JPH06255113A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- JPH06255113A JPH06255113A JP5044099A JP4409993A JPH06255113A JP H06255113 A JPH06255113 A JP H06255113A JP 5044099 A JP5044099 A JP 5044099A JP 4409993 A JP4409993 A JP 4409993A JP H06255113 A JPH06255113 A JP H06255113A
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- photosensitive resin
- resin layer
- substrate
- ink
- light
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板上に感光性樹脂を積層、露光、現像する
ことによってインク流路を形成する時、感光性樹脂層が
厚い場合でも感光性樹脂層の上面から底面まで均一なパ
ターン幅のインク流路を得る。 【構成】 感光性樹脂の分光感度のピーク波長における
照度が、感光性樹脂層の露光面において３ｍＷ／ｃｍ2
以上である露光光源を用いて、感光性樹脂層の所定の部
分を露光する。
ことによってインク流路を形成する時、感光性樹脂層が
厚い場合でも感光性樹脂層の上面から底面まで均一なパ
ターン幅のインク流路を得る。 【構成】 感光性樹脂の分光感度のピーク波長における
照度が、感光性樹脂層の露光面において３ｍＷ／ｃｍ2
以上である露光光源を用いて、感光性樹脂層の所定の部
分を露光する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインク滴を吐出させ記録
紙等の媒体上にインク像を形成するプリンタ等の装置に
用いられるインクジェットヘッドの製造方法に関する。
紙等の媒体上にインク像を形成するプリンタ等の装置に
用いられるインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】基板上に感光性樹脂層を形成し、感光性
樹脂の所定の部分を露光後、感光性樹脂層の不要な部分
を除去してインク流路壁または圧力室壁とするインクジ
ェットヘッドは、特公昭６２−５９６７２号公報および
特公平２−４２６７０号公報に開示されている。その構
造を図７及び図８を用いて説明する。基板７１はガラ
ス、プラスチック、セラミック、金属等からなり、イン
ク流路または圧力室の１壁面として機能する。基板７１
上にはノズルからインクを吐出するために利用されるエ
ネルギーを発生するエネルギー発生体７２が設けられ
る。次に、エネルギー発生体７２が設けられた基板７１
上に感光性樹脂層が設けられる。その後、公知のフォト
リソグラフィの手段によって硬化した感光性樹脂層のイ
ンク流路壁または圧力室壁７３を得る。
樹脂の所定の部分を露光後、感光性樹脂層の不要な部分
を除去してインク流路壁または圧力室壁とするインクジ
ェットヘッドは、特公昭６２−５９６７２号公報および
特公平２−４２６７０号公報に開示されている。その構
造を図７及び図８を用いて説明する。基板７１はガラ
ス、プラスチック、セラミック、金属等からなり、イン
ク流路または圧力室の１壁面として機能する。基板７１
上にはノズルからインクを吐出するために利用されるエ
ネルギーを発生するエネルギー発生体７２が設けられ
る。次に、エネルギー発生体７２が設けられた基板７１
上に感光性樹脂層が設けられる。その後、公知のフォト
リソグラフィの手段によって硬化した感光性樹脂層のイ
ンク流路壁または圧力室壁７３を得る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】高精細な印字物を得る
ための手段として、インク吐出のためのノズルを高密度
