JPH06254786A - 真空吸着装置 - Google Patents
真空吸着装置Info
- Publication number
- JPH06254786A JPH06254786A JP6640992A JP6640992A JPH06254786A JP H06254786 A JPH06254786 A JP H06254786A JP 6640992 A JP6640992 A JP 6640992A JP 6640992 A JP6640992 A JP 6640992A JP H06254786 A JPH06254786 A JP H06254786A
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- suction pad
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、対象物が脆い場合であっても、格
別な制御を必要とすることなく、これにダメージを与え
ずに吸着することを目的とする。 【構成】 本発明は、被吸着面２０の表面との間に減圧
状態の密閉空間を形成する吸着パッド２２において、前
記被吸着面２０へ向けられる側と反対側の面に吸着パッ
ドを被吸着面側に変形させるべく加圧するための加圧室
３２を設けるとともに、前記吸着パッド２２と被吸着面
２０とによって形成された密閉空間に真空圧を作用させ
るようにしたものである。また、前記真空圧を測定し、
測定された真空圧によって前記加圧室３２へ供給される
流体を制御するようにしたものである。上記構成によ
り、吸着パッド２２を加圧しつつ真空圧を測定し、真空
圧が上昇すること、すなわち吸着状態となったことを条
件として加圧を停止することにより、被吸着物の表面に
加わる圧力を最小限にすることができる。
別な制御を必要とすることなく、これにダメージを与え
ずに吸着することを目的とする。 【構成】 本発明は、被吸着面２０の表面との間に減圧
状態の密閉空間を形成する吸着パッド２２において、前
記被吸着面２０へ向けられる側と反対側の面に吸着パッ
ドを被吸着面側に変形させるべく加圧するための加圧室
３２を設けるとともに、前記吸着パッド２２と被吸着面
２０とによって形成された密閉空間に真空圧を作用させ
るようにしたものである。また、前記真空圧を測定し、
測定された真空圧によって前記加圧室３２へ供給される
流体を制御するようにしたものである。上記構成によ
り、吸着パッド２２を加圧しつつ真空圧を測定し、真空
圧が上昇すること、すなわち吸着状態となったことを条
件として加圧を停止することにより、被吸着物の表面に
加わる圧力を最小限にすることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、脆い材料や圧力を加え
ることが好ましくない物品の取扱に最適な真空吸着装置
に関する。
ることが好ましくない物品の取扱に最適な真空吸着装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３はシリコンインゴット２をドーナツ
状の内周刃砥石４によってスライスしてシリコンウエー
ハ６を得るためのスライシングマシンを示すものであ
る。この装置では、スライスされているシリコンウエー
ハ（以下ワークという）６をインゴット２から切り離さ
れる直前に保持することが必要とされている。このワー
ク６の保持は、ウエーハ６の片側の面を真空吸着装置８
で吸着して保持することにより行われている。
状の内周刃砥石４によってスライスしてシリコンウエー
ハ６を得るためのスライシングマシンを示すものであ
る。この装置では、スライスされているシリコンウエー
ハ（以下ワークという）６をインゴット２から切り離さ
れる直前に保持することが必要とされている。このワー
ク６の保持は、ウエーハ６の片側の面を真空吸着装置８
で吸着して保持することにより行われている。
【０００３】ところで、上記真空吸着装置８によってワ
ーク６に真空圧を作用させるには、真空吸着装置８のパ
ッド１０を被吸着面へ密着させることが必須とされる
が、この密着に際して、ワーク６が押されることは好ま
しくない。すなわち、上記スライシングマシンにおい
て、砥石４に側方から圧力が加わると切断誤差の原因に
なるという問題がある。
ーク６に真空圧を作用させるには、真空吸着装置８のパ
ッド１０を被吸着面へ密着させることが必須とされる
が、この密着に際して、ワーク６が押されることは好ま
しくない。すなわち、上記スライシングマシンにおい
て、砥石４に側方から圧力が加わると切断誤差の原因に
なるという問題がある。
【０００４】そこで、上記装置では真空吸着装置８の移
