JPH06238903A - マルチノズル板およびその製造法 - Google Patents
マルチノズル板およびその製造法Info
- Publication number
- JPH06238903A JPH06238903A JP4731393A JP4731393A JPH06238903A JP H06238903 A JPH06238903 A JP H06238903A JP 4731393 A JP4731393 A JP 4731393A JP 4731393 A JP4731393 A JP 4731393A JP H06238903 A JPH06238903 A JP H06238903A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- nozzle plate
- substrate
- plastic film
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、ドライエッチング法を用い
て安価で量産性の高いマルチノズル板、特にインクジェ
ットヘッド用ノズル板を提供することにある。 【構成】 マルチノズルを形成する基板にレジストを塗
布し、露光、現像して前記基板上に形成すべきノズルの
パターンを形成し、次にドライエッチングを行ってノズ
ルを形成することを特徴とするマルチノズル板の製造法
及び該製造法で得られたマルチノズル板。
て安価で量産性の高いマルチノズル板、特にインクジェ
ットヘッド用ノズル板を提供することにある。 【構成】 マルチノズルを形成する基板にレジストを塗
布し、露光、現像して前記基板上に形成すべきノズルの
パターンを形成し、次にドライエッチングを行ってノズ
ルを形成することを特徴とするマルチノズル板の製造法
及び該製造法で得られたマルチノズル板。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明はマルチノズル板、特にインクジェ
ットヘッド用ノズル板および該ノズル板の製造法に関す
る。
ットヘッド用ノズル板および該ノズル板の製造法に関す
る。
【０００２】
【従来技術】従来、インクジェットヘッド用ノズル板の
製法は、エキシマレーザー加工、Ｃｕ線にＮｉ等の他金
属を電着し、Ｃｕ線を溶解することでノズルを形成して
いる。しかしながら、前記のような従来法によると、単
品仕上げで量産には適しておらず、また、加工速度が遅
いこともあって、コストアップの原因となっている。ま
た、Ｃｕ線にＮｉ等の他金属を電着し、Ｃｕ線を溶解す
る方法によってはマルチノズル板を形成することは不可
能である。さらにエキシマレーザー加工法では、レーザ
ビームの広がりに制約があって大面積化ができず、量産
性がなく、また、レーザ加工では炭化したカーボンがノ
ズル周辺に付着して特性を劣化させている。
製法は、エキシマレーザー加工、Ｃｕ線にＮｉ等の他金
属を電着し、Ｃｕ線を溶解することでノズルを形成して
いる。しかしながら、前記のような従来法によると、単
品仕上げで量産には適しておらず、また、加工速度が遅
いこともあって、コストアップの原因となっている。ま
た、Ｃｕ線にＮｉ等の他金属を電着し、Ｃｕ線を溶解す
る方法によってはマルチノズル板を形成することは不可
能である。さらにエキシマレーザー加工法では、レーザ
ビームの広がりに制約があって大面積化ができず、量産
性がなく、また、レーザ加工では炭化したカーボンがノ
ズル周辺に付着して特性を劣化させている。
【０００３】
【目的】本発明の目的は、ドライエッチング法を用いて
安価で量産性の高いマルチノズル板、特にインクジェッ
トヘッド用ノズル板を提供することにある。
安価で量産性の高いマルチノズル板、特にインクジェッ
トヘッド用ノズル板を提供することにある。
【０００４】
【構成】本発明は、マルチノズルを形成しようとする基
板にレジストを塗布、露光、現像して、該基板上に形成
すべきノズルのパターンを形成し、次にドライエッチン
グを行ってマルチノズルを形成することを特徴とするマ
ルチノズル板の製造方法および該製造方法で得たマルチ
ノズル板に関する。本発明の特徴の１つは、マルチノズ
ル板、たとえばインクジェットヘッド用ノズル板を製造
する際に、ドライエッチング法を採用することにより、
従来技術の問題点を解消し、クリーンな状態で図５に示
すような大面積のマルチノズル板を容易に製造すること
ができる。本発明によると、例えば３００×３００ｍｍ
〜６００×６００ｍｍの大面積のマルチノズル板を製造
することができる。本発明の方法によると、このような
マルチノズル板を図１３に示す切断線２０、２１に従っ
てトムソン刃等によりプレス分割で切断することによ
り、同時に多数のマルチノズル板を製造することがで
き、量産性の点ですぐれている。例えば３００×３００
ｍｍの面積の基板から１５ｍｍ×５ｍｍの形状のもの
が、５００〜６００個作成可能であり、また寸法精度も
μオーダの制御が可能である。
板にレジストを塗布、露光、現像して、該基板上に形成
すべきノズルのパターンを形成し、次にドライエッチン
グを行ってマルチノズルを形成することを特徴とするマ
ルチノズル板の製造方法および該製造方法で得たマルチ
