JPS5832311U - 非接触の厚さ計 - Google Patents

非接触の厚さ計

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Publication number
JPS5832311U
JPS5832311U JP12382981U JP12382981U JPS5832311U JP S5832311 U JPS5832311 U JP S5832311U JP 12382981 U JP12382981 U JP 12382981U JP 12382981 U JP12382981 U JP 12382981U JP S5832311 U JPS5832311 U JP S5832311U
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JP
Japan
Prior art keywords
metal film
thickness gauge
contact thickness
dome
magnetic field
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Pending
Application number
JP12382981U
Other languages
English (en)
Inventor
猪又　仁
Original Assignee
株式会社横河電機製作所
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Publication date
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る非接触の厚さ計の検出部の構成を
示す図、第２図はセンサー１０の原理を示す図、第３図
はボ、ディ部が金属膜上に浮上している状態を示す図で
ある。 １０・・・センサー、１２・・・リード線、１４・・・
ボディ、１４ａ・・・ドーム、１４ｂ・・・穴、１６・
・・チューブ、１８・・・検出部ケース、２０・・・ダ
イヤフラム。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 交流磁界を発生させ、該交流磁界によって対象物である
    金属膜内に渦電流を生じさせ、該渦電流により生じた磁
    界を介して前記金属膜の厚さに応じた信号を得るセンサ
    ーと、 下部にドーム１４ａを有しかつ該ドーム内と外部とを通
    気する穴１４ｂを有し、内部に前記センサーを保持した
    ボディと、 該ボディの上下方向の動きに対しては可動的に水平方向
    の動きに対しては制約的な効果をもって前記ボディを支
    える支持手段と、 を備え前記ボディの穴１４ｂを介して気体を注入し前記
    金属膜面の一定距離上に前記センサーを浮上させるよう
    にした非接触の厚さ計。
JP12382981U 1981-08-21 1981-08-21 非接触の厚さ計 Pending JPS5832311U (ja)

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JP12382981U JPS5832311U (ja) 1981-08-21 1981-08-21 非接触の厚さ計

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JP12382981U JPS5832311U (ja) 1981-08-21 1981-08-21 非接触の厚さ計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5832311U true JPS5832311U (ja) 1983-03-02

Family

ID=29917717

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12382981U Pending JPS5832311U (ja) 1981-08-21 1981-08-21 非接触の厚さ計

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Country Link
JP (1) JPS5832311U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007309935A (ja) * 2006-05-15 2007-11-29 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007309935A (ja) * 2006-05-15 2007-11-29 Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg 測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置

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