JPH06229705A - 座標測定機の温度補正装置 - Google Patents
座標測定機の温度補正装置Info
- Publication number
- JPH06229705A JPH06229705A JP1465393A JP1465393A JPH06229705A JP H06229705 A JPH06229705 A JP H06229705A JP 1465393 A JP1465393 A JP 1465393A JP 1465393 A JP1465393 A JP 1465393A JP H06229705 A JPH06229705 A JP H06229705A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- coordinate measuring
- correction
- measuring machine
- temperature correction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 温度補正ユニットを座標測定機に設け、その
長さを測定するだけで温度補正係数を求めることができ
るので、構造の簡素化や安価化を図る。 【構成】 温度補正ユニット２４は円柱体２８、筒体３
０及びベース２６を備えている。円柱体２８は熱膨張率
が実質的に零の部材で形成され、筒体３０は熱膨張変形
可能な部材で形成されている。円柱体２８、筒体０の各
々の端部はベース２６の基準面に平行に設けられてい
る。そして、温度補正ユニット２４は三次元座標測定機
１０の測定範囲内に配置され、かつ、温度補正ユニット
２４の円柱体２８、筒体３０は三次元座標測定機１０の
座標軸にほぼ平行に位置決めされている。また、制御部
３６には基準温度における円柱体２８、筒体３０の基準
長さ及び筒体３０の熱膨張係数が予め記憶されている。
さらに、制御部３６は予め記憶されたデータとプローブ
で測定した円柱体２８、筒体３０の測定長さから測定時
の温度補正係数を計算し、さらに三次元座標測定機１０
やワークの温度補正を行う。
長さを測定するだけで温度補正係数を求めることができ
るので、構造の簡素化や安価化を図る。 【構成】 温度補正ユニット２４は円柱体２８、筒体３
０及びベース２６を備えている。円柱体２８は熱膨張率
が実質的に零の部材で形成され、筒体３０は熱膨張変形
可能な部材で形成されている。円柱体２８、筒体０の各
々の端部はベース２６の基準面に平行に設けられてい
る。そして、温度補正ユニット２４は三次元座標測定機
１０の測定範囲内に配置され、かつ、温度補正ユニット
２４の円柱体２８、筒体３０は三次元座標測定機１０の
座標軸にほぼ平行に位置決めされている。また、制御部
３６には基準温度における円柱体２８、筒体３０の基準
長さ及び筒体３０の熱膨張係数が予め記憶されている。
さらに、制御部３６は予め記憶されたデータとプローブ
で測定した円柱体２８、筒体３０の測定長さから測定時
の温度補正係数を計算し、さらに三次元座標測定機１０
やワークの温度補正を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は座標測定機の温度補正
装置に係り、特に周囲温度の変化に対応して測定精度を
維持するための座標測定機の温度補正装置に関する。
装置に係り、特に周囲温度の変化に対応して測定精度を
維持するための座標測定機の温度補正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】三次元座標測定機の周囲温度が測定精度
を維持する上で無視できない程大きく変化した場合、測
定精度を維持するために温度補正を行う必要がある。そ
して、温度補正は次の手順で行われる。先ず、温度計で
定期的に三次元座標測定機のスケール部材、機構部材な
ど、温度の変化が測定精度に影響すると思われる部位の
温度を測定する。また、測定するワークの温度も測定す
る。次に、測定して求められた測定温度と三次元座標測
定機のスケール部材、機構部材などの熱膨張係数から、
それらの部材の伸縮尺率を計算で求めて更に各部材の変
形率を計算で求め、三次元座標測定機の温度補正を行
う。次いで、三次元座標測定機でワーク形状等を測定す
ると同時にワークの温度補正を行う。これにより、三次
元座標測定機で測定されたワーク形状等の測定精度が維
持される。
を維持する上で無視できない程大きく変化した場合、測
定精度を維持するために温度補正を行う必要がある。そ
して、温度補正は次の手順で行われる。先ず、温度計で
定期的に三次元座標測定機のスケール部材、機構部材な
ど、温度の変化が測定精度に影響すると思われる部位の
温度を測定する。また、測定するワークの温度も測定す
る。次に、測定して求められた測定温度と三次元座標測
定機のスケール部材、機構部材などの熱膨張係数から、
それらの部材の伸縮尺率を計算で求めて更に各部材の変
形率を計算で求め、三次元座標測定機の温度補正を行
