JPH06254574A - オゾン酸化処理装置及びオゾン酸化処理装置の保護膜の製造方法 - Google Patents
オゾン酸化処理装置及びオゾン酸化処理装置の保護膜の製造方法Info
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- JPH06254574A JPH06254574A JP4493193A JP4493193A JPH06254574A JP H06254574 A JPH06254574 A JP H06254574A JP 4493193 A JP4493193 A JP 4493193A JP 4493193 A JP4493193 A JP 4493193A JP H06254574 A JPH06254574 A JP H06254574A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 水質を低下させることなく、オゾン酸化処理
を行うことが可能なオゾン酸化処理装置を得る。 【構成】 容器１の内壁面に内部に向かって、内壁面と
対向する面に炭素繊維部材が融着された難通気性樹脂膜
及び耐オゾン性樹脂膜を順次積層された保護膜７を備え
る。
を行うことが可能なオゾン酸化処理装置を得る。 【構成】 容器１の内壁面に内部に向かって、内壁面と
対向する面に炭素繊維部材が融着された難通気性樹脂膜
及び耐オゾン性樹脂膜を順次積層された保護膜７を備え
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は超純水製造工程に設備
されるオゾン酸化処理装置及びオゾン酸化処理装置に用
いられる保護膜の製造方法に関するものである。
されるオゾン酸化処理装置及びオゾン酸化処理装置に用
いられる保護膜の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩの製造に必要不可欠とされる超純
水の一般的な超純水製造工程は図４に示すようになって
いる。まず、原水を凝集濾過器及び２床３塔式イオン交
換装置にて順次処理して、原水の大部分の懸濁物及びイ
オン性不純物を除去する。次に、この処理された水をオ
ゾン酸化処理装置にてオゾンを用い酸化処理した後、活
性炭塔にてこの水中の残留オゾンを除去する。そして、
この処理された水を混床式イオン交換塔、逆浸透膜装
置、紫外線殺菌器、アニオンポリシャ、カートリッジポ
リシャ及び限外濾過膜装置にて順次処理し超純水を製造
している。最近では、ＬＳＩの高集積化に対応してこれ
らの製造に用いられる超純水に対する要求水質も一層厳
しいものとなっている。
水の一般的な超純水製造工程は図４に示すようになって
いる。まず、原水を凝集濾過器及び２床３塔式イオン交
換装置にて順次処理して、原水の大部分の懸濁物及びイ
オン性不純物を除去する。次に、この処理された水をオ
ゾン酸化処理装置にてオゾンを用い酸化処理した後、活
性炭塔にてこの水中の残留オゾンを除去する。そして、
この処理された水を混床式イオン交換塔、逆浸透膜装
置、紫外線殺菌器、アニオンポリシャ、カートリッジポ
リシャ及び限外濾過膜装置にて順次処理し超純水を製造
している。最近では、ＬＳＩの高集積化に対応してこれ
らの製造に用いられる超純水に対する要求水質も一層厳
しいものとなっている。
【０００３】図５は、図４に示したような超純水製造工
程の１工程として使用されている従来のオゾン酸化処理
装置の構成を示す断面図である。図において１は容器、
２はこの容器１の上方から内部に向かって突設され、容
器１内部に被処理水を分散するための複数の穴２ａを備
えた供給管、３はこの容器１の下方から内部に向かって
突設され、容器１内部にオゾンを散気するための複数の
穴３ａを備えた供給管、４は容器１の下部に設けられ容
器１内の水を外部に排出するための排出管、５は容器１
の上部に設けられ容器１内のオゾンを外部に排出するた
めの排出管、６は容器１の内部に設けられ、供給管２か
ら供給された被処理水と供給管３から供給されるオゾン
とを効率よく接触させるための接触材で、耐オゾン性に
優れた例えばラヒシリングにて成る。
程の１工程として使用されている従来のオゾン酸化処理
装置の構成を示す断面図である。図において１は容器、
２はこの容器１の上方から内部に向かって突設され、容
器１内部に被処理水を分散するための複数の穴２ａを備
えた供給管、３はこの容器１の下方から内部に向かって