動手段１２の駆動を高い精度で制御し、パッド１０をワ
ーク６から所定の微小距離Ｌに位置決めし、この位置で
真空圧を作用させることによってワーク６を吸着させる
ことが行われている。
動手段１２の駆動を高い精度で制御し、パッド１０をワ
ーク６から所定の微小距離Ｌに位置決めし、この位置で
真空圧を作用させることによってワーク６を吸着させる
ことが行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記位
置決め制御は、機械系、および電気系のいずれにも高い
精度を要求するものであるから、コストが高くなること
が避けられない。また、図示のようにワークの被吸着面
が平面状の場合には位置決め制御が簡単であるが、被吸
着面が曲面など複雑な形状であると、制御が複雑になっ
てしまうという問題がある。
置決め制御は、機械系、および電気系のいずれにも高い
精度を要求するものであるから、コストが高くなること
が避けられない。また、図示のようにワークの被吸着面
が平面状の場合には位置決め制御が簡単であるが、被吸
着面が曲面など複雑な形状であると、制御が複雑になっ
てしまうという問題がある。
【０００６】一方、焼結前の粉末成型品などのワークは
極めて脆く、吸着パッドを押し付けることにより破壊さ
れてしまうおそれがあるから、この場合にも、真空吸着
に際してワークに圧力を加えないための配慮が必要とさ
れている。本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、
被吸着面に圧力を加えることなくワークを吸着すること
ができ、しかも構造が簡単な真空吸着装置を提供するこ
とを目的とするものである。
極めて脆く、吸着パッドを押し付けることにより破壊さ
れてしまうおそれがあるから、この場合にも、真空吸着
に際してワークに圧力を加えないための配慮が必要とさ
れている。本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、
被吸着面に圧力を加えることなくワークを吸着すること
ができ、しかも構造が簡単な真空吸着装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、環状をなし、被吸着面と対
向する方向へ移動可能な吸着パッドと、この吸着パッド
の一方の面に取り付けられるパッド保持部とから構成さ
れ、前記パッド保持部は、供給される流体により前記吸
着パッドの一方の面に正圧を作用させる加圧室と、前記
吸着パッドの内周とワークの被吸着面とによって形成さ
れた空間に負圧を作用させる真空圧室とを有することを
特徴とする。請求項２記載の発明は、環状をなし、被吸
着面と対向する方向へ移動可能な吸着パッドと、この吸
着パッドの一方の面に取り付けられるパッド保持部材に
設けられ、前記吸着パッドの一方の面に正圧を作用させ
る加圧室と、前記パッド保持部材に設けられ、前記吸着
パッドの内周とワークの被吸着面とによって形成された
空間に負圧を作用させる真空圧室と、該真空圧室に作用
する負圧を検出する真空圧検出手段と、該センサから入
力される圧力信号により、前記加圧室に作用する流体を
制御する流体制御手段と、から構成されたことを特徴と
する。
め、請求項１記載の発明は、環状をなし、被吸着面と対
向する方向へ移動可能な吸着パッドと、この吸着パッド
の一方の面に取り付けられるパッド保持部とから構成さ
れ、前記パッド保持部は、供給される流体により前記吸
着パッドの一方の面に正圧を作用させる加圧室と、前記
吸着パッドの内周とワークの被吸着面とによって形成さ
れた空間に負圧を作用させる真空圧室とを有することを
特徴とする。請求項２記載の発明は、環状をなし、被吸
着面と対向する方向へ移動可能な吸着パッドと、この吸
着パッドの一方の面に取り付けられるパッド保持部材に
設けられ、前記吸着パッドの一方の面に正圧を作用させ
る加圧室と、前記パッド保持部材に設けられ、前記吸着
パッドの内周とワークの被吸着面とによって形成された
空間に負圧を作用させる真空圧室と、該真空圧室に作用
する負圧を検出する真空圧検出手段と、該センサから入
力される圧力信号により、前記加圧室に作用する流体を
制御する流体制御手段と、から構成されたことを特徴と
する。
【０００８】
【作用】請求項１記載の発明の構成によれば、前記加圧
室に正圧を加えることにより吸着パッドの他方の面を被
吸着面の側へ変形させることができるとともに、真空圧
室へ負圧を作用させることにより、吸着パッドから被吸
着面へ真空圧を作用させることができる。
室に正圧を加えることにより吸着パッドの他方の面を被
吸着面の側へ変形させることができるとともに、真空圧
室へ負圧を作用させることにより、吸着パッドから被吸
