JPH03156307A - 修正表面検証用可動装置 - Google Patents
修正表面検証用可動装置Info
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- JPH03156307A JPH03156307A JP2203745A JP20374590A JPH03156307A JP H03156307 A JPH03156307 A JP H03156307A JP 2203745 A JP2203745 A JP 2203745A JP 20374590 A JP20374590 A JP 20374590A JP H03156307 A JPH03156307 A JP H03156307A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/306—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces for measuring evenness
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は修正表面検証用可動装置、詳しくは移動式の修
正表面検証又は表面修正処理用装置に関する。
正表面検証又は表面修正処理用装置に関する。
(技術背景)
従来の表面検証技術は基本的に基準点として予め決めた
表面を用いて比較表面上のものとの相違を見いだす触覚
装置による、比較技術を基礎とするものである。
表面を用いて比較表面上のものとの相違を見いだす触覚
装置による、比較技術を基礎とするものである。
上記触覚は母型として役立つ物品表面上を摺動するロフ
トから構成される複写機の!構成部分である。
トから構成される複写機の!構成部分である。
この触覚装置は特にある部分、概して小型物品の再生に
適用し得る。該触覚装置は大型物品の表面検証に適用し
難い。
適用し得る。該触覚装置は大型物品の表面検証に適用し
難い。
(解決しようとする課題)
本発明の目的は、市販の機械装置に組み込み可能とされ
る、前述したような修正表面検証又は表面修正処理用可
動装置を提供することにある。
る、前述したような修正表面検証又は表面修正処理用可
動装置を提供することにある。
上記装置は出来る限り高精度をもって直線、平坦及びン
リンダー面、変則表面又はその他の表面の検証又は分析
に適用し得るものである。
リンダー面、変則表面又はその他の表面の検証又は分析
に適用し得るものである。
(発明の要旨)
本発明の可動装置は修正表面の検証又は表面修正処理に
おける問題点を公差子〇、01mmをもって解決しよう
とするものである。
おける問題点を公差子〇、01mmをもって解決しよう
とするものである。
ガイド、支持部材及びその他の部材の変形による誤差修
正系は規準化レーザーによる変位及び心合わせ手段並び
に2軸センサ一スクリーン手段で構成される。
正系は規準化レーザーによる変位及び心合わせ手段並び
に2軸センサ一スクリーン手段で構成される。
上記装置はつぎのような部分から構成される。
キャリジを心合わせしかつ変位せしめるように支持する
、2つの垂直支持部材 自立キャリジ 光学位置読み取り式バーガイド レーザー近接読み取り変換器 上記読み取り器が取り付けられる伸長アーム規準化レー
ザー発信器及び2軸座標整合中継スクリーン 一当該装置の集中制御及び取得データ処理用の中央電子
制御器 データ表示用のアルファベット及び数字スクリーン データプリンター 本発明を、l実施例を示す添付図面とともに説明する。
、2つの垂直支持部材 自立キャリジ 光学位置読み取り式バーガイド レーザー近接読み取り変換器 上記読み取り器が取り付けられる伸長アーム規準化レー
ザー発信器及び2軸座標整合中継スクリーン 一当該装置の集中制御及び取得データ処理用の中央電子
制御器 データ表示用のアルファベット及び数字スクリーン データプリンター 本発明を、l実施例を示す添付図面とともに説明する。
(実施例)
図面において、2つの垂直支持部材2及び3に主ガイド
lが装着される。該主ガイドlの端から端までキャリジ
4が移動可能とされる。
lが装着される。該主ガイドlの端から端までキャリジ
4が移動可能とされる。
キャリジ4は自立型のものであり、その変位及び位置決
めは主ガイドlに取り付けられた光学ガイド14による
読み取りにしたがって中央電子制御器IOにより制御さ
れる。
めは主ガイドlに取り付けられた光学ガイド14による
読み取りにしたがって中央電子制御器IOにより制御さ
れる。
キャリジ4に伸長アーム6が設けられ、該アーム6の端
部にレーザー8により発進及び復帰させられる近接ゲー
ジ7が設けられる。この伸長アーム6は測定限界調整用
の折り畳みストップを有する。
部にレーザー8により発進及び復帰させられる近接ゲー
ジ7が設けられる。この伸長アーム6は測定限界調整用
の折り畳みストップを有する。
一方の垂直支持部材、例えば2とキャリジ4に、それぞ
れ規準化レーザー発信器8と2軸に関して進行位置決め
する多重センサースクリーン9が設けられる。
れ規準化レーザー発信器8と2軸に関して進行位置決め
する多重センサースクリーン9が設けられる。
各読み取りによって得られたデータに基づき中央電子制
御器IOは表面の分析結果を出力する。
御器IOは表面の分析結果を出力する。
測定を行うにあたり、補償距離決定方法が使用される。
この方法を実行するために、市販のレーザー装置により
制御されるマイクロメーター距離ゲージ及び中央電子制
御器により制御される光学偏差アナライザーが使用され
る。すべての点の共通基準面に対する距離は分析しよう
とする表面に存在する欠陥部とか変形部を精密に測定す
ることにより決定される。
制御されるマイクロメーター距離ゲージ及び中央電子制
御器により制御される光学偏差アナライザーが使用され
る。すべての点の共通基準面に対する距離は分析しよう