に配置する方法がある。高密度なノズル配置のインクジ
ェットヘッドの場合、圧力室の間隔が狭くなるため、必
要な圧力室容積を得るためには圧力室高さを高くするこ
とが必要である。もし圧力室容積が不充分であると、イ
ンク吐出時のインク量が少なくなるため、記録媒体上で
１記録ドット当りの面積が小さくなり必要な面積を得る
ためには重ね打ちなどをしなければならず印字速度が遅
くなる、また、圧力室へのインクの供給が不安定となり
インク吐出特性が不安定となる、等の課題を生じる。
ための手段として、インク吐出のためのノズルを高密度
に配置する方法がある。高密度なノズル配置のインクジ
ェットヘッドの場合、圧力室の間隔が狭くなるため、必
要な圧力室容積を得るためには圧力室高さを高くするこ
とが必要である。もし圧力室容積が不充分であると、イ
ンク吐出時のインク量が少なくなるため、記録媒体上で
１記録ドット当りの面積が小さくなり必要な面積を得る
ためには重ね打ちなどをしなければならず印字速度が遅
くなる、また、圧力室へのインクの供給が不安定となり
インク吐出特性が不安定となる、等の課題を生じる。
【０００４】この課題を解決するためには、感光性樹脂
層を厚くして圧力室高さを高くし、必要な圧力室容積を
確保することが最も簡便な方法である。しかし、厚い感
光性樹脂層を露光する場合は、感光性樹脂層内で光が散
乱、もしくは減衰しやすくなる。このため、図９に示す
とおり、現像後の感光性樹脂層のパターン幅の底面側
（基板に近い側。図９のｗ１）と上面側（基板から遠い
側。図９のｗ２）の寸法が異なり、設計に忠実なインク
流路形状及び圧力室形状が得られない為、インク吐出特
性の悪化を引き起こす、という課題を有している。
層を厚くして圧力室高さを高くし、必要な圧力室容積を
確保することが最も簡便な方法である。しかし、厚い感
光性樹脂層を露光する場合は、感光性樹脂層内で光が散
乱、もしくは減衰しやすくなる。このため、図９に示す
とおり、現像後の感光性樹脂層のパターン幅の底面側
（基板に近い側。図９のｗ１）と上面側（基板から遠い
側。図９のｗ２）の寸法が異なり、設計に忠実なインク
流路形状及び圧力室形状が得られない為、インク吐出特
性の悪化を引き起こす、という課題を有している。
【０００５】本発明はこの課題を解決するものであり、
その目的とするところは、高密度なノズル配置を行った
ときでも必要な圧力室容積が得られるように圧力室の高
さを高くできるインクジェットヘッドの製造方法を提供
することである。
その目的とするところは、高密度なノズル配置を行った
ときでも必要な圧力室容積が得られるように圧力室の高
さを高くできるインクジェットヘッドの製造方法を提供
することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、感光性樹脂
の露光時に、照度の低い光源を用いてある一定の光量の
露光を行った場合、光の散乱により、マスクされている
部分の感光性樹脂層の底面側（基板に近い側）が露光さ
れ、現像後の感光性樹脂層の底面側のパターン幅が太く
なる、いわゆる裾引き状態になること、また、照度の高
い光源を用いてある一定の光量の露光を行った場合、厚
い感光性樹脂層でも光の散乱が少なく、感光性樹脂層の
上面側（基板から遠い側）から底面側まで基板に垂直に
インク流路壁または圧力室壁が形成されることを見いだ
した。この手法を用いることにより、感光性樹脂層が厚
い場合でも精度良くインク流路が形成できる。
の露光時に、照度の低い光源を用いてある一定の光量の
露光を行った場合、光の散乱により、マスクされている
部分の感光性樹脂層の底面側（基板に近い側）が露光さ
れ、現像後の感光性樹脂層の底面側のパターン幅が太く
なる、いわゆる裾引き状態になること、また、照度の高
い光源を用いてある一定の光量の露光を行った場合、厚
い感光性樹脂層でも光の散乱が少なく、感光性樹脂層の
上面側（基板から遠い側）から底面側まで基板に垂直に
インク流路壁または圧力室壁が形成されることを見いだ
