JPH06230406A - Optical system for positioning tab to liquid crystal cell - Google Patents
Optical system for positioning tab to liquid crystal cellInfo
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- JPH06230406A JPH06230406A JP4210793A JP4210793A JPH06230406A JP H06230406 A JPH06230406 A JP H06230406A JP 4210793 A JP4210793 A JP 4210793A JP 4210793 A JP4210793 A JP 4210793A JP H06230406 A JPH06230406 A JP H06230406A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、液晶セルに対してＴ
ＡＢを接続するために両者を位置合わせする光学系に関
する。This invention relates to a liquid crystal cell which has a T
The present invention relates to an optical system for aligning both to connect AB.
【０００２】[0002]
【従来の技術】最近急速に進歩している液晶パネルは、
複雑で精密な多段階の加工または組み立て工程により製
作されている。図４は製造工程の１段階における液晶パ
ネル１の外観を示す。図において、方形をなす２枚のガ
ラス板21,22 の間に、Ｘ，Ｙ電極、またはＴＦＴ（薄膜
トランジスタ）がアレイ配列されたＴＦＴ基板が積層さ
れ、さらにこの間に液晶材が封入されて液晶セル２が構
成され、一方のガラス板22の周辺に、Ｘ，Ｙ電極または
ＴＦＴ基板に対する複数組の入力リード線群が形成され
ている。各入力リード線群に対して、次に述べるＴＡＢ
（テープ オートメイテッド ボンデング）３の出力リ
ード線が位置合わせされた後、互いに接続される。ま
た、これらを搭載するプリント基板４の配線パターンに
対して、複数のＴＡＢ３の各入力リード線群が接続され
て液晶パネル１が構成される。なお、カラー液晶パネル
の場合は、カラーフィルタなどの必要部品が所定の位置
に積層されている。2. Description of the Related Art Liquid crystal panels, which have made rapid progress in recent years,
It is manufactured by complex and precise multi-step processing or assembly process. FIG. 4 shows the appearance of the liquid crystal panel 1 at one stage of the manufacturing process. In the drawing, a TFT substrate in which X and Y electrodes or TFTs (thin film transistors) are arrayed is laminated between two rectangular glass plates 21 and 22, and a liquid crystal material is sealed between them to form a liquid crystal cell. 2, a plurality of sets of input lead wires for the X, Y electrodes or the TFT substrate are formed around one glass plate 22. For each input lead wire group,
The output lead wires of (Tape Automated Bonding) 3 are aligned and then connected to each other. Further, the liquid crystal panel 1 is configured by connecting the respective input lead wire groups of the plurality of TABs 3 to the wiring pattern of the printed circuit board 4 on which these are mounted. In the case of a color liquid crystal panel, necessary parts such as a color filter are laminated at predetermined positions.
【０００３】図５は上記のＴＡＢ３の構成を示すもの
で、ポリイミドなどのフィルム31をベースとし、その表
面のほぼ中央部にＬＳＩチップ32が搭載され、プリント
基板４に対する入力リード線群33と、液晶セル２に対す
る出力リード線群34とが形成され、その両側に適当な形
状の位置合わせマークＭTa，ＭTbを設けて１フレームが
構成され、１フレームごとに切断して使用される。な
お、ＬＳＩチップ32と各リード線群33,34 の間には絶縁
膜35を貼り付けて保護されている。上記のＴＡＢ３の大
きさは各種があって両マークＭTa，ＭTbの間隔Ｗは１０
〜５０ｍｍであり、また、(イ) に示す出力リード線群34
の各リード線341 の間隔ｄは約２００ｎｍである。FIG. 5 shows the structure of the TAB 3 described above. A film 31 made of polyimide or the like is used as a base, and an LSI chip 32 is mounted on a substantially central portion of the surface thereof. An output lead wire group 34 for the liquid crystal cell 2 is formed, and alignment marks MTa and MTb of appropriate shapes are provided on both sides of the output lead wire group 34 to form one frame, which is cut and used for each frame. An insulating film 35 is attached between the LSI chip 32 and each lead wire group 33, 34 for protection. There are various sizes of TAB3, and the distance W between the marks M Ta and M Tb is 10.
Output lead wire group 34 shown in (a)
The distance d between the respective lead wires 341 is about 200 nm.