う。次いで、三次元座標測定機でワーク形状等を測定す
ると同時にワークの温度補正を行う。これにより、三次
元座標測定機で測定されたワーク形状等の測定精度が維
持される。
【０００３】従って、温度補正を行う上で周囲温度や各
部材の温度を正確に測定することと、複雑な温度補正係
数を算出することが重要であり、そのために、温度計と
測定した温度をコンピュータに送るインターフェース、
そして、複雑な温度補正係数を計算するソストウェアか
ら構成されている温度計システムが使用されている。
部材の温度を正確に測定することと、複雑な温度補正係
数を算出することが重要であり、そのために、温度計と
測定した温度をコンピュータに送るインターフェース、
そして、複雑な温度補正係数を計算するソストウェアか
ら構成されている温度計システムが使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、温度補正
システムは温度計及びコンピュータのインターフェース
等から構成されているので、複雑な構造で、かつ高価で
あるという問題がある。本発明はこのような事情に鑑み
てなされたもので、簡素な構造で、かつ安価な座標測定
機の温度補正装置を提供することを目的とする。
システムは温度計及びコンピュータのインターフェース
等から構成されているので、複雑な構造で、かつ高価で
あるという問題がある。本発明はこのような事情に鑑み
てなされたもので、簡素な構造で、かつ安価な座標測定
機の温度補正装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、座標軸方向に移動自在に設けられたプロー
ブでワークの形状等を測定する座標測定機において、熱
膨張率が実質的に零の部材で形成された第１補正部材及
び熱膨張可能な部材で形成された第２補正部材が互いに
平行にベースの基準面に設けられた温度補正ユニット
と、基準温度における第１、２の補正部材の基準長さ及
び第２の補正部材の熱膨張係数が予め記憶され、該予め
記憶されたデータと前記プローブで測定した第１、２の
補正部材の測定長さから測定時の温度補正係数を計算す
る制御部と、を備え、前記温度補正ユニットを座標測定
機の測定範囲内に配置し、かつ、前記温度補正ユニット
の第１、２の補正部材を座標測定機の座標軸にほぼ平行
に位置決めすることを特徴とする。
成する為に、座標軸方向に移動自在に設けられたプロー
ブでワークの形状等を測定する座標測定機において、熱
膨張率が実質的に零の部材で形成された第１補正部材及
び熱膨張可能な部材で形成された第２補正部材が互いに
平行にベースの基準面に設けられた温度補正ユニット
と、基準温度における第１、２の補正部材の基準長さ及
び第２の補正部材の熱膨張係数が予め記憶され、該予め
記憶されたデータと前記プローブで測定した第１、２の
補正部材の測定長さから測定時の温度補正係数を計算す
る制御部と、を備え、前記温度補正ユニットを座標測定
機の測定範囲内に配置し、かつ、前記温度補正ユニット
の第１、２の補正部材を座標測定機の座標軸にほぼ平行
に位置決めすることを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明によれば、温度補正ユニットは第１、第
２補正部材及びベースを備えている。第１補正部材は熱
膨張率が実質的に零の部材で形成され、第２補正部材は
熱膨張可能な部材で形成されている。第１、第２補正部
材は互いに平行にベースの基準面に設けられている。そ
して、温度補正ユニットは座標測定機の測定範囲内に配
置され、かつ、温度補正ユニットの第１、２の補正部材
は座標測定機の座標軸に平行に位置決めされている。ま
た、制御部には基準温度における第１、２の補正部材の
基準長さ及び第２の補正部材の熱膨張係数が予め記憶さ
れている。さらに、制御部は予め記憶されたデータとプ
ローブで測定した第１、２の補正部材の測定長さから測
定時の温度補正係数を計算する。
２補正部材及びベースを備えている。第１補正部材は熱
膨張率が実質的に零の部材で形成され、第２補正部材は
熱膨張可能な部材で形成されている。第１、第２補正部
材は互いに平行にベースの基準面に設けられている。そ
して、温度補正ユニットは座標測定機の測定範囲内に配
置され、かつ、温度補正ユニットの第１、２の補正部材
は座標測定機の座標軸に平行に位置決めされている。ま
た、制御部には基準温度における第１、２の補正部材の
基準長さ及び第２の補正部材の熱膨張係数が予め記憶さ
れている。さらに、制御部は予め記憶されたデータとプ
ローブで測定した第１、２の補正部材の測定長さから測
定時の温度補正係数を計算する。
【０００７】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る座標測定
機の温度補正装置について詳説する。図１には本発明に
係る座標測定機の温度補正装置が使用されている三次元
座標測定機の斜視図が示されている。同図に示すように