した。この手法を用いることにより、感光性樹脂層が厚
い場合でも精度良くインク流路が形成できる。
【０００７】本発明のインクジェットヘッドの製造方法
は、基板上に感光性樹脂層を形成する工程と、前記感光
性樹脂層の所定の部分を露光する工程と、前記感光性樹
脂層の不要な部分を除去する工程、によってインク流路
を形成するインクジェットヘッドの製造方法において、
感光性樹脂層の必要部分を露光する工程で用いる露光光
源の、感光性樹脂の感度ピークの波長における照度が、
感光性樹脂層の露光面において３ｍＷ／ｃｍ2 以上であ
ることを特徴とする。
は、基板上に感光性樹脂層を形成する工程と、前記感光
性樹脂層の所定の部分を露光する工程と、前記感光性樹
脂層の不要な部分を除去する工程、によってインク流路
を形成するインクジェットヘッドの製造方法において、
感光性樹脂層の必要部分を露光する工程で用いる露光光
源の、感光性樹脂の感度ピークの波長における照度が、
感光性樹脂層の露光面において３ｍＷ／ｃｍ2 以上であ
ることを特徴とする。
【０００８】
【実施例】以下に具体例をあげて本発明の説明をする。
【０００９】まず、図１に示すようにガラス、プラスチ
ック、セラミック、金属等の内の適切な材質からなる第
一の基板１１の表面を洗浄、乾燥したのち、感光性樹脂
層１２を形成する。
ック、セラミック、金属等の内の適切な材質からなる第
一の基板１１の表面を洗浄、乾燥したのち、感光性樹脂
層１２を形成する。
【００１０】ここで用いられる感光性樹脂は、液体状ま
たはフィルム状、ポジ型またはネガ型の別を問わず、公
知の感光性樹脂が使用できる。また、感光性樹脂層の形
成方法としてはロールコーター、スピンコーター、スプ
レーコーター、熱圧力ローラーラミネーター等の公知の
方法で形成できる。また、１回の感光性樹脂層の形成工
程で所望の厚さが得られなかった場合は、この工程を２
回以上繰り返してもよい。この時、液体状の感光性樹脂
を用いている場合は、１回の感光性樹脂層の形成工程の
後に弱い加熱重合を行い液体状の感光性樹脂を半固体状
にする工程（いわゆるプレベーク工程）を行ってもよ
い。
たはフィルム状、ポジ型またはネガ型の別を問わず、公
知の感光性樹脂が使用できる。また、感光性樹脂層の形
成方法としてはロールコーター、スピンコーター、スプ
レーコーター、熱圧力ローラーラミネーター等の公知の
方法で形成できる。また、１回の感光性樹脂層の形成工
程で所望の厚さが得られなかった場合は、この工程を２
回以上繰り返してもよい。この時、液体状の感光性樹脂
を用いている場合は、１回の感光性樹脂層の形成工程の
後に弱い加熱重合を行い液体状の感光性樹脂を半固体状
にする工程（いわゆるプレベーク工程）を行ってもよ
い。
【００１１】これらの感光性樹脂層の形成方法のうち、
作業性、層厚管理の容易さ、層厚の均一性等の点からド
ライフィルムフォトレジストを熱圧力ローラーラミネー
ターで貼り合わせる方法が好ましい。本実施例では、感
光性樹脂層にネガ型ドライフィルムフォトレジストを用
い、感光性樹脂層の形成工程を４回繰り返したものとし
て説明する。
作業性、層厚管理の容易さ、層厚の均一性等の点からド
ライフィルムフォトレジストを熱圧力ローラーラミネー
ターで貼り合わせる方法が好ましい。本実施例では、感
光性樹脂層にネガ型ドライフィルムフォトレジストを用
い、感光性樹脂層の形成工程を４回繰り返したものとし
て説明する。
【００１２】次に、図２に示すように感光性樹脂層１２
上に所定のパターンを有するマスク２１を重ね合わせ、
公知の手法によって第一の基板１１とマスク２１の位置
合わせを行ったのち、光源２２によって露光を行う。
上に所定のパターンを有するマスク２１を重ね合わせ、
公知の手法によって第一の基板１１とマスク２１の位置
合わせを行ったのち、光源２２によって露光を行う。
【００１３】光源２２はあらかじめ所定の方法によって
照度が測定されている。照度の測定時の注意点として、
