JPH06241762A - 摩擦力顕微鏡 - Google Patents
摩擦力顕微鏡Info
- Publication number
- JPH06241762A JPH06241762A JP2949093A JP2949093A JPH06241762A JP H06241762 A JPH06241762 A JP H06241762A JP 2949093 A JP2949093 A JP 2949093A JP 2949093 A JP2949093 A JP 2949093A JP H06241762 A JPH06241762 A JP H06241762A
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- JP
- Japan
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- sample
- leaf spring
- force microscope
- displacement
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 摩擦力顕微鏡において、試料の傾き形状によ
らず、試料固有の摩擦力をＳ／Ｎより測定できる摩擦力
顕微鏡の提供を目的とする。 【構成】 板バネ２にねじりが生じる方向の走査信号
に、発振器１４０より微少な交流信号を重畳させながら
走査し、この応答出力を位相検波器１５０により位相検
波し、Ａ／Ｄ変換器１２０ｂを通し、走査信号とともに
画像表示装置１２１により摩擦像を得る。
らず、試料固有の摩擦力をＳ／Ｎより測定できる摩擦力
顕微鏡の提供を目的とする。 【構成】 板バネ２にねじりが生じる方向の走査信号
に、発振器１４０より微少な交流信号を重畳させながら
走査し、この応答出力を位相検波器１５０により位相検
波し、Ａ／Ｄ変換器１２０ｂを通し、走査信号とともに
画像表示装置１２１により摩擦像を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、探針を試料近傍で走
査し、この探針−試料間に働く力を画像化する原子間力
顕微鏡に関するものである。
査し、この探針−試料間に働く力を画像化する原子間力
顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プローブ顕微鏡の一種である原子間力顕
微鏡（Atomic Force Microscope)は、ＳＴＭの発明者で
あるG.Binniig らによって考案された(Physical Review
Letters Vol.56 P930 1986)以来、絶縁物物質の表面形
状観察手段として研究が進められている。
微鏡（Atomic Force Microscope)は、ＳＴＭの発明者で
あるG.Binniig らによって考案された(Physical Review
Letters Vol.56 P930 1986)以来、絶縁物物質の表面形
状観察手段として研究が進められている。
【０００３】原理は、試料−探針間に働く力を、微少な
板バネで変位に変え、この変位を光学的手段等で検出
し、前記板バネの変位量が一定になるように、ピエゾ素
子をフィードバック制御する。この制御信号が形状情報
となる。変位検出系としては、図１にレバーの変位を光
路の変化とし検出する光テコ方式や光波干渉を用いた方
式がある。図１において、２は板ばね、１４はフレー
ム、１１８はレーザードライバー、１０６は半導体レー
ザ、１０８はレンズａ、１１０は鏡、１０９はレンズ
ｂ、１１１は光検出素子、２１５は２分割のポジショ
ン、センシティブ・ディテクタ、１９１は差分アンプ、
１２０はサーボ系、１２２はコンピュータ、１０５は粗
動機構、１０４は微動素子であるＰＺＴ、１０１は試
料、１０２は先端探針である。摩擦力顕微鏡は光テコ方
式に属するので、今後は光テコ方式について記す。
板バネで変位に変え、この変位を光学的手段等で検出
し、前記板バネの変位量が一定になるように、ピエゾ素
子をフィードバック制御する。この制御信号が形状情報
となる。変位検出系としては、図１にレバーの変位を光
路の変化とし検出する光テコ方式や光波干渉を用いた方
式がある。図１において、２は板ばね、１４はフレー
ム、１１８はレーザードライバー、１０６は半導体レー
ザ、１０８はレンズａ、１１０は鏡、１０９はレンズ
ｂ、１１１は光検出素子、２１５は２分割のポジショ
ン、センシティブ・ディテクタ、１９１は差分アンプ、
１２０はサーボ系、１２２はコンピュータ、１０５は粗
動機構、１０４は微動素子であるＰＺＴ、１０１は試
料、１０２は先端探針である。摩擦力顕微鏡は光テコ方
式に属するので、今後は光テコ方式について記す。
【０００４】図２に直流方式摩擦力顕微鏡を示す。図２
において、２は板バネ、１０６は半導体レーザー、１１
０は鏡、１１５は４分割ポジション・センシティブ・デ
ィテクタ、１９２はプリアンプ、１２０ａはＺ軸サーボ
系、１２０ｂはＡ／Ｄコンバータ、１２１は画像表示装
置、１３０はｘ，ｙサスタースキャン系、１０４はＰＺ
Ｔ、１０１は試料である。板バネ２は、板バネ２の垂直
方向の変位および試料と探針の摩擦により生じるねじれ
が生じる。半導体レザー１０６よりの光は、板バネ２の
背面で反射され、４分割のポジション・センシティブ・
ディテクタ(Position Sensitive Detector:以下P.S.D.