着面へ真空圧を作用させることができる。
【０００９】請求項２記載の発明によれば、吸着パッド
が被吸着面に接近することに伴う真空圧の上昇を検出す
ることができ、この真空圧の上昇に基づいて加圧室を加
圧することにより、吸着パッドを被吸着面側へ変形させ
て密着させることができる。
が被吸着面に接近することに伴う真空圧の上昇を検出す
ることができ、この真空圧の上昇に基づいて加圧室を加
圧することにより、吸着パッドを被吸着面側へ変形させ
て密着させることができる。
【００１０】
【実施例】以下図１および図２を参照して本発明の一実
施例を説明する。符号２０はワーク２の被吸着面、２２
は吸着パッド、２４は吸着パッド保持部である。前記吸
着パッド２２は全体として環状をなし、シリコンゴムな
どの弾性材料により形成されている。吸着パッドの一方
の面には、前記吸着パッド保持部２４の突起部２６が嵌
合する溝部２８が形成され、他方の面、すなわちワーク
２０に向けられる面には、ワーク２０への密着性を高め
るべく凸面３０が形成されている。
施例を説明する。符号２０はワーク２の被吸着面、２２
は吸着パッド、２４は吸着パッド保持部である。前記吸
着パッド２２は全体として環状をなし、シリコンゴムな
どの弾性材料により形成されている。吸着パッドの一方
の面には、前記吸着パッド保持部２４の突起部２６が嵌
合する溝部２８が形成され、他方の面、すなわちワーク
２０に向けられる面には、ワーク２０への密着性を高め
るべく凸面３０が形成されている。
【００１１】前記保持部２４は全体として円盤状をなし
ている。また前記突起部２６の基端部には、円周方向に
連続する溝部３２が形成され、この溝部３２と前記吸着
パッド２２の一方の面とによって加圧室３４が形成され
ている。該加圧室３４は吸着パッド２２の全周にわたっ
て形成され、その一部には、コネクタ３６を介して加圧
配管３８が接続されている。加圧配管３８は圧力源３９
に接続されるとともに、加圧配管３８の途中に設けられ
た圧力調整装置４０により圧力が制御されるようになっ
ている。
ている。また前記突起部２６の基端部には、円周方向に
連続する溝部３２が形成され、この溝部３２と前記吸着
パッド２２の一方の面とによって加圧室３４が形成され
ている。該加圧室３４は吸着パッド２２の全周にわたっ
て形成され、その一部には、コネクタ３６を介して加圧
配管３８が接続されている。加圧配管３８は圧力源３９
に接続されるとともに、加圧配管３８の途中に設けられ
た圧力調整装置４０により圧力が制御されるようになっ
ている。
【００１２】前記保持部２４の中央には凹部４２が形成
され、この凹部４２と前記吸着パッド２２の内周部４４
と被吸着面２０との間に真空室４６が形成されるように
なっている。該真空室４６には、コネクタ４８を介して
真空配管５０が接続され、さらに、この真空配管５０は
真空源５２に接続されている。
され、この凹部４２と前記吸着パッド２２の内周部４４
と被吸着面２０との間に真空室４６が形成されるように
なっている。該真空室４６には、コネクタ４８を介して
真空配管５０が接続され、さらに、この真空配管５０は
真空源５２に接続されている。
【００１３】前記真空配管５０の途中には真空圧センサ
５４が設けられて真空圧が検出され、検出された真空圧
は制御装置５６に供給されるようになっている。この制
御装置５６は、前記真空圧センサ５４から供給される真
空圧信号に基づいて前記圧力調整装置４０を操作するよ
うになっている。
５４が設けられて真空圧が検出され、検出された真空圧
は制御装置５６に供給されるようになっている。この制
御装置５６は、前記真空圧センサ５４から供給される真
空圧信号に基づいて前記圧力調整装置４０を操作するよ
うになっている。
【００１４】前記制御装置５６の制御内容を吸着装置の
作用とともに説明する。 （１）吸着パッド２２を被吸着面２０から僅かに（１ｍ
ｍ〜２ｍｍ程度）離れた位置に配置する。なお、この操
作における位置決めの精度は、吸着パッド２２の変形可
能範囲（被吸着面２０へ接近する方向へ変位し得る範
囲）に入っている程度で十分であり、格別に高い位置決
め精度は不要である。
作用とともに説明する。 （１）吸着パッド２２を被吸着面２０から僅かに（１ｍ
ｍ〜２ｍｍ程度）離れた位置に配置する。なお、この操
作における位置決めの精度は、吸着パッド２２の変形可
能範囲（被吸着面２０へ接近する方向へ変位し得る範
囲）に入っている程度で十分であり、格別に高い位置決
め精度は不要である。
【００１５】（２）真空源５２を駆動させて真空圧を作
用させるとともに真空圧を測定する。この場合、前述の
ように吸着パッド２２が被吸着面２０から離れているか
ら、大気圧をわずかに下回る程度の真空圧が測定され、
