JPH06252303A - 高放熱タイプの半導体装置 - Google Patents

高放熱タイプの半導体装置

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JPH06252303A
JPH06252303A JP3353193A JP3353193A JPH06252303A JP H06252303 A JPH06252303 A JP H06252303A JP 3353193 A JP3353193 A JP 3353193A JP 3353193 A JP3353193 A JP 3353193A JP H06252303 A JPH06252303 A JP H06252303A
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radiator
semiconductor element
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通孝 木村
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、放熱体の基板からの脱落が生じ
ず、かつ基板の温度上昇も防止できる高放熱タイプの半
導体装置を提供することを目的とする。 【構成】 放熱体11にはICチップの塔載部11aを
凸状に突出させて形成している。また、ICチップ11
との接続用リードを保持する基板10の放熱体11取り
付け側に放熱体取付部10bを設け、この放熱体取付部
10bの、基板10のICチップ配置用の開口部10a
に臨む位置に、放熱体11の塔載部11aを嵌め込んで
放熱体11を取り付ける孔部10cを形成する。そし
て、基板10の開口部10aに臨んだ孔部10cに、そ
の塔載部11aを嵌め込んで放熱体11を基板10に取
り付けている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体素子の発生す
る熱を効率よく放熱する高放熱タイプの半導体装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体素子は作動することにより電力を
消費し温度が上昇する。特に、例えばパワートランジス
タ素子等の電力消費量の多い半導体素子では温度の上昇
が大きいため、そのパッケージに種々の放熱手段を取り
付け、高放熱タイプの半導体装置として半導体素子の温
度上昇の防止が図られている。
【0003】図5は放熱手段として放熱体等を有する従
来の高放熱タイプの半導体装置の断面を示している。図
において、1は半導体素子であるICチップ、2はその
中央部にICチップ配置用の開口部2aを有し、その外
面上にリード(図示せず)を保持する基板、3は基板2
上のリードとICチップ1との電気的接続を行なうボン
ディングワイヤ、4は基板2の一側に取り付けられ、基
板2の開口部2aに臨む位置にICチップ1の塔載部4
aが形成されている熱伝導率の大きい放熱体、5は放熱
体4からの熱放散をさらに良好にするために、この放熱
体4の他面側に取り付けられている熱伝導率の大きい材
料で構成されたフィン部材、6は基板2と放熱体4とを
接合する接合手段としての接着テープ、7は基板2のリ
ードと接続され、半導体装置をプリント基板等に実装し
た際にICチップ1と外部回路とを電気的に接続する外
部端子、8は基板2の開口部2aを閉じ、内部の半導体
素子1を保護する蓋部材である。ここで、フィン部材5
および蓋部材8はそれぞれ放熱板4および基板2に例え
ば接着テープ6で固着されている。
【0004】つぎにこの半導体装置の動作を説明する。
この半導体装置が外部端子7を介してプリント基板(図
示せず)に実装され、外部回路(図示せず)とICチッ
プ1とが外部端子7、基板2のリードおよびボンディン
グワイヤ3を介して電気的に接続される。そして、外部
回路から入力信号が入力されてICチップ1が動作す
る。この時、このICチップ1から熱が発生する。そし
て、ICチップ1の温度は上昇してくるが、このICチ
ップ1にて発生した熱は放熱体4および放熱体4を介し
てフィン部材5に伝わり、この放熱体4およびフィン部
材5から外部に容易に放出されるため、ICチップ1の
温度上昇は抑制される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ICチップ
