JPH06258285A - ガス分析装置 - Google Patents
ガス分析装置Info
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- JPH06258285A JPH06258285A JP7294993A JP7294993A JPH06258285A JP H06258285 A JPH06258285 A JP H06258285A JP 7294993 A JP7294993 A JP 7294993A JP 7294993 A JP7294993 A JP 7294993A JP H06258285 A JPH06258285 A JP H06258285A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 トラップモード測定及びダイレクトモード測
定の２つの測定モードを有するガス分析装置において、
測定モードの切り換えを簡単化する。また、１回のガス
発生時間中に両モード測定を同時に実行できるようにす
る。 【構成】 試料８から発生したガスをトラップするガス
トラップ装置２５と、ガスクロマトグラフ３５と、質量
分析計４とを有するガス分析装置である。ガス取入口２
３ａ、ガス出口２３ｂ及びガス出口２３ｃの３つのガス
口を備えた切換弁２３が設けられる。この弁２３は、ガ
ス出口を出口２３ｂと出口２３ｃとの間で切り換えて、
ガス取入口２３ａから取り入れたガスを２３ｂ及び２３
ｃから交互に排出する。ガス取入口２３ａは熱分析装置
１に接続され、出口２３ｂは質量分析計４に接続され、
そして出口２３ｃはガストラップ装置２５に接続され
る。
定の２つの測定モードを有するガス分析装置において、
測定モードの切り換えを簡単化する。また、１回のガス
発生時間中に両モード測定を同時に実行できるようにす
る。 【構成】 試料８から発生したガスをトラップするガス
トラップ装置２５と、ガスクロマトグラフ３５と、質量
分析計４とを有するガス分析装置である。ガス取入口２
３ａ、ガス出口２３ｂ及びガス出口２３ｃの３つのガス
口を備えた切換弁２３が設けられる。この弁２３は、ガ
ス出口を出口２３ｂと出口２３ｃとの間で切り換えて、
ガス取入口２３ａから取り入れたガスを２３ｂ及び２３
ｃから交互に排出する。ガス取入口２３ａは熱分析装置
１に接続され、出口２３ｂは質量分析計４に接続され、
そして出口２３ｃはガストラップ装置２５に接続され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱分析装置等のガス発
生体から発生したガスの定性分析すなわちガスの同定、
あるいはガスの濃度変化等を測定するガス分析装置に関
する。
生体から発生したガスの定性分析すなわちガスの同定、
あるいはガスの濃度変化等を測定するガス分析装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】上記のガス分析装置において、発生する
ガスの発生過程の時間的推移を連続的に解析するダイレ
クトモード及び発生ガスの同定すなわち定性分析を行う
トラップモードの２つの測定モードを持った装置が知ら
れている。通常この種のガス分析装置は、ガス流を静止
保持するガストラップ手段及びガスクロマトグラフを備
えたガストラップユニットと、ガスの質量数を測定する
質量分析計とを有している。
ガスの発生過程の時間的推移を連続的に解析するダイレ
クトモード及び発生ガスの同定すなわち定性分析を行う
トラップモードの２つの測定モードを持った装置が知ら
れている。通常この種のガス分析装置は、ガス流を静止
保持するガストラップ手段及びガスクロマトグラフを備
えたガストラップユニットと、ガスの質量数を測定する
質量分析計とを有している。
【０００３】ダイレクトモードにおいては、ガス発生体
から出たガスが直接、質量分析計に導入されて、ガスの
発生過程、例えば発生ガスの濃度変化が時間的に連続し
て測定される。一方、トラップモードにおいては、ガス
トラップ手段で一旦静止保持したガスをガスクロマトグ
ラフによってガス成分別に分離してから質量分析計に導
入し、その分離されたガスの定性分析が行われる。
から出たガスが直接、質量分析計に導入されて、ガスの