用いている感光性樹脂の分光感度のピーク波長に合った
照度測定装置を用いること、また、照度測定装置の感光
面は、実際に感光性樹脂を露光するときと同じ位置に置
くこと、が挙げられる。特に、照度は光源からの距離の
２乗に比例して小さくなるため、図２のｌで示される光
源と感光性樹脂の露光面との距離は照度測定時も同じ距
離であることが重要である。
照度が測定されている。照度の測定時の注意点として、
用いている感光性樹脂の分光感度のピーク波長に合った
照度測定装置を用いること、また、照度測定装置の感光
面は、実際に感光性樹脂を露光するときと同じ位置に置
くこと、が挙げられる。特に、照度は光源からの距離の
２乗に比例して小さくなるため、図２のｌで示される光
源と感光性樹脂の露光面との距離は照度測定時も同じ距
離であることが重要である。
【００１４】露光時の光量は光の照射時間によって制御
される。照度と照射時間と光量の関係は、次の式で表さ
れる。
される。照度と照射時間と光量の関係は、次の式で表さ
れる。
【００１５】
【数１】
【００１６】露光時の光量は、使用する感光性樹脂に合
わせて変える。ネガ型の感光性樹脂の場合、光量が多す
ぎると現像後の感光性樹脂の幅がマスクの幅より大きく
なり、逆に光量が少なすぎると現像後の感光性樹脂の幅
がマスクの幅より小さくなる。
わせて変える。ネガ型の感光性樹脂の場合、光量が多す
ぎると現像後の感光性樹脂の幅がマスクの幅より大きく
なり、逆に光量が少なすぎると現像後の感光性樹脂の幅
がマスクの幅より小さくなる。
【００１７】この工程により感光性樹脂層１２は硬化部
２３と可溶化部２４とに分かれる。
２３と可溶化部２４とに分かれる。
【００１８】本発明者は、ネガ型の感光性樹脂の露光時
に照度の高い光源を用いることで、感光性樹脂層の硬化
部２３が上面側から底面側まで基板に垂直に形成される
ことを見いだした。照度の高い光源を用いることで光が
散乱せずに底面側に到達する為である。また、露光時間
が短くて済む為、光の散乱があったとしても散乱光によ
る露光光量は少なく、反応が開始する光量まで至らない
為である。
に照度の高い光源を用いることで、感光性樹脂層の硬化
部２３が上面側から底面側まで基板に垂直に形成される
ことを見いだした。照度の高い光源を用いることで光が
散乱せずに底面側に到達する為である。また、露光時間
が短くて済む為、光の散乱があったとしても散乱光によ
る露光光量は少なく、反応が開始する光量まで至らない
為である。
【００１９】次に、感光性樹脂の可溶化部２４を現像液
を用いて溶解除去する。現像液は感光性樹脂の種類に対
応した公知の現像液が使用できる。図３は現像後の感光
性樹脂層を示す。
を用いて溶解除去する。現像液は感光性樹脂の種類に対
応した公知の現像液が使用できる。図３は現像後の感光
性樹脂層を示す。
【００２０】次に、図４に示すようにガラス、プラスチ
ック、セラミック、金属等のうちの適切な材質からなる
第二の基板４１の表面を洗浄、乾燥したのち、公知の方
法によって感光性樹脂の硬化部２３と接合する。
ック、セラミック、金属等のうちの適切な材質からなる
第二の基板４１の表面を洗浄、乾燥したのち、公知の方
法によって感光性樹脂の硬化部２３と接合する。
【００２１】図５は本実施例によって得られたインクジ
ェットヘッドの斜視図である。この図ではノズル配置の
例として３列配置の場合を示している。共通インク室５
１内のインクは供給口５２を通って各ノズル５５に対応
した圧力室５３に入る。圧力室５３の外側には圧電素子
５４が設けられている。圧電素子５４に信号が入力され
ると圧電素子５４がたわみ、それによって基板がたわん
で圧力室５３内のインクを加圧し、ノズル５５からイン
クが吐出される。
ェットヘッドの斜視図である。この図ではノズル配置の
例として３列配置の場合を示している。共通インク室５
１内のインクは供給口５２を通って各ノズル５５に対応
した圧力室５３に入る。圧力室５３の外側には圧電素子
５４が設けられている。圧電素子５４に信号が入力され