ノズル板に関する。本発明の特徴の１つは、マルチノズ
ル板、たとえばインクジェットヘッド用ノズル板を製造
する際に、ドライエッチング法を採用することにより、
従来技術の問題点を解消し、クリーンな状態で図５に示
すような大面積のマルチノズル板を容易に製造すること
ができる。本発明によると、例えば３００×３００ｍｍ
〜６００×６００ｍｍの大面積のマルチノズル板を製造
することができる。本発明の方法によると、このような
マルチノズル板を図１３に示す切断線２０、２１に従っ
てトムソン刃等によりプレス分割で切断することによ
り、同時に多数のマルチノズル板を製造することがで
き、量産性の点ですぐれている。例えば３００×３００
ｍｍの面積の基板から１５ｍｍ×５ｍｍの形状のもの
が、５００〜６００個作成可能であり、また寸法精度も
μオーダの制御が可能である。
【０００５】本発明で使用するマルチノズル基板として
は、プラスチックフイルム、金属板あるいはこれらの複
合体が用いられる。金属板としては、厚さ３０〜１００
μｍのＮｉ、Ｍｏ、Ｔｉ等の金属板が用いられる。ま
た、金属板として多層金属板を用いることで、異なる金
属の特性を利用することができる。例えばＮｉ板１００
μｍ厚さにＡｕを５μｍ電着することでＮｉ板での耐薬
品性、剛性、加工性を生かし、ノズル先端の耐久性、耐
腐蝕性、インクに対する濡れ性等、部品特性を考えた組
み合せの金属板多層体の利用が考えられる。組み合せと
しては、Ｎｉ−Ｔｉ、Ｎｉ−Ｍｏ、Ｎｉ−Ｗ等が試みら
れ、加工性と剛性を生かしたものができる。プラスチッ
クフイルムとしては、例えばＰＥＮ、ＰＥＴ、ＰＡＮ、
ＰＰＳ等のような耐薬品性、剛性を持ち、ガラス転移温
度（ＴＧ）が大きいものを使用することができる。た
だ、これらプラスチックフイルムで形成されたインクジ
ェットノズルは、インクの濡れ性、剛性あるいは耐薬品
性の点で問題が発生する場合がある。例えば、インク中
のグリコール系あるいは多価アルコール系溶媒、界面活
性剤はＰＥＮ、ＰＡＮ等の材料を膨潤したり、一部溶解
することがある。そこでこれら材料の両面または片面
に、他のプラスチックフイルムを積層したり、金属膜を
成膜することで前記問題点を解消することができる。特
に、プラスチツクフイルムノズルをドライエッチング形
成するとプラスチック材料が暴露し、インクや大気に触
れ、特性の劣化、また静電気のチャージ等によりインク
の噴出にダメージを与えることが生じる場合がある。こ
のような場合、ノズル形成後に金属膜を成膜すること
で、表面、裏面、さらにノズル内のノズル壁にも金属膜
でカバーし、剛性の向上と機能劣化の防止が可能とな
る。ドライエッチング手段としては、従来公知のプラズ
マ、スパッタ、イオンビーム等の方式を用いることがで
きる。プラスチックフイルムをエッチングするに際し、
エッチング条件として物理的エッチングガスであるＡ
ｒ、Ｈｅ、Ｎ2等とＯ2、ＣＯ2等の反応性ガスを混合し
た混合ガスを用いることで、等方性エッチングや異方性
エッチングを行うことで、任意の形状のノズルを得るこ
とができる。このような混合ガスを使用するドライエッ
チングの１例としては、１．５×１０-2Ｔｏｒｒ、ＲＦ
１３．５６ＭＨｚ、４００Ｗの真空および高周波電力
下、Ａｒ、ＣＯ2およびＯ2のガス混合物を使用してドラ
イエッチングする（平行平板型電極を採用）。また、ド
ライエッチング法によると、通常ノズルは親水性の大き
い表面構造となるが、反応性ガスにＳＦ6、ＣＦ4、ＣＨ
3Ｆ等のフッ素化合物ガスを混入させることでエッチン
グテーパーにフッ素重合膜が形成し疎水性を大きくする
方法も可能である。また、ドライエッチングの終了時に
これらフッ素化合物を通すことで被膜してもよい。成膜
厚は、混合ガス流量とＰｏｗｅｒおよび真空度（圧力）
によって変化する。基板が金属板である場合、ドライエ
ッチング手段としては、プラスチックフィルムに使用す
る手段と同様の手段が可能である。その１例としては、
１×１０-2Ｔｏｒｒ、ＲＦ４００ＷのＣＣｌ4、Ｏ2また
はＣＣｌ4、ＳＦ6、Ｏ2等の混合ガスを使用しプラズマ
エッチングを行う。ノズルパターンを形成するために用
いるレジストとしては、有機、無機レジストのどちらで
も良く、エッチレイトの差が大きければ特にその種類は
制限されない。
は、プラスチックフイルム、金属板あるいはこれらの複
合体が用いられる。金属板としては、厚さ３０〜１００
μｍのＮｉ、Ｍｏ、Ｔｉ等の金属板が用いられる。ま
た、金属板として多層金属板を用いることで、異なる金
属の特性を利用することができる。例えばＮｉ板１００
μｍ厚さにＡｕを５μｍ電着することでＮｉ板での耐薬
品性、剛性、加工性を生かし、ノズル先端の耐久性、耐
腐蝕性、インクに対する濡れ性等、部品特性を考えた組
み合せの金属板多層体の利用が考えられる。組み合せと
しては、Ｎｉ−Ｔｉ、Ｎｉ−Ｍｏ、Ｎｉ−Ｗ等が試みら
れ、加工性と剛性を生かしたものができる。プラスチッ
クフイルムとしては、例えばＰＥＮ、ＰＥＴ、ＰＡＮ、
ＰＰＳ等のような耐薬品性、剛性を持ち、ガラス転移温
度（ＴＧ）が大きいものを使用することができる。た
だ、これらプラスチックフイルムで形成されたインクジ
ェットノズルは、インクの濡れ性、剛性あるいは耐薬品
性の点で問題が発生する場合がある。例えば、インク中
のグリコール系あるいは多価アルコール系溶媒、界面活
性剤はＰＥＮ、ＰＡＮ等の材料を膨潤したり、一部溶解
することがある。そこでこれら材料の両面または片面
に、他のプラスチックフイルムを積層したり、金属膜を
成膜することで前記問題点を解消することができる。特
に、プラスチツクフイルムノズルをドライエッチング形
成するとプラスチック材料が暴露し、インクや大気に触
れ、特性の劣化、また静電気のチャージ等によりインク
の噴出にダメージを与えることが生じる場合がある。こ
のような場合、ノズル形成後に金属膜を成膜すること
で、表面、裏面、さらにノズル内のノズル壁にも金属膜
でカバーし、剛性の向上と機能劣化の防止が可能とな
る。ドライエッチング手段としては、従来公知のプラズ
マ、スパッタ、イオンビーム等の方式を用いることがで
きる。プラスチックフイルムをエッチングするに際し、
エッチング条件として物理的エッチングガスであるＡ
ｒ、Ｈｅ、Ｎ2等とＯ2、ＣＯ2等の反応性ガスを混合し
た混合ガスを用いることで、等方性エッチングや異方性
エッチングを行うことで、任意の形状のノズルを得るこ
とができる。このような混合ガスを使用するドライエッ
チングの１例としては、１．５×１０-2Ｔｏｒｒ、ＲＦ
１３．５６ＭＨｚ、４００Ｗの真空および高周波電力
下、Ａｒ、ＣＯ2およびＯ2のガス混合物を使用してドラ
イエッチングする（平行平板型電極を採用）。また、ド
ライエッチング法によると、通常ノズルは親水性の大き
い表面構造となるが、反応性ガスにＳＦ6、ＣＦ4、ＣＨ
3Ｆ等のフッ素化合物ガスを混入させることでエッチン
グテーパーにフッ素重合膜が形成し疎水性を大きくする
方法も可能である。また、ドライエッチングの終了時に
これらフッ素化合物を通すことで被膜してもよい。成膜
厚は、混合ガス流量とＰｏｗｅｒおよび真空度（圧力）
によって変化する。基板が金属板である場合、ドライエ
ッチング手段としては、プラスチックフィルムに使用す
る手段と同様の手段が可能である。その１例としては、
１×１０-2Ｔｏｒｒ、ＲＦ４００ＷのＣＣｌ4、Ｏ2また
はＣＣｌ4、ＳＦ6、Ｏ2等の混合ガスを使用しプラズマ
エッチングを行う。ノズルパターンを形成するために用
いるレジストとしては、有機、無機レジストのどちらで
も良く、エッチレイトの差が大きければ特にその種類は
制限されない。
【０００６】有機レジストを用いる場合は、厚膜レジス
トとして５〜１０μｍの厚さのものを用いる。無機レジ
ストとしては、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3等の酸化物あるいは
Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏ、Ｔｉ等の金属膜を形成したものを用い
る。特に、無機レジストとして金属膜を用いたものは、
ドライエッチングの際に、その表面を活性化することが
でき（例えば酸化層の形成）、接着強度が向上するの
で、レジスト剥離をすることなく、得られたノズル板を
使用することができるという利点がある。
トとして５〜１０μｍの厚さのものを用いる。無機レジ
ストとしては、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3等の酸化物あるいは
Ｎｉ、Ｗ、Ｍｏ、Ｔｉ等の金属膜を形成したものを用い
る。特に、無機レジストとして金属膜を用いたものは、
ドライエッチングの際に、その表面を活性化することが
でき（例えば酸化層の形成）、接着強度が向上するの
で、レジスト剥離をすることなく、得られたノズル板を
使用することができるという利点がある。
【０００７】次に本発明のマルチノズル板の製造方法を
図面に基づいて具体的に説明する。 基板としてプラスチックフイルム、レジストとして
有機レジストを用いた場合のノズル板の製造方法（図１
の場合）。プラスチックフイルム基板２上に、有機レジ
スト１を塗布し、露光し、現像して、基板上に形成すべ
きノズルのパターンを形成した（ａ）。ドライエッチン
グ条件として、エッチングガスＯ2；３０ＳＣＣＭ、Ｃ
Ｏ2；１５ＳＣＣＭ、Ａｒ；１０ＳＣＣＭをチャンバー
内に流し、ＲＦ１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ、圧力０．
０５ｔｏｒｒで、平行平板型電極を採用してプラスチッ
クフイルムを等方性エッチングした。なお、前記ＳＣＣ
Ｍとは１分間に流れる標準ガス体積の意味である。この
際に、有機レジスト層１も薄くなる（ｂ）。エッチング
の終了時には有機レジスト層１も消失し、且つ基板２の
表面にはエッチング手段として採用したプラズマ処理に
より、カルボニル基、水酸基等が形成し、該表面の接着
力が向上している（ｃ）。該表面層に接着層４を設け、
インクジェットヘッド５と接着した（ｄ）。 基板として金属板、レジストとしてホトレジストを
用いた場合のノズル（図２の場合）。金属基板７上に、
ホトレジスト６を塗布し、露光し、現像して、基板上に
形成すべきノズルのパターンを形成した（ａ）。ＣＣｌ
4、ＳＦ6およびＯ2の混合ガスを使用しプラズマエッチ
ングにより該金属基板を等方性エッチングした（ｂ）。