発生過程、例えば発生ガスの濃度変化が時間的に連続し
て測定される。一方、トラップモードにおいては、ガス
トラップ手段で一旦静止保持したガスをガスクロマトグ
ラフによってガス成分別に分離してから質量分析計に導
入し、その分離されたガスの定性分析が行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のガス分析装置においては、ガストラップユニットと質
量分析計とが互いに別個独立に設けられていて、トラッ
プモードを実行するに際してはガス発生体から延びるガ
ス排出管をガストラップユニットに接続し、ダイレクト
モードを実行するに際してはそのガス排出管をガストラ
ップユニットから外して質量分析計に接続するという作
業をしなければならなかった。この作業のために次のよ
うな問題点があった。
のガス分析装置においては、ガストラップユニットと質
量分析計とが互いに別個独立に設けられていて、トラッ
プモードを実行するに際してはガス発生体から延びるガ
ス排出管をガストラップユニットに接続し、ダイレクト
モードを実行するに際してはそのガス排出管をガストラ
ップユニットから外して質量分析計に接続するという作
業をしなければならなかった。この作業のために次のよ
うな問題点があった。
【０００５】すなわち、ガス発生体からガスが出ている
間はトラップモードとダイレクトモードとの間でモード
切り換えを行うことができないので、モード切り換えを
行うためには、一旦ガスの発生を止めてからガス排出管
の接続を切り換え、その後再び測定を再開するという作
業が必要であった。この作業は非常に面倒である。さら
に、ガスの発生源である試料が多量である場合は問題が
ないものの、試料が微量であって長時間ガスを発生させ
る余裕がない場合には、実際上、両モードを切り換えて
測定を行うことがきわめて困難であった。
間はトラップモードとダイレクトモードとの間でモード
切り換えを行うことができないので、モード切り換えを
行うためには、一旦ガスの発生を止めてからガス排出管
の接続を切り換え、その後再び測定を再開するという作
業が必要であった。この作業は非常に面倒である。さら
に、ガスの発生源である試料が多量である場合は問題が
ないものの、試料が微量であって長時間ガスを発生させ
る余裕がない場合には、実際上、両モードを切り換えて
測定を行うことがきわめて困難であった。
【０００６】本発明は、従来のガス分析装置における上
記の問題点を解消するためになされたものであって、ト
ラップモードとダイレクトモードとの間のモード切り換
え作業を実質的に省略でき、さらに１回のガス発生時間
中にダイレクトモード及びトラップモードの両モードの
測定を同時に実行できるようにすることを目的とする。
記の問題点を解消するためになされたものであって、ト
ラップモードとダイレクトモードとの間のモード切り換
え作業を実質的に省略でき、さらに１回のガス発生時間
中にダイレクトモード及びトラップモードの両モードの
測定を同時に実行できるようにすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係るガス分析装置は、熱分析装置等のガス
発生体から流れ出た測定対象であるガスを静止保持する
ガストラップ手段と、ガスの流れ方向に関してガストラ
ップ手段の下流位置に配置されたガスクロマトグラフ
と、ガスの質量数を測定する質量分析計とを有するガス
分析装置であって、ガス取り入れ口、ダイレクト用ガス
出口、そしてトラップ用ガス出口の少なくとも３つの口
を備えていて、ガス出口をダイレクト用ガス出口とトラ
ップ用ガス出口との間で切り換えて、ガス取り入れ口か
ら取り入れたガスをそのガス出口から排出するガス流切
り換え手段を設けたことを特徴としている。このガス流
切り換え手段に関しては、そのガス取り入れ口はガス発
生体に接続され、ダイレクト用ガス出口は質量分析計に
接続され、そしてトラップ用ガス出口はガストラップ手
段に接続される。
め、本発明に係るガス分析装置は、熱分析装置等のガス
発生体から流れ出た測定対象であるガスを静止保持する
ガストラップ手段と、ガスの流れ方向に関してガストラ
ップ手段の下流位置に配置されたガスクロマトグラフ
と、ガスの質量数を測定する質量分析計とを有するガス