三次元座標測定機１０の本体１２には一対のＹキャリッ
ジ１４がＹ軸方向に移動自在に設けられている。一対の
Ｙキャリッジ１４の上端部にはＸ梁１６が固定されてい
て、Ｘ梁１６にはＸキャリッジ１８がＸ梁１６に沿って
（Ｘ軸方向に）移動自在に設けられている。また、Ｘキ
ャリッジ１８にはＺキャリッジ２０がＺ軸方向に移動自
在に設けられている。Ｚキャリッジ２０の下端部にはプ
ローブ２２が設けられている。従って、プローブ２２は
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動することができるので、
プローブ２２でワークの形状等を測定することができ
る。
機の温度補正装置について詳説する。図１には本発明に
係る座標測定機の温度補正装置が使用されている三次元
座標測定機の斜視図が示されている。同図に示すように
三次元座標測定機１０の本体１２には一対のＹキャリッ
ジ１４がＹ軸方向に移動自在に設けられている。一対の
Ｙキャリッジ１４の上端部にはＸ梁１６が固定されてい
て、Ｘ梁１６にはＸキャリッジ１８がＸ梁１６に沿って
（Ｘ軸方向に）移動自在に設けられている。また、Ｘキ
ャリッジ１８にはＺキャリッジ２０がＺ軸方向に移動自
在に設けられている。Ｚキャリッジ２０の下端部にはプ
ローブ２２が設けられている。従って、プローブ２２は
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動することができるので、
プローブ２２でワークの形状等を測定することができ
る。
【０００８】図２には本発明に係る座標測定機の温度補
正装置２４が示されている。同図に示すようにベース２
６の中央部に円柱体２８の端部が取り付けられている。
円柱体２８は熱膨張率が実質的に零の部材、一例として
ガラスセラミック製の「ＺＥＲＯＤＵＲ」（商品名）、
で形成されている。また、円柱体２８の周囲には同軸上
に筒体３０が配置されていて、筒体３０の端部はベース
２６に取り付けられている。筒体３０は熱膨張係数が知
られているアルミ材等で形成されている。この筒体３０
は円柱体２８を収納しているので、円柱体２８は筒体３
０によって損傷しないように保護される。そして、座標
測定機の温度補正装置２４は座標測定機の測定範囲内に
配置され、さらに、円柱体２８及び筒体３０は座標測定
機の各軸にほぼ平行に位置決めされている。従って、座
標測定機が三次元座標測定機の場合、座標測定機の温度
補正装置２４が３個必要になる。
正装置２４が示されている。同図に示すようにベース２
６の中央部に円柱体２８の端部が取り付けられている。
円柱体２８は熱膨張率が実質的に零の部材、一例として
ガラスセラミック製の「ＺＥＲＯＤＵＲ」（商品名）、
で形成されている。また、円柱体２８の周囲には同軸上
に筒体３０が配置されていて、筒体３０の端部はベース
２６に取り付けられている。筒体３０は熱膨張係数が知
られているアルミ材等で形成されている。この筒体３０
は円柱体２８を収納しているので、円柱体２８は筒体３
０によって損傷しないように保護される。そして、座標
測定機の温度補正装置２４は座標測定機の測定範囲内に
配置され、さらに、円柱体２８及び筒体３０は座標測定
機の各軸にほぼ平行に位置決めされている。従って、座
標測定機が三次元座標測定機の場合、座標測定機の温度
補正装置２４が３個必要になる。
【０００９】前記の如く構成された本発明に係る座標測
定機の温度補正装置を三次元座標測定機で使用する場合
の作用について説明する。３個の温度補正装置２４が三
次元座標測定機１０の測定範囲内に配置され、かつ、各
々の円柱体２８及び筒体３０が三次元座標測定機１０の
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向にほぼ平行に位置決めされてい
る（図１参照）。この場合、３個の温度補正装置２４は
温度が２０°（以下、基準温度と称す。）の状態で円柱
体２８及び筒体３０の長さが予め測定されている。すな
わち、円柱体２８及び筒体３０の各々の長さはベース２
６の表面を基準にして円柱体２８及び筒体３０のそれぞ
れの自由端２８Ａ、３０Ａまでの長さで求められる。そ
して、求められた円柱体２８及び筒体３０の長さＬ1 、
Ｌ2 を基準長さと設定して、三次元座標測定機１０の制
御部３６（図１参照）に記憶する。
定機の温度補正装置を三次元座標測定機で使用する場合
の作用について説明する。３個の温度補正装置２４が三
次元座標測定機１０の測定範囲内に配置され、かつ、各
々の円柱体２８及び筒体３０が三次元座標測定機１０の
Ｘ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向にほぼ平行に位置決めされてい
る（図１参照）。この場合、３個の温度補正装置２４は
温度が２０°（以下、基準温度と称す。）の状態で円柱
体２８及び筒体３０の長さが予め測定されている。すな
わち、円柱体２８及び筒体３０の各々の長さはベース２
