JPH06257594A - 高純度液体移送用片吸込遠心ポンプ装置 - Google Patents
高純度液体移送用片吸込遠心ポンプ装置Info
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- JPH06257594A JPH06257594A JP5043475A JP4347593A JPH06257594A JP H06257594 A JPH06257594 A JP H06257594A JP 5043475 A JP5043475 A JP 5043475A JP 4347593 A JP4347593 A JP 4347593A JP H06257594 A JPH06257594 A JP H06257594A
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- pump
- impeller
- mechanical seal
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ポンプ内での摺動発塵並びに、ポンプ内への
不純物の混入を拒否する高純度液体移送用片吸込遠心ポ
ンプ装置の提供。 【構成】 主軸６に羽根車５を嵌装した回転部分と、ケ
ーシング部材１、軸受脚体４を含む一連の固定部分およ
びメカニカルシールをアウトサイドに配置。ポンプ内部
は揚液の停滞部を極端に少なくし、羽根車５及び羽根車
ナット７の嵌め合い部分は、パッキン１８，１９で密封
して接液しないように構成する。
不純物の混入を拒否する高純度液体移送用片吸込遠心ポ
ンプ装置の提供。 【構成】 主軸６に羽根車５を嵌装した回転部分と、ケ
ーシング部材１、軸受脚体４を含む一連の固定部分およ
びメカニカルシールをアウトサイドに配置。ポンプ内部
は揚液の停滞部を極端に少なくし、羽根車５及び羽根車
ナット７の嵌め合い部分は、パッキン１８，１９で密封
して接液しないように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、高純度薬品、超ＬＳ
Ｉ製造装置の超純水ライン等、その内部に発塵を容認し
ない高純度液体の移送用ポンプ装置に関するものであ
る。
Ｉ製造装置の超純水ライン等、その内部に発塵を容認し
ない高純度液体の移送用ポンプ装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般的にポンプのケーシング部材は渦形
室と吐出デフューザーを一体で形成する鋳造材で製作
し、ケーシング部材の軸封装置は、グランドパッキンま
たはメカニカルシール方式を採用することにより、摺動
面の発塵は当然、鋳肌面の微細な欠陥からの微塵の溶出
による揚液の汚染は、低レベルの純水ラインでは容認し
ている。
室と吐出デフューザーを一体で形成する鋳造材で製作
し、ケーシング部材の軸封装置は、グランドパッキンま
たはメカニカルシール方式を採用することにより、摺動
面の発塵は当然、鋳肌面の微細な欠陥からの微塵の溶出
による揚液の汚染は、低レベルの純水ラインでは容認し
ている。
【０００３】しかし、純水ライン等、高純度液質を要求
されるシステムには、鋳肌面を研磨仕上げ、、及び精密
洗浄すると共にメカニカルシールの摺動面には超硬合金
またはシリコンカーバイト等、硬度を高くして耐磨耗性
を上げ、発塵を抑制する材質を選定して最小限に汚染を
防御している。また軸封装置を必要としない構造とし
て、マグネットポンプやキャンドポンプ等も採用される
が、この場合も主軸を支持する水中軸受が、ケーシング
と連結したケース内に複雑な構造で構成され、軸受の摺
動発塵は揚液に混入停滞するるため、たとえ軸受付近の
汚染水を系外へ放出しても高純度を保持することは望む
べきもない。
されるシステムには、鋳肌面を研磨仕上げ、、及び精密
洗浄すると共にメカニカルシールの摺動面には超硬合金
またはシリコンカーバイト等、硬度を高くして耐磨耗性
を上げ、発塵を抑制する材質を選定して最小限に汚染を
防御している。また軸封装置を必要としない構造とし
て、マグネットポンプやキャンドポンプ等も採用される
が、この場合も主軸を支持する水中軸受が、ケーシング
と連結したケース内に複雑な構造で構成され、軸受の摺
動発塵は揚液に混入停滞するるため、たとえ軸受付近の
汚染水を系外へ放出しても高純度を保持することは望む
べきもない。
【０００４】
【発明が解決しようよする課題】前述の通り、従来のポ
ンプの構造においては、低レベル純度の分野においては
対応が可能であった。しかし高純度液質を要求される超
純水装置等に使用するポンプとしては、避けることので
きない必須の構造として未解決のまゝの課題であった。
この発明は、ポンプ内部の接液する全構成部材をステン
レス鋼で全面研削、研磨仕上を経済的且つ容易とし、簡
単な理論の下に、特殊な構造を用いることなく、単純な