分析装置であって、ガス取り入れ口、ダイレクト用ガス
出口、そしてトラップ用ガス出口の少なくとも３つの口
を備えていて、ガス出口をダイレクト用ガス出口とトラ
ップ用ガス出口との間で切り換えて、ガス取り入れ口か
ら取り入れたガスをそのガス出口から排出するガス流切
り換え手段を設けたことを特徴としている。このガス流
切り換え手段に関しては、そのガス取り入れ口はガス発
生体に接続され、ダイレクト用ガス出口は質量分析計に
接続され、そしてトラップ用ガス出口はガストラップ手
段に接続される。
【０００８】
【作用】ガス発生体から出たガスは、ガス流切り換え手
段によって適宜のタイミングで流れ方向を切り換えら
れ、あるタイミングでは直接、質量分析計に導入され、
またあるタイミングではガストラップ手段に導入され
る。この結果、ガス搬送管について特別な配管接続の切
り換え作業を行うことなくダイレクトモード及びトラッ
プモードの両モードの測定を行うことができる。しか
も、１回のガス発生期間中に両モードの測定を同時に行
うことができる。
段によって適宜のタイミングで流れ方向を切り換えら
れ、あるタイミングでは直接、質量分析計に導入され、
またあるタイミングではガストラップ手段に導入され
る。この結果、ガス搬送管について特別な配管接続の切
り換え作業を行うことなくダイレクトモード及びトラッ
プモードの両モードの測定を行うことができる。しか
も、１回のガス発生期間中に両モードの測定を同時に行
うことができる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明に係るガス分析装置の一実施例
を模式的に示している。このガス分析装置は、ガス発生
体としての熱分析装置１と、ガスサンプラー２と、ガス
クロマトグラフユニット３と、そして質量分析計４とに
よって構成されている。
を模式的に示している。このガス分析装置は、ガス発生
体としての熱分析装置１と、ガスサンプラー２と、ガス
クロマトグラフユニット３と、そして質量分析計４とに
よって構成されている。
【００１０】熱分析装置１は、本実施例の場合、いわゆ
る示差熱天秤装置（ＴＧ−ＤＴＡ）によって構成されて
いる。このＴＧ−ＤＴＡ１は、図２に示すように、天秤
棒５と、その左端に連結された支持棒６と、天秤棒５の
右端に設けられた光電ユニット７を有している。支持棒
６の上端には、測定対象であるガスを発生する試料８及
び熱的に安定な標準物質９が載置されている。支持棒６
の下部には、磁石１０及びコイル１１によって構成され
た荷重調整装置が設けられている。光電ユニット７はラ
ンプ１２、スリット部材１３及びフォトダイオード等の
光電素子１４によって構成されている。
る示差熱天秤装置（ＴＧ−ＤＴＡ）によって構成されて
いる。このＴＧ−ＤＴＡ１は、図２に示すように、天秤
棒５と、その左端に連結された支持棒６と、天秤棒５の
右端に設けられた光電ユニット７を有している。支持棒
６の上端には、測定対象であるガスを発生する試料８及
び熱的に安定な標準物質９が載置されている。支持棒６
の下部には、磁石１０及びコイル１１によって構成され
た荷重調整装置が設けられている。光電ユニット７はラ
ンプ１２、スリット部材１３及びフォトダイオード等の
光電素子１４によって構成されている。
【００１１】試料８及び標準物質９は、円筒状の保護管
１５によって外部から遮蔽され、さらにその保護管１５
のまわりに配設したヒータ１６によって加熱されるよう
になっている。保護管１５の上端には、ガス排出用のガ
ス排出管１７及びキャリヤガス導入用のガス導入口１８
が接続されている。
１５によって外部から遮蔽され、さらにその保護管１５
のまわりに配設したヒータ１６によって加熱されるよう
になっている。保護管１５の上端には、ガス排出用のガ
ス排出管１７及びキャリヤガス導入用のガス導入口１８
が接続されている。
【００１２】示差熱天秤装置１は上記の構成より成って
いるので、ヒータ１６によって加熱される試料８に重量
変化が発生すると、天秤棒５が支点１９のまわりに回転
して傾動する。このとき、光電ユニット７の光電素子１
４の出力に変化が生じ、その出力変化が電流制御回路２
０に送られる。電流制御回路２０は、光電素子１４の出
力信号に基づいてコイル１１に供給する電流を制御し
て、天秤棒５を元の平衡状態に復動するよう支持棒６に