６の表面を基準にして円柱体２８及び筒体３０のそれぞ
れの自由端２８Ａ、３０Ａまでの長さで求められる。そ
して、求められた円柱体２８及び筒体３０の長さＬ1 、
Ｌ2 を基準長さと設定して、三次元座標測定機１０の制
御部３６（図１参照）に記憶する。
【００１０】そして、ステップ１００において三次元座
標測定機１０の周囲温度が変化した場合、三次元座標測
定機１０のプローブ２２でＸ軸にほぼ平行に配置されて
いる円柱体２８及び筒体３０の各々の長さＬ1 ′、
Ｌ2 ′を測定する。次に、ステップ１０２において各々
の測定長さＬ1 ′、Ｌ2 ′は三次元座標測定機１０の制
御部３６に入力され、この制御部３６は、円柱体２８の
測定長さＬ1 ′から円柱体２８の基準長さＬ1 を差し引
いた値Ｄ1 と、筒体３０の測定長さＬ2 ′から筒体３０
の基準長さＬ2 を差し引いた値Ｄ2 を算出する。
標測定機１０の周囲温度が変化した場合、三次元座標測
定機１０のプローブ２２でＸ軸にほぼ平行に配置されて
いる円柱体２８及び筒体３０の各々の長さＬ1 ′、
Ｌ2 ′を測定する。次に、ステップ１０２において各々
の測定長さＬ1 ′、Ｌ2 ′は三次元座標測定機１０の制
御部３６に入力され、この制御部３６は、円柱体２８の
測定長さＬ1 ′から円柱体２８の基準長さＬ1 を差し引
いた値Ｄ1 と、筒体３０の測定長さＬ2 ′から筒体３０
の基準長さＬ2 を差し引いた値Ｄ2 を算出する。
【００１１】さらに、ステップ１０４において三次元座
標測定機１０のＸ、Ｙ、Ｚ軸の各軸の温度補正係数
αX 、αY 、αZ を次式（１）、（２）、（３）に基づ
いて求める。 αX ＝Ｄ1X／Ｌ1X … （１） αY ＝Ｄ1Y／Ｌ1Y … （２） αZ ＝Ｄ1Z／Ｌ1Z … （３） 次に、ステップ１０６において制御部３６が次式（４）
に基づいて温度ＴX を次の近似式で計算する。
標測定機１０のＸ、Ｙ、Ｚ軸の各軸の温度補正係数
αX 、αY 、αZ を次式（１）、（２）、（３）に基づ
いて求める。 αX ＝Ｄ1X／Ｌ1X … （１） αY ＝Ｄ1Y／Ｌ1Y … （２） αZ ＝Ｄ1Z／Ｌ1Z … （３） 次に、ステップ１０６において制御部３６が次式（４）
に基づいて温度ＴX を次の近似式で計算する。
【００１２】 但し、ρは筒体３０の熱膨張係数であり、筒体３０の熱
膨張係数ρは三次元座標測定機１０の制御部３６に予め
記憶されている。
膨張係数ρは三次元座標測定機１０の制御部３６に予め
記憶されている。
【００１３】以下同様にＹ軸方向及びＺ軸方向の温度Ｔ
Y 、ＴZ を計算する。そして、ステップ１０８において
次式（５）に基づいて筒体３０の温度Ｔが求められ、求
められた筒体３０の温度Ｔを制御部３６に記憶する。 そして、求められたＸ、Ｙ、Ｚ軸の各軸の温度補正係数
αX 、αY 、αZ は三次元座標測定機１０の制御部３６
に記憶される。制御部３６は記憶された温度補正係数α
X 、αY 、αZ に基づいてワークの測定中に測定値の温
度補正をおこなう。
Y 、ＴZ を計算する。そして、ステップ１０８において
次式（５）に基づいて筒体３０の温度Ｔが求められ、求
められた筒体３０の温度Ｔを制御部３６に記憶する。 そして、求められたＸ、Ｙ、Ｚ軸の各軸の温度補正係数
αX 、αY 、αZ は三次元座標測定機１０の制御部３６
に記憶される。制御部３６は記憶された温度補正係数α
X 、αY 、αZ に基づいてワークの測定中に測定値の温
度補正をおこなう。
【００１４】また、ステップ１１０においてワークの熱
膨張係数が三次元座標測定機１０の制御部３６に予め記
憶されているので、制御部３６は筒体３０の温度Ｔをワ
ークの温度と設定してワークの温度補正係数を求めるこ
とができる。従って、ワークの測定中に求められた温度
補正係数に基づいて測定値の温度補正を行う。前記ステ
ップ１００乃至１１０の工程を制御部３６内のプログラ
ムに基づいて自動的に行う。
膨張係数が三次元座標測定機１０の制御部３６に予め記
憶されているので、制御部３６は筒体３０の温度Ｔをワ
ークの温度と設定してワークの温度補正係数を求めるこ
とができる。従って、ワークの測定中に求められた温度
補正係数に基づいて測定値の温度補正を行う。前記ステ
ップ１００乃至１１０の工程を制御部３６内のプログラ
ムに基づいて自動的に行う。
【００１５】また、前記実施例では基準長さと設定した
円柱体２８及び筒体３０の長さＬ1、Ｌ2 を三次元座標
測定機１０の制御部３６に記憶する場合のみについて説
明したが、これに限らず、基準長さＬ1 、Ｌ2 を制御部
３６に記憶すると共に円柱体２８等に刻印しておいても
よい。さらに、前記実施例では三次元座標測定機１０の
周囲温度が変化した場合に温度補正する場合について説
明したが、これに限らず、周囲温度の変化にかかわらず
定期的な校正サイクルにおいて温度補正してもよい。
円柱体２８及び筒体３０の長さＬ1、Ｌ2 を三次元座標
測定機１０の制御部３６に記憶する場合のみについて説
明したが、これに限らず、基準長さＬ1 、Ｌ2 を制御部
