されながら保持エレメントへの液晶表示パネルの搬
送、搬出を自動的に行う搬送手段、を使用することが出
来る。

【００１３】

【作用】被検査品たる液晶表示パネルの走査を、パネル
を動作させるか又はレーザー光線の照射方向を変化させ
ることにより行いながら、パネル表面がモニターに映し
出され、パネルの欠陥がリアルタイムで検出される。

【００１４】

【実施例】次に本発明の望ましい実施例を詳細に説明す
る。図１は本発明の望ましい一実施例を示したものであ
る。即ち、図１に於て液晶表示パネルの欠陥検出装置１
０は未製品又は半製品としての液晶表示パネル２０を走
査する為の光線１８を発生させ、同パネル２０に同光線
１８が照射されて反射、屈折、散乱する或は他所へ伝達
される光線を検出し、この反射光線等の検出信号（電気
信号）を処理して液晶表示パネル２０の欠陥を検出、即
ち、液晶表示パネル２０に欠陥が存在する事を突き止め
且つその欠陥が液晶表示パネル２０の何処に存在するか
を明らかにする。かくしてこの欠陥検出装置１０は液晶
表示パネルを光学的に検査して、反射パターン並びに非
反射パターンの通常の規則的な線或は領域に於る欠陥を
検出するものである。被検査品である上記の液晶表示パ
ネル２０を以下「パネル」と略称する。

【００１５】上記の欠陥検出装置１０は検査ユニット１
６とデータ処理・制御ユニット１４を備えている。検査
ユニット１６は光源モジュール１７、光検出器２８、カ
メラ３０を含んでいる。この検査ユニット１６は、図示
の如く、複数本の支柱３８ａ、３８ｂにより取付けプレ
ート２６に取付けることが出来る。そして、この取付け
プレート２６は、図示の如く、振動絶縁装置３６ａ、３
６ｂと支柱３４ａ、３４ｂを介してベース３２に取付け
ることが出来る。上記の光源モジュール１７にはパネル
２０に照射されて走査を行う光線１８を発生させる従来
の光学エレメントを含ませることが出来る。この光学エ
レメントとして典型的な例はレーザーである。

【００１６】パネル２０の走査は、パネル２０又は光線
１８のどちらかを動作させて、行うことが出来る。正確
に言えば、パネル２を動作させるか、或は、光線１８の
照射方向を変化させることにより、行うことが出来る。
図示の実施例ではパネル２０の検査に当たり、まず、保
持手段２２によりパネル２０を保持する。即ち、光源モ
ジュール１７に対しある位置をパネル２０の開始位置と
して選定し、その位置にパネル２０を保持する。上記保
持手段２２としては例えば従来の真空チャックを使用で
きる。保持手段２２は従来のＸ−Ｙテーブル２４に取付
けることが出来る。このＸ−Ｙテーブル２４は、保持手
段２２、ひいてはパネル２０、を光源モジュール１７に
対しての所定パターンに従って動作させる制御信号を加
えられる。図示のこのＸ−Ｙテーブル２４はパネル２０
を、光線１８の軸（つまり垂直軸）にほぼ直交する２方
向であって且つ相互に直交する２方向、即ちＸ方向とＹ
方向へ、動作させ得るものである。他方、パネル２０を
動作させる代わりに、光線１８の照射方向を変化させて
走査を行う場合には、光線１８をパネル２０に対する所
定パターンに従って２つの直交し合う方向へ照射する従
来の光線方向調節手段を光源モジュール１７に備えれば
よい。（上記のＸ−Ｙテーブル２４を以下「テーブル」
と略称する。）本発明の一つの望ましい装置として、テ
ーブル２４と光線１８の双方を偏向させることが出来
る。即ち、例えば、液晶表示エレメントのアレイにぎざ
ぎざのエッジがあるパネルの場合であれば、パネル２０
を線形的に動作させて走査を行っている過程に於て、ざ
ざぎざ部分に来た時だけ上述の光線方向調節手段により
光線１８の照射方向を変えてぎざぎざ部分を追跡するこ
とが出来る。

【００１７】光線１８はパネル２０に照射されると反
射、屈折、散乱或は他所へ伝達され、光検出器２８がこ
れら反射光線等を検出する。この光検出器２８としては
周知の原理に従って設計、構成された従来の電気・光学
装置を使用でき、光線検出手段として光電子増倍管又は
他の従来の光感応エレメントを同検出器２８に設けるこ
とが出来る。この光検出器２８は光線を検出すると同時
にその検出光線の光度を表す値を持つ検出信号を発生さ
せる。この検出信号は信号線４３．２とバス４３．３に
よりデータ処理・制御ユニット１４に送り、同ユニット
１４にて評価することが出来る。