1からの放熱により放熱体4の温度は上昇し、基板2と
の間に温度差が生じるため、放熱体4と基板2との間の
熱膨張量に差が生じる。このため、放熱体4と基板2間
に熱ストレスが発生し、基板2と接着テープ6間、また
は放熱体4と接着テープ6間、または接着テープ6内で
剥離現象が生じ、放熱体4が基板2から脱落してしまう
という課題があった。「また、基板2と放熱体4間に隙
間が生じるため、ICチップ1から基板2側に対流や輻
射によって伝わった熱が放熱体4側に伝えられず、IC
チップ1近傍の基板2の温度が上昇してしまうという課
題があった。」
【0006】この発明は上記のような課題を解消するた
めになされたもので、放熱体の基板からの脱落が生じ
ず、かつ基板の温度上昇も防止できる高放熱タイプの半
導体装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の第1の発明
は、半導体素子との接続用リードを保持し、その中央部
に半導体素子を配置するための開口部が形成されている
基板と、この基板の一面側に取り付けられ、この基板の
開口部に臨む位置に半導体素子の搭載部が形成されてい
るとともに、この半導体素子からの発生熱を外部に放散
させる熱伝導率の大きい放熱体とを有する高放熱タイプ
の半導体装置において、放熱体の塔載部を凸状に突出さ
せて形成し、かつ基板の放熱体側に、開口部に臨む位置
でその塔載部を嵌め込んでこの放熱体を取り付ける孔部
が形成された放熱体取付部を有していることである。
【0008】この発明の第2の発明は、半導体素子との
接続用リードを保持し、その中央部に半導体素子を配置
するための開口部が形成されている基板と、この基板の
一面側に取り付けられ、この基板の開口部に臨む位置に
半導体素子の搭載部が形成されているとともに、この半
導体素子からの発生熱を外部に放散させる熱伝導率の大
きい放熱体とを有する高放熱タイプの半導体装置におい
て、放熱体の塔載部を凸状に突出させて形成し、かつ基
板の放熱体側に、開口部に臨む位置でその塔載部を嵌め
込んだ後かしめて、この放熱体を取り付ける孔部が形成
された放熱体取付部を有していることである。
【0009】この発明の第3の発明は、半導体素子との
接続用リードを保持し、その中央部に半導体素子を配置
するための開口部が形成されている基板と、この基板の
一面側に取り付けられ、この基板の開口部に臨む位置に
半導体素子の搭載部が形成されているとともに、この半
導体素子からの発生熱を外部に放散させる熱伝導率の大
きい放熱体とを有する高放熱タイプの半導体装置におい
て、基板と放熱体とを接合手段で接合するとともに、こ
の接合部の基板と放熱体とに互いに嵌合する少なくとも
2組の凹凸部を設けていることである。
【0010】この発明の第4の発明は、半導体素子との
接続用リードを保持し、その中央部に半導体素子を配置
するための開口部が形成されている基板と、この基板の
一面側に取り付けられ、この基板の開口部に臨む位置に
半導体素子の搭載部が形成されているとともに、この半
導体素子からの発生熱を外部に放散させる熱伝導率の大
きい放熱体とを有する高放熱タイプの半導体装置におい
て、基板と放熱体とを接合手段で接合するとともに、こ
の接合部を貫いて基板または放熱体側からこの基板およ
び放熱体に互いに離間した少なくとも一対の圧入ピンが
挿入されていることである。
【0011】
【作用】この発明の第1の発明では、放熱体の塔載部を
基板の放熱体取付部に設けられた孔部に嵌め込むことに
より、放熱体を基板の一側面側に取り付けている。この
場合、放熱体取付部の孔部は基板の開口部に臨んだ位置
にあるため、半導体素子はこの開口部を介して放熱体の
塔載部に容易に搭載される。そして、この半導体装置が
プリント基板等に実装され、半導体素子が動作すると、
半導体素子から発生した熱は放熱体の塔載部を介して外
部に放出される。また、輻射や対流によって半導体素子
から基板に伝わった熱も、基板に嵌め込まれている放熱
体の塔載部に伝えられ、これから外部に放出される。
【0012】この発明の第2の発明では、第1の発明に
おいて、放熱体の塔載部を基板の孔部に嵌め込んだ後、
この塔載部をかしめた場合であり、放熱体が基板に堅固
に取り付けられる分、放熱体の脱落が防止され、基板か
ら放熱体側への熱の移動も良好になる。
【0013】この発明の第3の発明では、基板と放熱体
とを接合手段にて接合し、かつこの接合部の基板と放熱