３６に記憶すると共に円柱体２８等に刻印しておいても
よい。さらに、前記実施例では三次元座標測定機１０の
周囲温度が変化した場合に温度補正する場合について説
明したが、これに限らず、周囲温度の変化にかかわらず
定期的な校正サイクルにおいて温度補正してもよい。
【００１６】尚、前記実施例では熱膨張率が実質的に零
の部材で円柱体２８を形成して、熱膨張係数が知られて
いるアルミ材等で筒体３０を形成した。そして、円柱体
２８を筒体３０内に収納して、円柱体２８の損傷等を防
止するようにしたが、これに限らず、筒体３０を円柱体
等に形成して円柱体２８と平行にベース２６に取り付け
てもよい。
の部材で円柱体２８を形成して、熱膨張係数が知られて
いるアルミ材等で筒体３０を形成した。そして、円柱体
２８を筒体３０内に収納して、円柱体２８の損傷等を防
止するようにしたが、これに限らず、筒体３０を円柱体
等に形成して円柱体２８と平行にベース２６に取り付け
てもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る座標測
定機の温度補正装置によれば、温度補正ユニットは第
１、第２補正部材及びベースを備えている。第１補正部
材は熱膨張率が実質的に零の部材で形成され、第２補正
部材は熱膨張可能な部材で形成されている。第１、第２
補正部材の各々の端部は互いに平行にベースの基準面に
設けられている。そして、温度補正ユニットは座標測定
機の測定範囲内に配置され、かつ、温度補正ユニットの
第１、２の補正部材は座標測定機の座標軸にほぼ平行に
位置決めされている。また、制御部には基準温度におけ
る第１、２の補正部材の基準長さ及び第２の補正部材の
熱膨張係数が予め記憶されている。さらに、制御部は予
め記憶されたデータとプローブで測定した第１、２の補
正部材の測定長さから測定時の三次元座標測定機とワー
クの温度補正係数を求め、さらに三次元座標測定機やワ
ークの温度補正を行う。
定機の温度補正装置によれば、温度補正ユニットは第
１、第２補正部材及びベースを備えている。第１補正部
材は熱膨張率が実質的に零の部材で形成され、第２補正
部材は熱膨張可能な部材で形成されている。第１、第２
補正部材の各々の端部は互いに平行にベースの基準面に
設けられている。そして、温度補正ユニットは座標測定
機の測定範囲内に配置され、かつ、温度補正ユニットの
第１、２の補正部材は座標測定機の座標軸にほぼ平行に
位置決めされている。また、制御部には基準温度におけ
る第１、２の補正部材の基準長さ及び第２の補正部材の
熱膨張係数が予め記憶されている。さらに、制御部は予
め記憶されたデータとプローブで測定した第１、２の補
正部材の測定長さから測定時の三次元座標測定機とワー
クの温度補正係数を求め、さらに三次元座標測定機やワ
ークの温度補正を行う。
【００１８】従って、温度補正ユニットを座標測定機に
設け、その長さを測定するだけで温度補正係数を求める
ことができるので、構造の簡素化や安価化を図ることが
できる。また、温度の影響を受けて複雑に変化し解析的
に求めることが困難な温度補正係数を直接求めることが
できる。
設け、その長さを測定するだけで温度補正係数を求める
ことができるので、構造の簡素化や安価化を図ることが
できる。また、温度の影響を受けて複雑に変化し解析的
に求めることが困難な温度補正係数を直接求めることが
できる。
【図１】本発明に係る本発明に係る座標測定機の温度補
正装置が使用された三次元座標測定機の斜視図
正装置が使用された三次元座標測定機の斜視図
【図２】本発明に係る座標測定機の温度補正装置の要部
拡大図
拡大図
【図３】本発明に係る座標測定機の温度補正装置の作動
を説明するフローチャート
を説明するフローチャート
１０…三次元座標測定機 ２２…プローブ ２４…温度補正ユニット ２６…ベース ２８…円柱体 ３０…筒体 ３６…制御部
Claims (2)
- 【請求項１】 座標軸方向に移動自在に設けられたプロ
ーブでワークの形状等を測定する座標測定機において、 熱膨張率が実質的に零の部材で形成された第１補正部材
及び熱膨張可能な部材で形成された第２補正部材が互い
に平行にベースの基準面に設けられた温度補正ユニット
と、 基準温度における第１、２の補正部材の基準長さ及び第
２の補正部材の熱膨張係数が予め記憶され、該予め記憶
されたデータと前記プローブで測定した第１、２の補正
部材の測定長さから測定時の温度補正係数を計算する制
御部と、 を備え、前記温度補正ユニットを座標測定機の測定範囲
内に配置し、かつ、前記温度補正ユニットの第１、２の
補正部材を座標測定機の座標軸にほぼ平行に位置決めす
ることを特徴とする座標測定機の温度補正装置。 - 【請求項２】 前記第１、２の補正部材はそれぞれ円柱
体及び筒体に形成され、該円柱体は筒体内に収納された