したがって、吸着作用が生じるには至らない。
用させるとともに真空圧を測定する。この場合、前述の
ように吸着パッド２２が被吸着面２０から離れているか
ら、大気圧をわずかに下回る程度の真空圧が測定され、
したがって、吸着作用が生じるには至らない。
【００１６】（３）真空圧を作用させると同時に（ある
いは所定の時間遅れの後）、制御装置５６に圧力調整手
段４０を操作させることによって加圧室３２内の圧力を
次第に高めて行く。加圧室３２の圧力が高まると、吸着
パッド２２が被吸着面２０の側へ徐々に変形し、被吸着
面２０との間の隙間が減少して行く。また加圧の開始と
ともに、真空圧センサ５４の検知信号を制御装置５６へ
供給すると、前記隙間の減少とともに、真空圧が徐々に
上昇する（真空系の圧力の絶対値が低下する）。
いは所定の時間遅れの後）、制御装置５６に圧力調整手
段４０を操作させることによって加圧室３２内の圧力を
次第に高めて行く。加圧室３２の圧力が高まると、吸着
パッド２２が被吸着面２０の側へ徐々に変形し、被吸着
面２０との間の隙間が減少して行く。また加圧の開始と
ともに、真空圧センサ５４の検知信号を制御装置５６へ
供給すると、前記隙間の減少とともに、真空圧が徐々に
上昇する（真空系の圧力の絶対値が低下する）。
【００１７】（４）前記吸着パッド２２の凸面３０が被
吸着面２０に接触すると、真空圧が急峻な上昇を呈し、
この急峻な変化、あるいは、所定値以上までの上昇が検
知されたことを条件として、前記制御装置５６から圧力
調整装置４０へ制御信号を供給して加圧を停止させる。
吸着面２０に接触すると、真空圧が急峻な上昇を呈し、
この急峻な変化、あるいは、所定値以上までの上昇が検
知されたことを条件として、前記制御装置５６から圧力
調整装置４０へ制御信号を供給して加圧を停止させる。
【００１８】このように、実施例の吸着装置によれば、
吸着パッドを被吸着面に対して正確に位置決めせずと
も、吸着に必要な最小限の圧力によって押し付けること
ができる。
吸着パッドを被吸着面に対して正確に位置決めせずと
も、吸着に必要な最小限の圧力によって押し付けること
ができる。
【００１９】上記実施例では吸着パッド全体をシリコン
ゴムなどの弾性体により形成したが、これに代えて、被
吸着面と接する部分が弾性体により形成された部材をば
ねなどによって支持して、被吸着面と接近する方向また
は離れる方向へ移動可能に支持するようにしても良い。
ゴムなどの弾性体により形成したが、これに代えて、被
吸着面と接する部分が弾性体により形成された部材をば
ねなどによって支持して、被吸着面と接近する方向また
は離れる方向へ移動可能に支持するようにしても良い。
【００２０】上記実施例では単一の吸着パッドによって
平面状の被吸着面を吸着するようにしたが、複数の吸着
パッドを用いてそれぞれの真空圧及び加圧を制御するこ
とにより、凹凸状の被吸着面へ適用することができる。
平面状の被吸着面を吸着するようにしたが、複数の吸着
パッドを用いてそれぞれの真空圧及び加圧を制御するこ
とにより、凹凸状の被吸着面へ適用することができる。
【００２１】なお、制御系の具体的構成は上記実施例に
限定されるものではなく、例えば、真空圧によって加圧
源を操作すること、あるいは、圧力ではなく加圧流体の
流量を制御することも有効である。
限定されるものではなく、例えば、真空圧によって加圧
源を操作すること、あるいは、圧力ではなく加圧流体の
流量を制御することも有効である。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項１
記載の発明によれば、吸着パッドを加圧することより被
吸着面へ接近ないしは接触させることにより、吸着パッ
ドの内周と被吸着面との間の空間に真空圧を発生させ
て、ワークを吸着することができる。また請求項２記載
の発明によれば、単に吸着パッドを被吸着面近くに接近
させるだけの操作をすれば、真空圧を作用させながら吸
着パッドを加圧するとともに、真空圧の変化によって加
圧流体を制御することにより、吸着パッドのワークへの
接触圧力を最小限で停止させ、かつ、確実に真空圧を作
用させることができる。また上記吸着パッドの接触およ
び吸着は、単に加圧流体の供給を停止させるという単純
な動作によってすることができ、複雑な機械系、制御系
を用いる必要がない。
記載の発明によれば、吸着パッドを加圧することより被
吸着面へ接近ないしは接触させることにより、吸着パッ
ドの内周と被吸着面との間の空間に真空圧を発生させ
て、ワークを吸着することができる。また請求項２記載
の発明によれば、単に吸着パッドを被吸着面近くに接近
させるだけの操作をすれば、真空圧を作用させながら吸
着パッドを加圧するとともに、真空圧の変化によって加