かかる荷重を制御する。このときに増加または減少する
コイル１１への電流量が試料８の重量変化に対応してお
り、その重量変化がＣＲＴモニタ、機械式プロッタ等の
表示装置２１に目視可能な状態で表示される。こうし
て、試料８についての温度変化に対する重量変化の関係
が測定される。
いるので、ヒータ１６によって加熱される試料８に重量
変化が発生すると、天秤棒５が支点１９のまわりに回転
して傾動する。このとき、光電ユニット７の光電素子１
４の出力に変化が生じ、その出力変化が電流制御回路２
０に送られる。電流制御回路２０は、光電素子１４の出
力信号に基づいてコイル１１に供給する電流を制御し
て、天秤棒５を元の平衡状態に復動するよう支持棒６に
かかる荷重を制御する。このときに増加または減少する
コイル１１への電流量が試料８の重量変化に対応してお
り、その重量変化がＣＲＴモニタ、機械式プロッタ等の
表示装置２１に目視可能な状態で表示される。こうし
て、試料８についての温度変化に対する重量変化の関係
が測定される。
【００１３】一方、ヒータ１６の加熱によって試料８に
転移、融解等といった熱的変化が生じると、熱的に安定
な標準物質との間に温度差が生じ、その温度差が示差熱
測定回路２２によって検出されて、表示装置２１に目視
可能な状態で表示される。こうして、試料８についての
経時的な温度変化が測定される。
転移、融解等といった熱的変化が生じると、熱的に安定
な標準物質との間に温度差が生じ、その温度差が示差熱
測定回路２２によって検出されて、表示装置２１に目視
可能な状態で表示される。こうして、試料８についての
経時的な温度変化が測定される。
【００１４】以上のような試料８についての重量変化
（ＴＧ）及び温度差変化（ＤＴＡ）は、その試料８から
ガスが発生することに起因していると考えられる。従っ
て、そのガスがいつ発生したか、またはそのガスの成分
は何であるか等を知ることはきわめて重要なことであ
る。図１に示したガス分析装置はそのようなガス分析を
行うものである。
（ＴＧ）及び温度差変化（ＤＴＡ）は、その試料８から
ガスが発生することに起因していると考えられる。従っ
て、そのガスがいつ発生したか、またはそのガスの成分
は何であるか等を知ることはきわめて重要なことであ
る。図１に示したガス分析装置はそのようなガス分析を
行うものである。
【００１５】図１において、ガスサンプラー２は、ガス
流切り換え弁２３と、六方向弁２４と、ガストラップ装
置２５とを有している。ガス流切り換え弁２３は、ガス
取り入れ口２３ａ、ダイレクト用ガス出口２３ｂ、トラ
ップ用ガス出口２３ｃ及びキャリヤガス取り入れ口２３
ｄの４つのガス口を備えている。ガス取り入れ口２３ａ
は示差熱天秤装置１のガス排出管１７に接続され、ダイ
レクト用ガス出口２３ｂはガスクロマトグラフユニット
３内に設けられた弁２６に接続され、トラップ用ガス出
口２３Ｃは六方向弁２４の１つのポートに接続され、そ
してキャリヤガス取り入れ口２３ｄには弁２７を介して
キャリヤガスとしてのヘリウムガスが流入する。
流切り換え弁２３と、六方向弁２４と、ガストラップ装
置２５とを有している。ガス流切り換え弁２３は、ガス
取り入れ口２３ａ、ダイレクト用ガス出口２３ｂ、トラ
ップ用ガス出口２３ｃ及びキャリヤガス取り入れ口２３
ｄの４つのガス口を備えている。ガス取り入れ口２３ａ
は示差熱天秤装置１のガス排出管１７に接続され、ダイ
レクト用ガス出口２３ｂはガスクロマトグラフユニット
３内に設けられた弁２６に接続され、トラップ用ガス出
口２３Ｃは六方向弁２４の１つのポートに接続され、そ
してキャリヤガス取り入れ口２３ｄには弁２７を介して
キャリヤガスとしてのヘリウムガスが流入する。
【００１６】ガス流切り換え弁２３は、例えば、図３に
示すような構造を有している。すなわち、ガス取り入れ
口２３ａとトラップ用ガス出口２３ｃとが互いに隣接し
て配置され、短絡管４０及び迂回路２８を介してそれら
のガス口にダイレクト用ガス出口２３ｂが接続されてい
る。迂回路２８の途中にキャリヤガス取り入れ口２３ｄ
が接続され、その接続点にガス流切り換え弁２９が設け
られている。ガス流切り換え弁２９を駆動するドライバ
３０は弁制御装置３１によってその動作が制御される。