ことを特徴とする請求項１の座標測定機の温度補正装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1465393A JP2853500B2 (ja) | 1993-02-01 | 1993-02-01 | 座標測定機の温度補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1465393A JP2853500B2 (ja) | 1993-02-01 | 1993-02-01 | 座標測定機の温度補正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06229705A true JPH06229705A (ja) | 1994-08-19 |
| JP2853500B2 JP2853500B2 (ja) | 1999-02-03 |
Family
ID=11867172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1465393A Expired - Fee Related JP2853500B2 (ja) | 1993-02-01 | 1993-02-01 | 座標測定機の温度補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2853500B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002328018A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-11-15 | Mitsutoyo Corp | 測定機の校正方法及び装置 |
| WO2014181134A1 (en) * | 2013-05-10 | 2014-11-13 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
| JP2017037068A (ja) * | 2015-08-10 | 2017-02-16 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 温度補正方法、温度補正プログラム、温度補正装置、及び座標測定機 |
| WO2017064802A1 (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 株式会社島津製作所 | 測定装置の温度変位による測定誤差補正方法及び該方法を用いた質量分析装置 |
| CN106796095A (zh) * | 2014-09-02 | 2017-05-31 | 瑞尼斯豪公司 | 包括使用确知为实质上不偏离理想形式的参考形状来产生测量校正值的用于检查工件的坐标测量方法和设备 |
| US9739606B2 (en) | 2011-08-09 | 2017-08-22 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5816475B2 (ja) | 2010-08-02 | 2015-11-18 | 株式会社ミツトヨ | 産業機械 |
| JP2018155533A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置 |
-
1993
- 1993-02-01 JP JP1465393A patent/JP2853500B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002328018A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-11-15 | Mitsutoyo Corp | 測定機の校正方法及び装置 |
| US9739606B2 (en) | 2011-08-09 | 2017-08-22 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
| WO2014181134A1 (en) * | 2013-05-10 | 2014-11-13 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
| US9989347B2 (en) | 2013-05-10 | 2018-06-05 | Renishaw Plc | Method and apparatus for inspecting workpieces |
| CN106796095A (zh) * | 2014-09-02 | 2017-05-31 | 瑞尼斯豪公司 | 包括使用确知为实质上不偏离理想形式的参考形状来产生测量校正值的用于检查工件的坐标测量方法和设备 |
| JP2017037068A (ja) * | 2015-08-10 | 2017-02-16 | 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター | 温度補正方法、温度補正プログラム、温度補正装置、及び座標測定機 |