メカニカルシールを使用して、その配置とメカニカルシ
ールの調整により、製作費の嵩まない簡潔な構造とし
て、保守点検を容易とし使用目的に合わせた合理的なポ
ンプ装置を得ることを目的とする。
ンプの構造においては、低レベル純度の分野においては
対応が可能であった。しかし高純度液質を要求される超
純水装置等に使用するポンプとしては、避けることので
きない必須の構造として未解決のまゝの課題であった。
この発明は、ポンプ内部の接液する全構成部材をステン
レス鋼で全面研削、研磨仕上を経済的且つ容易とし、簡
単な理論の下に、特殊な構造を用いることなく、単純な
メカニカルシールを使用して、その配置とメカニカルシ
ールの調整により、製作費の嵩まない簡潔な構造とし
て、保守点検を容易とし使用目的に合わせた合理的なポ
ンプ装置を得ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明を図１に示す一
実例について説明する。ポンプケーシング部材１の渦室
胴殻は旋削加工の容易な同芯円形状とし、吐出短管部材
２も全面加工、研削してパッキン１１を介してケーシン
グ部材に一体に組立てゝ、軸受脚体４に固定され、吸込
カバー３はケーシングパッキン１５を装着してケーシン
グ部材に固定されている。また羽根車５は主軸６に嵌装
され、羽根車ナット７で固定して、軸受１４を介して軸
受脚体４により支持されている。羽根車はキー１５を介
して回転トルクを受けるが、キーの受圧面が微振動によ
り摩滅して溶出することを防止するため、羽根車の前後
はＯリング１８，１９により密閉されている。
実例について説明する。ポンプケーシング部材１の渦室
胴殻は旋削加工の容易な同芯円形状とし、吐出短管部材
２も全面加工、研削してパッキン１１を介してケーシン
グ部材に一体に組立てゝ、軸受脚体４に固定され、吸込
カバー３はケーシングパッキン１５を装着してケーシン
グ部材に固定されている。また羽根車５は主軸６に嵌装
され、羽根車ナット７で固定して、軸受１４を介して軸
受脚体４により支持されている。羽根車はキー１５を介
して回転トルクを受けるが、キーの受圧面が微振動によ
り摩滅して溶出することを防止するため、羽根車の前後
はＯリング１８，１９により密閉されている。
【０００６】主軸を含む回転体と渦室胴殻を含む固定側
との間には、本実施例に於いては、メカニカルシール回
転部９はアウトサイド方向に装着されており、該回転部
は調整バネ部材１１と共に主軸に嵌装されたスリーブ８
にセットされ、ポンプを分解することなく該バネ部財の
圧力で自由に調整ネジ部財１２で位置決めされ、調整後
はセットビス１３により主軸に位置決めされる。
との間には、本実施例に於いては、メカニカルシール回
転部９はアウトサイド方向に装着されており、該回転部
は調整バネ部材１１と共に主軸に嵌装されたスリーブ８
にセットされ、ポンプを分解することなく該バネ部財の
圧力で自由に調整ネジ部財１２で位置決めされ、調整後
はセットビス１３により主軸に位置決めされる。
【０００７】羽根車５はセミオープン型を採用して理想
的な翼形状に全面精密加工を可能とし、ケーシング部材
１の渦室胴殻は同芯円形状とする等、各接液部の部材は
全て旋削加工により精密仕上げし、鏡面研磨が全面に行
き届くよう配慮した形状を採用し、加えて容易に洗浄可
能な様、液の停滞部を極端に少なくする構造に構成され
ている。特に小容量のポンプにおける狭い吐出デフュー
ザー部の研磨を完全施工するため、吐出短管部材２をケ
ーシング部材１と分離して、研磨仕上げ後パッキン１７
でシールして緊締し、分解洗浄を可能としている。
的な翼形状に全面精密加工を可能とし、ケーシング部材
１の渦室胴殻は同芯円形状とする等、各接液部の部材は
全て旋削加工により精密仕上げし、鏡面研磨が全面に行
き届くよう配慮した形状を採用し、加えて容易に洗浄可
能な様、液の停滞部を極端に少なくする構造に構成され
ている。特に小容量のポンプにおける狭い吐出デフュー
ザー部の研磨を完全施工するため、吐出短管部材２をケ
ーシング部材１と分離して、研磨仕上げ後パッキン１７
でシールして緊締し、分解洗浄を可能としている。
【０００８】
【作用】本来メカニカルシールは溶液を外部に漏らさな
い目的で、液質と使用条件によって適切な構造と材質が
開発されている。メカニカルシールの配置については図
１および図３に示すアウトサイド方向、または図４に示
すインサイド方向、いずれも使用目的により選定される
が、両者共に摺動面をスプリング作用で押しつけて摺動
させシールする機構である。本発明はポンプ内圧に見合
った所要の漏れ量を発生しながら摺動面間隙を保持し、
主軸および羽根車を含む回転体は、非接触の状態で回転
せしめることにより、ポンプ内でのに保持することによ
り摺動発塵ならびにポンプ内への不純物のを拒否し、高
純度液質を維持できる機構としている。
い目的で、液質と使用条件によって適切な構造と材質が