体との凹凸部を嵌合させることにより、放熱体を基板の
一面側に取り付けている。半導体素子が動作し、この半
導体素子から発生した熱が放熱体側に移動してこの放熱
体の温度が上昇し、基板と放熱体4とに温度差が生じて
も、基板と放熱体とは少なくとも2組の凹凸部で嵌合し
合って強固に結合しているため、両者の熱膨張量に差は
生じない。したがって、接合手段を介した基板と放熱体
との接合部には剥離は生じない。
【0014】この発明の第4の発明では、基板と放熱体
とを接合手段にて接合し、かつこの接合部を互いに離間
した少なくとも一対の圧入ピンで貫いて基板と放熱体と
を結合させることにより、放熱体を基板の一面側に取り
付けている。したがって、基板と放熱体4とに温度差が
生じても、基板と放熱体とは圧入ピンを介して強固に結
合しているため、両者の熱膨張量に差は生じず、接合手
段を介した基板と放熱体との接合部に剥離は生じない。
【0015】
【実施例】以下にこの発明の実施例を図について説明す
る。 実施例1.図1はこの発明の第1の発明の一実施例であ
る半導体装置の断面図である。なお、図において、図5
に示した従来の半導体装置と同一または相当部分には同
一符号を付しその説明を省略する。
【0016】図において、10はその中央部にICチッ
プ配置用の開口部10aを有し、その上面上にICチッ
プ1との電気的接続用のリード(図示せず)を保持する
とともに、下部側に放熱体取付部10bを有し、この放
熱体取付部10bの前記開口部10aに臨む位置に孔部
10cが形成されている基板、11はICチップ1の塔
載部11aが凸状に突出して形成され、基板10の孔部
10c内にこの塔載部11aを圧入嵌合することにより
基板10の一面側に取り付けられる熱伝導率の大きい放
熱体である。なお、放熱体11の下面側にはフィン部材
5が取り付けられ、かつ基板10の上面側には外部端子
7が取り付けられているとともに、基板10の開口部1
0aには蓋部材8が取り付けられ、この蓋部材8により
放熱体11の塔載部11aに塔載された開口部10a内
のICチップ1の保護が図られている。
【0017】つぎに、この半導体装置の動作を説明す
る。この半導体装置が外部端子7を介してプリント基板
に実装され、外部回路とICチップ1とが外部端子7、
基板10のリードおよびボンディングワイヤ3を介して
電気的に接続される。そして、外部回路から入力信号が
入力されてICチップ1が動作する。この時、このIC
チップ1から熱が発生する。このため、ICチップ1の
温度は上昇してくるが、このICチップ1にて発生した
熱は放熱体11および放熱体11を介してフィン部材5
に伝わり、この放熱体11およびフィン部材5から外部
に容易に放出され、ICチップ1の温度上昇は抑制され
る。また、輻射や対流の形でICチップ1から基板10
側に伝わった熱も、基板10の放熱体取付部10bを介
して放熱体11の塔載部11a側に容易に伝えられ、I
Cチップ1近傍の基板10の温度上昇も抑えられる。
【0018】さらに、放熱体11が基板10の孔部10
cにその塔載部11aを圧入嵌合することにより取り付
けられているため、基板10と放熱体11間に温度差が
生じても、基板10より放熱体11の方が熱膨張率が大
きい場合、放熱板11の搭載部11aの熱膨張が基板1
0の孔部10cで受け止められ、この基板10と放熱体
11との嵌合部には熱膨張差は生じない。また、基板1
0より放熱体11の方が熱膨張率が小さい場合でも、基
板10と放熱体11との嵌合部は比較的サイズが小さい
ため、これらの間にはほとんど熱膨張差は生じない。し
たがって、基板2と放熱体4とを接着テープ6で接合し
た従来の半導体装置のように、放熱体4が基板2から脱
落したり、基板2に熱が蓄積されて基板2の温度が上昇
してしまうという不都合は生じない。
【0019】実施例2.図2はこの発明の第2の発明の
一実施例である半導体装置の断面図である。この実施例
2の半導体装置は、上記実施例1の半導体装置の放熱体
11の塔載部11aを基板10の孔部10c内に圧入嵌
合した後、この塔載部11aをかしめたものである。こ
の放熱体11の塔載部11aの孔部10cに対するかし
めにより、放熱体11は基板10に一層堅固に取り付け
られ、放熱体11の基板10からの脱落がより防止され
る。また、放熱体11の塔載部11aと基板10の放熱
体取付部10bとの密着がよくなる分、基板10側から
放熱体11側への熱輸送が容易になり、基板10の温度