【０００４】次に、図６は液晶セル２に対するＴＡＢ３
の接続を説明するもので、(a) において、液晶セル２の
ガラス板22に形成された入力リード線群23の両側には、
ＴＡＢ３の位置合わせマークＭTa，ＭTbに対応して、適
当な形状の位置合わせマークＭLa，ＭLbが設けられ、さ
らにそれらの上には異方性導電シート24が貼り付けられ
ている。液晶セル２に対するＴＡＢ３の接続において
は、ＸＹ移動テーブルに載置された液晶セル２に対し
て、ＴＡＢ３をロボットハンドにより搬送して接近さ
せ、位置合わせ光学系により、各位置合わせマーク
ＭLa，ＭLb，ＭTa，ＭTbのＸＹ座標をそれぞれ検出す
る。検出された各ＸＹ座標に従って、ロボットハンドの
制御によりＴＡＢ３を(b) に示すようにθ回転し、マー
クＭLa−ＭLbのＸ方向に対してマークＭTa−ＭTbの方向
を平行とする。ＸＹ移動テーブルの制御により液晶セル
２をＸ方向に移動して両者のＸ座標を一致させた後、Ｙ
方向に移動してマークＭLaとＭTa、およびマークＭLbと
ＭTbをそれぞれ重ね合わせて、両者が位置合される。位
置合わせされたＴＡＢ３は、(c) に示すように、適当な
圧力Ｆで押圧され、異方性導電シート24により両者のリ
ード線群23と34が電気的に接続される。Next, FIG. 6 shows a TAB3 for the liquid crystal cell 2.
In (a), on both sides of the input lead wire group 23 formed on the glass plate 22 of the liquid crystal cell 2,
Corresponding alignment marks M Ta and M Tb of the TAB 3 are provided with alignment marks M La and MLb having appropriate shapes, and an anisotropic conductive sheet 24 is attached thereon. When connecting the TAB 3 to the liquid crystal cell 2, the TAB 3 is carried by the robot hand to approach the liquid crystal cell 2 placed on the XY moving table, and the alignment optics cause the alignment marks M La and M to be aligned. Lb, detected M Ta, the XY coordinates of M Tb respectively. According Each XY coordinates detected, rotation θ to indicate TAB3 under the control of the robot hand (b), the and parallel to the direction of the mark M Ta -M Tb with respect to the X-direction of the mark M La -M Lb . After the liquid crystal cell 2 is moved in the X direction by the control of the XY moving table to match the X coordinates of both, Y
The marks M La and M Ta and the marks M Lb and M Tb are superposed on each other by moving in the direction, and both are aligned. The aligned TAB 3 is pressed by an appropriate pressure F as shown in (c), and the anisotropic conductive sheet 24 electrically connects the lead wire groups 23 and 34 to each other.
【０００５】図７は上記の位置合わせに使用されてい
る、従来の光学系５の概略の構成を示す。光学系５の光
源51よりの照明光ＬT がハーフミラー52を経て対物レン
ズ53に入射し、液晶セル２とＴＡＢ３のそれぞれの一方
の両マーク（ＭLa，ＭTa）、または他方の両マーク（Ｍ
Lb，ＭTb）を照明する。照明された一方または他方の各
マークの反射光は、対物レンズ53により集光されてハー
フミラー52を透過し、受像カメラ（ＴＶ）54に受像され
て各マークのＸＹ座標が求められる。図には、えられた
各マーク（ＭTa，ＭLa）のそれぞれの座標（ｘ1,ｙ
1 ），（ｘ2,ｙ2 ）を示す。上記によりえられた各マー
クの座標データは制御部55に入力し、ロボットハンドの
回転角θの制御信号と、ＸＹ移動テーブルに対するＸま
たはＹ移動の制御信号が出力され、それぞれの回転また
は移動により、対応する各マークが位置合わせされる。FIG. 7 shows a schematic structure of a conventional optical system 5 used for the above alignment. Illumination light L T from the light source 51 of the optical system 5 enters the objective lens 53 through the half mirror 52, and one mark (M La , M Ta ) of each of the liquid crystal cell 2 and the TAB 3 or both marks of the other. (M
Illuminate Lb , MTb ). The reflected light of the illuminated one or the other mark is collected by the objective lens 53, transmitted through the half mirror 52, and received by the image receiving camera (TV) 54 to obtain the XY coordinates of each mark. In the figure, the coordinates (x 1 , y) of the obtained marks (M Ta , M La ) are shown.
1 ) and (x 2 , y 2 ) are shown. The coordinate data of each mark obtained above is input to the control unit 55, and the control signal of the rotation angle θ of the robot hand and the control signal of the X or Y movement with respect to the XY movement table are output. , The corresponding marks are aligned.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】さて上記において、液
晶セル２とＴＡＢ３の両側の各位置合わせマークの間隔
Ｗは、前記したように１０〜５０ｍｍあり、これに対し
て従来の光学系５は対物レンズ53の視野が十分広くない
ため、両側の各マークを同時に受像することができな
い。このため光学系５を移動して、一方の両マーク（Ｍ
La, ＭTa）と他方の両マーク（ＭLb, ＭTb）とを交互に
受像し、それぞれの位置合わせがなされている。しか
し、それぞれの位置合わせは単に１度の受像ではなされ
ず、交互の受像を何回か繰り返してはじめて正確に位置
合わせできるもので、従って光学系５の交互の繰り返し
移動にはかなりの時間を必要とする欠点がある。これに
対して、視野が十分広くて両側の各マークを同時に受像
し、交互移動を必要としない光学系が望ましい。この発
明は以上に鑑みてなされたもので、液晶セル２とＴＡＢ
３の接続に対する両者の位置合わせにおいて、両者にそ
れぞれ設けられた広い間隔の位置合わせマークを同時に
受像できる、位置合わせ光学系を提供することを目的と
する。In the above description, the distance W between the alignment marks on both sides of the liquid crystal cell 2 and the TAB 3 is 10 to 50 mm as described above, whereas the conventional optical system 5 has an objective. Since the field of view of the lens 53 is not wide enough, the marks on both sides cannot be received at the same time. Therefore, the optical system 5 is moved so that both marks (M
La and M Ta ) and the other marks (ML b and M Tb ) are alternately received, and their respective positions are aligned. However, each alignment is not performed by receiving only one image, but accurate alignment can be achieved only by repeating alternating images several times. Therefore, it takes a considerable time to alternately repeat the movement of the optical system 5. There is a drawback to On the other hand, it is desirable to use an optical system that has a sufficiently wide field of view and receives the marks on both sides at the same time and does not require alternate movement. The present invention has been made in view of the above, and it is a liquid crystal cell 2 and a TAB.
An object of the present invention is to provide a positioning optical system capable of simultaneously receiving the positioning marks of wide intervals provided on the both in the positioning of the both with respect to the connection of No. 3.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明は、液晶セルに
対するＴＡＢの位置合わせ光学系であって、ＸＹ移動テ
ーブルに載置された液晶セルの１組の入力リード線群に
対して、ロボットハンドによりＴＡＢの出力リード線群
を接近させる。接近した入力リード線群と出力リード線
群の、それぞれの両端に設けられた液晶セルの位置合わ
せマークＭLa，ＭLb、およびＴＡＢの位置合わせマーク
ＭTa，ＭTbに対して、照明光を照射する光源とハーフミ
ラーよりなる投光系を設ける。各位置合わせマークを包
含する視野を有し、各位置合わせマークの反射光を共通
に集光して結像する１個の対物レンズと、対物レンズに
より集光された、それぞれ対応する両マーク（ＭTa，Ｍ
La）の反射光と、両マーク（ＭTb，ＭLb）の反射光とを
それぞれ区別して反射する２つの反射面を有するプリズ
ムミラー、およびプリズムミラーの各反射面による反射
光をそれぞれ受光し、対物レンズにより結像された両マ
ーク（ＭTa，ＭLa）と、両マーク（ＭTb，ＭLb）の各映
像を別個に、かつ同時に受像する２個の受像カメラより
なる受像系とを設けて構成される。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a TAB alignment optical system for a liquid crystal cell, wherein a robot hand is provided for a set of input lead wires of the liquid crystal cell placed on an XY moving table. The TAB output lead wires are brought close to each other. Closely spaced input and output lead wire group lead wire group, the alignment mark M La of the liquid crystal cell provided on both ends, M Lb, and TAB alignment mark M Ta, against M Tb, the illumination light A light projection system including a light source for irradiation and a half mirror is provided. One objective lens that has a field of view including each alignment mark and that collects the reflected light of each alignment mark in common to form an image, and both corresponding marks that are focused by the objective lens ( M Ta , M