弁制御装置３１には図示しないパルス発振回路から送り
出されたパルス信号Ｐが入力され、そのパルス信号Ｐに
基づいて弁２９が実線で示すダイレクト位置と破線で示
すトラップ位置の間で切り替わる。
示すような構造を有している。すなわち、ガス取り入れ
口２３ａとトラップ用ガス出口２３ｃとが互いに隣接し
て配置され、短絡管４０及び迂回路２８を介してそれら
のガス口にダイレクト用ガス出口２３ｂが接続されてい
る。迂回路２８の途中にキャリヤガス取り入れ口２３ｄ
が接続され、その接続点にガス流切り換え弁２９が設け
られている。ガス流切り換え弁２９を駆動するドライバ
３０は弁制御装置３１によってその動作が制御される。
弁制御装置３１には図示しないパルス発振回路から送り
出されたパルス信号Ｐが入力され、そのパルス信号Ｐに
基づいて弁２９が実線で示すダイレクト位置と破線で示
すトラップ位置の間で切り替わる。
【００１７】図１に戻って、六方向弁２４はａ〜ｆの６
個のポートを有していて、弁制御装置３１に制御されて
トラップモード及びフィードモードの２つのポート接続
モードのうちのいずれか１つのモードをとるようになっ
ている。各モードにおける各ポートａ〜ｆの接続状態は
次の通りである。 （トラップモード）：実線状態 ａ−ｆ ｂ−ｃ ｄ−ｅ （フィードモード）：破線状態 ａ−ｂ ｃ−ｄ ｅ−ｆ
個のポートを有していて、弁制御装置３１に制御されて
トラップモード及びフィードモードの２つのポート接続
モードのうちのいずれか１つのモードをとるようになっ
ている。各モードにおける各ポートａ〜ｆの接続状態は
次の通りである。 （トラップモード）：実線状態 ａ−ｆ ｂ−ｃ ｄ−ｅ （フィードモード）：破線状態 ａ−ｂ ｃ−ｄ ｅ−ｆ
【００１８】ガストラップ装置２５は、Ｕ字状の計量管
３２を冷却するための液体窒素３３及びその計量管３２
を瞬時に加熱するフラッシュヒータ３４を有している。
ガスクロマトグラフユニット３内に設けられたガスクロ
マトグラフ３５は周知の通りそこを流れるガスを成分ご
とに分離する。質量分析計４は、例えば、ガス管３６に
よって送られたガスをイオン化するイオン化装置３７、
電場を形成する電極３８及びイオン検知器３９を有して
いる。これらの各機器３７〜３９は真空雰囲気内に配設
されている。
３２を冷却するための液体窒素３３及びその計量管３２
を瞬時に加熱するフラッシュヒータ３４を有している。
ガスクロマトグラフユニット３内に設けられたガスクロ
マトグラフ３５は周知の通りそこを流れるガスを成分ご
とに分離する。質量分析計４は、例えば、ガス管３６に
よって送られたガスをイオン化するイオン化装置３７、
電場を形成する電極３８及びイオン検知器３９を有して
いる。これらの各機器３７〜３９は真空雰囲気内に配設
されている。
【００１９】以下、上記構成より成るガス分析装置の動
作を説明する。
作を説明する。
【００２０】示差熱天秤装置１によって試料８の経時的
な重量変化（ＴＧ）及び経時的な温度変化（ＤＴＡ）が
測定される間、試料８からガスが発生する場合、その発
生したガスは保護管１５の上端に設けたガス導入口１８
から導入されたキャリヤガス、例えばヘリウムガスによ
って搬送され、ガス排出管１７を通ってガス流切り換え
弁２３のガス取り入れ口２３ａに送り込まれる。
な重量変化（ＴＧ）及び経時的な温度変化（ＤＴＡ）が
測定される間、試料８からガスが発生する場合、その発
生したガスは保護管１５の上端に設けたガス導入口１８
から導入されたキャリヤガス、例えばヘリウムガスによ
って搬送され、ガス排出管１７を通ってガス流切り換え
弁２３のガス取り入れ口２３ａに送り込まれる。
【００２１】ガス流切り換え弁２３内の切り換え弁２９
（図３）は、タイミングパルスＰに従ってダイレクト位
置（実線）とトラップ位置（破線）との間で切り換わ
り、キャリヤガス取り入れ口２３ｄから取り入れられる
キャリヤガスをダイレクト用ガス出口２３ｂへ向かう方
向とトラップ用ガス出口２３ｃへ向かう方向とに交互に
振り分ける。この振り分け作業により、ガス取り入れ口
２３ａから取り込まれた測定対象のガスは、ダイレクト
用ガス出口２３ｂ及びトラップ用ガス出口２３ｃから交
互に排出される。このガス流の振り分け時間は、パルス
信号Ｐのデューティー比Ｄを変えることによって適宜に
変更できる。