と略す）115 により検出される。板バネの垂直方向の変
位Ｚsig は、４分割された信号の｜（ＩA ＋ＩB ）−
（ＩC＋ＩD ）｜で得られ、板バネ２のねじれすなわち
試料の水平方向の摩擦力Ｆsigは４分割された信号の｜
（ＩA ＋ＩD ）−（ＩB ＋ＩC ）｜により求まる。Ｚsi
g は、従来のＡＦＭと同様Ｚ軸サーボ系１２０ａに入力
し、板バネの変位が一定になるように三次元スキャナＰ
ＺＴ１０４を制御する。一方、ｘ，ｙラスタースキャン
系１３０によりＰＺＴ１０４をｘ，ｙラスター走査し、
同時にＺsig 信号を画像表示装置１２１により表示する
と形状像（ＴＯＰＯ像）になり、Ｆsig 信号を表示する
と摩擦像になる。従って直流方式摩擦力顕微鏡は、従来
のＴＯＰＯ像と摩擦像を同時に得ることができる。
において、２は板バネ、１０６は半導体レーザー、１１
０は鏡、１１５は４分割ポジション・センシティブ・デ
ィテクタ、１９２はプリアンプ、１２０ａはＺ軸サーボ
系、１２０ｂはＡ／Ｄコンバータ、１２１は画像表示装
置、１３０はｘ，ｙサスタースキャン系、１０４はＰＺ
Ｔ、１０１は試料である。板バネ２は、板バネ２の垂直
方向の変位および試料と探針の摩擦により生じるねじれ
が生じる。半導体レザー１０６よりの光は、板バネ２の
背面で反射され、４分割のポジション・センシティブ・
ディテクタ(Position Sensitive Detector:以下P.S.D.
と略す）115 により検出される。板バネの垂直方向の変
位Ｚsig は、４分割された信号の｜（ＩA ＋ＩB ）−
（ＩC＋ＩD ）｜で得られ、板バネ２のねじれすなわち
試料の水平方向の摩擦力Ｆsigは４分割された信号の｜
（ＩA ＋ＩD ）−（ＩB ＋ＩC ）｜により求まる。Ｚsi
g は、従来のＡＦＭと同様Ｚ軸サーボ系１２０ａに入力
し、板バネの変位が一定になるように三次元スキャナＰ
ＺＴ１０４を制御する。一方、ｘ，ｙラスタースキャン
系１３０によりＰＺＴ１０４をｘ，ｙラスター走査し、
同時にＺsig 信号を画像表示装置１２１により表示する
と形状像（ＴＯＰＯ像）になり、Ｆsig 信号を表示する
と摩擦像になる。従って直流方式摩擦力顕微鏡は、従来
のＴＯＰＯ像と摩擦像を同時に得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、摩擦力顕
微鏡において、試料の傾き形状によらず、試料固有の摩
擦力をＳ／Ｎよく測定できる摩擦力顕微鏡の提供を目的
とするものである。
微鏡において、試料の傾き形状によらず、試料固有の摩
擦力をＳ／Ｎよく測定できる摩擦力顕微鏡の提供を目的
とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、従来の直流
方式摩擦力顕微鏡に対して、板バネにねじりが生じる方
向の走査信号に微少な交流信号を重畳させながら走査
し、この応答出力を位相検波する手段により、微少交流
走査に対する摩擦力を検出するものである。
方式摩擦力顕微鏡に対して、板バネにねじりが生じる方
向の走査信号に微少な交流信号を重畳させながら走査
し、この応答出力を位相検波する手段により、微少交流
走査に対する摩擦力を検出するものである。
【０００７】
【作用】この発明は、上記手段を講じることにより、試
料各点での摩擦力が測定できる。
料各点での摩擦力が測定できる。
【０００８】
【実施例】まず交流式摩擦力顕微鏡の構成を図面に基づ
き説明する。図３に示すように、試料１０１は、三次元
スキャナ（ＰＺＴ）１０４の上に載せられ、ｘラスタス
キャン系１３０ａおよびｙラスタスキャン系１３０ｂラ
スタスキャナによって鋸歯状波を与えられ平面的走査を
行う。ここでは板バネ２のねじれ方向（ｘ方向）のラス
タースキャン系１３０ａに発振器１４０より微少な交流
信号が重畳されている。試料１０１の形状および摩擦を
反映した板バネ２の垂直方向の変位およびねじれによる