ドライエッチングの終了時に、Ｏ2プラズマ処理により
残っているホトレジスト６をＯ2により灰化し（ａｓｈ
ｉｎｇ）除去した（ｃ）。この場合に、金属の表面には
薄い酸化物が形成される。そのために接着剤との反応性
が大きくなり、接着強度が向上する。例えば、Ｎｉ金属
表面にビスフェノールＡ型エポキシ樹脂層を設けた場合
には、その接着強度が約５０Ｋｇ／ｃｍ2であるが、Ｏ2
プラズマで酸化物層を形成することで１１０〜１２０Ｋ
ｇ／ｃｍ2の引張強度が可能となる。次に該金属表面の
金属酸化層に接着剤層４を設け、インクジェットヘッド
５と接着した。 基板としてプラスチックフイルムの片面に金属膜を
形成したもの、レジストとして有機レジストを用いた場
合のノズル板の製造法（図３の場合）。金属膜（例えば
Ｎｉ膜）９を片面に形成したフイルム２上に、前記で
採用した手段と同様な手段で形成すべきノズルのパター
ンを形成した。該パターンに従ってのプラズマエッチ
ング条件で金属膜９をエッチングした。エッチング後、
と同様条件でフイルムをエッチングし、さらに灰化を
行いホトレジストを除去した。この場合に、金属層の表
面には酸化層８が形成し、接着強度が向上した。前記
との場合と同様にして、インクジェットヘッド５と接
着した。 基板として金属板、該基板の両面にホトレジストを
用いた場合のノズル板の製造方法（図４の場合）。前記
の方法と同様な方法で、基板７の片面をドライエッチ
ングした後、該基板を表裏反転し、反対面を同様にして
ドライエッチングしてノズルを形成した。前記の方法
と同様な方法で残っているホトレジストを灰化した。こ
の方法によると、表裏で孔径の異なったノズルを任意に
作製することができる。
図面に基づいて具体的に説明する。 基板としてプラスチックフイルム、レジストとして
有機レジストを用いた場合のノズル板の製造方法（図１
の場合）。プラスチックフイルム基板２上に、有機レジ
スト１を塗布し、露光し、現像して、基板上に形成すべ
きノズルのパターンを形成した（ａ）。ドライエッチン
グ条件として、エッチングガスＯ2；３０ＳＣＣＭ、Ｃ
Ｏ2；１５ＳＣＣＭ、Ａｒ；１０ＳＣＣＭをチャンバー
内に流し、ＲＦ１３．５６ＭＨｚ、３００Ｗ、圧力０．
０５ｔｏｒｒで、平行平板型電極を採用してプラスチッ
クフイルムを等方性エッチングした。なお、前記ＳＣＣ
Ｍとは１分間に流れる標準ガス体積の意味である。この
際に、有機レジスト層１も薄くなる（ｂ）。エッチング
の終了時には有機レジスト層１も消失し、且つ基板２の
表面にはエッチング手段として採用したプラズマ処理に
より、カルボニル基、水酸基等が形成し、該表面の接着
力が向上している（ｃ）。該表面層に接着層４を設け、
インクジェットヘッド５と接着した（ｄ）。 基板として金属板、レジストとしてホトレジストを
用いた場合のノズル（図２の場合）。金属基板７上に、
ホトレジスト６を塗布し、露光し、現像して、基板上に
形成すべきノズルのパターンを形成した（ａ）。ＣＣｌ
4、ＳＦ6およびＯ2の混合ガスを使用しプラズマエッチ
ングにより該金属基板を等方性エッチングした（ｂ）。
ドライエッチングの終了時に、Ｏ2プラズマ処理により
残っているホトレジスト６をＯ2により灰化し（ａｓｈ
ｉｎｇ）除去した（ｃ）。この場合に、金属の表面には
薄い酸化物が形成される。そのために接着剤との反応性
が大きくなり、接着強度が向上する。例えば、Ｎｉ金属
表面にビスフェノールＡ型エポキシ樹脂層を設けた場合
には、その接着強度が約５０Ｋｇ／ｃｍ2であるが、Ｏ2
プラズマで酸化物層を形成することで１１０〜１２０Ｋ
ｇ／ｃｍ2の引張強度が可能となる。次に該金属表面の
金属酸化層に接着剤層４を設け、インクジェットヘッド
５と接着した。 基板としてプラスチックフイルムの片面に金属膜を
形成したもの、レジストとして有機レジストを用いた場
合のノズル板の製造法（図３の場合）。金属膜（例えば
Ｎｉ膜）９を片面に形成したフイルム２上に、前記で
採用した手段と同様な手段で形成すべきノズルのパター
ンを形成した。該パターンに従ってのプラズマエッチ
ング条件で金属膜９をエッチングした。エッチング後、
と同様条件でフイルムをエッチングし、さらに灰化を
行いホトレジストを除去した。この場合に、金属層の表
面には酸化層８が形成し、接着強度が向上した。前記
との場合と同様にして、インクジェットヘッド５と接
着した。 基板として金属板、該基板の両面にホトレジストを
用いた場合のノズル板の製造方法（図４の場合）。前記
の方法と同様な方法で、基板７の片面をドライエッチ
ングした後、該基板を表裏反転し、反対面を同様にして
ドライエッチングしてノズルを形成した。前記の方法
と同様な方法で残っているホトレジストを灰化した。こ
の方法によると、表裏で孔径の異なったノズルを任意に
作製することができる。
【０００８】本発明において、前記のようにして基板に
レジストを塗布、露光、現像して基板上に形成すべきノ
ズルのパターンを設ける場合に、ノズル板を被着体に接
着またはセットするためのアライメントマーク、接着剤
導入間隙、組立て時に用いるハンドリング部およびドラ
イエッチング加工後の一括分割の際の刃の逃げ部等の構
造を形成するためのパターンを同時に形成し、これらパ
ターンを利用してノズルの形成と同時に前記構造の少な