（図３）は、タイミングパルスＰに従ってダイレクト位
置（実線）とトラップ位置（破線）との間で切り換わ
り、キャリヤガス取り入れ口２３ｄから取り入れられる
キャリヤガスをダイレクト用ガス出口２３ｂへ向かう方
向とトラップ用ガス出口２３ｃへ向かう方向とに交互に
振り分ける。この振り分け作業により、ガス取り入れ口
２３ａから取り込まれた測定対象のガスは、ダイレクト
用ガス出口２３ｂ及びトラップ用ガス出口２３ｃから交
互に排出される。このガス流の振り分け時間は、パルス
信号Ｐのデューティー比Ｄを変えることによって適宜に
変更できる。
【００２２】図１において、ガス流切り換え弁２３のダ
イレクト用ガス出口２３ｂから排出されたガスは弁２６
を介して質量分析計４へ直接、導入される。一方、トラ
ップ用ガス出口２３ｃから排出されたガスは、六方向弁
２４のａポートに送り込まれる。六方向弁２４は、当
初、トラップモード（実線の接続状態）に設定されてお
り、よってガスはｆポートからガストラップ装置２５の
計量管３２内へ送り込まれる。計量管３２へ送り込まれ
たガスは液体窒素３３によって冷却されてその計量管３
２内に静止保持、すなわちトラップされる。質量分析計
４へ直接、導入されたガスがダイレクトモード測定に供
され、計量管３２内にトラップされたガスがトラップモ
ード測定に供される。
イレクト用ガス出口２３ｂから排出されたガスは弁２６
を介して質量分析計４へ直接、導入される。一方、トラ
ップ用ガス出口２３ｃから排出されたガスは、六方向弁
２４のａポートに送り込まれる。六方向弁２４は、当
初、トラップモード（実線の接続状態）に設定されてお
り、よってガスはｆポートからガストラップ装置２５の
計量管３２内へ送り込まれる。計量管３２へ送り込まれ
たガスは液体窒素３３によって冷却されてその計量管３
２内に静止保持、すなわちトラップされる。質量分析計
４へ直接、導入されたガスがダイレクトモード測定に供
され、計量管３２内にトラップされたガスがトラップモ
ード測定に供される。
【００２３】質量分析計４へ直接、導入されたダイレク
トモード測定用のガスは、イオン化装置３７によってイ
オン化され、電極３８によって形成された電場内を通過
して自らが保有するイオン量に応じた方向へ進行し、そ
してイオン検知器３９によって検知される。こうして、
測定対象であるガスの質量数が検知されることにより、
例えばＴＧ−ＤＴＡ測定されている試料８から発生する
ガスの濃度変化が、いわゆるリアルタイムに測定され
る。
トモード測定用のガスは、イオン化装置３７によってイ
オン化され、電極３８によって形成された電場内を通過
して自らが保有するイオン量に応じた方向へ進行し、そ
してイオン検知器３９によって検知される。こうして、
測定対象であるガスの質量数が検知されることにより、
例えばＴＧ−ＤＴＡ測定されている試料８から発生する
ガスの濃度変化が、いわゆるリアルタイムに測定され
る。
【００２４】上記のダイレクトモード測定が行われてい
る間、ガストラップ装置２５の計量管３２内に測定対象
のガスが蓄積保持される。ダイレクトモード測定が終了
して適宜のタイミングが到来すると、六方向弁２４のポ
ート接続モードがフィードモード（破線の接続状態）に
切り換えられ、そして計量管３２内のガスがフラッシュ
ヒータ３４によって瞬時に加熱される。加熱されたガス
はポートｄ及びｃを通って流れるＨｅキャリヤガスによ
って搬送され、ポートｆ及びｅを通ってガスクロマトグ
ラフ３５へ導かれ、そのガスクロマトグラフ３５によっ
て成分ごとに分離された後、弁２６を介して質量分析計
４へ導入される。質量分析計４では、上記の説明と同様
にして、導入されたガスの質量数が測定されてそのガス
が同定される。
る間、ガストラップ装置２５の計量管３２内に測定対象
のガスが蓄積保持される。ダイレクトモード測定が終了
して適宜のタイミングが到来すると、六方向弁２４のポ
ート接続モードがフィードモード（破線の接続状態）に
切り換えられ、そして計量管３２内のガスがフラッシュ
ヒータ３４によって瞬時に加熱される。加熱されたガス
はポートｄ及びｃを通って流れるＨｅキャリヤガスによ
って搬送され、ポートｆ及びｅを通ってガスクロマトグ
ラフ３５へ導かれ、そのガスクロマトグラフ３５によっ
て成分ごとに分離された後、弁２６を介して質量分析計