ると圧電素子５４がたわみ、それによって基板がたわん
で圧力室５３内のインクを加圧し、ノズル５５からイン
クが吐出される。
【００２２】［実施例１］インク吐出のためのノズルが
１２列設けられているステンレスの第一の基板を洗浄、
乾燥したのち、ネガ型ドライフィルムフォトレジスト
（商品名「オーディル」、東京応化工業、厚さ５５μ
ｍ、分光感度のピーク波長３６５ｎｍ）を熱圧力ローラ
ーラミネーターを用いて８０〜１００℃の温度、３０〜
４０ｃｍ／分の送り速度、１〜３ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で
貼り合わせる。この貼り合わせ工程を４回繰り返して厚
さ２００μｍのドライフィルムフォトレジスト層を得
る。次に、マスクを重ね合わせ、公知の方法で位置合わ
せを行い、マスクとドライフィルムフォトレジスト層を
密着させたのち、波長３６５ｎｍでの照度が６ｍＷ／ｃ
ｍ2の超高圧水銀灯を用いて９０ｍＪ／ｃｍ2 の光量で
露光を行う。超高圧水銀灯の照度測定は、市販の照度測
定装置を用いた。次に、１，１，１−トリクロルエタン
をスプレーを用いて吹き付け、未露光部分を除去した。
次に、ニッケルの第二の基板を洗浄、乾燥したのち、ス
テンレス基板のドライフィルム層に公知の方法で接合し
た。次に、ニッケル基板に圧電素子を接合し、ノズル列
が１２列配置のインクジェットヘッドを得た。
１２列設けられているステンレスの第一の基板を洗浄、
乾燥したのち、ネガ型ドライフィルムフォトレジスト
（商品名「オーディル」、東京応化工業、厚さ５５μ
ｍ、分光感度のピーク波長３６５ｎｍ）を熱圧力ローラ
ーラミネーターを用いて８０〜１００℃の温度、３０〜
４０ｃｍ／分の送り速度、１〜３ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で
貼り合わせる。この貼り合わせ工程を４回繰り返して厚
さ２００μｍのドライフィルムフォトレジスト層を得
る。次に、マスクを重ね合わせ、公知の方法で位置合わ
せを行い、マスクとドライフィルムフォトレジスト層を
密着させたのち、波長３６５ｎｍでの照度が６ｍＷ／ｃ
ｍ2の超高圧水銀灯を用いて９０ｍＪ／ｃｍ2 の光量で
露光を行う。超高圧水銀灯の照度測定は、市販の照度測
定装置を用いた。次に、１，１，１−トリクロルエタン
をスプレーを用いて吹き付け、未露光部分を除去した。
次に、ニッケルの第二の基板を洗浄、乾燥したのち、ス
テンレス基板のドライフィルム層に公知の方法で接合し
た。次に、ニッケル基板に圧電素子を接合し、ノズル列
が１２列配置のインクジェットヘッドを得た。
【００２３】このようにして得られたインクジェットヘ
ッドは公知のインクジェットインクを用いて印字を行っ
たところ、インク吐出速度＝９〜１０ｍ／秒、１ドット
あたりのインク重量＝０．１０〜０．１２μｇであり高
速で高濃度な印字を行うことができた。また、得られた
インクジェットヘッドの寸法を工具顕微鏡で測定したと
ころ、ドライフィルム層の高さは２００〜２０５μｍ、
圧力室幅はマスク幅１００μｍに対してステンレス基板
側で９８〜１０１μｍ、ニッケル基板側で１００〜１０
２μｍであった。また、散乱光を測定するため、図６に
示すとおり４回貼り合わせた後のドライフィルムフォト
レジスト層１２の一部をマスク２１で遮光し、遮光した
方のドライフィルムフォトレジスト層１２の下に積算光
量測定装置６１を置き、９０ｍＪ／ｃｍ2 の光量で露光
を行ったときのマスク下の散乱光の露光量を測定したと
ころ、１．５ｍＪ／ｃｍ2 でありほとんど散乱していな
かった。
ッドは公知のインクジェットインクを用いて印字を行っ
たところ、インク吐出速度＝９〜１０ｍ／秒、１ドット
あたりのインク重量＝０．１０〜０．１２μｇであり高
速で高濃度な印字を行うことができた。また、得られた
インクジェットヘッドの寸法を工具顕微鏡で測定したと
ころ、ドライフィルム層の高さは２００〜２０５μｍ、
圧力室幅はマスク幅１００μｍに対してステンレス基板
側で９８〜１０１μｍ、ニッケル基板側で１００〜１０
２μｍであった。また、散乱光を測定するため、図６に
示すとおり４回貼り合わせた後のドライフィルムフォト
レジスト層１２の一部をマスク２１で遮光し、遮光した
方のドライフィルムフォトレジスト層１２の下に積算光
量測定装置６１を置き、９０ｍＪ／ｃｍ2 の光量で露光
を行ったときのマスク下の散乱光の露光量を測定したと
ころ、１．５ｍＪ／ｃｍ2 でありほとんど散乱していな
かった。
【００２４】［実施例２〜４］実施例１と同様にステン
レスの第一の基板を洗浄、乾燥、ドライフィルムフォト
レジストの積層を行い、マスクを重ね合わせ、公知の方
法で位置合わせを行い、マスクとドライフィルムフォト
レジスト層を密着させたのち、波長３６５ｎｍでの照度
が、それぞれ５ｍＷ／ｃｍ2 、４ｍＷ／ｃｍ2 、３ｍＷ
／ｃｍ2 の超高圧水銀灯を用いて９０ｍＪ／ｃｍ2 の光
量で露光を行う。以下、実施例１と同様に現像を行い、
ニッケルの第二の基板を接合し、圧電素子を接合してノ
ズル列が１２列配置のインクジェットヘッドを得た。
このようにして得られたインクジェットヘッドは実施例
１と同様に印字を行ったところ、いずれも良好な結果が
得られた。実施例１の結果と併せ、これらの結果を表１
に示す。
レスの第一の基板を洗浄、乾燥、ドライフィルムフォト
レジストの積層を行い、マスクを重ね合わせ、公知の方
法で位置合わせを行い、マスクとドライフィルムフォト
レジスト層を密着させたのち、波長３６５ｎｍでの照度
が、それぞれ５ｍＷ／ｃｍ2 、４ｍＷ／ｃｍ2 、３ｍＷ
／ｃｍ2 の超高圧水銀灯を用いて９０ｍＪ／ｃｍ2 の光
量で露光を行う。以下、実施例１と同様に現像を行い、
ニッケルの第二の基板を接合し、圧電素子を接合してノ
ズル列が１２列配置のインクジェットヘッドを得た。
このようにして得られたインクジェットヘッドは実施例
１と同様に印字を行ったところ、いずれも良好な結果が
得られた。実施例１の結果と併せ、これらの結果を表１
に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】［比較例１〜２］比較例１〜２として、実
施例１と同様にステンレスの第一の基板を洗浄、乾燥、
ドライフィルムフォトレジストの積層を行い、マスクを
重ね合わせ、公知の方法で位置合わせを行い、マスクと
ドライフィルムフォトレジスト層を密着させたのち、波
長３６５ｎｍでの照度が、それぞれ２ｍＷ／ｃｍ2 、１
ｍＷ／ｃｍ2 の超高圧水銀灯を用いて９０ｍＪ／ｃｍ2
の光量で露光を行う。以下、実施例１と同様に現像を行
い、ニッケルの第二の基板を接合し、圧電素子を接合し
てノズル列が１２列配置のインクジェットヘッドを得
た。 このようにして得られたインクジェットヘッドは
実施例１と同様の評価を行った。その結果を表１に併せ
て示す。
施例１と同様にステンレスの第一の基板を洗浄、乾燥、
ドライフィルムフォトレジストの積層を行い、マスクを
重ね合わせ、公知の方法で位置合わせを行い、マスクと
ドライフィルムフォトレジスト層を密着させたのち、波
長３６５ｎｍでの照度が、それぞれ２ｍＷ／ｃｍ2 、１
ｍＷ／ｃｍ2 の超高圧水銀灯を用いて９０ｍＪ／ｃｍ2
の光量で露光を行う。以下、実施例１と同様に現像を行
い、ニッケルの第二の基板を接合し、圧電素子を接合し
てノズル列が１２列配置のインクジェットヘッドを得
た。 このようにして得られたインクジェットヘッドは
実施例１と同様の評価を行った。その結果を表１に併せ
て示す。
【００２７】比較例１〜２に示す通り、ノズル間のイン
ク吐出速度、インク重量のばらつきが大きい。また、ノ
ズルによってはインクが吐出しなくなるものもあった。
また、得られたインクジェットヘッドの寸法は、圧力室
幅がステンレス基板側で狭く形成されていた。
ク吐出速度、インク重量のばらつきが大きい。また、ノ
ズルによってはインクが吐出しなくなるものもあった。
また、得られたインクジェットヘッドの寸法は、圧力室
幅がステンレス基板側で狭く形成されていた。
【００２８】実施例１〜４と、比較例１〜２の散乱光の
測定値より、比較例１〜２は散乱光量が多い。この散乱
光によりマスク部分のドライフィルムフォトレジストが
わずかに露光し硬化したことがわかる。
測定値より、比較例１〜２は散乱光量が多い。この散乱
光によりマスク部分のドライフィルムフォトレジストが
わずかに露光し硬化したことがわかる。
【００２９】［比較例３］比較例１と同様に、ステンレ
スの第一の基板の代わりにガラスの第一の基板を用いて
ノズル列が１２列配置のインクジェットヘッドを得た。
このようにして得られたインクジェットヘッドは、イン
ク吐出試験を行い、圧力室内の様子をガラスごしに観察
した。その結果、吐出特性が不安定なためノズル穴から
空気を引き込んで圧力室内で気泡となり、その気泡がド
ライフィルムフォトレジストの散乱光で硬化した部分に
滞留していた。そのため、圧電素子のたわみによって発
生した圧力が気泡の収縮で吸収され、インクがノズル穴
から吐出しなくなった。散乱光で硬化した部分は半硬化
状態で現像されるため、直接の光で硬化して現像された
部分と比較して表面が荒れており気泡が滞留しやすい。
スの第一の基板の代わりにガラスの第一の基板を用いて
ノズル列が１２列配置のインクジェットヘッドを得た。
このようにして得られたインクジェットヘッドは、イン
ク吐出試験を行い、圧力室内の様子をガラスごしに観察
した。その結果、吐出特性が不安定なためノズル穴から
空気を引き込んで圧力室内で気泡となり、その気泡がド
ライフィルムフォトレジストの散乱光で硬化した部分に
滞留していた。そのため、圧電素子のたわみによって発
生した圧力が気泡の収縮で吸収され、インクがノズル穴
から吐出しなくなった。散乱光で硬化した部分は半硬化
状態で現像されるため、直接の光で硬化して現像された
部分と比較して表面が荒れており気泡が滞留しやすい。
【００３０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のインクジェ
ツトヘッドの製造方法は、感光性樹脂層の必要部分を露
光する工程で用いる露光光源の、感光性樹脂の分光感度
のピーク波長における照度が、感光性樹脂層の露光面に
おいて３ｍＷ／ｃｍ2 以上であることを特徴とする。こ
のため、厚い感光性樹脂層の上面から底面まで均一なパ
ターン幅のインク流路が得られ、設計に忠実なインクジ
ェットヘッドが得られる。このため、高密度なノズル配
置でも高速、高濃度な印字を安定して行うことができ
る、という利点を有している。
ツトヘッドの製造方法は、感光性樹脂層の必要部分を露
光する工程で用いる露光光源の、感光性樹脂の分光感度
のピーク波長における照度が、感光性樹脂層の露光面に
おいて３ｍＷ／ｃｍ2 以上であることを特徴とする。こ
のため、厚い感光性樹脂層の上面から底面まで均一なパ
ターン幅のインク流路が得られ、設計に忠実なインクジ
ェットヘッドが得られる。このため、高密度なノズル配
置でも高速、高濃度な印字を安定して行うことができ
る、という利点を有している。
【図１】ドライフィルムフォトレジスト層を形成した第
一の基板の模式的断面図である。
一の基板の模式的断面図である。
【図２】図１に続く工程で、ドライフィルムフォトレジ
スト層の上にマスクを重ねあわせドライフィルムフォト
レジストを露光した第一の基板の模式的断面図である。
スト層の上にマスクを重ねあわせドライフィルムフォト
レジストを露光した第一の基板の模式的断面図である。
【図３】図２に続く工程で、ドライフィルムフォトレジ
スト層の現像後の第一の基板の模式的断面図である。
スト層の現像後の第一の基板の模式的断面図である。
【図４】図３に続く工程で、感光性樹脂の硬化部に第二
の基板を接合した第一の基板の模式的断面図である。
の基板を接合した第一の基板の模式的断面図である。
【図５】本発明の製造方法によって製造されたインクジ
ェットヘッドの模式的斜視図である。
ェットヘッドの模式的斜視図である。