La ) and the reflected light of the two marks (M Tb , M Lb ) are distinguished from each other, and the prism mirror having two reflecting surfaces and the reflected light of each reflecting surface of the prism mirror are respectively received, Both marks (M Ta , M La ) formed by the objective lens and an image receiving system including two image receiving cameras for separately and simultaneously receiving the images of both marks (M Tb , M Lb ) are provided. Consists of
【０００８】[0008]
【作用】上記の位置合わせ光学系においては、液晶セル
の１組の入力リード線群と、これに対してロボットハン
ドにより接近したＴＡＢの出力リード線群との、それぞ
れの両端に設けられた液晶セルの位置合わせマーク
ＭLa，ＭLb、およびＴＡＢの位置合わせマークＭTa，Ｍ
Tbに対して、投光系の光源よりの照明光がハーフミラー
を介して照射される。受像系の対物レンズは各位置合わ
せマークを包含する視野を有し、それぞれ対応する両マ
ーク（ＭTa，ＭLa）と両マーク（ＭTb，ＭLb）の各反射
光が共通に集光され、それぞれがプリズムミラーの２つ
の反射面により区別して反射され、対物レンズにより結
像された各両マークの映像が２個の受像カメラに別個
に、かつ同時に受像される。以上により、液晶セルの入
力リード線群とＴＡＢの出力リード線群の両側に設けら
れた、それぞれ対応する両マーク（ＭTa，ＭLa）と両マ
ーク（ＭTb，ＭLb）の映像が、２個の受像カメラに同時
に受像されるので、各マークのＸＹ座標を迅速に求める
ことができる。In the above alignment optical system, the liquid crystal provided at each end of the set of input lead wires of the liquid crystal cell and the output lead wire group of the TAB approached by the robot hand. Cell alignment marks M La , MLb , and TAB alignment marks M Ta , M
Illumination light from a light source of a light projecting system is applied to Tb via a half mirror. The objective lens of the image receiving system has a field of view including each alignment mark, and the respective reflected lights of the corresponding marks (M Ta , M La ) and both marks (M Tb , ML b ) are commonly condensed. , And the images of the marks formed by the objective lens are separately and simultaneously received by the two image receiving cameras, respectively. As a result, the images of the corresponding marks (M Ta , M La ) and both marks (M Tb , M Lb ) provided on both sides of the input lead wire group of the liquid crystal cell and the output lead wire group of the TAB, respectively, Since the images are simultaneously received by the two image receiving cameras, the XY coordinates of each mark can be quickly obtained.
【０００９】[0009]
【実施例】図１は、この発明の位置合わせ光学系の一実
施例における構成図を示し、これによる各マークの位置
合わせ方法を説明する。図１において、位置合わせ光学
系８は、投光系81と受像系82とにより構成される。投光
系81は光源811 とハーフミラー812 よりなり、受像系82
は適当に広い視野を有する対物レンズ821 と、２つの反
射面Ｒa,Ｒb を有するプリズムミラー822 、および２個
の受像カメラ（ＴＶ．Ａ、ＴＶ．Ｂ）823a,823b よりな
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the alignment optical system of the present invention, and a method of aligning each mark will be described. In FIG. 1, the alignment optical system 8 is composed of a light projecting system 81 and an image receiving system 82. The light projecting system 81 is composed of a light source 811 and a half mirror 812.
Is an objective lens 821 having an appropriately wide field of view, a prism mirror 822 having two reflecting surfaces R a and R b , and two image receiving cameras (TV.A, TV.B) 823a and 823b.
【００１０】位置合わせにおいては、ＸＹ移動テーブル
６に載置された液晶セル２に対して、ＴＡＢ３をロボッ
トハンド７にチャックして搬送し、液晶セル２の位置合
わせマークＭLa，ＭLbに対してＴＡＢ３の位置合わせマ
ークＭTa，ＭTbを接近させる。接近した各マークとその
周辺に対して、光源811 よりの照明光ＬT をハーフミラ
ー812 を介して照射する。受像系82の対物レンズ821 に
は、それぞれ対応する両側の各マークを包含する視野を
有するものを使用し、これにより両側の各マーク
（ＭTa，ＭLa）と（ＭTb，ＭLb）のそれぞれの反射光Ｌ
RaとＬRbが、ともに対物レンズ821 により集光される。
集光された反射光ＬRaとＬRbはプリズムミラー822 の反
射面Ｒa とＲb により区別されて反射され、それぞれが
各受像カメラ（ＴＶ．Ａ，ＴＶ．Ｂ）に受光されて各マ
ークの映像が結像される。In the alignment, the robot hand 7 chucks the TAB 3 with respect to the liquid crystal cell 2 placed on the XY moving table 6 and conveys it to the alignment marks M La and M Lb of the liquid crystal cell 2. To bring the alignment marks M Ta and M Tb of the TAB 3 close to each other. The illuminating light L T from the light source 811 is emitted to each of the approaching marks and their surroundings through the half mirror 812. As the objective lens 821 of the image receiving system 82, one having a field of view including the corresponding marks on both sides, respectively, is used, whereby the marks (M Ta , M La ) and (M Tb , MLb ) on both sides are formed. Each reflected light L
Both Ra and L Rb are condensed by the objective lens 821.
Condensed reflected light L Ra and L Rb are reflected are distinguished by the reflecting surface R a and R b of the prism mirror 822, the marks are received by the image receiving camera respectively (TV.A, TV.B) Is imaged.
【００１１】図２は、上記により各受像カメラ（ＴＶ．
Ａ，ＴＶ．Ｂ）にそれぞれ同時に受像された映像の一例
を示す。ＴＶ．Ａには、液晶セル２の入力リード線群23
の一部と、その片側のマークＭLa、およびＴＡＢ３の出
力リード線群34の一部と、その片側のマークＭTaが受像
され、ＴＶ．Ｂには、同様に反対側のマークＭLbとＭTb
が受像されている。図３は、各受像カメラの画像データ
を処理して座標データを求め、必要な制御信号を作成す
る制御部９の概略の構成を示す。各画像データは画像処
理回路91に入力して画像処理され、各マーク（ＭTa，Ｍ
La）の座標（ｘ1,ｙ1 、ｘ2,ｙ2 ）と、各マーク
（ＭTb，ＭLb）の座標（ｘ3,ｙ3 、ｘ4,ｙ4 ）がそれぞ
れ求められ、この座標データよりＴＡＢ３の回転角度θ
に対する制御信号と、液晶セル２のＸまたはＹ方向移動
に対する制御信号が作成され、それぞれがロボット制御
回路92とテーブル制御回路93に与えられ、ロボットハン
ド７とＸＹ移動テーブル６が駆動されて各マークの位置
合わせがなされる。FIG. 2 shows each image receiving camera (TV.
A, TV. B) shows an example of images received at the same time. TV. A is a group of input lead wires 23 of the liquid crystal cell 2.
, A mark M La on one side thereof, a part of the output lead wire group 34 of the TAB 3 and a mark M Ta on one side thereof are received, and the TV. Similarly, on B, the marks M Lb and M Tb on the opposite side are also included.
Has been received. FIG. 3 shows a schematic configuration of the control unit 9 which processes image data of each image receiving camera to obtain coordinate data and creates a necessary control signal. Each image data is input to the image processing circuit 91 and image-processed, and each mark (M Ta , M
The coordinates (x 1 , y 1 , x 2 , y 2 ) of La ) and the coordinates (x 3 , y 3 , x 4 , y 4 ) of each mark (M Tb , M Lb ) are obtained, respectively. The rotation angle θ of TAB3 from the data
And a control signal for moving the liquid crystal cell 2 in the X or Y direction are provided to the robot control circuit 92 and the table control circuit 93, respectively, and the robot hand 7 and the XY moving table 6 are driven to control each mark. Are aligned.
【００１２】[0012]
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による位
置合わせ光学系においては、液晶セルの入力リード線群
とＴＡＢの出力リード線群の両側に設けられた、それぞ
れ対応する両マーク（ＭTa，ＭLa）と両マーク（ＭTb，
ＭLb）のそれぞれの反射光が、１個の対物レンズにより
集光され、プリズムミラーにより区別されて反射され、
２個の受像カメラに別個に、かつ同時に受像されるもの
で、各マークのＸＹ座標が迅速に求められ、従来の光学
系における、両側の各マークに対する交互の繰り返し移
動による受像が不必要となり、その分位置合わせ時間が
短縮され、液晶パネルの製作工程の改善に寄与するとこ
ろには大きいものがある。As described above, in the alignment optical system according to the present invention, corresponding marks (M Ta) provided on both sides of the input lead wire group of the liquid crystal cell and the output lead wire group of the TAB, respectively. , M La ) and both marks (M Tb ,
Each of the reflected lights of M Lb ) is collected by one objective lens, is distinguished and reflected by a prism mirror,
The image is received by two image receiving cameras separately and simultaneously, the XY coordinates of each mark are quickly obtained, and the image receiving by the alternating repetitive movement for each mark on both sides in the conventional optical system becomes unnecessary, The alignment time is shortened by that much, and there are major points that contribute to the improvement of the manufacturing process of the liquid crystal panel.
【図１】 この発明の位置合わせ光学系の一実施例にお
ける構成図を示す。FIG. 1 shows a configuration diagram of an embodiment of an alignment optical system of the present invention.
【図２】 各受像カメラ（ＴＶ．Ａ，ＴＶ．Ｂ）にそれ
ぞれ同時に受像された映像の一例を示す。FIG. 2 shows an example of images simultaneously received by each image receiving camera (TV.A, TV.B).
【図３】 各受像カメラの画像データを処理して制御信
号を作成する制御部９の概略の構成図を示す。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a control unit 9 that processes image data of each image receiving camera to generate a control signal.
【図４】 液晶パネル１の外観図を示す。FIG. 4 shows an external view of the liquid crystal panel 1.
【図５】 ＴＡＢ３の構成図を示す。FIG. 5 shows a configuration diagram of TAB3.
【図６】 液晶セル２に対するＴＡＢ３の接続の説明図
である。FIG. 6 is an explanatory diagram of connection of the TAB 3 to the liquid crystal cell 2.
【図７】 従来の位置合わせ光学系５の概略の構成図で
ある。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of a conventional alignment optical system 5.
１…液晶パネル、２…液晶セル、21,22 …ガラス板、23
…液晶セルの入力リード線群、24…異方性導電シート、
３…ＴＡＢ、31…ポリイミドなどのフィルムベース、32
…ＬＳＩチップ、33…ＴＡＢの入力リード線群、34…Ｔ
ＡＢの出力リード線群、341 …出力リード線、35…絶縁
膜、４…プリント基板、５…従来の位置合わせ光学系、
51…光源、52…ハーフミラー、53…対物レンズ 54…受像カメラ（ＴＶ）、55…制御部、６…ＸＹ移動テ
ーブル、７…ロボットハンド、８…この発明の位置合わ
せ光学系、81…投光系、811 …光源、812 …ハーフミラ
ー、82…受像系、821 …対物レンズ、822 …プリズムミ
ラー 823a,823b …受像カメラ（ＴＶ．Ａ，ＴＶ．Ｂ）、９…
制御部、91…画像処理回路、92…ロボット制御回路、93
…テーブル制御回路、ＭLa，ＭLb…液晶セル２の位置合
わせマーク、ＭTa，ＭTb…ＴＡＢ３の位置合わせマー
ク。1 ... Liquid crystal panel, 2 ... Liquid crystal cell, 21, 22 ... Glass plate, 23
... Input lead wire group of liquid crystal cell, 24 ... Anisotropic conductive sheet,
3 ... TAB, 31 ... Film base such as polyimide, 32
... LSI chip, 33 ... TAB input lead wire group, 34 ... T
AB output lead wire group, 341 ... Output lead wire, 35 ... Insulating film, 4 ... Printed circuit board, 5 ... Conventional alignment optical system,
51 ... Light source, 52 ... Half mirror, 53 ... Objective lens 54 ... Image receiving camera (TV), 55 ... Control unit, 6 ... XY moving table, 7 ... Robot hand, 8 ... Positioning optical system of this invention, 81 ... Optical system, 811 ... Light source, 812 ... Half mirror, 82 ... Image receiving system, 821 ... Objective lens, 822 ... Prism mirror 823a, 823b ... Image receiving camera (TV.A, TV.B), 9 ...