くとも１つを形成することが好ましい。従来、マルチノ
ズル板と被着体を接着または結合する方法として、該マ
ルチノズル板を被着体を光学的に整合させるか、あるい
はノズル板と被着体とを張り合せてエキシマレーザー等
でノズル加工する方法が採用されている。これに対し
て、本発明は図６に示すように、被着体の突起１３に合
わせることのできる間隙１２をアライメントマークとし
て設けることで、被着体に対して精密整合可能なマルチ
ノズル板を製造することができる。特に、このようなア
ライメントマークを設けたノズル板は、該ノズル板を構
成する材料が不透明材料の場合にはアライメントマーク
のパターン穴を接合する基体のパターンと整合させるこ
とができるので有用である。但し、本発明のノズル板
は、その材料が透明材料である場合には、図５に示すよ
うに該板にアライメントマーク１０を印刷等で形成し、
該マークを被着体の特定個所、例えば端部に合わせるこ
とができるようなものであってもよい。また、マルチノ
ズル板と被着体とを接着あるいは結合に際しては、ノズ
ル板の間隙に端面から接着剤を含浸させる方法が採用さ
れている。しかしこの方法だと端面から全体に囲る迄、
粘度と材料の表面張力にもよるが１〜２時間を要し、材
料によっては、拡散時に硬化が始まり高粘度となって不
良品を発生させる。そこで本発明においては、前記ノズ
ルのパターン形成時に図７〜９に示すような接着剤導入
間隙１４、１５、１６〔溝、スリット、穴等〕を形成す
るためのパターンを形成し、このような導入間隙を有す
るマルチノズル板を製造し、このような導入間隙を利用
して接着剤を導入することで、接着剤の含浸を均一に、
かつ短時間に完了することができ、さらに不良品発生を
防止できる。また、前記したように本発明においては、
図１３に示す切断線２０、２１に従って切断することに
より多数のマルチノズル板を同時に得ることができる
が、この分割に際してはバリが発生して欠損品が生じる
ことがあるので、図１３に示すように刃の切断線２０、
２１および該刃の切断線の接点部に切断刃の逃げ溝２
２、２３を形成することで不良品発生を防止できる。し
たがって、前記のような切断線および／または切断刃の
逃げ溝を形成することのできるパターンを前記ノズルの
パターン形成時に形成することにより、マルチノズル板
に前記のような切断線および／パターンを形成すること
が好ましい。本発明において、マルチノズル板がインク
ジェットヘッド用ノズル板である場合には、該ノズル板
がサイズ的に小さく（例えば１２ｍｍ×３ｍｍ程の面積
で、直径５０、２５、１５μｍ程の大きさのノズル穴が
３２、６４、１２８個存在する）、且つ微細加工されて
いるので直接触れることは実質的に不可能であるし、直
接触れるとキズをつけやすい。そこで、該マルチノズル
板には、それに直接触れることなく、治具あるいは真空
チャック搬送することのできるように、該搬送方法で利
用することのできる図１０および図１１に示すハンドリ
ング部を形成するのが好ましい。
レジストを塗布、露光、現像して基板上に形成すべきノ
ズルのパターンを設ける場合に、ノズル板を被着体に接
着またはセットするためのアライメントマーク、接着剤
導入間隙、組立て時に用いるハンドリング部およびドラ
イエッチング加工後の一括分割の際の刃の逃げ部等の構
造を形成するためのパターンを同時に形成し、これらパ
ターンを利用してノズルの形成と同時に前記構造の少な
くとも１つを形成することが好ましい。従来、マルチノ
ズル板と被着体を接着または結合する方法として、該マ
ルチノズル板を被着体を光学的に整合させるか、あるい
はノズル板と被着体とを張り合せてエキシマレーザー等
でノズル加工する方法が採用されている。これに対し
て、本発明は図６に示すように、被着体の突起１３に合
わせることのできる間隙１２をアライメントマークとし
て設けることで、被着体に対して精密整合可能なマルチ
ノズル板を製造することができる。特に、このようなア
ライメントマークを設けたノズル板は、該ノズル板を構
成する材料が不透明材料の場合にはアライメントマーク
のパターン穴を接合する基体のパターンと整合させるこ
とができるので有用である。但し、本発明のノズル板
は、その材料が透明材料である場合には、図５に示すよ
うに該板にアライメントマーク１０を印刷等で形成し、
該マークを被着体の特定個所、例えば端部に合わせるこ
とができるようなものであってもよい。また、マルチノ
ズル板と被着体とを接着あるいは結合に際しては、ノズ
ル板の間隙に端面から接着剤を含浸させる方法が採用さ
れている。しかしこの方法だと端面から全体に囲る迄、
粘度と材料の表面張力にもよるが１〜２時間を要し、材
料によっては、拡散時に硬化が始まり高粘度となって不
良品を発生させる。そこで本発明においては、前記ノズ
ルのパターン形成時に図７〜９に示すような接着剤導入
間隙１４、１５、１６〔溝、スリット、穴等〕を形成す
るためのパターンを形成し、このような導入間隙を有す
るマルチノズル板を製造し、このような導入間隙を利用
して接着剤を導入することで、接着剤の含浸を均一に、
かつ短時間に完了することができ、さらに不良品発生を
防止できる。また、前記したように本発明においては、