【図６】散乱光の測定方法の説明図である。
【図７】従来の技術によるインクジェットヘッドの例の
斜視図である。
斜視図である。
【図８】従来の技術によるインクジェットヘッドの他の
例の斜視図である。
例の斜視図である。
【図９】従来の技術を用いて厚い感光性樹脂層を露光
し、現像したときの感光性樹脂層の模式的断面図であ
る。
し、現像したときの感光性樹脂層の模式的断面図であ
る。
１１ 第一の基板 １２ ドライフィルムフォトレジスト層 ２１ マスク ２２ 光源 ２３ ドライフィルムフォトレジスト層の硬化部 ２４ ドライフィルムフォトレジスト層の可溶化部 ４１ 第二の基板 ５１ 共通インク室 ５２ インク供給口 ５３ 圧力室 ５４ 圧電素子 ５５ ノズル ６１ 積算光量測定装置 ７１ 従来の技術の基板 ７２ 従来の技術のエネルギー発生体 ７３ 従来の技術の感光性樹脂層のインク流路壁
Claims (1)
- 【請求項１】 基板上に感光性樹脂層を形成する工程
と、前記感光性樹脂層の所定の部分を露光する工程と、
前記感光性樹脂層の不要な部分を除去する工程、によっ
てインク流路を形成するインクジェットヘッドの製造方
法において、感光性樹脂層の所定の部分を露光する工程
で用いる露光光源の、感光性樹脂の分光感度のピーク波
長における照度が、感光性樹脂層の露光面において３ｍ
Ｗ／ｃｍ2 以上であることを特徴とするインクジェット
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5044099A JPH06255113A (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5044099A JPH06255113A (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06255113A true JPH06255113A (ja) | 1994-09-13 |
Family
ID=12682174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5044099A Pending JPH06255113A (ja) | 1993-03-04 | 1993-03-04 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06255113A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014519427A (ja) * | 2011-06-06 | 2014-08-14 | シクパ ホルディング ソシエテ アノニム | 硬化性樹脂組成物により製造された層を含むインクジェットプリントヘッド |
-
1993
- 1993-03-04 JP JP5044099A patent/JPH06255113A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014519427A (ja) * | 2011-06-06 | 2014-08-14 | シクパ ホルディング ソシエテ アノニム | 硬化性樹脂組成物により製造された層を含むインクジェットプリントヘッド |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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Effective date: 20080520 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080821 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081120 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091215 |