突設され、容器１内部にオゾンを散気するための複数の
穴３ａを備えた供給管、４は容器１の下部に設けられ容
器１内の水を外部に排出するための排出管、５は容器１
の上部に設けられ容器１内のオゾンを外部に排出するた
めの排出管、６は容器１の内部に設けられ、供給管２か
ら供給された被処理水と供給管３から供給されるオゾン
とを効率よく接触させるための接触材で、耐オゾン性に
優れた例えばラヒシリングにて成る。
【０００４】次に、上記のように構成された従来のオゾ
ン酸化処理装置の動作について説明する。まず、被処理
水を供給管２の穴２ａより容器１内に分散するように供
給するとともに、オゾンを供給管３の穴３ａより容器１
内に散気するように供給する。そして、接触材６にて供
給された被処理水及びオゾンを効率よく接触させて、被
処理水中の不純物をオゾン酸化し、オゾン酸化処理され
た処理水は排出管４にて容器１内より排出され次工程に
送られ、未反応のオゾンは容器１の上部に上昇し排出管
５にて容器１内より排出される。
ン酸化処理装置の動作について説明する。まず、被処理
水を供給管２の穴２ａより容器１内に分散するように供
給するとともに、オゾンを供給管３の穴３ａより容器１
内に散気するように供給する。そして、接触材６にて供
給された被処理水及びオゾンを効率よく接触させて、被
処理水中の不純物をオゾン酸化し、オゾン酸化処理され
た処理水は排出管４にて容器１内より排出され次工程に
送られ、未反応のオゾンは容器１の上部に上昇し排出管
５にて容器１内より排出される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来のオゾン酸化処理
装置は以上のように構成されているので、被処理水とオ
ゾンとが供給される容器１の内壁などのようにオゾンの
接触する部分はオゾンにより酸化され、この容器１の材
質が金属の場合には、鉄、ニッケル及びクロム等の重金
属、又、材質がプラスチックの場合にはＴＯＣ成分等の
不純物が被処理中に溶出し、水質を低下させるという問
題点があった。
装置は以上のように構成されているので、被処理水とオ
ゾンとが供給される容器１の内壁などのようにオゾンの
接触する部分はオゾンにより酸化され、この容器１の材
質が金属の場合には、鉄、ニッケル及びクロム等の重金
属、又、材質がプラスチックの場合にはＴＯＣ成分等の
不純物が被処理中に溶出し、水質を低下させるという問
題点があった。
【０００６】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので水質を低下させることなく、オゾ
ン酸化処理を行うことが可能なオゾン酸化処理装置及び
オゾン酸化処理装置の保護膜の製造方法を得ることを目
的とする。
ためになされたもので水質を低下させることなく、オゾ
ン酸化処理を行うことが可能なオゾン酸化処理装置及び
オゾン酸化処理装置の保護膜の製造方法を得ることを目
的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明に係る請求項１
のオゾン酸化処理装置は、少なくとも容器の内壁面に内
部に向かって難通気性樹脂膜及び耐オゾン性樹脂膜が順
次積層された保護膜を備えたものである。
のオゾン酸化処理装置は、少なくとも容器の内壁面に内
部に向かって難通気性樹脂膜及び耐オゾン性樹脂膜が順
次積層された保護膜を備えたものである。
【０００８】又、この発明に係る請求項２のオゾン酸化
処理装置は、難通気性樹脂としてポリビニリデンフロラ
イド樹脂、耐オゾン性樹脂としてポリテトラフルオロエ
チレン樹脂を用いたものである。
処理装置は、難通気性樹脂としてポリビニリデンフロラ
イド樹脂、耐オゾン性樹脂としてポリテトラフルオロエ
チレン樹脂を用いたものである。
【０００９】又、この発明に係る請求項３のオゾン酸化
処理装置の保護膜の製造方法は、難通気性樹脂膜と耐オ
ゾン性樹脂膜との対向する面の少なくともいずれか一方
に凹凸を形成し、密着して加熱加圧することにより熱融
着し、難通気性樹脂膜の耐オゾン性樹脂膜の対向してい
る面と反対側の面に炭素繊維部材及びガラス繊維部材の
少なくともいずれか一方を融着させ、この面を容器の内
壁面に接着させるものである。
処理装置の保護膜の製造方法は、難通気性樹脂膜と耐オ
ゾン性樹脂膜との対向する面の少なくともいずれか一方
に凹凸を形成し、密着して加熱加圧することにより熱融
着し、難通気性樹脂膜の耐オゾン性樹脂膜の対向してい