開発されている。メカニカルシールの配置については図
１および図３に示すアウトサイド方向、または図４に示
すインサイド方向、いずれも使用目的により選定される
が、両者共に摺動面をスプリング作用で押しつけて摺動
させシールする機構である。本発明はポンプ内圧に見合
った所要の漏れ量を発生しながら摺動面間隙を保持し、
主軸および羽根車を含む回転体は、非接触の状態で回転
せしめることにより、ポンプ内でのに保持することによ
り摺動発塵ならびにポンプ内への不純物のを拒否し、高
純度液質を維持できる機構としている。
【０００９】図１によってその作用を観察すると,予め
スリーブ８は設定された間隙に位置決めし、運転を開始
すると入口口径部ａ→羽根車外周ｂ→羽根車裏側ｃ→羽
根車裏側中央部ｄ→メカニカルシール摺動面ｅ→回収ラ
インｆの順に流れを発生する。一方圧力の分布を観察す
ると羽根車出口部圧力Ｐｂは羽根車裏側ｃを通過する
際、流体の遠心力に逆らって羽根車裏側中央部の方向に
流れるに従って減圧されてＰｄとなり、該圧力によりメ
カニカルシール摺動面間隙を洗浄しながら回収ラインを
経て系外に回収される。
スリーブ８は設定された間隙に位置決めし、運転を開始
すると入口口径部ａ→羽根車外周ｂ→羽根車裏側ｃ→羽
根車裏側中央部ｄ→メカニカルシール摺動面ｅ→回収ラ
インｆの順に流れを発生する。一方圧力の分布を観察す
ると羽根車出口部圧力Ｐｂは羽根車裏側ｃを通過する
際、流体の遠心力に逆らって羽根車裏側中央部の方向に
流れるに従って減圧されてＰｄとなり、該圧力によりメ
カニカルシール摺動面間隙を洗浄しながら回収ラインを
経て系外に回収される。
【００１０】羽根車中裏側央部の圧力Ｐｄはポンプの発
生する圧力Ｐｂによって変動するため、メカニカルシー
ルの所要漏れ量に見合った適正な圧力Ｐｄを得るよう羽
根車裏側の形状、および隙間に構成させてある。
生する圧力Ｐｂによって変動するため、メカニカルシー
ルの所要漏れ量に見合った適正な圧力Ｐｄを得るよう羽
根車裏側の形状、および隙間に構成させてある。
【００１１】運転中摺動面の非接触状況は、メカニカル
シールからの所要漏れ量を回収ラインｆで確認し、必要
な場合はポンプを一旦停止して、ポンプを分解すること
なく外部よりメカニカルシール回転部分の一連の構成部
品を調整ネジ部財１２で軸方向に微調整して、セットビ
ス１３で主軸６に固定することによりポンプ内圧Ｐｄに
見合った摺動面間隙を保持して、所要漏れ量を確保でき
る特長がある。
シールからの所要漏れ量を回収ラインｆで確認し、必要
な場合はポンプを一旦停止して、ポンプを分解すること
なく外部よりメカニカルシール回転部分の一連の構成部
品を調整ネジ部財１２で軸方向に微調整して、セットビ
ス１３で主軸６に固定することによりポンプ内圧Ｐｄに
見合った摺動面間隙を保持して、所要漏れ量を確保でき
る特長がある。
【００１２】
【実施例】本発明の実施例について、図面を参照しなが
ら具体的に説明する。図１は主軸６に羽根車５を嵌装し
た回転部分と、ケーシング部材１、軸受脚体４を含む一
連の固定部分およびメカニカルシールをアウトサイドに
配置したポンプ全体縦断面図を示した。ポンプ内部は揚
液の停滞部を極端に少なくし、羽根車５及び羽根車ナッ
ト７の嵌め合い部分は、パッキン１８，１９で密封して
接液しないよう構成されている。
ら具体的に説明する。図１は主軸６に羽根車５を嵌装し
た回転部分と、ケーシング部材１、軸受脚体４を含む一
連の固定部分およびメカニカルシールをアウトサイドに
配置したポンプ全体縦断面図を示した。ポンプ内部は揚
液の停滞部を極端に少なくし、羽根車５及び羽根車ナッ
ト７の嵌め合い部分は、パッキン１８，１９で密封して
接液しないよう構成されている。
【００１３】図２は、ケーシング１の渦室胴殻及び羽根
車５の正面図で、羽根車吸込口に対して同芯円形状を採
用し、接線方向に吐出デフューザー部を構成する吐出短
管部材２と連結して一体構造とし、また羽根車５はセミ
オープン型を採用して、研磨および精密洗浄作業が全部
品について容易に、且つ完璧に施工できるよう構成され
ている。
車５の正面図で、羽根車吸込口に対して同芯円形状を採
用し、接線方向に吐出デフューザー部を構成する吐出短
管部材２と連結して一体構造とし、また羽根車５はセミ
オープン型を採用して、研磨および精密洗浄作業が全部
品について容易に、且つ完璧に施工できるよう構成され
ている。
【００１４】図３に流路と圧力分布を示す。メカニカル
シール回転部９および調整バネ部材１０と共に主軸に嵌
装されたスリーブ８の一連の構成部分を、ポンプを分解
することなく、主軸に螺合した調整ネジ部材１２で左右
に微調整することにより最適の摺動面間隙と所要漏れ量
を発生させる。
シール回転部９および調整バネ部材１０と共に主軸に嵌
装されたスリーブ８の一連の構成部分を、ポンプを分解
することなく、主軸に螺合した調整ネジ部材１２で左右
に微調整することにより最適の摺動面間隙と所要漏れ量