とする表面に存在する欠陥部とか変形部を精密に測定す
ることにより決定される。
近接ゲージ又は光学読み取り変換器7は中央電子制御器
IOと分析しようとする表面間を絶縁することにより高
精度なものとされる。
IOと分析しようとする表面間を絶縁することにより高
精度なものとされる。
上記偏差アナライザーは基準とされる当該アナライザー
の一端部に関し主ガイドlにより誘導され得る誤差を出
力する。
の一端部に関し主ガイドlにより誘導され得る誤差を出
力する。
このようにして、当該測定装置を支持するアッセンブリ
ーが測定に従事せしめられたとき、重力及び膨張等々に
よる避は難い変位の影響を除去する。
ーが測定に従事せしめられたとき、重力及び膨張等々に
よる避は難い変位の影響を除去する。
2つの機器により得られた測定データは中央電子制御器
に加えられ、該中央電子制御器において得られたデータ
の大きさが評価される毎に適当な補償が行われる。内機
器は電気信号の形式で結果を出力し、従ってまず第1に
これらの信号と補償をなされるべき信号間の適当な標準
変換を行わねばならない。該標準変換を行うため、得ら
れた距離に対応する修正が評価しようとする全ての点に
対して測定される。
に加えられ、該中央電子制御器において得られたデータ
の大きさが評価される毎に適当な補償が行われる。内機
器は電気信号の形式で結果を出力し、従ってまず第1に
これらの信号と補償をなされるべき信号間の適当な標準
変換を行わねばならない。該標準変換を行うため、得ら
れた距離に対応する修正が評価しようとする全ての点に
対して測定される。
この−群の点は市販の距離ゲージによる解析によって決
定されるとともに該中央電子制御器は迅速に補償を行う
ことができる。
定されるとともに該中央電子制御器は迅速に補償を行う
ことができる。
上記装置は得られた情報を操作者に容易に知らせる補助
機器を含ませてもよいが、必ずしもこのようにする必要
はない。該補助機器による、当該装置による予備検証が
自動的に修正し得ないようなある型式の誤差、即ち測定
を続行すると後に無効とされるような誤差を生じるかど
うかが知らされる。
機器を含ませてもよいが、必ずしもこのようにする必要
はない。該補助機器による、当該装置による予備検証が
自動的に修正し得ないようなある型式の誤差、即ち測定
を続行すると後に無効とされるような誤差を生じるかど
うかが知らされる。
同様にして、分析結果を詳細に表示するために又は制御
表面に観察された欠陥に関して収集された情報を、その
情報修正を担当する他の機器に提供するため、この中央
電子制御器は各点毎に得られた情報をメモリーに蓄積し
、データ処理又はグラフィックデイスプレーに伝送され
る。
表面に観察された欠陥に関して収集された情報を、その
情報修正を担当する他の機器に提供するため、この中央
電子制御器は各点毎に得られた情報をメモリーに蓄積し
、データ処理又はグラフィックデイスプレーに伝送され
る。
第4図及び第5図に示されるように、第4図のブロック
図はディジタルスクリーン5、数値制御器11.光学ガ
イド14及びプリンターとの関係を示すものであり、第
5図のブロック図はディジタルスクリーン5、近接ゲー
ジ(光学読み取り変換器)7、プリンター13及び中央
電子制御器lOの関係を示す。
図はディジタルスクリーン5、数値制御器11.光学ガ
イド14及びプリンターとの関係を示すものであり、第
5図のブロック図はディジタルスクリーン5、近接ゲー
ジ(光学読み取り変換器)7、プリンター13及び中央
電子制御器lOの関係を示す。
上述した装置は表面の検証を行い、グイとか穿入機の較
正を行う。
正を行う。
土泥装置は測定し係数し、高精度をもって試料を制御す
ることができる。
ることができる。
上記装置の動作は次のようである:
検証しようとする表面上に主ガイドを設定する。
一試料に沿ってキャリジを変位させる。
−運転にあたり中央電子制御器により制御しつつ一定の
調整速度をもって検証しようとする表面の数cm近くに
キャリジを摺動させる。
調整速度をもって検証しようとする表面の数cm近くに
キャリジを摺動させる。
同時に規準化レーザー発信器及び2軸発信スクリーンが
ガイドの起こり得る偏差分を反射しかつそのデータを中
央電子制御器に伝送する。
ガイドの起こり得る偏差分を反射しかつそのデータを中
央電子制御器に伝送する。
−中央電子制御器は近接ゲージからのデータを読み取る
と共に座標系から得られた補償値で修正を行った後その
結果がブロック表示される。
と共に座標系から得られた補償値で修正を行った後その
結果がブロック表示される。
上記装置の現在市販されている検証測定装置との操作の
相違点は本質的に次の動作原理に基因するニ ーガイドの偏差が光学的に検証されかつ機械的修正に代
えて電子修正が行われること −あらゆる形式の機械又は製造装置に組み込み可能であ
ること 一携帯できること
相違点は本質的に次の動作原理に基因するニ ーガイドの偏差が光学的に検証されかつ機械的修正に代
えて電子修正が行われること −あらゆる形式の機械又は製造装置に組み込み可能であ
ること 一携帯できること
第1図は、シリンダー表面を検証するように装着され、
電子制御器を省略して示す、本発明の装置の部分平面図
、 第2図は電子制御器と一緒に示す、第1図の装置の側面
図、 第3図は上記装置の拡大正面図、 第4図は上記装置のブロック図、及び 第5図は上記電子制御器のブロック図である。 l・・・主ガイド、 2.3・・・垂直支持部材、4・
・・キャリジ、 5・・・ディジタルスクリーン、6
・・・伸長ロッド、 7・・・近接ゲージ(光学読取り変換器)、8・・・レ
ーザー発信器、 9・・・多重センサースクリーン、 10・・・中央電子制御器、11・・・数値制御器。 IG−1
電子制御器を省略して示す、本発明の装置の部分平面図
、 第2図は電子制御器と一緒に示す、第1図の装置の側面