４へ導入される。質量分析計４では、上記の説明と同様
にして、導入されたガスの質量数が測定されてそのガス
が同定される。
【００２５】以上のように本実施例によれば、試料８か
らの１回のガス発生時間中にガス分析装置によってダイ
レクトモード及びトラップモードの両モードの測定が同
時に行われる。この場合、示差熱天秤装置１から質量分
析計４に至るガス配管の接続を変更する必要はない。
らの１回のガス発生時間中にガス分析装置によってダイ
レクトモード及びトラップモードの両モードの測定が同
時に行われる。この場合、示差熱天秤装置１から質量分
析計４に至るガス配管の接続を変更する必要はない。
【００２６】以上、１つの実施例をあげて本発明を説明
したが本発明はその実施例に限定されるものではない。
例えば、トラップモードを実行するためにガスを静止保
持するガストラップ手段、ガスの質量数を測定する質量
分析計及びガスの流れ方向を切り換えるガス流切り換え
手段の各手段の構造は、図示した構造以外の任意の構造
とすることができる。
したが本発明はその実施例に限定されるものではない。
例えば、トラップモードを実行するためにガスを静止保
持するガストラップ手段、ガスの質量数を測定する質量
分析計及びガスの流れ方向を切り換えるガス流切り換え
手段の各手段の構造は、図示した構造以外の任意の構造
とすることができる。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、ガス流切り換え手段に
よってガスの流れ方向が自動的に切り換えられるので、
トラップモードとダイレクトモードとの間のモード切り
換えにあたってガス配管系に関する配管接続の変更作業
を実質的に省略できる。これにより、測定のための作業
が楽になり、測定時間が短縮化される。
よってガスの流れ方向が自動的に切り換えられるので、
トラップモードとダイレクトモードとの間のモード切り
換えにあたってガス配管系に関する配管接続の変更作業
を実質的に省略できる。これにより、測定のための作業
が楽になり、測定時間が短縮化される。
【００２８】また、試料などのガス発生源からの１回の
ガス発生時間中にダイレクトモード及びトラップモード
の両モードの測定を同時に実行できる。これにより、微
量試料に関してもダイレクトモード及びトラップモード
の両モードによる測定を確実に実行できる。
ガス発生時間中にダイレクトモード及びトラップモード
の両モードの測定を同時に実行できる。これにより、微
量試料に関してもダイレクトモード及びトラップモード
の両モードによる測定を確実に実行できる。
【００２９】
【図１】本発明に係るガス分析装置を模式的に示す図で
ある。
ある。
【図２】ガス発生体の一例である熱分析装置、特に示差
熱天秤装置（ＴＧ−ＤＴＡ）を示す側面断面図である。
熱天秤装置（ＴＧ−ＤＴＡ）を示す側面断面図である。
【図３】ガス流切り換え弁の具体的構造の一例を示す模
式図である。
式図である。
１ 示差熱天秤装置（ガス発生体） ４ 質量分析計 １７ ガス排出管 ２３ ガス流切り換え弁 ２３ａ ガス取り入れ口 ２３ｂ ダイレクト用ガス出口 ２３ｃ トラップ用ガス出口 ２３ｄ キャリヤガス取り入れ口 ２４ 六方向弁 ２５ ガストラップ装置 ２６ 弁 ２９ ガス流切り換え弁 ３２ 計量管 ３３ 液体窒素 ３４ フラッシュヒータ ３５ ガスクロマトグラフ ３６ ガス管
Claims (2)
- 【請求項１】 ガス発生体から流れ出た測定対象である
ガスを静止保持するガストラップ手段と、ガスの流れ方
向に関してガストラップ手段の下流位置に配置されたガ
スクロマトグラフと、ガスの質量数を測定する質量分析
計とを有するガス分析装置において、 ガス取り入れ口、ダイレクト用ガス出口、そしてトラッ
プ用ガス出口の少なくとも３つの口を備えていて、ガス
出口をダイレクト用ガス出口とトラップ用ガス出口との
間で切り換えて、ガス取り入れ口から取り入れたガスを
そのガス出口から排出するガス流切り換え手段を有して
おり、 ガス取り入れ口はガス発生体に接続され、ダイレクト用
ガス出口は質量分析計に接続され、そしてトラップ用ガ
ス出口はガストラップ手段に接続されることを特徴とす
るガス分析装置。 - 【請求項２】 ガス流切り換え手段は、ガス取り入れ