水平方向の変位を４分割のP.S.D.１１５により検出す
る。それぞれの検出器（Ａ〜Ｃ）までの信号は、プリア
ンプ１９２により、板バネの垂直方向の変位、Ｚsig ｜
＝（ＩA ＋ＩB ）−（ＩC ＋ＩD ）｜と、水平方向の変
位Ｆsig ＝｜（ＩA ＋ＩD ）−（ＩB ＋ＩD ）｜に構成
される。Ｚsig は従来のＡＦＭと同様にＺ軸サーボ系１
２０ａに入力され、板バネ２の垂直方向の変位を一定に
なるように、三次元スキャナ（ＰＺＴ）１０４を制御す
る。この制御信号をＡ／Ｄ変換器１２０ｂを通し、前記
ｘラスタスキャン系１３０ａ、ｙラスタスキャン系１３
０ｂの信号とともに画像表示装置１２１により形状デー
タが得られる。
き説明する。図３に示すように、試料１０１は、三次元
スキャナ（ＰＺＴ）１０４の上に載せられ、ｘラスタス
キャン系１３０ａおよびｙラスタスキャン系１３０ｂラ
スタスキャナによって鋸歯状波を与えられ平面的走査を
行う。ここでは板バネ２のねじれ方向（ｘ方向）のラス
タースキャン系１３０ａに発振器１４０より微少な交流
信号が重畳されている。試料１０１の形状および摩擦を
反映した板バネ２の垂直方向の変位およびねじれによる
水平方向の変位を４分割のP.S.D.１１５により検出す
る。それぞれの検出器（Ａ〜Ｃ）までの信号は、プリア
ンプ１９２により、板バネの垂直方向の変位、Ｚsig ｜
＝（ＩA ＋ＩB ）−（ＩC ＋ＩD ）｜と、水平方向の変
位Ｆsig ＝｜（ＩA ＋ＩD ）−（ＩB ＋ＩD ）｜に構成
される。Ｚsig は従来のＡＦＭと同様にＺ軸サーボ系１
２０ａに入力され、板バネ２の垂直方向の変位を一定に
なるように、三次元スキャナ（ＰＺＴ）１０４を制御す
る。この制御信号をＡ／Ｄ変換器１２０ｂを通し、前記
ｘラスタスキャン系１３０ａ、ｙラスタスキャン系１３
０ｂの信号とともに画像表示装置１２１により形状デー
タが得られる。
【０００９】一方、Ｆsig は位相検波器（ロックインア
ンプ）１５０により位相検波され、Ｆsig meanとなり、
Ａ／Ｄ変換器１２０ｂを通し、前記ラスタスキャン信号
とともに画像表示装置１２１により摩擦像が得られる。
次に、交流方式摩擦力顕微鏡の原理を示す。板バネ２の
ねじれ方向（ｘ方向）のＰＺＴ１０４の変位をｘl とす
ると ｘl ＝α(t) ＋βsin ωt （１） となる。
ンプ）１５０により位相検波され、Ｆsig meanとなり、
Ａ／Ｄ変換器１２０ｂを通し、前記ラスタスキャン信号
とともに画像表示装置１２１により摩擦像が得られる。
次に、交流方式摩擦力顕微鏡の原理を示す。板バネ２の
ねじれ方向（ｘ方向）のＰＺＴ１０４の変位をｘl とす
ると ｘl ＝α(t) ＋βsin ωt （１） となる。
【００１０】図４にｘ方向走査図を示す。Ｐ1 〜Ｐn は
画像取り込み点である。図４に示すようにα（ｔ）をラ
ンプ関数とし、βを重畳した交流の振幅に対応する変位
の振幅ωを交流の角周波数とする。今、画像の１ライン
を走査する時間をＴ1 、観測ピクセル数をｎとすると、
画像取り込み点である。図４に示すようにα（ｔ）をラ
ンプ関数とし、βを重畳した交流の振幅に対応する変位
の振幅ωを交流の角周波数とする。今、画像の１ライン
を走査する時間をＴ1 、観測ピクセル数をｎとすると、
【００１１】
【数１】
【００１２】となるようにωを選択設定する。一方、試
料と探針間に働く摩擦力は、
料と探針間に働く摩擦力は、
【００１３】
【数２】
【００１４】数２のような関数形と思われる。ｆ（Ｆ
VXS ) は板バネに印加された力ＦV と探針試料間の面積
ｓをかけたような関数形である。ａ1 ａ2 は試料に固有
な比例係数であり、ｄ2 ｘl ／ｄｔ2 以上の項は微少と
思われる。今、走査により図５に示すように探針がｘl1
傾いたとすると摩擦力Ｆm はバネのねじり力と釣り合っ
たので、 ｘl1＝ｇ（ｘl ) （４） Ｆm ＝Ｃt ｘl1＝Ｃt γθl ＝Ｃt γｋ Ｆsig （５） ( ｇ（ｘl ) ＝ｘl 関数 Ｃt ＝板バネのねじり方向のバネ定数 γ ＝探針長さ θl ＝光線の振れ角 ｋ ＝比例定数 ） の上式が得られる。