る面と反対側の面に炭素繊維部材及びガラス繊維部材の
少なくともいずれか一方を融着させ、この面を容器の内
壁面に接着させるものである。
【００１０】
【作用】この発明は請求項１及び請求項２におけるオゾ
ン酸化処理装置の保護膜はオゾンによる少なくとも容器
の内壁の酸化を防止する。
ン酸化処理装置の保護膜はオゾンによる少なくとも容器
の内壁の酸化を防止する。
【００１１】又、この発明の請求項３のオゾン酸化処理
装置の保護膜の製造方法は、難通気性樹脂膜と耐オゾン
性樹脂膜との対向する面の少なくともいずれか一方に凹
凸を形成し、密着して加熱加圧することにより熱融着
し、難通気性樹脂膜の耐オゾン性樹脂膜の対向している
面と反対側の面に炭素繊維部材及びガラス繊維部材の少
なくともいずれか一方を融着させ、この面を容器の内壁
面に接着させることにより保護膜の接着強度を向上させ
長寿命化を図る。
装置の保護膜の製造方法は、難通気性樹脂膜と耐オゾン
性樹脂膜との対向する面の少なくともいずれか一方に凹
凸を形成し、密着して加熱加圧することにより熱融着
し、難通気性樹脂膜の耐オゾン性樹脂膜の対向している
面と反対側の面に炭素繊維部材及びガラス繊維部材の少
なくともいずれか一方を融着させ、この面を容器の内壁
面に接着させることにより保護膜の接着強度を向上させ
長寿命化を図る。
【００１２】
実施例１．以下、この発明の実施例を図について説明す
る。図１はこの発明の実施例１におけるオゾン酸化処理
装置の構成を示す断面図である。図において従来装置と
同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。７は容
器１、供給管２、３及び排出管４、５のオゾンと接触す
る部分に例えばエポキシ系の接着剤（図示せず）にて接
着された保護膜であり、図２に示すように構成されてい
る。図において、８は一番内側に設けられ耐オゾン性に
非常に優れているポリテトラフルオロエチレン樹脂膜
（以下ＰＴＦＥ樹脂膜と呼ぶ）、９はこのＰＴＦＥ樹脂
膜８の外側で難通気性に非常に優れ、且つ、耐オゾン性
のポリビニリデンフロライド樹脂膜（以下ＰＶＤＦ樹脂
膜と呼ぶ）、１０はこのＰＶＤＦ樹脂膜９の外側に熱融
着されている炭素繊維部材で接着剤（図示せず）にて例
えば容器１の内壁面に接着されている。
る。図１はこの発明の実施例１におけるオゾン酸化処理
装置の構成を示す断面図である。図において従来装置と
同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。７は容
器１、供給管２、３及び排出管４、５のオゾンと接触す
る部分に例えばエポキシ系の接着剤（図示せず）にて接
着された保護膜であり、図２に示すように構成されてい
る。図において、８は一番内側に設けられ耐オゾン性に
非常に優れているポリテトラフルオロエチレン樹脂膜
（以下ＰＴＦＥ樹脂膜と呼ぶ）、９はこのＰＴＦＥ樹脂
膜８の外側で難通気性に非常に優れ、且つ、耐オゾン性
のポリビニリデンフロライド樹脂膜（以下ＰＶＤＦ樹脂
膜と呼ぶ）、１０はこのＰＶＤＦ樹脂膜９の外側に熱融
着されている炭素繊維部材で接着剤（図示せず）にて例
えば容器１の内壁面に接着されている。
【００１３】次に、上記のように構成されたオゾン酸化
処理装置の保護膜７の製造方法について説明する。ＰＴ
ＦＥ樹脂膜８の片方の面に鋸歯状のローラ等を当て表面
を凹凸にする。そして、このＰＴＦＥ樹脂膜８の凹凸面
にＰＶＤＦ樹脂膜９を密着するように置き、ＰＴＦＥ樹
脂膜８の上面より加熱加圧することにより熱融着させ、
例えば２〜３ｍｍ程度の厚みとし、後の接着作業をしや
すいようにしておく。その際、ＰＶＤＦ樹脂膜９のＰＴ
ＦＥ樹脂膜８の対向していない面に炭素繊維部材１０を
熱融着させておく。そして、ＰＶＤＦ樹脂膜９の炭素繊
維部材１０の熱融着された面に接着剤を塗布し、オゾン
の接触する部分に接着する。このように保護膜７を形成
し、ＰＶＤＦ樹脂膜９に熱融着された炭素繊維部材１０
の表面に接着剤を塗布し、例えば容器１の内壁面に接着
するようにしているので、接着強度が向上して長寿命化
が図られた。
処理装置の保護膜７の製造方法について説明する。ＰＴ
ＦＥ樹脂膜８の片方の面に鋸歯状のローラ等を当て表面
を凹凸にする。そして、このＰＴＦＥ樹脂膜８の凹凸面
にＰＶＤＦ樹脂膜９を密着するように置き、ＰＴＦＥ樹
脂膜８の上面より加熱加圧することにより熱融着させ、
例えば２〜３ｍｍ程度の厚みとし、後の接着作業をしや