図、 第3図は上記装置の拡大正面図、 第4図は上記装置のブロック図、及び 第5図は上記電子制御器のブロック図である。 l・・・主ガイド、 2.3・・・垂直支持部材、4・
・・キャリジ、 5・・・ディジタルスクリーン、6
・・・伸長ロッド、 7・・・近接ゲージ(光学読取り変換器)、8・・・レ
ーザー発信器、 9・・・多重センサースクリーン、 10・・・中央電子制御器、11・・・数値制御器。 IG−1
Claims (1)
- (1)修正表面検証又は表面修正処理用の可動装置にお
いて、 2つの垂直支持部材(2)及び(3)で支持され、自立
キャリジ(4)の心合わせ及び変位させるように設けら
れたガイド(1)、 上記ガイド(1)上を案内される伸長アーム(6)に装
着され、レーザー(8)により送り及び戻りが指令され
る近接ゲージ又は光学読取り変換器(7)、及び 上記伸長アーム(6)に設けられた測定限界調整用折り
畳みストップを有し、 上記一方の垂直支持部材(2)及びキャリジ(4)にそ
れぞれ規準化レーザー発信器(8)及び多重センサース
クリーン(9)を配置して2軸による進行位置決めを行
い、このようにして光学読み取りされたデータにしたが
って中央電子制御器(10)が集中制御を行うとともに
上記取得データを処理して検証表面の分析結果を出力す
ることを特徴とする、可動装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
ES8902692A ES2014184A6 (es) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | Equipo movil para la verificacion de superficies rectificadas o en proceso de rectificacion. |
ES8902692 | 1989-07-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03156307A true JPH03156307A (ja) | 1991-07-04 |
Family
ID=8263356
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2203745A Pending JPH03156307A (ja) | 1989-07-28 | 1990-07-30 | 修正表面検証用可動装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5107132A (ja) |
EP (1) | EP0410542A3 (ja) |
JP (1) | JPH03156307A (ja) |
CA (1) | CA2022089A1 (ja) |
ES (1) | ES2014184A6 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE59006447D1 (de) * | 1990-11-19 | 1994-08-18 | Kugelfischer G Schaefer & Co | Dickenmessgerät. |
US5617645A (en) * | 1995-05-02 | 1997-04-08 | William R. W. Wick | Non-contact precision measurement system |
US6580519B1 (en) | 1999-03-16 | 2003-06-17 | William R. W. Wick | Method and apparatus for determining the alignment of rotational bodies |
JP4322380B2 (ja) * | 1999-03-23 | 2009-08-26 | 株式会社山文電気 | シート厚み又はうねり計測方法及び装置 |
WO2003004968A1 (de) * | 2001-07-06 | 2003-01-16 | Inventio Ag | Verfahren und vorrichtung zum bestimmen der geradheit von führungsschienen |
CN103791849B (zh) * | 2014-01-27 | 2017-02-15 | 武汉长澳大地工程有限公司 | 激光智能应答式隧道收敛监测系统及测量方法 |
CN104236484A (zh) * | 2014-09-12 | 2014-12-24 | 上海市政建设有限公司 | 一种实时监测顶管机机头偏位的装置及方法 |
WO2018188060A1 (zh) * | 2017-04-14 | 2018-10-18 | 深圳市方鹏科技有限公司 | 一种智能修正激光测距的检测仪 |
CN108562249A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-09-21 | 洛阳理工学院 | 一种平面度检测装置中的探头 |
CN113790690B (zh) * | 2021-11-17 | 2024-04-02 | 陕西省计量科学研究院 | 一种校准用线位移传感器装夹姿态调整系统及调整方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6130814B2 (ja) * | 1981-08-25 | 1986-07-16 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
JPS6219703A (ja) * | 1985-07-17 | 1987-01-28 | Hitachi Ltd | 非接触形状測定方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3749501A (en) * | 1971-10-01 | 1973-07-31 | Bendix Corp | Measuring machine |
US4155173A (en) * | 1977-05-13 | 1979-05-22 | Sprandel Hans W | Mounting for coordinate measuring machine arms and probes |
US4261107A (en) * | 1980-03-06 | 1981-04-14 | Caterpillar Tractor Co. | Coordinate locating device |
US4589746A (en) * | 1982-05-07 | 1986-05-20 | The Gerber Scientific Instrument Company | Dual-axis, single mirror interferometer measuring system |
US4526471A (en) * | 1982-06-17 | 1985-07-02 | Bykov Anatoly P | Method for sensing spatial coordinate of article point and apparatus therefor |
US4621926A (en) * | 1985-04-30 | 1986-11-11 | Lasercon Corporation | Interferometer system for controlling non-rectilinear movement of an object |
US4610089A (en) * | 1985-12-05 | 1986-09-09 | The Warner & Swasey Company | Bridge type coordinate measuring machine |
US4743770A (en) * | 1986-09-22 | 1988-05-10 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Profile-measuring light probe using a change in reflection factor in the proximity of a critical angle of light |
DE3643723A1 (de) * | 1986-12-20 | 1988-07-07 | Leitz Ernst Gmbh | Verfahren und anordnung zur optischen messung des rollwinkels eines bewegten maschinenteils |
JPH0746050B2 (ja) * | 1987-09-17 | 1995-05-17 | 株式会社日立製作所 | 三次元計測装置 |
US4884889A (en) * | 1987-11-19 | 1989-12-05 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Calibration system for coordinate measuring machine |
US4850712A (en) * | 1988-02-01 | 1989-07-25 | Caterpillar Inc. | Method and system for determining surface profile information |
US4928396A (en) * | 1989-03-07 | 1990-05-29 | The Warner & Swasey Company | Coordinate measuring machine with improved carriage drive system |
-
1989
- 1989-07-28 ES ES8902692A patent/ES2014184A6/es not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-07-25 EP EP19900202038 patent/EP0410542A3/en not_active Withdrawn
- 1990-07-25 US US07/557,998 patent/US5107132A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-07-27 CA CA002022089A patent/CA2022089A1/en not_active Abandoned
- 1990-07-30 JP JP2203745A patent/JPH03156307A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6130814B2 (ja) * | 1981-08-25 | 1986-07-16 | Tokyo Shibaura Electric Co | |
JPS6219703A (ja) * | 1985-07-17 | 1987-01-28 | Hitachi Ltd | 非接触形状測定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0410542A3 (en) | 1991-05-29 |
US5107132A (en) | 1992-04-21 |
CA2022089A1 (en) | 1991-01-29 |
ES2014184A6 (es) | 1990-06-16 |
EP0410542A2 (en) | 1991-01-30 |
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