VXS ) は板バネに印加された力ＦV と探針試料間の面積
ｓをかけたような関数形である。ａ1 ａ2 は試料に固有
な比例係数であり、ｄ2 ｘl ／ｄｔ2 以上の項は微少と
思われる。今、走査により図５に示すように探針がｘl1
傾いたとすると摩擦力Ｆm はバネのねじり力と釣り合っ
たので、 ｘl1＝ｇ（ｘl ) （４） Ｆm ＝Ｃt ｘl1＝Ｃt γθl ＝Ｃt γｋ Ｆsig （５） ( ｇ（ｘl ) ＝ｘl 関数 Ｃt ＝板バネのねじり方向のバネ定数 γ ＝探針長さ θl ＝光線の振れ角 ｋ ＝比例定数 ） の上式が得られる。
【００１５】従って、光テコによって光線の振れ角θl
に対応した信号Ｆsig を測定することによって、その点
のＦm がわかる。今 ｘl は１）式に示す交流であるの
でＦm は、摩擦力の周波数応答を示す。簡単のために例
として、摩擦を速度に比例する項のみとした場合は、 Ｆm ＝Ｃt ａ2 βω cos (ωt −δ) （６） ここでδは位相遅れである。角周波数ωで位相検波する
と、 Ｆm ＝Ｃt ａ2 βω cosφ φ＝ωｔ−δ となり、Ｃt ，β，ω，δが一定として試料に固有のａ
2 を求めることができる。測定のモードとしては、図６
に示すように各ピクセルごとでαｔ＝一定とするような
走査を行い各ピクセルごとに位相検波を同期して行え
ば、２式の条件は緩和される。Ｐ1 〜Ｐn は画像取り込
み点である。
に対応した信号Ｆsig を測定することによって、その点
のＦm がわかる。今 ｘl は１）式に示す交流であるの
でＦm は、摩擦力の周波数応答を示す。簡単のために例
として、摩擦を速度に比例する項のみとした場合は、 Ｆm ＝Ｃt ａ2 βω cos (ωt −δ) （６） ここでδは位相遅れである。角周波数ωで位相検波する
と、 Ｆm ＝Ｃt ａ2 βω cosφ φ＝ωｔ−δ となり、Ｃt ，β，ω，δが一定として試料に固有のａ
2 を求めることができる。測定のモードとしては、図６
に示すように各ピクセルごとでαｔ＝一定とするような
走査を行い各ピクセルごとに位相検波を同期して行え
ば、２式の条件は緩和される。Ｐ1 〜Ｐn は画像取り込
み点である。
【００１６】次に、上記条件で特定の１点でのωをリニ
アに変化させ、その時の摩擦力を観測することにより、
図７に示すように摩擦力の周波数依存性が容易に得られ
る。この量は試料の構成分子特有のものであり、構成分
子の選択性を得ることができる。
アに変化させ、その時の摩擦力を観測することにより、
図７に示すように摩擦力の周波数依存性が容易に得られ
る。この量は試料の構成分子特有のものであり、構成分
子の選択性を得ることができる。
【００１７】
【発明の効果】交流式摩擦力顕微鏡は、従来の直流方式
で得られなかった以下に示す利点を持つ。 Ｓ／Ｎ比が良いこと、これは信号の周波数帯域が直
流方式の帯域に比較して狭くできるためである。
で得られなかった以下に示す利点を持つ。 Ｓ／Ｎ比が良いこと、これは信号の周波数帯域が直
流方式の帯域に比較して狭くできるためである。
【００１８】 試料の傾き勾配の影響を無視できる。
図８に昇り勾配の場合を示す。図８において、Ｆl は水
平方向の力、Ｆs は試料に平行な力、Ｆv は垂直方向の
力である。試料の傾き勾配をθとすると、Ｆl ＝Ｆs co
s θ、Ｆv ＝Ｆs sin θと表わせる。勾配のないところ
では、Ｆl ＝Ｆs である。
図８に昇り勾配の場合を示す。図８において、Ｆl は水
平方向の力、Ｆs は試料に平行な力、Ｆv は垂直方向の
力である。試料の傾き勾配をθとすると、Ｆl ＝Ｆs co
s θ、Ｆv ＝Ｆs sin θと表わせる。勾配のないところ
では、Ｆl ＝Ｆs である。
【００１９】図から明らかなように、直流方式の場合
は、走査に伴って試料と垂直方向の分力ＦV （押しつけ
る方向）が働き、この力によって見掛け上摩擦力が増加
したように見える。交流方式の場合は、一周期のうちの
昇り勾配と下り勾配が等しく生じ、この分力の影響を打
ち消すことが可能となる。
は、走査に伴って試料と垂直方向の分力ＦV （押しつけ
る方向）が働き、この力によって見掛け上摩擦力が増加
したように見える。交流方式の場合は、一周期のうちの
昇り勾配と下り勾配が等しく生じ、この分力の影響を打
ち消すことが可能となる。
【００２０】 任意の点で走査速度と摩擦力の関係が
得られ、この関係は構成分子の組成、形状等と分子に固
有のものであるので、分子種の選択、あるいは分子の状
態の変化等が観測できる。 前記測定モードで述べたように、直流方式の場合は
探針の走査速度が摩擦力を与える速度と一致するが交流
方式の場合は、探針の走査速度（画像を取り込む速度）
と摩擦力を与える速度とを分離でき、広範囲な設定条件
で試料評価ができる。
得られ、この関係は構成分子の組成、形状等と分子に固
有のものであるので、分子種の選択、あるいは分子の状
態の変化等が観測できる。 前記測定モードで述べたように、直流方式の場合は
探針の走査速度が摩擦力を与える速度と一致するが交流
方式の場合は、探針の走査速度（画像を取り込む速度）
と摩擦力を与える速度とを分離でき、広範囲な設定条件
で試料評価ができる。
【図１】従来方式の光テコ式原子間力顕微鏡のブロック
図である。
図である。
【図２】従来の直流方式摩擦力顕微鏡のブロック図であ
る。
る。
【図３】この発明による交流方式摩擦力顕微鏡のブロッ
ク図である。
ク図である。
【図４】ｘ方向走査図である。
【図５】探針−試料間のねじれの様子を示した模式図で
ある。
ある。
【図６】ｘ方向走査図である。
【図７】摩擦力の周波数の応答図である。
【図８】探針が斜面を走査した場合の分力の模式図であ
る。
る。
Claims (3)
- 【請求項１】 試料表面より受ける原子間力や摩擦力
を、変位に変換する板バネと、その変位をレーザ光の照
射によって反射光の位置ずれとして光検出素子にて検出
する変位検出手段と、試料と板バネを三次元的に走査す
る粗動機構および微動素子と、板バネの変位を一定にす
るように微動素子を制御する手段を有するプローブ顕微
鏡において、板バネのねじれ方向のラスタスキャナー部
に微少な周期関数の摂動を加え検出された信号を上記周
期関数と同期して位相検波し、試料の表面形状と摩擦の
面分布を同時に測定することを特徴とする摩擦力顕微
鏡。 - 【請求項２】 上記摩擦力顕微鏡において、試料面の任
意の複数点の場所で探針の走査を中断し、この点におい
て上記微少周期関数の、振幅または周波数を変化させて
摩擦力の走査速度依存性マッピングすることができる請
求項１に記載の摩擦力顕微鏡。 - 【請求項３】 上記摩擦力顕微鏡において、走査の各ピ
クセルにおいて、ランプ状の電圧印加を一定とし、前記
微少周期関数を印加し、この信号と同期して位相検波す
ることを特徴とする請求項１に記載の摩擦力顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02949093A JP3226649B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | 摩擦力顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02949093A JP3226649B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | 摩擦力顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06241762A true JPH06241762A (ja) | 1994-09-02 |
| JP3226649B2 JP3226649B2 (ja) | 2001-11-05 |
Family
ID=12277523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02949093A Expired - Fee Related JP3226649B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | 摩擦力顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3226649B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100343652C (zh) * | 2003-06-30 | 2007-10-17 | 广东工业大学 | 超微质量及超微载荷变化量检测装置及其检测方法 |
| JP2013525806A (ja) * | 2010-05-07 | 2013-06-20 | サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・レシェルシュ・サイエンティフィーク・（セ・エン・エール・エス） | 連続曲線モードで機能する走査型プローブ顕微鏡法による表面測定及び改質のための方法、それを実施するための走査型プローブ顕微鏡及びデバイス |
| US8601609B2 (en) | 2011-03-04 | 2013-12-03 | Sii Nanotechnology Inc. | Friction force microscope |
| CN108828268A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-11-16 | 北京航空航天大学 | 一种适用于原子力显微镜的大范围柔性结构扫描器 |
| CN109884347A (zh) * | 2019-02-25 | 2019-06-14 | 燕山大学 | Afm轻敲模式下延缓探针针尖磨损的方法 |
-
1993
- 1993-02-18 JP JP02949093A patent/JP3226649B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100343652C (zh) * | 2003-06-30 | 2007-10-17 | 广东工业大学 | 超微质量及超微载荷变化量检测装置及其检测方法 |
| JP2013525806A (ja) * | 2010-05-07 | 2013-06-20 | サントル・ナショナル・ドゥ・ラ・レシェルシュ・サイエンティフィーク・（セ・エン・エール・エス） | 連続曲線モードで機能する走査型プローブ顕微鏡法による表面測定及び改質のための方法、それを実施するための走査型プローブ顕微鏡及びデバイス |
| US8601609B2 (en) | 2011-03-04 | 2013-12-03 | Sii Nanotechnology Inc. | Friction force microscope |
| CN108828268A (zh) * | 2018-06-06 | 2018-11-16 | 北京航空航天大学 | 一种适用于原子力显微镜的大范围柔性结构扫描器 |
| CN108828268B (zh) * | 2018-06-06 | 2020-07-03 | 北京航空航天大学 | 一种适用于原子力显微镜的大范围柔性结构扫描器 |
| CN109884347A (zh) * | 2019-02-25 | 2019-06-14 | 燕山大学 | Afm轻敲模式下延缓探针针尖磨损的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3226649B2 (ja) | 2001-11-05 |
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