すいようにしておく。その際、ＰＶＤＦ樹脂膜９のＰＴ
ＦＥ樹脂膜８の対向していない面に炭素繊維部材１０を
熱融着させておく。そして、ＰＶＤＦ樹脂膜９の炭素繊
維部材１０の熱融着された面に接着剤を塗布し、オゾン
の接触する部分に接着する。このように保護膜７を形成
し、ＰＶＤＦ樹脂膜９に熱融着された炭素繊維部材１０
の表面に接着剤を塗布し、例えば容器１の内壁面に接着
するようにしているので、接着強度が向上して長寿命化
が図られた。
【００１４】このように、保護膜７が設けられたオゾン
酸化処理装置の動作について説明する。従来の場合と同
様に、まず、被処理水を供給管２の穴２ａより容器１内
に分散するように供給するとともに、オゾンを供給管３
の穴３ａより容器１内に散気するように供給する。そし
て、接触材６にて供給された被処理水及びオゾンを効率
よく接触させて、被処理水中の不純物をオゾン酸化し、
オゾン酸化処理された処理水は排出管４にて容器１内よ
り排出され次工程に送られ、未反応のオゾンは容器１の
上部に上昇し排出管５にて容器１内より排出される。
酸化処理装置の動作について説明する。従来の場合と同
様に、まず、被処理水を供給管２の穴２ａより容器１内
に分散するように供給するとともに、オゾンを供給管３
の穴３ａより容器１内に散気するように供給する。そし
て、接触材６にて供給された被処理水及びオゾンを効率
よく接触させて、被処理水中の不純物をオゾン酸化し、
オゾン酸化処理された処理水は排出管４にて容器１内よ
り排出され次工程に送られ、未反応のオゾンは容器１の
上部に上昇し排出管５にて容器１内より排出される。
【００１５】この保護膜７の場合、ＰＴＦＥ樹脂膜８は
耐オゾン性に優れているが気体透過性が大きいため単独
で容器１の内壁面などに接着した場合、オゾンが徐々に
膜透過して、容器１をオゾン酸化し不純物を被処理水中
に溶出するおそれがあるので、ここでは難通気性に優れ
たＰＶＤＦ樹脂膜９をＰＴＦＥ樹脂膜８より外側に設け
ており、ＰＴＦＥ樹脂膜８を膜透過したオゾンをＰＶＤ
Ｆ樹脂膜９で阻止している。このように、保護膜７が設
けられているオゾン酸化処理装置はオゾンにて容器１な
どがオゾン酸化され不純物を被処理水中に溶出しないよ
うにしている。
耐オゾン性に優れているが気体透過性が大きいため単独
で容器１の内壁面などに接着した場合、オゾンが徐々に
膜透過して、容器１をオゾン酸化し不純物を被処理水中
に溶出するおそれがあるので、ここでは難通気性に優れ
たＰＶＤＦ樹脂膜９をＰＴＦＥ樹脂膜８より外側に設け
ており、ＰＴＦＥ樹脂膜８を膜透過したオゾンをＰＶＤ
Ｆ樹脂膜９で阻止している。このように、保護膜７が設
けられているオゾン酸化処理装置はオゾンにて容器１な
どがオゾン酸化され不純物を被処理水中に溶出しないよ
うにしている。
【００１６】以上のことを明確にするために実施例１及
び従来例の比較を行った例を図３に示す。実施例１及び
従来例ともの容器１は同一材質の金属を使用して、ま
ず、図３に示すような水質を有する被処理水を供給し、
オゾンの供給量を３．７ｍｇ／ｌとし、被処理水の容器
１内の滞留時間を１時間とする。そして、被処理水の通
水して２０時間後の処理水質をそれぞれ測定した。その
結果、図３に示すように実施例１の処理水が従来例の処
理水より重金属の溶出量が少なく、実施例１のオゾン酸
化処理装置はオゾン酸化が防止され、又、被処理水の水
質と比較しても水質が低下していないことが確認でき
た。尚、この比較例は容器１を金属としたので重金属量
のみに変化がみられ、ＴＯＣ量の変化はみられない。
び従来例の比較を行った例を図３に示す。実施例１及び
従来例ともの容器１は同一材質の金属を使用して、ま
ず、図３に示すような水質を有する被処理水を供給し、
オゾンの供給量を３．７ｍｇ／ｌとし、被処理水の容器
１内の滞留時間を１時間とする。そして、被処理水の通
水して２０時間後の処理水質をそれぞれ測定した。その
結果、図３に示すように実施例１の処理水が従来例の処
理水より重金属の溶出量が少なく、実施例１のオゾン酸
化処理装置はオゾン酸化が防止され、又、被処理水の水
質と比較しても水質が低下していないことが確認でき
た。尚、この比較例は容器１を金属としたので重金属量
のみに変化がみられ、ＴＯＣ量の変化はみられない。
【００１７】実施例２．上記実施例１ではオゾン酸化処
理装置の保護膜７を製造する時にＰＶＤＦ樹脂膜９に炭
素繊維部材１０の熱融着する例を示したが、ＰＶＤＦ樹