上昇が一層抑えられる。
【0020】実施例3.図3はこの発明の第3の発明の
一実施例である半導体装置の断面図である。図におい
て、12はその中央部にICチップ配置用の開口部12
aを有し、その上面側にICチップ1との電気的接続用
のリード(図示せず)を保持するとともに、その下面の
開口部12aを挟む前後左右の位置に2対の(4個)凹
部12bが形成されている基板、13は基板12の凹部
12b側の下面に接着テープ6を介して接合され、基板
12の開口部12aに臨む面にICチップ1の塔載部1
3aが形成されているとともに、基板12側に前記凹部
12bに嵌合する凸部13bが形成されている熱伝導率
のよい放熱体である。なお、他の構成は上記実施例1の
半導体装置と同一である。
【0021】この半導体装置では基板12と放熱体13
とが接着テープ6にて接合されており、ICチップ1の
動作に伴ない基板12と放熱体13間に熱膨張率の違い
に基づく熱ストレスが発生しようとするが、2組の基板
12の凹部12bと放熱体13の凸部13bとが嵌合
し、基板12と放熱体13とは機械的に堅固に結合され
ているため、両者は一体となって熱膨張することにな
り、基板12と放熱体13の接着テープ6を介した接合
部には熱ストレスは発生しない。したがって、基板12
と接着テープ6間、または放熱体13と接着テープ6
間、または接着テープ6内で熱ストレスに基づく剥離現
象は生じず、放熱体13が基板12から脱落してしまう
ことはない。また基板12と放熱体13間に隙間が生じ
ることもないため、ICチップ1から基板2側に対流や
輻射によって伝わった熱も放熱体13側に充分に伝えら
れ、基板12の温度が上昇してしまうということもな
い。
【0022】なお、基板12の凹部12bと放熱体13
の凸部13bとは互いに離れた位置に少なくとも2組
(凹部12b2個、凸部13b2個)あればよく、かつ
基板12の凹部12bと放熱体13の凸部13bとを逆
にしてもよいのはもちろんである。
【0023】また、放熱体13とフィン部材5とを接着
テープ6を介して接合する場合においても、温度の違い
により熱膨張量に違いが生じて、その接着テープ6を介
した接合部に剥離現象が生じるおそれもあるが、この場
合においても、放熱体13とフィン部材5との接着テー
プ6を介した接合部に少なくとも2組の凹凸部を設け、
この凹凸部を嵌合させるようにすれば、前記基板12と
放熱体13の場合と同様な効果を得ることができる。
【0024】実施例4.図4はこの発明の第4の発明の
一実施例である半導体装置の断面図である。図におい
て、14はその中央部にICチップ配置用の開口部14
aを有し、その上面側にICチップ1との電気的接続用
のリード(図示せず)を保持するとともに、開口部14
aを挟む前後左右の位置に上下に貫通する2対(4本)
の貫通孔14bが形成されている基板、15は基板14
の下面に接着テープ6を介して取り付けられ、基板14
の開口部14aに臨む面にICチップ1の塔載部15a
が形成されているとともに、基板14側の貫通孔14b
に対向する位置に、この貫通孔14bと同サイズの凹部
15bが形成されている熱伝導率の大きい放熱体、16
は基板14の貫通孔14bおよび放熱体15の凹部15
bに圧入されるピンである。なお、他の構成は上記実施
例1の半導体装置と同一である。
【0025】この半導体装置も実施例3の半導体装置と
同様に、基板14と放熱体15との接着テープ6を介し
た接合部に熱ストレスが発生しようとするが、基板14
と放熱体15とがピン16を介して堅固に結合されてい
るため、この接合部には大きな熱ストレスは発生しな
い。したがって、基板14と放熱体15との接着テープ
6を介した接合部には剥離現象は生じず、放熱体13が
基板14から脱落してしまうことはない。また、ICチ
ップ1から基板14側に伝わった熱も放熱体15側に充
分に伝えられ、基板14の温度が上昇してしまうことも
ない。
【0026】なお、基板14の貫通孔14bと放熱体1
5の凹部15bとは互いに離れた位置に少なくとも2組
(貫通孔14b2個、凹部15b2個)あればよく、か
つ基板14の貫通孔14bと放熱体15の凹部15bと
を逆にしてもよいのはもちろんである。
【0027】また、上記各実施例では、接合手段として
接着テープ6を用いるものとしているが、接合手段は接
着テープ6に限らず、接着剤、粘着剤等でもよいのはも
ちろんである。
【0028】
【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0029】この発明の第1の発明によれば、半導体素
子との接続用リードを保持し、その中央部に半導体素子
を配置するための開口部が形成されている基板と、この
基板の一面側に取り付けられ、この基板の開口部に臨む
位置に半導体素子の搭載部が形成されているとともに、
この半導体素子からの発生熱を外部に放散させる熱伝導
率の大きい放熱体とを有する高放熱タイプの半導体装置
において、放熱体の塔載部を凸状に突出させて形成し、
かつ基板の放熱体側に、開口部に臨む位置でその塔載部
を嵌め込んでこの放熱体を取り付ける孔部が形成された
放熱体取付部を有しているので、基板と放熱体間に温度
差が生じても、放熱体4は基板12にしっかり取り付け
られ、放熱体が基板からの脱落したり、基板の温度が上
昇したりすることはない。
【0030】この発明の第2の発明によれば、半導体素
子との接続用リードを保持し、その中央部に半導体素子
を配置するための開口部が形成されている基板と、この
基板の一面側に取り付けられ、この基板の開口部に臨む
位置に半導体素子の搭載部が形成されているとともに、
この半導体素子からの発生熱を外部に放散させる熱伝導
率の大きい放熱体とを有する高放熱タイプの半導体装置
において、放熱体の塔載部を凸状に突出させて形成し、
かつ基板の放熱体側に、開口部に臨む位置でその塔載部
を嵌め込んだ後かしめて、この放熱体を取り付ける孔部
が形成された放熱体取付部を有しているので、基板と放
熱体間に温度差が生じても、放熱体と基板とはしっかり
結合されており、放熱体が基板からの脱落したり、基板
の温度が上昇したりすることはない。
【0031】この発明の第3の発明によれば、半導体素
子との接続用リードを保持し、その中央部に半導体素子
を配置するための開口部が形成されている基板と、この
基板の一面側に取り付けられ、この基板の開口部に臨む
位置に半導体素子の搭載部が形成されているとともに、
この半導体素子からの発生熱を外部に放散させる熱伝導
率の大きい放熱体とを有する高放熱タイプの半導体装置
において、基板と放熱体とを接合手段で接合するととも
に、この接合部の基板と放熱体とに互いに嵌合する少な
くとも2組の凹凸部を設けているので、基板と放熱体間
に温度差が生じても、この凹凸部を介して放熱体と基板
とはしっかり結合されており、接合手段を介した基板と
放熱体との接合部に剥離は生じず、放熱体が基板から脱
落したり、基板の温度が上昇したりすることはない。
【0032】この発明の第4の発明によれば、半導体素
子との接続用リードを保持し、その中央部に半導体素子
を配置するための開口部が形成されている基板と、この
基板の一面側に取り付けられ、この基板の開口部に臨む
位置に半導体素子の搭載部が形成されているとともに、
この半導体素子からの発生熱を外部に放散させる熱伝導
率の大きい放熱体とを有する高放熱タイプの半導体装置
において、基板と放熱体とを接合手段で接合するととも
に、この接合部を貫いて基板または放熱体側からこの基
板および放熱体に、互いに離間した少なくとも一対の圧
入ピンが挿入されているので、基板と放熱体間に温度差
が生じても、圧入ピンを介して放熱体と基板とはしっか
り結合されており、接合手段を介した基板と放熱体との
接合部に剥離は生じず、放熱体が基板からの脱落した
り、基板の温度が上昇したりすることはない。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例1に係る半導体装置の断面図
である。
【図2】この発明の実施例2に係る半導体装置の断面図
である。
【図3】この発明の実施例3に係る半導体装置の断面図
である。
【図4】この発明の実施例4に係る半導体装置の断面図
である。
【図5】従来の半導体装置の断面図である。
【符号の説明】
1 半導体素子 6 接着テープ(接合手段) 10 基板 10a 開口部 10b 放熱体取付部 10c 孔部 11 放熱体 11a 塔載部 12 基板 12a 開口部 12b 凹部 13 放熱体 13a 塔載部 13b 凸部 14 基板 14a 開口部 15 放熱体 15a 塔載部 16 圧入ピン
【手続補正書】
【提出日】平成5年7月21日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0005
【補正方法】変更
【補正内容】
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ICチップ
1からの放熱により放熱体4の温度は上昇し、基板2と
の間に温度差が生じるため、放熱体4と基板2との間の
熱膨張量に差が生じる。このため、放熱体4と基板2間
に熱ストレスが発生し、基板2と接着テープ6間、また
は放熱体4と接着テープ6間、または接着テープ6内で
剥離現象が生じ、放熱体4が基板2から脱落してしまう
という課題があった。また、基板2と放熱体4間に隙間
が生じるため、ICチップ1から基板2側に対流や輻射
によって伝わった熱が放熱体4側に伝えられず、ICチ
ップ1近傍の基板2の温度が上昇してしまうという課題
があった

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体素子との接続用リードを保持し、
    その中央部に前記半導体素子を配置するための開口部が
    形成されている基板と、この基板の一面側に取り付けら
    れ、この基板の前記開口部に臨む位置に前記半導体素子
    の搭載部が形成されているとともに、この半導体素子か
    らの発生熱を外部に放散させる熱伝導率の大きい放熱体
    とを有する高放熱タイプの半導体装置において、前記放
    熱体の前記塔載部を凸状に突出させて形成し、かつ前記
    基板の前記放熱体側に、前記開口部に臨む位置でその塔
    載部を嵌め込んでこの放熱体を取り付ける孔部が形成さ
    れた放熱体取付部を有していることを特徴とする高放熱
    タイプの半導体装置。
  2. 【請求項2】 半導体素子との接続用リードを保持し、
    その中央部に前記半導体素子を配置するための開口部が
    形成されている基板と、この基板の一面側に取り付けら
    れ、この基板の前記開口部に臨む位置に前記半導体素子
    の搭載部が形成されているとともに、この半導体素子か
    らの発生熱を外部に放散させる熱伝導率の大きい放熱体
    とを有する高放熱タイプの半導体装置において、前記放
    熱体の前記塔載部を凸状に突出させて形成し、かつ前記
    基板の前記放熱体側に、前記開口部に臨む位置でその塔
    載部を嵌め込んだ後かしめて、この放熱体を取り付ける
    孔部が形成された放熱体取付部を有していることを特徴
    とする高放熱タイプの半導体装置。
  3. 【請求項3】 半導体素子との接続用リードを保持し、
    その中央部に前記半導体素子を配置するための開口部が
    形成されている基板と、この基板の一面側に取り付けら
    れ、この基板の前記開口部に臨む位置に前記半導体素子
    の搭載部が形成されているとともに、この半導体素子か
    らの発生熱を外部に放散させる熱伝導率の大きい放熱体
    とを有する高放熱タイプの半導体装置において、前記基
    板と前記放熱体とを接合手段で接合するとともに、この
    接合部の前記基板と前記放熱体とに互いに嵌合する少な
    くとも2組の凹凸部を設けていることを特徴とする高放
    熱タイプの半導体装置。
  4. 【請求項4】 半導体素子との接続用リードを保持し、
    その中央部に前記半導体素子を配置するための開口部が
    形成されている基板と、この基板の一面側に取り付けら
    れ、この基板の前記開口部に臨む位置に前記半導体素子
    の搭載部が形成されているとともに、この半導体素子か
    らの発生熱を外部に放散させる熱伝導率の大きい放熱体
    とを有する高放熱タイプの半導体装置において、前記基
    板と前記放熱体とを接合手段で接合するとともに、この
    接合部を貫いて前記基板または前記放熱体側からこの基
    板および放熱体に、互いに離間した少なくとも一対の圧
    入ピンが挿入されていることを特徴とする高放熱タイプ
    の半導体装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015029043A (ja) * 2013-06-26 2015-02-12 京セラ株式会社 電子装置および光モジュール
WO2023287114A1 (ko) * 2021-07-14 2023-01-19 엘지이노텍 주식회사 전자장치

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