を発生させる。
【００１５】図４はメカニカルシールをインサイドに配
置した実施例を示す。機構的にはアウトサイドと同様の
効果を発生するが、特にメカニカルシールとスリーブを
一体化して構造を簡略化した実施例を示す。
置した実施例を示す。機構的にはアウトサイドと同様の
効果を発生するが、特にメカニカルシールとスリーブを
一体化して構造を簡略化した実施例を示す。
【発明の効果】本発明は以上の説明のように、ポンプ構
造は簡潔に、且つ製作費の嵩まない構造で構成され、分
解、洗浄、点検、調整等維持管理面で極めて至便である
と共にポンプ内全構成部品は全面研磨、精密洗浄して不
純物の溶出、吸着を除去し、一方メカニカルシールを非
接触の状態に保持し、摺動面からポンプ装置系外に所要
の漏れ量を許容して、ポンプ内の発塵並びにポンプ内へ
の不純物の混入を拒否して、高純度液質を維持できる効
果は明瞭且つ顕著である。
造は簡潔に、且つ製作費の嵩まない構造で構成され、分
解、洗浄、点検、調整等維持管理面で極めて至便である
と共にポンプ内全構成部品は全面研磨、精密洗浄して不
純物の溶出、吸着を除去し、一方メカニカルシールを非
接触の状態に保持し、摺動面からポンプ装置系外に所要
の漏れ量を許容して、ポンプ内の発塵並びにポンプ内へ
の不純物の混入を拒否して、高純度液質を維持できる効
果は明瞭且つ顕著である。
【図１】本発明の一実施例を示す全体縦断面図である。
【図２】ポンプケーシング部材の渦室胴殻及び羽根車の
正面図を示す。
正面図を示す。
【図３】溶液の流れと圧力分布及びメカニカルシールを
アウトサイドに配置した実施例を示す。
アウトサイドに配置した実施例を示す。
【図４】メカニカルシールをインサイドに配置した実施
例の部分断面図を示す。
例の部分断面図を示す。
１─ケーシング部材、２─吐出短管部材、３─吸込カバ
ー、４─軸受脚体、５─主軸、６─羽根車、７─羽根車
ナット、８，２８─スリーブ、９，２９─メカカルシー
ル回転部、１０，３０─メカニカルシール固定部、１１
─バネ部材、１２，３２─調整ネジ部材、１３─セット
ビス、１４─軸受、１５─キー、１６─ケーシングパッ
キン、１７─Ｏリング、１８─Ｏリング、１９─Ｏリン
グ、ａ─吸込口口径部、ｂ─羽根車外周、ｃ─羽根車裏
側、ｄ─羽根車裏側中央部、ｅ─メカニカルシール摺動
面、ｆ─回収ライン、Ｐａ─吸込口口径部圧力、Ｐｂ─
羽根車出口部圧力、Ｐｄ─羽根車裏側中央部圧力。
ー、４─軸受脚体、５─主軸、６─羽根車、７─羽根車
ナット、８，２８─スリーブ、９，２９─メカカルシー
ル回転部、１０，３０─メカニカルシール固定部、１１
─バネ部材、１２，３２─調整ネジ部材、１３─セット
ビス、１４─軸受、１５─キー、１６─ケーシングパッ
キン、１７─Ｏリング、１８─Ｏリング、１９─Ｏリン
グ、ａ─吸込口口径部、ｂ─羽根車外周、ｃ─羽根車裏
側、ｄ─羽根車裏側中央部、ｅ─メカニカルシール摺動
面、ｆ─回収ライン、Ｐａ─吸込口口径部圧力、Ｐｂ─
羽根車出口部圧力、Ｐｄ─羽根車裏側中央部圧力。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月２８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 高純度液体移送用片吸込遠心ポン
プ装置
プ装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、高純度薬品、超ＬＳ
Ｉ製造装置の超純水ライン等、その内部に発塵を容認し
ない高純度液体の移送用ポンプ装置に関するものであ
る。
Ｉ製造装置の超純水ライン等、その内部に発塵を容認し
ない高純度液体の移送用ポンプ装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般的にポンプのケーシング部材は渦形
室と吐出デフューザーを一体で形成する鋳造材で製作
し、ケーシング部材の軸封装置は、グランドパッキンま
たはメカニカルシール方式を採用することにより、摺動
面の発塵は当然、鋳肌面の微細な欠陥からの微塵の溶出
による揚液の汚染は、低レベルの純水ラインでは容認し
ている。
室と吐出デフューザーを一体で形成する鋳造材で製作
し、ケーシング部材の軸封装置は、グランドパッキンま
たはメカニカルシール方式を採用することにより、摺動
面の発塵は当然、鋳肌面の微細な欠陥からの微塵の溶出
による揚液の汚染は、低レベルの純水ラインでは容認し
ている。
【０００３】しかし、純水ライン等、高純度液質を要求
されるシステムには、鋳肌面を研磨仕上げ、、及び精密
洗浄すると共にメカニカルシールの摺動面には超硬合金
またはシリコンカーバイト等、硬度を高くして耐磨耗性
を上げ、発塵を抑制する材質を選定して最小限に汚染を
防御している。また軸封装置を必要としない構造とし
て、マグネット駆動型ポンプやキャンドモ─タ─駆動型
ポンプ等も採用されるが、この場合も主軸を支持する水
中軸受が、ケーシングと連結したケース内に複雑な構造
で構成され、軸受の摺動発塵は揚液に混入停滞するるた
め、たとえ軸受付近の汚染水を系外へ放出しても高純度
を保持することは望むべきもない。
されるシステムには、鋳肌面を研磨仕上げ、、及び精密
洗浄すると共にメカニカルシールの摺動面には超硬合金
またはシリコンカーバイト等、硬度を高くして耐磨耗性
を上げ、発塵を抑制する材質を選定して最小限に汚染を
防御している。また軸封装置を必要としない構造とし
て、マグネット駆動型ポンプやキャンドモ─タ─駆動型
ポンプ等も採用されるが、この場合も主軸を支持する水
中軸受が、ケーシングと連結したケース内に複雑な構造
で構成され、軸受の摺動発塵は揚液に混入停滞するるた
め、たとえ軸受付近の汚染水を系外へ放出しても高純度
を保持することは望むべきもない。
【０００４】
【発明が解決しようよする課題】前述の通り、従来のポ
ンプの構造においては、低レベル純度の分野においては
対応が可能であった。しかし高純度液質を要求される超
純水装置等に使用するポンプとしては、避けることので
きない必須の構造として未解決のまゝの課題であった。
この発明は、ポンプ内部の接液する全構成部材をステン
レス鋼で全面研削、研磨仕上を経済的且つ容易とし、簡
単な理論の下に特殊な構造を用いることなく、単純なメ
カニカルシールを使用してその配置とメカニカルシール
の調整により、製作費の嵩まない簡潔な構造として、保
守点検を容易とし使用目的に合わせた合理的なポンプ装
置を得ることを目的とする。
ンプの構造においては、低レベル純度の分野においては
対応が可能であった。しかし高純度液質を要求される超
純水装置等に使用するポンプとしては、避けることので
きない必須の構造として未解決のまゝの課題であった。
この発明は、ポンプ内部の接液する全構成部材をステン
レス鋼で全面研削、研磨仕上を経済的且つ容易とし、簡
単な理論の下に特殊な構造を用いることなく、単純なメ
カニカルシールを使用してその配置とメカニカルシール
の調整により、製作費の嵩まない簡潔な構造として、保
守点検を容易とし使用目的に合わせた合理的なポンプ装
置を得ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明を図１に示す一
実例について説明する。ポンプケーシング部材１の渦室
胴殻は旋削加工の容易な同芯円形状とし、吐出短管部材
２も全面加工，研削してパッキン１７を介してケーシン
グ部材に一体に組立てゝ軸受脚体４に固定され、吸込カ
バー３はケーシングパッキン１６を装着してケーシング
部材に固定されている。また羽根車５は主軸６に嵌装さ
れ、羽根車ナット７で固定して、軸受１４を介して軸受
脚体４により支持されている。羽根車はキー１５を介し
て回転トルクを受けるが、キーの受圧面が微振動により
摩滅して溶出することを防止するため、羽根車の前後は
Ｏリング１８，１９により密閉されている。
実例について説明する。ポンプケーシング部材１の渦室
胴殻は旋削加工の容易な同芯円形状とし、吐出短管部材
２も全面加工，研削してパッキン１７を介してケーシン
グ部材に一体に組立てゝ軸受脚体４に固定され、吸込カ
バー３はケーシングパッキン１６を装着してケーシング
部材に固定されている。また羽根車５は主軸６に嵌装さ
れ、羽根車ナット７で固定して、軸受１４を介して軸受
脚体４により支持されている。羽根車はキー１５を介し
て回転トルクを受けるが、キーの受圧面が微振動により
摩滅して溶出することを防止するため、羽根車の前後は
Ｏリング１８，１９により密閉されている。
【０００６】主軸を含む回転体と渦室胴殻を含む固定側
との間には、本実施例に於いては、メカニカルシール回
転部９はアウトサイド方向に装着されており、該回転部
は調整バネ部材１１と共に主軸に嵌装されたスリーブ８
にセットされ、ポンプを分解することなく該バネ部材の
圧力により自由に調整ネジ部材１２で位置決めされ、調
整後はセットビス１３により主軸に固定される。
との間には、本実施例に於いては、メカニカルシール回
転部９はアウトサイド方向に装着されており、該回転部
は調整バネ部材１１と共に主軸に嵌装されたスリーブ８
にセットされ、ポンプを分解することなく該バネ部材の
圧力により自由に調整ネジ部材１２で位置決めされ、調
整後はセットビス１３により主軸に固定される。
【０００７】羽根車５はセミオープン型を採用して理想
的な翼形状に全面精密加工を可能とし、ケーシング部材
１の渦室胴殻は同芯円形状とする等、各接液部の部材は
全て旋削加工により精密仕上げし、鏡面研磨が全面に行
き届くよう配慮した形状を採用し、加えて容易に洗浄可
能な様、液の停滞部を極端に少なくする構造に構成され
ている。特に小容量のポンプにおける狭い吐出デフュー
ザー部の研磨を完全施工するため、吐出短管部材２をケ
ーシング部材１と分離して、研磨仕上げ後パッキン１７
でシールして緊締し、分解洗浄を可能としている。
的な翼形状に全面精密加工を可能とし、ケーシング部材
１の渦室胴殻は同芯円形状とする等、各接液部の部材は
全て旋削加工により精密仕上げし、鏡面研磨が全面に行
き届くよう配慮した形状を採用し、加えて容易に洗浄可
能な様、液の停滞部を極端に少なくする構造に構成され
ている。特に小容量のポンプにおける狭い吐出デフュー
ザー部の研磨を完全施工するため、吐出短管部材２をケ
ーシング部材１と分離して、研磨仕上げ後パッキン１７
でシールして緊締し、分解洗浄を可能としている。
【０００８】
【作用】本来メカニカルシールは揚液を外部に漏らさな
い目的で、液質と使用条件によって適切な構造と材質が
開発されている。メカニカルシールの配置については図
１および図３に示すアウトサイド方向、または図４に示
すインサイド方向、いずれも使用目的により選定される
が、両者共に摺動面をスプリング作用で押しつけて摺動
させシールする機構である。本発明はポンプ内圧に見合
った所要の漏れ量を発生しながら摺動面間隙を保持し、
主軸および羽根車を含む回転体は、非接触の状態で回転
せしめることにより、ポンプ内での摺動発塵ならびにポ
ンプ内への不純物を拒否し、高純度液質を維持できる機
構としている。
い目的で、液質と使用条件によって適切な構造と材質が
開発されている。メカニカルシールの配置については図
１および図３に示すアウトサイド方向、または図４に示
すインサイド方向、いずれも使用目的により選定される
が、両者共に摺動面をスプリング作用で押しつけて摺動
させシールする機構である。本発明はポンプ内圧に見合
った所要の漏れ量を発生しながら摺動面間隙を保持し、
主軸および羽根車を含む回転体は、非接触の状態で回転
せしめることにより、ポンプ内での摺動発塵ならびにポ
ンプ内への不純物を拒否し、高純度液質を維持できる機
構としている。
【０００９】図１によってその作用を観察すると，予め
スリーブ８は設定された間隙に位置決めし、運転を開始
すると入口口径部ａ→羽根車外周ｂ→羽根車裏側ｃ→羽
根車裏側中央部ｄ→メカニカルシール摺動面ｅ→回収ラ
インｆの順に流れを発生する。一方圧力の分布を観察す
ると羽根車出口部圧力Ｐｂは羽根車裏側ｃを通過する
際、流体の遠心力に逆らって羽根車裏側中央部の方向に
流れるに従って減圧されてＰｄとなり、該圧力によりメ
カニカルシール摺動面間隙を洗浄しながら回収ラインを
経て系外に回収される。
スリーブ８は設定された間隙に位置決めし、運転を開始
すると入口口径部ａ→羽根車外周ｂ→羽根車裏側ｃ→羽
根車裏側中央部ｄ→メカニカルシール摺動面ｅ→回収ラ
インｆの順に流れを発生する。一方圧力の分布を観察す
ると羽根車出口部圧力Ｐｂは羽根車裏側ｃを通過する
際、流体の遠心力に逆らって羽根車裏側中央部の方向に
流れるに従って減圧されてＰｄとなり、該圧力によりメ
カニカルシール摺動面間隙を洗浄しながら回収ラインを
経て系外に回収される。
【００１０】羽根車裏側中央部の圧力Ｐｄはポンプの発
生する圧力Ｐｂによって変動するため、メカニカルシー
ルの所要漏れ量に見合った適正な圧力Ｐｄを得るよう羽
根車裏側の形状、および隙間寸法に構成させてある。
生する圧力Ｐｂによって変動するため、メカニカルシー
ルの所要漏れ量に見合った適正な圧力Ｐｄを得るよう羽
根車裏側の形状、および隙間寸法に構成させてある。
【００１１】運転中摺動面の非接触状況は、メカニカル
シールからの所要漏れ量を回収ラインｆで確認し、必要
な場合はポンプを一旦停止して、ポンプを分解すること
なく外部よりメカニカルシール回転部分の一連の構成部
品を調整ネジ部材１２で軸方向に微調整して、セットビ
ス１３で主軸６に固定することによりポンプ内圧Ｐｄに
見合った摺動面間隙を保持して、所要漏れ量を確保でき
る特長がある。
シールからの所要漏れ量を回収ラインｆで確認し、必要
な場合はポンプを一旦停止して、ポンプを分解すること
なく外部よりメカニカルシール回転部分の一連の構成部
品を調整ネジ部材１２で軸方向に微調整して、セットビ
ス１３で主軸６に固定することによりポンプ内圧Ｐｄに
見合った摺動面間隙を保持して、所要漏れ量を確保でき
る特長がある。
【００１２】
【実施例】本発明の実施例について、図面を参照しなが
ら具体的に説明する。図１は主軸６に羽根車５を嵌装し
た回転部分と、ケーシング部材１、軸受脚体４を含む一
連の固定部分およびメカニカルシールをアウトサイドに
配置したポンプ全体縦断面図を示した。ポンプ内部は揚
液の停滞部を極端に少なくし、羽根車５及び羽根車ナッ
ト７の嵌め合い部分は、パッキン１８，１９で密封して
接液しないよう構成されている。
ら具体的に説明する。図１は主軸６に羽根車５を嵌装し
た回転部分と、ケーシング部材１、軸受脚体４を含む一
連の固定部分およびメカニカルシールをアウトサイドに
配置したポンプ全体縦断面図を示した。ポンプ内部は揚
液の停滞部を極端に少なくし、羽根車５及び羽根車ナッ
ト７の嵌め合い部分は、パッキン１８，１９で密封して
接液しないよう構成されている。
【００１３】図２は、ケーシング１の渦室胴殻及び羽根
車５の正面図で、羽根車吸込口に対して同芯円形状を採
用し、接線方向に吐出デフューザー部を構成する吐出短
管部材２と連結して一体構造とし、また羽根車５はセミ
オープン型を採用して、研磨および精密洗浄作業が全部
品について容易に、且つ完璧に施工できるよう構成され
ている。
車５の正面図で、羽根車吸込口に対して同芯円形状を採
用し、接線方向に吐出デフューザー部を構成する吐出短
管部材２と連結して一体構造とし、また羽根車５はセミ
オープン型を採用して、研磨および精密洗浄作業が全部
品について容易に、且つ完璧に施工できるよう構成され
ている。
【００１４】図３に流路と圧力分布を示す。メカニカル
シール回転部９および調整バネ部材１１と共に主軸に嵌
装されたスリーブ８の一連の構成部分を、ポンプを分解
することなく、主軸に螺合した調整ネジ部材１２で左右
に微調整することにより最適の摺動面間隙と所要漏れ量
を発生させる。
シール回転部９および調整バネ部材１１と共に主軸に嵌
装されたスリーブ８の一連の構成部分を、ポンプを分解
することなく、主軸に螺合した調整ネジ部材１２で左右
に微調整することにより最適の摺動面間隙と所要漏れ量
を発生させる。
【００１５】図４はメカニカルシールをインサイドに配
置した実施例を示す。機構的にはアウトサイドと同様の
効果を発生するが、特にメカニカルシールとスリーブを
一体化して構造を簡略化した実施例を示す。
置した実施例を示す。機構的にはアウトサイドと同様の
効果を発生するが、特にメカニカルシールとスリーブを
一体化して構造を簡略化した実施例を示す。
【発明の効果】本発明は以上の説明のように、ポンプ構
造は簡潔に、且つ製作費の嵩まない構造で構成され、分
解、洗浄、点検、調整等維持管理面で極めて至便である
と共にポンプ内全構成部品は全面研磨、精密洗浄して不
純物の溶出、吸着を除去し、一方メカニカルシールを非
接触の状態に保持し、摺動面からポンプ装置系外に所要
の漏れ量を許容して、ポンプ内の発塵並びにポンプ内へ
の不純物の混入を拒否して、高純度液質を維持できる効
果は明瞭且つ顕著である。
造は簡潔に、且つ製作費の嵩まない構造で構成され、分
解、洗浄、点検、調整等維持管理面で極めて至便である
と共にポンプ内全構成部品は全面研磨、精密洗浄して不
純物の溶出、吸着を除去し、一方メカニカルシールを非
接触の状態に保持し、摺動面からポンプ装置系外に所要
の漏れ量を許容して、ポンプ内の発塵並びにポンプ内へ
の不純物の混入を拒否して、高純度液質を維持できる効
果は明瞭且つ顕著である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例を示す全体縦断面図である。
【図２】ポンプケーシング部材の渦室胴殻及び羽根車の
正面図を示す。
正面図を示す。
【図３】揚液の流れと圧力分布及びメカニカルシールを
アウトサイドに配置した実施例を示す。
アウトサイドに配置した実施例を示す。
【図４】メカニカルシールをインサイドに配置した実施
例の部分断面図を示す。
例の部分断面図を示す。
【符号の説明】 １─ケーシング部材、２─吐出短管部材、３─吸込カバ
ー、４─軸受脚体、５─主軸、６─羽根車、７─羽根車
ナット、８，２８─スリーブ、９，２９─メカカルシー
ル回転部、１０，３０─メカニカルシール固定部、１１
─バネ部材、１２，３２─調整ネジ部材、１３─セット
ビス、１４─軸受、１５─キー、１６─ケーシングパッ
キン、１７─Ｏリング、１８─Ｏリング、１９─Ｏリン
グ、ａ─吸込口口径部、ｂ─羽根車外周、ｃ─羽根車裏
側、ｄ─羽根車裏側中央部、ｅ─メカニカルシール摺動
面、ｆ─回収ライン、Ｐａ─吸込口口径部圧力、Ｐｂ─
羽根車出口部圧力、Ｐｄ─羽根車裏側中央部圧力。
ー、４─軸受脚体、５─主軸、６─羽根車、７─羽根車
ナット、８，２８─スリーブ、９，２９─メカカルシー
ル回転部、１０，３０─メカニカルシール固定部、１１
─バネ部材、１２，３２─調整ネジ部材、１３─セット
ビス、１４─軸受、１５─キー、１６─ケーシングパッ
キン、１７─Ｏリング、１８─Ｏリング、１９─Ｏリン
グ、ａ─吸込口口径部、ｂ─羽根車外周、ｃ─羽根車裏
側、ｄ─羽根車裏側中央部、ｅ─メカニカルシール摺動
面、ｆ─回収ライン、Ｐａ─吸込口口径部圧力、Ｐｂ─
羽根車出口部圧力、Ｐｄ─羽根車裏側中央部圧力。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ０４Ｄ 29/12 Ｂ 8610−3Ｈ Ｆ１６Ｊ 15/34 Ｚ 8207−3Ｊ
Claims (2)
- 【請求項１】 高純度液体移送用遠心ポンプ装置におい
て、精密仕上げに適するセミオ─プン羽根車を適用し、
ケーシング部材（１）はその吸込口と同芯円に精密旋削