図１３に示す切断線２０、２１に従って切断することに
より多数のマルチノズル板を同時に得ることができる
が、この分割に際してはバリが発生して欠損品が生じる
ことがあるので、図１３に示すように刃の切断線２０、
２１および該刃の切断線の接点部に切断刃の逃げ溝２
２、２３を形成することで不良品発生を防止できる。し
たがって、前記のような切断線および／または切断刃の
逃げ溝を形成することのできるパターンを前記ノズルの
パターン形成時に形成することにより、マルチノズル板
に前記のような切断線および／パターンを形成すること
が好ましい。本発明において、マルチノズル板がインク
ジェットヘッド用ノズル板である場合には、該ノズル板
がサイズ的に小さく（例えば１２ｍｍ×３ｍｍ程の面積
で、直径５０、２５、１５μｍ程の大きさのノズル穴が
３２、６４、１２８個存在する）、且つ微細加工されて
いるので直接触れることは実質的に不可能であるし、直
接触れるとキズをつけやすい。そこで、該マルチノズル
板には、それに直接触れることなく、治具あるいは真空
チャック搬送することのできるように、該搬送方法で利
用することのできる図１０および図１１に示すハンドリ
ング部を形成するのが好ましい。
【０００９】
１．本発明によると、ドライエッチング法を用いて安価
で量産性の高いマルチノズル板が提供される。 ２．本発明によると、マルチノズル板にアライメントマ
ーク、ハンドリング部等を設けることにより、被着体と
の精密適合が可能、清潔な搬送等が可能なマルチノズル
板が提供される。
で量産性の高いマルチノズル板が提供される。 ２．本発明によると、マルチノズル板にアライメントマ
ーク、ハンドリング部等を設けることにより、被着体と
の精密適合が可能、清潔な搬送等が可能なマルチノズル
板が提供される。
【図１】本発明のノズル板の１例の製造方法を示す図で
ある。 （ａ）ノズルのパターンを形成したプラスチックフイル
ムの断面概略図である。 （ｂ）等方性エッチングの途中段階の前記（ａ）のプラ
スチックフイルムの断面概略図である。 （ｃ）マルチノズルが形成されたプラスチックフイルム
の断面概略図である。 （ｄ）前記（ｃ）のマルチノズルが形成されたプラスチ
ックフイルムと被着体（インクジェットヘッド）が結合
した状態を示す断面概略図である。
ある。 （ａ）ノズルのパターンを形成したプラスチックフイル
ムの断面概略図である。 （ｂ）等方性エッチングの途中段階の前記（ａ）のプラ
スチックフイルムの断面概略図である。 （ｃ）マルチノズルが形成されたプラスチックフイルム
の断面概略図である。 （ｄ）前記（ｃ）のマルチノズルが形成されたプラスチ
ックフイルムと被着体（インクジェットヘッド）が結合
した状態を示す断面概略図である。
【図２】本発明のノズル板の他の例の製造方法を示す図
である。 （ａ）ノズルのパターンを形成した金属基板の断面概略
図である。 （ｂ）等方性エッチングでマルチノズルが形成された前
記（ａ）の金属基板の断面概略図である。 （ｃ）金属基板の表面に薄い酸化膜が形成されたマルチ
ノズル板の断面概略図である。 （ｄ）前記（ｃ）のマルチノズル板と被着体（インクジ
ェットヘッド）が結合した状態を示す断面概略図であ
る。
である。 （ａ）ノズルのパターンを形成した金属基板の断面概略
図である。 （ｂ）等方性エッチングでマルチノズルが形成された前
記（ａ）の金属基板の断面概略図である。 （ｃ）金属基板の表面に薄い酸化膜が形成されたマルチ
ノズル板の断面概略図である。 （ｄ）前記（ｃ）のマルチノズル板と被着体（インクジ
ェットヘッド）が結合した状態を示す断面概略図であ
る。
【図３】本発明のノズル板の他の例の製造方法を示す図
である。 （ａ）ノズルのパターンを形成した金属膜付きプラスチ
ックフイルムの断面概略図である。 （ｂ）前記（ａ）のプラスチックフイルムの金属膜をエ
ッチングした状態を示す概略図である。 （ｃ）等方性エッチングの途中段階の前記（ｂ）のプラ
スチックフイルムの断面概略図である。 （ｄ）金属膜面上に金属酸化物が形成された金属膜付き
マルチノズル板の断面概略図である。 （ｅ）前記マルチノズル板と被着体（インクジェットヘ
ッド）が結合した状態を示す断面概略図である。
である。 （ａ）ノズルのパターンを形成した金属膜付きプラスチ
ックフイルムの断面概略図である。 （ｂ）前記（ａ）のプラスチックフイルムの金属膜をエ
ッチングした状態を示す概略図である。 （ｃ）等方性エッチングの途中段階の前記（ｂ）のプラ
スチックフイルムの断面概略図である。 （ｄ）金属膜面上に金属酸化物が形成された金属膜付き
マルチノズル板の断面概略図である。 （ｅ）前記マルチノズル板と被着体（インクジェットヘ
ッド）が結合した状態を示す断面概略図である。
【図４】本発明のノズル板の他の例の製造方法を示す図
である。 （ａ）ノズルのパターンを両面に形成した金属基板の断
面概略図である。 （ｂ）等方性エッチングの途中段階の前記（ａ）のプラ
スチックフイルムの断面概略図である。 （ｃ）表裏反転して等方性エッチングを行い形成したマ
ルチノズル板の断面概略図である。 （ｄ）前記（ｃ）のマルチノズル板の表面に酸化膜を形
成したマルチノズル板の概略図である。
である。 （ａ）ノズルのパターンを両面に形成した金属基板の断