| WO2017064802A1 (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | 株式会社島津製作所 | 測定装置の温度変位による測定誤差補正方法及び該方法を用いた質量分析装置 |
| JPWO2017064802A1 (ja) * | 2015-10-16 | 2018-05-24 | 株式会社島津製作所 | 測定装置の温度変位による測定誤差補正方法及び該方法を用いた質量分析装置 |
| CN108139358A (zh) * | 2015-10-16 | 2018-06-08 | 株式会社岛津制作所 | 由测定装置的温度位移导致的测定误差的校正方法以及利用了该方法的质谱分析装置 |
| US10438781B2 (en) | 2015-10-16 | 2019-10-08 | Shimadzu Corporation | Measurement error correction method based on temperature-dependent displacement in measurement device and mass spectrometer using the same method |
| CN108139358B (zh) * | 2015-10-16 | 2020-10-16 | 株式会社岛津制作所 | 由测定装置的温度位移导致的测定误差的校正方法以及利用了该方法的质谱分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2853500B2 (ja) | 1999-02-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2559611C2 (ru) | Устройство для исправления ошибок для станков с чпу | |
| US20030019119A1 (en) | Position error evaluation method of moving device and method of improving movement accuracy based on evaluation results thereof | |
| JP5570722B2 (ja) | 計量装置の較正 | |
| US8676527B2 (en) | Industrial machine | |
| KR20180074678A (ko) | 헥사포드의 정확도 오차를 보상하기 위한 방법 및 시스템 | |
| Slamani et al. | Modeling and assessment of the backlash error of an industrial robot | |
| CN108351203A (zh) | 利用基准模块对坐标测量机进行的误差补偿 | |
| TW201721084A (zh) | 應用於量測之雙球桿系統及其誤差補償方法 | |
| JP2515594B2 (ja) | ロボットの力制御方法及び装置 | |
| JP3122215B2 (ja) | 細長い体部の線膨脹量を測定する方法と装置 | |
| JP2853500B2 (ja) | 座標測定機の温度補正装置 | |
| JPH09128549A (ja) | ロボット装置の相対位置姿勢検出方法 | |
| US20030163928A1 (en) | Method for adjusting assembly jig | |
| JP2007047014A (ja) | 三次元測定装置 | |
| JPH03156307A (ja) | 修正表面検証用可動装置 | |
| JP2853501B2 (ja) | 座標測定機の温度補正装置 | |
| EP4202352A1 (en) | Coordinate measuring system | |
| JPH05261686A (ja) | ロボットアーム長さの温度補正装置 | |
| Vrhovec et al. | Improvement of coordinate measuring arm accuracy | |
| JPH11190617A (ja) | 三次元測定機 | |
| CN114034244A (zh) | 一种基于Makima算法获得CMM测量范围内任意点几何误差的方法 | |
| KR101823052B1 (ko) | 자동 선반 가공 후 자동 보정을 위한 가공물 측정 방법 | |
| JPH04178509A (ja) | 座標測定機の測定方法 | |
| JP2021092432A (ja) | 三次元測定機 | |
| JPH11281306A (ja) | 座標測定機の校正値検出方法及びこの校正値を用いた形状データ校正方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |