JPH06260697A - 磁気センサ - Google Patents

磁気センサ

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Publication number
JPH06260697A
JPH06260697A JP5047599A JP4759993A JPH06260697A JP H06260697 A JPH06260697 A JP H06260697A JP 5047599 A JP5047599 A JP 5047599A JP 4759993 A JP4759993 A JP 4759993A JP H06260697 A JPH06260697 A JP H06260697A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic sensor
magnetoresistive element
protective cover
sensed
top plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5047599A
Other languages
English (en)
Inventor
Kichiji Shigeno
吉治 重野
Yorihisa Nakamura
順寿 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP5047599A priority Critical patent/JPH06260697A/ja
Publication of JPH06260697A publication Critical patent/JPH06260697A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 検知出力を大きくする。検知精度を高める。 【構成】 保護カバー1の内側の磁気抵抗素子Mに対向
する部分のみをハーフエッチングにより薄肉部2に形成
し、その薄肉部2の周囲は十分な肉厚とし、天部1aの
変形を防止する。一方、磁気抵抗素子Mを薄肉部2に遊
挿し、磁気抵抗素子Mと被検知体のギャップを小さくす
る。 【効果】 天部や天板の変形を起こすことなく,磁気抵
抗素子と被検知体のギャップを小さくできるので、検知
出力を大きくしたり,検知精度を高めることが出来る。
特に数ミクロン〜数十ミクロンの細かい磁性スリット,
パタン等の検知に有用である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気センサに関し、
さらに詳しくは、磁気抵抗素子と被検知体のギャップを
小さくすることが出来る磁気センサに関する。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来の磁気センサの一例の断面
図である。この磁気センサ300は、ホルダHの頭部に
磁気抵抗素子Mを固設し、その上から保護カバー301
を被せて構成されている。
【0003】保護カバー301は、非磁性体の金属(例
えばステンレス)製で、絞り加工や切削加工により製作
されている。保護カバー301の天部301aの肉厚
は、0.12〜0.05mm程度である。
【0004】図4は、従来の磁気センサの他の一例の断
面図である。この磁気センサ400は、ホルダHの頭部
に磁気抵抗素子Mを固設し、その上から保護カバー40
1を被せて構成されている。
【0005】保護カバー401は、天板401aおよび
胴筒401bからなっている。天板401aおよび胴筒
401bは、非磁性体の金属(例えばステンレス)製
で、それぞれ別個に製作された後、一体化される。天板
401aの肉厚は、0.12〜0.05mm程度である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】磁気センサの検知出力
を大きくしたり,検知精度を高めるためには、磁気抵抗
素子と被検知体のギャップを小さくすることが好まし
い。このためには、上記従来の磁気センサ300,40
0における天部301aや天板401aの肉厚を小さく
することが考えられる。しかし、図5,図6に示すよう
に、従来の磁気センサ300,400の天部301aや
天板401aの肉厚を小さくした磁気センサ300’,
400’では、薄肉の天部301a’や天板401a’
が変形しやすくなるため、上述のように、0.12〜0.
05mm程度が事実上の限界であった。そこで、この発
明の目的は、天部や天板の変形を起こすことなく,磁気
抵抗素子と被検知体のギャップを小さくできるようにし
た磁気センサを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の磁気センサ
は、ホルダの頭部に磁気抵抗素子を固設し、その上から
保護カバーを被せてなる磁気センサにおいて、保護カバ
ーの内側の磁気抵抗素子に対向する部分のみに薄肉部を
形成し、その薄肉部に磁気抵抗素子を遊挿した状態でホ
ルダと保護カバーを一体化したことを構成上の特徴とす
るものである。
【0008】
【作用】この発明の磁気センサでは、保護カバーの内側
の磁気抵抗素子に対向する部分のみを薄肉部に形成し、
その薄肉部の周囲は十分な肉厚としたから、天部や天板
の変形は防止される。一方、磁気抵抗素子は、薄肉部に
遊挿するので、磁気抵抗素子と被検知体のギャップを小
さくできる。従って、検知出力を大きくしたり,検知精
度を高めることが出来る。
【0009】
【実施例】以下、図に示す実施例によりこの発明をさら
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。
【0010】図1は、この発明の磁気センサの一実施例
の断面図である。この磁気センサ100は、ホルダHの
頭部に磁気抵抗素子Mを固設し、その上から保護カバー
1を被せて構成されている。
【0011】保護カバー1は、非磁性体の金属(例えば
ステンレス)製で、絞り加工や切削加工により製作され
ている。また、保護カバー1の内側の磁気抵抗素子Mと
対向する部分のみは薄肉部2に形成されている。薄肉部
2の形成方法は、加工表面精度を考慮すると、ハーフエ
ッチングが好適である。
【0012】そして、その保護カバー1の薄肉部2に磁
気抵抗素子Mが遊挿された状態で、ホルダHと保護カバ
ー1が一体化されている。この一体化は、樹脂モールド
や,ネジ止めが一般的である。
【0013】保護カバー1の天部1aの肉厚は0.12
〜0.05mm程度であるが、薄肉部2の肉厚は0.04
〜0.02mm程度である。
【0014】以上の磁気センサ100によれば、薄肉部
2を除いて保護カバー1の天部1aの肉厚は十分厚いか
ら、天部1aの変形は防止される。一方、磁気抵抗素子
Mは薄肉部2に遊挿し、その薄肉部2の肉厚は薄いか
ら、磁気抵抗素子Mと被検知体のギャップを小さくでき
る。従って、検知出力を大きくしたり,検知精度を高め
ることが出来る。
【0015】図2は、この発明の磁気センサの他の実施
例の断面図である。この磁気センサ200は、ホルダH
の頭部に磁気抵抗素子Mを固設し、その上から保護カバ
ー21を被せて構成されている。
【0016】保護カバー21は、天板21aおよび胴筒
21bからなっている。天板21aおよび胴筒21b
は、非磁性体の金属(例えばステンレス)製で、それぞ
れ別個に製作された後、一体化される。天板21aの磁
気抵抗素子Mと対向する部分のみはハーフエッチングに
より薄肉部22に形成されている。
【0017】そして、その薄肉部22に磁気抵抗素子M
が遊挿された状態で、ホルダHと保護カバー21とが、
樹脂モールドやネジ止めにより一体化されている。
【0018】天板21aおよび胴筒21bの肉厚は0.
12〜0.05mm程度であるが、薄肉部22の肉厚は
0.04〜0.02mm程度である。
【0019】以上の磁気センサ200によれば、薄肉部
22を除いての天板21aの肉厚は十分厚いから、天板
21aの変形は防止される。一方、磁気抵抗素子Mは薄
肉部22に遊挿し、その薄肉部22の肉厚は薄いから、
磁気抵抗素子Mと被検知体のギャップを小さくできる。
従って、検知出力を大きくしたり,検知精度を高めるこ
とが出来る。
【0020】
【発明の効果】この発明の磁気センサによれば、天部や
天板の変形を起こすことなく,磁気抵抗素子と被検知体
のギャップを小さく出来るようになる。従って、検知出
力を大きくしたり,検知精度を高めることができ、特に
数ミクロン〜数十ミクロンの細かい磁性スリットやパタ
ン等の検知を行う場合に有用である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の磁気センサの一実施例の断面図であ
る。
【図2】この発明の磁気センサの他の実施例の断面図で
ある。
【図3】従来の磁気センサの一例の断面図である。
【図4】従来の磁気センサの他の例の断面図である。
【図5】図3の磁気センサの天部を薄肉化した場合の断
面図である。
【図6】図4の磁気センサの天板を薄肉化した場合の断
面図である。
【符号の説明】
100,200 磁気センサ 1,21 保護カバー 2,22 薄肉部 1a 天部 21a 天板 M 磁気抵抗素子 H ホルダ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ホルダの頭部に磁気抵抗素子を固設し、
    その上から保護カバーを被せてなる磁気センサにおい
    て、保護カバーの内側の磁気抵抗素子に対向する部分の
    みに薄肉部を形成し、その薄肉部に磁気抵抗素子を遊挿
    した状態でホルダと保護カバーを一体化したことを特徴
    とする磁気センサ。
JP5047599A 1993-03-09 1993-03-09 磁気センサ Pending JPH06260697A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5047599A JPH06260697A (ja) 1993-03-09 1993-03-09 磁気センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5047599A JPH06260697A (ja) 1993-03-09 1993-03-09 磁気センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06260697A true JPH06260697A (ja) 1994-09-16

Family

ID=12779712

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5047599A Pending JPH06260697A (ja) 1993-03-09 1993-03-09 磁気センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06260697A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010223652A (ja) * 2009-03-23 2010-10-07 Hitachi Metals Ltd 磁気センサ組立体および磁気エンコーダ
JP2012170265A (ja) * 2011-02-15 2012-09-06 Shinano Kenshi Co Ltd ファンモータ

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010223652A (ja) * 2009-03-23 2010-10-07 Hitachi Metals Ltd 磁気センサ組立体および磁気エンコーダ
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