口、ダイレクト用ガス出口、トラップ用ガス出口、そし
てキャリヤガス取り入れ口の各口と、キャリヤガス取り
入れ口から取り入れられたキャリヤガスの流れをダイレ
クト用ガス出口へ向かう方向とトラップ用ガス出口へ向
かう方向との間で切り換えるガス流切り換え弁とを有す
ることを特徴とする請求項１記載のガス分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7294993A JPH06258285A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7294993A JPH06258285A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | ガス分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258285A true JPH06258285A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=13504148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7294993A Pending JPH06258285A (ja) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06258285A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112540023A (zh) * | 2019-09-20 | 2021-03-23 | 耐驰-仪器制造有限公司 | 气体分析装置及气体分析方法 |
| CN113358805A (zh) * | 2020-03-05 | 2021-09-07 | 株式会社岛津制作所 | 复合分析装置以及分析方法 |
| CN113358805B (zh) * | 2020-03-05 | 2024-06-07 | 株式会社岛津制作所 | 复合分析装置以及分析方法 |
-
1993
- 1993-03-08 JP JP7294993A patent/JPH06258285A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112540023A (zh) * | 2019-09-20 | 2021-03-23 | 耐驰-仪器制造有限公司 | 气体分析装置及气体分析方法 |
| EP3795993A1 (en) * | 2019-09-20 | 2021-03-24 | Netzsch-Gerätebau GmbH | Gas analysis device and gas analysis method |
| JP2021050916A (ja) * | 2019-09-20 | 2021-04-01 | ネッチ ゲレーテバウ ゲーエムベーハー | ガス分析装置、及びガス分析方法 |
| US11320408B2 (en) | 2019-09-20 | 2022-05-03 | Netzsch-Gerätebau GmbH | Gas analysis device and gas analysis method |
| CN113358805A (zh) * | 2020-03-05 | 2021-09-07 | 株式会社岛津制作所 | 复合分析装置以及分析方法 |
| US20210278379A1 (en) * | 2020-03-05 | 2021-09-09 | Shimadzu Corporation | Combined analyzer and analysis method |
| US11543394B2 (en) * | 2020-03-05 | 2023-01-03 | Shimadzu Corporation | Combined analyzer and analysis method |
| CN113358805B (zh) * | 2020-03-05 | 2024-06-07 | 株式会社岛津制作所 | 复合分析装置以及分析方法 |
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