脂膜９にガラス繊維部材を熱融着させ、保護膜を製造し
ても上記実施例１と同様の効果を奏する。
理装置の保護膜７を製造する時にＰＶＤＦ樹脂膜９に炭
素繊維部材１０の熱融着する例を示したが、ＰＶＤＦ樹
脂膜９にガラス繊維部材を熱融着させ、保護膜を製造し
ても上記実施例１と同様の効果を奏する。
【００１８】実施例３．上記各実施例ではオゾン酸化処
理装置の保護膜７を製造する時にＰＴＦＥ樹脂膜８の一
方の面を凹凸にし、ＰＴＦＥ樹脂膜８の凹凸面とＰＶＤ
Ｆ樹脂膜９とを密着させる例を示したが、ＰＶＤＦ樹脂
膜９の一方の面を凹凸としても、又、ＰＴＦＥ樹脂膜８
とＰＶＤＦ樹脂膜９との対向する面の両方を凹凸として
保護膜を製造しても上記各実施例と同様の効果を奏す
る。
理装置の保護膜７を製造する時にＰＴＦＥ樹脂膜８の一
方の面を凹凸にし、ＰＴＦＥ樹脂膜８の凹凸面とＰＶＤ
Ｆ樹脂膜９とを密着させる例を示したが、ＰＶＤＦ樹脂
膜９の一方の面を凹凸としても、又、ＰＴＦＥ樹脂膜８
とＰＶＤＦ樹脂膜９との対向する面の両方を凹凸として
保護膜を製造しても上記各実施例と同様の効果を奏す
る。
【００１９】実施例４．上記各実施例ではオゾン酸化処
理装置の保護膜７を製造する時に、オゾンの接触する部
分すべてに保護膜７を設けている例を示したが、特に容
器１内の被処理水の浸漬される部分はオゾン酸化されや
すいので、この部分に特に保護膜７を重点的に接着させ
るようにすればよい。
理装置の保護膜７を製造する時に、オゾンの接触する部
分すべてに保護膜７を設けている例を示したが、特に容
器１内の被処理水の浸漬される部分はオゾン酸化されや
すいので、この部分に特に保護膜７を重点的に接着させ
るようにすればよい。
【００２０】実施例５．上記各実施例では容器１に金属
材を用いた例を示したが、これに限られることなく、容
器等に例えばプラスチック等の材質を使用してもよく、
この場合はＴＯＣ成分を溶出するのを防止することがで
きる。
材を用いた例を示したが、これに限られることなく、容
器等に例えばプラスチック等の材質を使用してもよく、
この場合はＴＯＣ成分を溶出するのを防止することがで
きる。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、この発明の請求項１によ
れば、少なくとも容器の内壁面に内部に向かって難通気
性樹脂膜及び耐オゾン性樹脂膜が順次積層された保護膜
を備え、又、この発明の請求項２によれば、難通気性樹
脂としてポリビニリデンフロライド樹脂、耐オゾン性樹
脂としてポリテトラフルオロエチレン樹脂を用い又、こ
の発明の請求項３によれば、難通気性樹脂膜と耐オゾン
性樹脂膜との対向する面の少なくともいずれか一方に凹
凸を形成し、密着して加熱加圧することにより熱融着さ
せ難通気性樹脂膜の耐オゾン性樹脂膜の対向している面
と反対側の面に炭素繊維部材及びガラス繊維部材の少な
くともいずれか一方を融着させ、この面を容器の内壁面
に接着させるようにしたので、水質を低下させることな
く、オゾン酸化処理を行うことが可能なオゾン酸化処理
装置及びオゾン酸化処理装置の保護膜の製造方法を得る
ことができる。
れば、少なくとも容器の内壁面に内部に向かって難通気
性樹脂膜及び耐オゾン性樹脂膜が順次積層された保護膜
を備え、又、この発明の請求項２によれば、難通気性樹
脂としてポリビニリデンフロライド樹脂、耐オゾン性樹
脂としてポリテトラフルオロエチレン樹脂を用い又、こ
の発明の請求項３によれば、難通気性樹脂膜と耐オゾン
性樹脂膜との対向する面の少なくともいずれか一方に凹
凸を形成し、密着して加熱加圧することにより熱融着さ
せ難通気性樹脂膜の耐オゾン性樹脂膜の対向している面
と反対側の面に炭素繊維部材及びガラス繊維部材の少な
くともいずれか一方を融着させ、この面を容器の内壁面
に接着させるようにしたので、水質を低下させることな
く、オゾン酸化処理を行うことが可能なオゾン酸化処理
装置及びオゾン酸化処理装置の保護膜の製造方法を得る
ことができる。
【図１】この発明の実施例１によるオゾン酸化処理装置
の構成を示す断面図である。
の構成を示す断面図である。
【図２】図１に示すオゾン酸化処理装置の保護膜の構成
を示す部分断面斜視図である。
を示す部分断面斜視図である。
【図３】図１に示すオゾン酸化処理装置と従来のオゾン
酸化処理装置とのそれぞれの処理水及び被処理水の水質
の比較を示す図である。
酸化処理装置とのそれぞれの処理水及び被処理水の水質
の比較を示す図である。
【図４】従来のオゾン酸化処理装置の構成を示す断面図
である。
である。
【図５】一般的な超純水製造工程を示すフロー図であ
る。
る。
１ 容器 ２、３ 供給管 ２ａ、３ａ 穴 ４、５ 排出管 ６ 接触材 ７ 保護膜 ８ ＰＴＦＥ樹脂膜 ９ ＰＶＤＦ樹脂膜 １０ 炭素繊維部材
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月２８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】一般的な超純水製造工程を示すフロ−図であ
る。
る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】従来のオゾン酸化処理装置の構成を示す図であ
る。
る。
フロントページの続き (72)発明者 福本 隼明 伊丹市瑞原４丁目１番地 三菱電機株式会 社エル・エス・アイ研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 容器に被処理水及びオゾンをそれぞれ供
給し、上記被処理水中の不純物を上記オゾンにて酸化す
るオゾン酸化処理装置において、少なくとも上記容器の
内壁面に内部に向かって難通気性樹脂膜及び耐オゾン性
樹脂膜が順次積層された保護膜を備えたことを特徴とす
るオゾン酸化処理装置。 - 【請求項２】 難通気性樹脂としてポリビニリデンフロ
ライド樹脂、耐オゾン性樹脂としてポリテトラフルオロ
エチレン樹脂を用いたことを特徴とする請求項１記載の
オゾン酸化処理装置。 - 【請求項３】 難通気性樹脂膜と耐オゾン性樹脂膜との
対向する面の少なくともいずれか一方に凹凸を形成する
工程、上記難通気性樹脂膜と上記オゾン性樹脂膜との上
記対向する面を密着させ、加熱加圧することにより熱融
着させる工程、上記難通気性樹脂膜の上記耐オゾン性樹
脂膜の上記対向している面と反対側の面に炭素繊維部材
及びガラス繊維部材の少なくともいずれか一方を融着さ
せ、この面を容器の内壁面に接着させる工程とを備えた
ことを特徴とするオゾン酸化処理装置の保護膜の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04493193A JP3330179B2 (ja) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | オゾン酸化処理装置及びオゾン酸化処理装置の保護膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04493193A JP3330179B2 (ja) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | オゾン酸化処理装置及びオゾン酸化処理装置の保護膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06254574A true JPH06254574A (ja) | 1994-09-13 |
| JP3330179B2 JP3330179B2 (ja) | 2002-09-30 |
Family
ID=12705228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04493193A Expired - Lifetime JP3330179B2 (ja) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | オゾン酸化処理装置及びオゾン酸化処理装置の保護膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3330179B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150093700A (ko) * | 2012-12-14 | 2015-08-18 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 기체정화 필터유닛 |
| WO2017115902A1 (ko) * | 2015-12-30 | 2017-07-06 | 유한회사 한국 타코닉 | 방수방식 필름 |
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