圧流体を制御することにより、吸着パッドのワークへの
接触圧力を最小限で停止させ、かつ、確実に真空圧を作
用させることができる。また上記吸着パッドの接触およ
び吸着は、単に加圧流体の供給を停止させるという単純
な動作によってすることができ、複雑な機械系、制御系
を用いる必要がない。
【図１】本発明の一実施例の断面図である。
【図２】図１の吸着装置の平面図である。
【図３】一従来例の吸着装置を備えたスライシングマシ
ンの側面図である。
ンの側面図である。
２０ 被吸着面 ２２ 吸着パッド ２４ パッド
支持部 ３４ 加圧室 ３８ 加圧配管 ４０ 圧力調
整装置 ４２ 凹部 ４４ 内周部 ４６ 真空室 ５０ 真空配管 ５４ 真空センサ ５６ 制御装
置
支持部 ３４ 加圧室 ３８ 加圧配管 ４０ 圧力調
整装置 ４２ 凹部 ４４ 内周部 ４６ 真空室 ５０ 真空配管 ５４ 真空センサ ５６ 制御装
置
Claims (2)
- 【請求項１】 環状をなし、被吸着面と対向する方向へ
移動可能な吸着パッドと、この吸着パッドの一方の面に
取り付けられるパッド保持部とから構成され、 前記パ
ッド保持部は、 流体が供給されることにより前記吸着パッドの一方の面
に正圧を作用させる加圧室と、 前記吸着パッドの内周とワークの被吸着面とによって形
成された空間に負圧を作用させる真空圧室とを有するこ
とを特徴とする真空吸着装置。 - 【請求項２】 環状をなし、被吸着面と対向する方向へ
移動可能な吸着パッドと、 この吸着パッドの一方の面に取り付けられるパッド保持
部材に設けられ、流体が供給されることにより前記吸着
パッドの一方の面に正圧を作用させる加圧室と、 前記パッド保持部材に設けられ、前記吸着パッドの内周
とワークの被吸着面とによって形成された空間に負圧を
作用させる真空圧室と、 該真空圧室に作用する負圧を検出する真空圧検出手段
と、 該センサから入力される圧力信号により、前記加圧室に
供給される流体を制御する流体制御手段と、から構成さ
れたことを特徴とする真空吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6640992A JPH06254786A (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6640992A JPH06254786A (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 真空吸着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06254786A true JPH06254786A (ja) | 1994-09-13 |
Family
ID=13314972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6640992A Withdrawn JPH06254786A (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 真空吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06254786A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008282870A (ja) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 搬送アーム用パッド |
| KR20190091952A (ko) * | 2018-01-30 | 2019-08-07 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판 절단 장치 |
-
1992
- 1992-03-24 JP JP6640992A patent/JPH06254786A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008282870A (ja) * | 2007-05-08 | 2008-11-20 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 搬送アーム用パッド |
| KR20190091952A (ko) * | 2018-01-30 | 2019-08-07 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판 절단 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990608 |