Control unit, 91 ... Image processing circuit, 92 ... Robot control circuit, 93
... table control circuit, M La , M Lb ... alignment mark of liquid crystal cell 2, M Ta , M Tb ... alignment mark of TAB3.
Claims (1)
に載置し、該液晶セルの周辺部に形成された複数組の入
力リード線群に対して、ＴＡＢをロボットハンドにチャ
ックし、その出力リード線群を接続するための位置合わ
せにおいて、前記液晶セルの１組の入力リード線群に対
して、前記ロボットハンドにより前記ＴＡＢの出力リー
ド線群を接近させ、該接近した入力リード線群と出力リ
ード線群の、それぞれの両端に設けられた液晶セルの位
置合わせマークＭLa，ＭLb、およびＴＡＢの位置合わせ
マークＭTa，ＭTbに対して、照明光を照射する光源とハ
ーフミラーよりなる投光系を設け、該各位置合わせマー
クを包含する視野を有し、該各位置合わせマークの反射
光を共通に集光して結像する１個の対物レンズと、該対
物レンズにより集光された、それぞれ対応する前記両マ
ーク（ＭTa，ＭLa）の反射光と、前記両マーク（ＭTb，
ＭLb）の反射光とをそれぞれ区別して反射する２つの反
射面を有するプリズムミラー、および該プリズムミラー
の各反射面による反射光をそれぞれ受光し、前記対物レ
ンズにより結像された該両マーク（ＭTa，ＭLa）と、該
両マーク（ＭTb，ＭLb）の各映像を別個に、かつ同時に
受像する２個の受像カメラよりなる受像系とを設けて構
成されたことを特徴とする、液晶セルに対するＴＡＢの
位置合わせ光学系。1. A rectangular liquid crystal cell is placed on an XY moving table, and TAB is chucked to a robot hand with respect to a plurality of sets of input lead wires formed in the peripheral portion of the liquid crystal cell, and its output is output. In the alignment for connecting the lead wire group, the output hand lead wire group of the TAB is brought close to the set of input lead wire group of the liquid crystal cell by the robot hand, output lead wire group, the alignment mark M La of the liquid crystal cell provided on both ends, M Lb, and TAB alignment mark M Ta, against M Tb, from a light source and a half mirror to irradiate the illumination light And an objective lens that has a field of view including each of the alignment marks and that collects the reflected light of each of the alignment marks to form an image in common, and collects light by the objective lens. The reflected light of the two marks (M Ta , M La ) corresponding to each other, and the two marks (M Tb , M Tb ,
(M Lb ), a prism mirror having two reflecting surfaces for separately distinguishing and reflecting the reflected light, and light reflected by the reflecting surfaces of the prism mirror, respectively, and the marks (2) formed by the objective lens ( M Ta , M La ) and an image receiving system composed of two image receiving cameras for individually and simultaneously receiving the images of both marks (M Tb , M Lb ), respectively. , TAB alignment optical system for liquid crystal cell.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04210793A JP3190156B2 (en) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | TAB positioning optical system for liquid crystal cell |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04210793A JP3190156B2 (en) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | TAB positioning optical system for liquid crystal cell |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06230406A true JPH06230406A (en) | 1994-08-19 |
| JP3190156B2 JP3190156B2 (en) | 2001-07-23 |
Family
ID=12626744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04210793A Expired - Fee Related JP3190156B2 (en) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | TAB positioning optical system for liquid crystal cell |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3190156B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011039271A (en) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Hitachi High-Technologies Corp | Mounting apparatus and mounting method of electronic part and mounting alignment method for electronic part |
| JP2012054357A (en) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Panasonic Corp | Component mounting device and component mounting method |
-
1993
- 1993-02-05 JP JP04210793A patent/JP3190156B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2011039271A (en) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Hitachi High-Technologies Corp | Mounting apparatus and mounting method of electronic part and mounting alignment method for electronic part |
| JP2012054357A (en) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Panasonic Corp | Component mounting device and component mounting method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3190156B2 (en) | 2001-07-23 |
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