【００１８】図１に示したように、データ処理・制御ユ
ニット１４にはコンピューター４４、モニター４８及び
ユーザー入力装置４６を含めることが出来る。コンピュ
ーター４４には、所定のプログラムステップの管理の下
でデータを表す信号の処理を行うよう従来技術に従って
設計、構成、プログラムされたマイクロプロセッサー、
ワークステーション、論理ゲートアレイ又はその他のア
ナログ又はデジタル回路或は装置を含めることが出来
る。コンピューター４４は光検出器２８からバス４３．
３を介して送られて来る検出信号の値を読み取り、同検
出信号の振幅を絶えずチェックし、そして同検出信号の
振幅の不連続性を検出する為の周知のアルゴリズムを実
行する。もし光検出器２８からの検出信号の振幅が不連
続であれば、それは被検査品であるパネルの反射パター
ンと非反射パターンの通常の規則的な線又は領域に物理
的な欠陥が存在する事の証拠である。

【００１９】上述の走査機能の結果、光検出器２８によ
る検出信号の値はパネル２０に対する光線１８の相対的
な位置に対応するものである。以下、この相対的な位置
を「光線／被検査品位置」と称する。本発明の一方法に
よれば、光検出器２８による検出信号の値を上記の光線
／被検査品位置に関係付けて同位置を知り、かくして、
検出された欠陥がパネル２０の何処に存在するかを突き
止めることが出来る。上記の関係付けはコンピューター
４４により行われる。

【００２０】特に、テーブル２４（パネル２０を光線１
８に対して動作させる場合）又は光源モジュール１７に
設けた光線方向調節手段（光線１８をパネル２０に対し
て動作させる場合）の制御をコンピューター４４からの
出力信号により行うことができ、コンピューター４４は
この制御信号の値をモニターすることにより、パネル２
０に対する光線１８の相対的な位置を即座に知ることが
出来る。或は、これに代えて、テーブル２４又は光源モ
ジュール１７の光線調節手段に、光線／被検査品位置を
表す値を持つ位置信号を発生させる従来の位置告知エレ
メントを備えることも出来る。そして、コンピューター
４４が、前者の場合には上記制御信号の値、後者の場合
には上記位置信号の値に基き、光検出器２８による検出
光線の振幅を光線／被検査品位置と関係付け、従って、
光検出器２８による検出信号の値の不連続性をパネル２
０の特定位置と関係付けることができ、かくして、検出
欠陥がパネル２０の何処に存在するかを突き止めること
ができる。

【００２１】本発明の望ましい実施例によれば、既述の
如く、像形成手段としてのカメラ３０を設けることがで
きる。このカメラ３０には従来のビディコン又はＣＣＤ
エレメントを含ませることができる。できれば、このカ
メラ３０には、パネル２０の拡大像を作る光学顕微鏡エ
レメントを含めるのが望ましい。このカメラ３０は、従
来技術と同様、パネル２０に照射されて反射した光線を
集光し、この光線に応じて、パネル２０を表す像データ
信号を発生させることにより、パネル２０の像を形成す
るものである。カメラ３０が発生させる上記の像データ
信号は、図１に示してある如く、信号線４３．１とバス
４３．３を通してデータ処理・制御ユニット１４に送る
ことができる。

【００２２】コンピューター４４はバス４３．３を通っ
て送られて来た上記の像データ信号を処理してパネル２
０を表すモニター駆動像信号を発生させる。これは周知
の従来技術を使用して行われる。モニター４８はコンピ
ューター４４の出力に電気的に接続されており、上記の
モニター駆動信号に応じてパネル２０の像４９を映し出
す。そして、コンピューター４４は、従来の周知のコン
ピューターグラフィクス技術を使用して、モニター４８
に映し出された像４９に応じてパネル２０の検出欠陥５
８の位置を強調表示又は普通に表示することが出来る。
この検出欠陥表示は、例えば検出欠陥５８の位置に対応
したモニタースクリーン上の位置にブラケット、即ち囲
み５１を表示することにより、効果的に行い得る。

【００２３】図１に示した如く本発明の装置には、更
に、コンピューター４４により出力される既述の制御信
号に応じて走査機能を制御するプロセスコントローラー
４０を設けることが出来る。即ち、コンピューター４４
は光線／被検査品位置の値に応じてプロセス制御信号を
発生させ、この信号を信号線４２を介して上記コントロ
ーラー４０に送ることが出来る。これを受けてコントロ
ーラー４０は、制御信号を、信号線４５を介してテーブ
ル２４（同テーブル２４を動作させる場合）又は光源モ
ジュール１７に設けられた光線方向調節手段（光線１８
を動作させる場合）に送り、この制御信号でテーブル２
４又は光線方向調節手段の動作を制御する。或は、例え
ば、データ処理・制御ユニット１４に設けたキーボード
４６を使用して同じ制御を行うことも出来る。このキー
ボード４６はユーザーにより入力されると入力信号をコ
ンピューター４４に送り、これを受けてコンピューター
４４が制御信号を発生させる。

【００２４】図示を省略したが、本発明の検出装置には
更に被検査品搬送手段を設けることが出来る。即ち、パ
ネル２０をカセットで保持し、このカセットを真空チャ
ック２２上に載置し同チャック２２上から取除く手段を
設けることが出来る。この手段を設けた場合にはコンピ
ューター４４に搬送制御信号を発生させ、この信号で同
手段を動作させることが出来る。

【００２５】図１に示した検査ユニット１６は光検出器
（２８）を一つしか備えていないが、それを複数個備え
てもよい。例えば図２では光検出器が２個、即ち２８と
２８’が設けてある。この様に光検出器を複数個備える
場合にはどの光検出器も検出信号を発生させるようにす
る。そして、光検出器を２個備えた場合には、図２の如
く、光線１８がパネル２０に照射されて反射する光線を
検出する位置に一方の光検出器２８を配置し、光線１８
がパネル２０に照射されて散乱、屈折或は他所へ伝達さ
れる光線を検出する位置に他方の光検出器２８’を配置
することが出来る。光検出器を３個又はそれ以上設ける
場合には上記の反射光線検出位置に１個又はそれ以上の
光検出器を位置させ、上記の伝達光線等の検出位置に１
個又はそれ以上の光検出器を位置させることが出来る。
光検出器２８による検出信号は信号線４３．２ａとバス
４３．３を通ってコンピューター４４へ送られ、光検出
器２８’による検出信号は信号線４３．２ｂとバス４
３．３を通ってコンピューター４４へ送られる。この図
２に於て１８．１は光線１８がパネル２０に照射されて
反射した光線、そして、１８．２は光線１８がパネル２
０に照射されて伝達、散乱或は屈折した光線であり、光
検出器２８が上記反射光線１８．１を検出して検出信号
を発生させ、光検出器２８’が後者の光線１８．２を検
出して検出信号を発生させると、コンピューター４４が
両検出信号を比較することによりパネル２０の欠陥を検
出する。両検出信号の評価に当っては従来の周知の信号
処理方法を利用した従来の信号スレショールディング技
法と信号エラー訂正技法をコンピューター４４で実行す
ることが出来る。

【００２６】図３に示した如く、本発明の一実施例によ
れば、物理的不連続性、即ち途切れ５８、６０の検出の
為に、ラスター走査パス６２を実行してパネル２０の表
面５４の特徴を表すアレイ５６を検査することが出来
る。図３に於てパネル２０の液晶表示エレメントのアレ
イが線形になっているが、本発明の方法は液晶表示エレ
メントのアレイがぎざぎざその他の非線形になっていて
もそのパネルの欠陥を検出できる。この走査パターンは
コンピューター４４により実行される。即ち、コンピュ
ーター４４がテーブル２４又は光源モジュール１７の光
線方向調節手段を動作させる制御信号を発生させ、これ
により、光線１８による走査を、液晶表示エレメントの
アレイ５６がパネル２０上で形成するラスター走査パス
６２を辿って、行うものである。液晶表示エレメントの
アレイが非線形になっているパネルの欠陥を検出する場
合には、既述の如く、テーブル２４と光線１８の双方を
偏向させることが出来る。即ち、その場合には、テーブ
ル２４の走査を線形的に行いつつ光線方向調節手段によ
り光線１８を選択的に偏向させて非線形のアレイを追跡
することが出来る。

【００２７】更に、先ず最初にパネル２０の特徴に就い
ての知識ベース（基本データ）の蓄積を目的として液晶
表示エレメントのアレイ５６を辿って走査を行い、その
後で欠陥検出を目的としてパネル２０の走査を行うよう
に、コンピューター４４を周知の従来技術に従ってプロ
グラムすることも可能である。就中、コンピューター４
４は、上記の最初の走査時に知識ベース蓄積を目的とし
て光線／被検査品位置データと検出信号データを利用す
ることができ、そして上記のその後の走査時に周知の従
来の像処理方法を検出信号データに適用して欠陥を検出
することが出来る。本発明の方法によれば線形又は非線
形のアレイの途切れを効果的に検出できるが、本発明の
方法によれば液晶表示パネルのみならず他の被検査品も
含め、他種類の欠陥検出のためにアレイ相互間領域の検
査をすることも可能である。

【００２８】本発明の装置の構造は本発明の範囲を逸脱
することなく変更可能である。よって以上の説明並びに
図面に含まれている事項はすべて限定的な意味合いのも
のでなく例示的なものである。

【００２９】

【発明の効果】以上の通り本発明は既述の目的を効果的
に達成するものである。就中、本発明の方法は液晶表示
エレメントのアレイの欠陥の精確なリアルタイム検出を
可能ならしめるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液晶表示パネルの欠陥検出装置を示し
たものである。

【図２】図１の欠陥検出装置の部分的な変更例である。
即ち、図１では光検出器は１個しか使用されていない
が、図２ではそれが２個使用されている。

【図３】液晶表示パネルの走査パターンの一例を示して
いる。

【符号の説明】

１０．．．欠陥検出装置 １４．．．データ処理・制御ユニット １６．．．検査ユニット １７．．．光源モジュール １８．．．走査光線 ２０．．．液晶表示パネル（被検査品） ２２．．．真空チャック ２４．．．Ｘ−Ｙテーブル ２８、２８’．．．光検出器 ３０．．．カメラ ４４．．．コンピューター ４８．．．モニター ５６．．．液晶表示エレメントのアレイ ５８、６０．．． 途切れ ６２．．．走査パス

Claims (22)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ほぼ平面状の表面を持つ液晶表示パネル
   の欠陥を検出する装置であって、下記の（ａ）〜（ｅ）
   より成る欠陥検出装置： （ａ）液晶表示パネルに照射されるべき走査光線を発生
   させる光源。 （ｂ）上記走査光線を所定パターンに従って上記液晶表
   示パネルに照射すべく上記走査光線と上記液晶表示パネ
   ルを相対的に動作させる走査手段。 （ｃ）上記液晶表示パネルに対する上記走査光線の位置
   を表す値を持つ位置信号を発生させる位置告知手段。 （ｄ）上記走査光線が上記液晶表示パネルに照射されて
   生じる反射、屈折、散乱或は伝達光線を検出し、この検
   出光線の光度を表す値であって上記液晶表示パネルに対
   する上記走査光線の位置に対応する値を持つ検出信号を
   発生させる光検出手段。 （ｅ）上記検出信号の値の不連続性、従って、上記液晶
   表示パネルに於る欠陥の存在、を検出する不連続性検出
   手段であって、上記検出信号並びに位置信号の内容に応
   じて上記検出信号の値の上記不連続性を上記液晶表示パ
   ネルの特定位置に関係付けることにより上記検出欠陥が
   上記液晶表示パネルの何処に存在するかを突き止める欠
   陥位置検出手段を含む不連続性検出手段。
2. 【請求項２】 前記光源がレーザーを含む事を特徴とす
   る請求項１の欠陥検出装置。
3. 【請求項３】前記液晶表示パネルを前記光源に対する所
   望位置に保持する保持手段を更に含む事を特徴とする請
   求項１の欠陥検出装置。
4. 【請求項４】 前記保持手段が前記液晶表示パネルを真
   空作用によって同保持手段の本体に保持する真空チヤッ
   ク手段を含む事を特徴とする請求項３の欠陥検出装置。
5. 【請求項５】 前記走査手段が前記保持手段を前記光源
   に対し所定パターンに従って動作させる動作手段を含む
   事を特徴とする請求項３の欠陥検出装置。
6. 【請求項６】 前記動作手段が、前記保持手段を前記走
   査光線の光軸方向に対しほぼ直交する方向であって且つ
   相互に直交し合う少なくとも２方向、即ち第１方向と第
   ２方向へ動作させるＸ−Ｙテーブルを含む事を特徴とす
   る請求項５の欠陥検出装置。
7. 【請求項７】 前記走査手段が前記走査光線の照射方向
   を所定パターンに従って調節する光線方向調節手段を含
   む事を特徴とする請求項１の欠陥検出装置。
8. 【請求項８】 前記光線方向調節手段が前記走査光線の
   照射方向を少なくとも、互いに直交し合う第１方向と第
   ２方向へ調節する事を特徴とする請求項７の欠陥検出装
   置。
9. 【請求項９】 前記不連続性検出手段がデシタルデータ
   を表す信号を所定のプロクラムに従って処理するデジタ
   ルデータ処理手段を含む事を特徴とする請求項１の欠陥
   検出装置。
10. 【請求項１０】 前記不連続性検出手段が前記液晶表示
    パネルの液晶表示エレメントのアレイの途切れを検出す
    る手段を含む事を特徴とする請求項１の欠陥検出装置。
11. 【請求項１１】 前記デジタルデータ処理手段と電気的
    に接続されており、前記液晶表示パネルの像に対応する
    像データ信号を発生させる像形成手段を更に含む事を特
    徴とする請求項９の欠陥検出装置。
12. 【請求項１２】 前記像形成手段が、前記液晶表示パネ
    ルによって反射された光線を集光しこの集光光線に応じ
    て前記像データ信号を発生させるカメラを少なくとも一
    台備えている事を特徴とする請求項１１の欠陥検出装
    置。
13. 【請求項１３】 前記デジタルデータ処理手段が前記像
    データ信号を処理して前記液晶表示パネルを表す、ディ
    スプレーに映し出し可能の像信号を発生させる手段を含
    み、且つ、前記デジタルデータ処理手段と電気的に接続
    されていて上記像信号の内容に応じて前記液晶表示パネ
    ルの像を形成するモニター手段が更に設けられている事
    を特徴とする請求項１１の欠陥検出装置。
14. 【請求項１４】 前記デジタルデータ処理手段が前記モ
    ニター手段に映し出された像によって検出欠陥が前記液
    晶表示パネルの何処に存在するかを表す手段を更に含む
    事を特徴とする請求項１３の欠陥検出装置。
15. 【請求項１５】 プロセス制御信号の内容に応じて少な
    くとも前記走査手段を制御するプロセス制御手段が更に
    設けられ、且つ、前記デジタルデータ処理手段が前記位
    置信号と前記所定プログラムに従って上記プロセス制御
    信号を発生させる手段を含む事を特徴とする請求項９の
    欠陥検出装置。
16. 【請求項１６】 前記デジタルデータ処理手段に接続さ
    れていてユーザーにより入力された信号を前記デジタル
    データ処理手段に送るユーザー入力手段が更に設けら
    れ、且つ、前記デジタルデータ処理手段は上記ユーザー
    入力信号の内容に応じて前記プロセス制御信号を発生さ
    せる手段を含む事を特徴とする請求項１５の欠陥検出装
    置。
17. 【請求項１７】 前記光検出手段は少なくとも２つの光
    検出器、即ち第１検出信号を発生させる第１光検出器と
    第２検出信号を発生させる第２光検出器で構成され、上
    記第１光検出器は前記走査光線が前記液晶表示パネルに
    照射されて反射した光線を検出する位置に配置され、上
    記第２光検出器は前記走査光線が前記液晶表示パネルに
    照射されて伝達、散乱又は屈折された光線を検出する位
    置に配置され、上記第１検出信号は上記反射光線の検出
    信号であり上記第２検出信号は上記伝達等された光線の
    検出信号である事を特徴とする請求項１の欠陥検出装
    置。
18. 【請求項１８】 前記不連続性検出手段は第１走査期に
    前記第１検出信号を評価し第２走査期に前記第２検出信
    号を評価する手段を含む事を特徴とする請求項１７の欠
    陥検出装置。
19. 【請求項１９】 前記不連続性検出手段は前記液晶表示
    パネルの欠陥を検出すべく前記第１並びに第２検出信号
    を相互比較する手段を含む事を特徴とする請求項１７の
    欠陥検出装置。
20. 【請求項２０】 前記液晶表示パネルを前記光源に対す
    る所望位置に保持する保持手段と、検査されるべき液晶
    表示パネルを搬送制御信号に応じて同保持手段へ自動的
    に搬送、搬出する搬送手段とが更に設けられ、且つ、前
    記デジタルデータ処理手段が前記所定プログラムに従っ
    て上記搬送制御信号を発生させる手段を含む事を特徴と
    する請求項９の欠陥検出装置。
21. 【請求項２１】 前記デジタルデータ処理手段は前記プ
    ロセス制御信号を発生させる手段を含み、前記走査手段
    は、このプロセス制御信号に制御されて、前記走査光線
    をして前記液晶表示パネル上で前記液晶表示エレメント
    のアレイにより形成されたパスを辿らしめる事を特徴と
    する請求項９の欠陥検出装置。
22. 【請求項２２】 前記走査手段は、前記プロセス制御信
    号に制御されて、先ず最初に前記液晶表示パネルの特徴
    に就いての知識ベースの蓄積の為に前記走査光線をして
    前記パスを辿らしめ、その後で欠陥検出を目的として前
    記走査光線に前記液晶表示パネルの走査を行わしめる事
    を特徴とする請求項２１の欠陥検出装置。