仕上げのできるように形成し、さらにケーシング部材
（１）の渦室胴殻に対して接線方向に吐出デフューザー
を精密仕上げした吐出短管部材（２）を装着できるよう
構成したことを特長とする高純度液体移送用片吸込遠心
ポンプ装置。 - 【請求項２】 ケーシング部材（１）の軸封装置部に
は、メカニカルシール回転部（９，２９）を調整バネ部
材（１１）と共に主軸に嵌め合わせたスリーブ（８，２
８）にセットして、主軸に羅合した調整ネジ部材（１
２，３２）により軸方向に微調整且つ固定できるように
構成し、羽根車の裏側に発生する圧力とメカニカルシー
ル摺動面間隙の調整により、メカニカルシールの摺動面
からポンプ装置系外へ、所要の漏れ量を許容して、ポン
プ内での摺動発塵並びに、ポンプ内への不純物の混入を
拒否するよう構成させたことを特長とする請求項１の高
純度液体移送用片吸込遠心ポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5043475A JP2546965B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 高純度液体移送用片吸込遠心ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5043475A JP2546965B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 高純度液体移送用片吸込遠心ポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06257594A true JPH06257594A (ja) | 1994-09-13 |
| JP2546965B2 JP2546965B2 (ja) | 1996-10-23 |
Family
ID=12664748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5043475A Expired - Lifetime JP2546965B2 (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | 高純度液体移送用片吸込遠心ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2546965B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011099532A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 攪拌機用ダブルメカニカルシールのシール流体循環装置 |
| JP2020045836A (ja) * | 2018-09-20 | 2020-03-26 | 株式会社荏原製作所 | 回転式流体機械 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6191098U (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-13 | ||
| JPS61101700U (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-28 |
-
1993
- 1993-03-04 JP JP5043475A patent/JP2546965B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6191098U (ja) * | 1984-11-21 | 1986-06-13 | ||
| JPS61101700U (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-28 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011099532A (ja) * | 2009-11-09 | 2011-05-19 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 攪拌機用ダブルメカニカルシールのシール流体循環装置 |
| JP2020045836A (ja) * | 2018-09-20 | 2020-03-26 | 株式会社荏原製作所 | 回転式流体機械 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2546965B2 (ja) | 1996-10-23 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130808 Year of fee payment: 17 |
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