面概略図である。 （ｂ）等方性エッチングの途中段階の前記（ａ）のプラ
スチックフイルムの断面概略図である。 （ｃ）表裏反転して等方性エッチングを行い形成したマ
ルチノズル板の断面概略図である。 （ｄ）前記（ｃ）のマルチノズル板の表面に酸化膜を形
成したマルチノズル板の概略図である。
【図５】アライメントマークを形成した本発明のマルチ
ノズル板の１実施例である。
ノズル板の１実施例である。
【図６】アライメントマークを形成した本発明のマルチ
ノズル板の他の実施例である。
ノズル板の他の実施例である。
【図７】接着剤導入スリットを形成した本発明のマルチ
ノズル板の１例である。
ノズル板の１例である。
【図８】接着剤導入口を形成した本発明のマルチノズル
板の１例である。
板の１例である。
【図９】接着剤導入溝を形成した本発明のマルチノズル
板の１例である。
板の１例である。
【図１０】ハンドリング部分を有する本発明のマルチノ
ズル板とそのハンドラーの組合せを示す図である。
ズル板とそのハンドラーの組合せを示す図である。
【図１１】ハンドリング部分を有する本発明のマルチノ
ズル板とハンドリング治具を組合せた別の実施例を示す
図である。
ズル板とハンドリング治具を組合せた別の実施例を示す
図である。
【図１２】本発明の大面積のマルチノズル板（３００×
３００×０．２ｍｍ）を示す図である。
３００×０．２ｍｍ）を示す図である。
【図１３】切断刃の切断線および切断刃の逃げ部を形成
した図１２の本発明のマルチノズル板の端部を示す図で
ある。
した図１２の本発明のマルチノズル板の端部を示す図で
ある。
１ 有機レジスト ２ プラスチックフイルム ３ ノズル ４ 接着層 ５ インクジェットヘッド ６ ホトレジスト ７ 金属板 ８ 金属層＋酸化膜 ９ 金属層 １０ マルチノズル板 １１ アライメントマーク（印刷マーク） １２ アライメントマーク（溝） １３ 突起 １４ 接着剤導入スリット １５ 接着剤導入口 １６ 真空ハンドラー １７ 真空チャックの穴（ハンドラー部） １８ ハンドリング治具（接着性治具やチャック方式） １９ 大面積ノズル板（３００×３００×０．２ｍｍ） ２０ トムソン刃による切断線 ２１ トムソン刃による切断線 ２２ 横と縦の切断線の接点部に設けた刃の逃げ溝 ２３ 横と縦の切断線の接点部に設けた刃の逃げ溝 Ａ 大面積ノズル板の端部分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧野 智子 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内
Claims (5)
- 【請求項１】 マルチノズルを形成する基板にレジスト
を塗布し、露光、現像して前記基板上に形成すべきノズ
ルのパターンを形成し、次にドライエッチングを行って
ノズルを形成することを特徴とするマルチノズル板の製
造法。 - 【請求項２】 基板が、金属板、プラスチックフイルム
または前記両者の積層物であることを特徴とする請求項
１記載のマルチノズル板の製造法。 - 【請求項３】 プラスチックフイルムの片側または両面
側に、ノズル形成の前または後に金属膜を形成すること
を特徴とする請求項２記載のマルチノズル板の製造法。 - 【請求項４】 基板にドライエッチングで形成したノズ
ル（ａ）と被着体とのアライメントマーク、被着体と接
着するための接着剤導入間隙、組立て時に用いるハンド
リング部、ドライエッチング加工後の切断時の切断刃の
逃げ部および切断線よりなる群から選ばれた少なくとも
１個の構造部（ｂ）を有することを特徴とするマルチノ
ズル板。 - 【請求項５】 基板が片側または両面側に金属膜を形成
したプラスチックフイルムである請求項４記載のマルチ
ノズル板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4731393A JPH06238903A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | マルチノズル板およびその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4731393A JPH06238903A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | マルチノズル板およびその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06238903A true JPH06238903A (ja) | 1994-08-30 |
Family
ID=12771808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4731393A Pending JPH06238903A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | マルチノズル板およびその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06238903A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100514711B1 (ko) * | 1997-05-14 | 2005-09-15 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 분사 장치의 노즐 형성 방법 및 잉크 젯 헤드의 제조 방법 |
| JP2007069434A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの組立方法、及びインクジェットヘッドの検査方法 |
-
1993
- 1993-02-12 JP JP4731393A patent/JPH06238903A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100514711B1 (ko) * | 1997-05-14 | 2005-09-15 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 분사 장치의 노즐 형성 방법 및 잉크 젯 헤드의 제조 방법 |
| JP2007069434A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの組立方法、及びインクジェットヘッドの検査方法 |
| JP4687884B2 (ja) * | 2005-09-06 | 2011-05-25 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの組立方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI296575B (en) | Method for manufacturing droplet ejection head, droplet ejection head, and droplet ejection apparatus | |
| CN1678460A (zh) | 打印头 | |
| CN1272818A (zh) | 流体喷射装置及其制造方法 | |
| JP2008149649A (ja) | インクジェットヘッド、および、その製造方法 | |
| JP2014028351A (ja) | ノズルプレート、ノズルプレートの製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェット印刷装置 | |
| JP2012000984A (ja) | インクジェット印刷用の自浄能力付きインクジェット印刷ヘッド | |
| JPH06238903A (ja) | マルチノズル板およびその製造法 | |
| US20050248614A1 (en) | Liquid discharge apparatus, printer head, and method for making liquid discharge apparatus | |
| JP2007106050A (ja) | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2007126692A (ja) | 凹部付き基板の製造方法および凹部付き基板 | |
| JP3231544B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| KR100701131B1 (ko) | 잉크 제트 기록 헤드의 제조방법 및 제조방법에 의해제조된 잉크 제트 기록 헤드 | |
| JP3366679B2 (ja) | 有機材料の加工方法 | |
| US9205654B2 (en) | Method of manufacturing a liquid ejection head | |
| JP3120341B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP2007144799A (ja) | 基板の加工方法、及び電子機器 | |
| JP2000328266A (ja) | エッチング方法、インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
| JP2002127429A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録ヘッド | |
| JP2006224590A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| EP0177932A2 (en) | Liquid jet recording head | |
| JPH11334084A (ja) | ノズルプレートの製造方法 | |
| JPS5850794A (ja) | 電子回路の形成方法 | |
| JP2004262241A (ja) | 基板の加工方法およびインクジェット記録ヘッド用基板の作製方法 | |
| JP2005074799A (ja) | ノズルプレートの製造方法 | |
| JPH03218844A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |