JPH06224498A - 固体レーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 出力ミラーの位置調整を他の光学部品から独
立して行ない、且つ簡単な機構で行なえるようにする。 【構成】 出力ミラー２９を有するハウジング３０が装
置本体のハウジングに着脱自在に設けられる。ハウジン
グ３０の中央部３０ｆにはガイド３２がＸ方向にスライ
ド可能に収納され、ガイド３２には、出力ミラー２９を
接着固定した出力ミラー用ホルダー３１がＹ方向にスラ
イド可能に収納される。出力ミラー２９をＹ軸方向に調
整するときは、対向した２本のネジ３３ａ及び３３ｂで
調整する。ホルダー３１は、ガイド３２に沿ってスライ
ドし、ネジ３３ａ及び３３ｂで位置決めされる。出力ミ
ラー２９をＸ軸方向に調整するときは、対向した２本の
ネジ３３ｃ及び３３ｄで調整する。ガイド３２は、中央
部３０ｆ内でＸ軸方向にスライドし、ネジ３３ｃ及び３
３ｄで位置決めされる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は励起光によって固体レー
ザ媒体を励起しレーザ光を出力する固体レーザ装置に関
し、特に光学部品の位置調整を簡単に行なえる固体レー
ザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体レーザ装置からの励起光によって
固体レーザ媒体を励起し、レーザ光を出力する固体レー
ザ装置としては、例えば特開昭６３−２７０８０号公報
に開示されたものが知られている。この固体レーザ装置
は、レーザ発振器を構成するレーザ媒体、非線形光学素
子、出力ミラー等の光学部品を各ホルダーに固定し、そ
の各ホルダーをハウジング内に嵌合挿入して配列させた
ものであり、組立時に光学部品が所定の許容差の範囲内
で配列されるようになっている。その配列の中で、各光
学部品を収納するホルダーは互いに結合されて一体に構
成されている。

【０００３】このような生産方法は、嵌合の機械的精度
だけで行なえるので、固体レーザ装置の量産に適してい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来例
の固体レーザ装置の構成においては、各光学部品は機械
的精度だけで組み立てられているため、光軸の位置調整
は必ずしも十分であるとは言えず、光学部品を固体レー
ザ装置に組み込んだ後でも、その位置調整が必要となる
場合がある。例えば、レーザ光の出射端側に位置する出
力ミラーでは、出力ミラーに至るまでのレーザ媒体等の
各光学部品との僅かな光軸のズレが影響してくるため、
出力ミラーの位置調整がどうしても必要になる。しか
し、上記のような構成では、他の光学部品から独立して
出力ミラーの位置調整を行なうのは困難であり、効率良
くレーザ光を得ることが困難であった。

【０００５】この場合、出力ミラーの位置調整を、従来
から行なわれている光学ミラーのあおり機構を用いて行
なうこともできる。しかし、上記構成における出力ミラ
ーの位置調整は、僅かな機械的精度の不十分さを補う程
度で十分であり、出力ミラーを、光軸と交差する平面内
で移動させる程度の僅かな量の位置調整で十分である。
したがって、複雑な構成となるあおり機構を用いるまで
もない。

【０００６】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、出力ミラーの位置調整を他の光学部品から独
立して行ない、且つ簡単な機構で行なうことができる固
体レーザ装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、固体レーザ媒体を保持部材に嵌合挿入し
て保持すると共に、前記保持部材に共振器用ミラーを有
する共振器用ミラー保持部材を着脱自在に設けた固体レ
ーザ装置において、前記共振器用ミラー保持部材は、前
記共振器用ミラーを支持する支持部材と、該支持部材を
移動自在に保持する第１の案内部材と、該第１の案内部
材を第１の案内部材の移動方向とは異方向に移動自在に
保持する第２の案内部材とを備え、前記第１の案内部材
と前記第２の案内部材とは、レーザ光の光軸に対して交
差する同一平面内を移動するようにしたことを特徴とす
る固体レーザ装置が、提供される。

【０００８】

【作用】共振器用ミラーを有する共振器用ミラー保持部
材が保持部材に着脱自在に設けられる。この共振器用ミ
ラー保持部材において、共振器用ミラーを支持する支持
部材は第１の案内部材によって移動自在に保持され、そ
の第１の案内部材は、第２の案内部材によって第１の案
内部材の移動方向とは異方向に移動自在に保持される。
この第１及び第２の案内部材の各移動方向は、レーザ光
の光軸に対して交差する同一平面内に設定される。

【０００９】このため、共振器用ミラーは第１及び第２
の案内部材の移動に応じて、レーザ光の光軸に対して交
差する同一平面内で移動することができる。この第１及
び第２の案内部材の移動は、保持部材の中で行なわれ
る。したがって、共振器用ミラーを固体レーザ装置に組
み込んだ後でも、その位置調整を他の光学部品から切り
離して独立に高精度で行なうことができる。

【００１０】例えば保持部材に嵌合挿入されている固体
レーザ媒体がその嵌合の機械的精度内で僅かに共振器用
ミラーの光軸とズレた場合でも、共振器用ミラーを、光
軸に対して交差する同一平面内において移動させること
で、十分にそのズレ量に対応して調整することができ
る。

【００１１】この位置調整は、同一平面内での移動によ
って行なわれるので、移動機構も簡単なものとなる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の固体レーザ装置の全体構成を示
す図である。図において、固体レーザ装置１は、励起光
を出力する励起光出力部１０、励起光を受けてレーザ光
を発振し出力するレーザ光発振部２０及びヒートシンク
部３から構成される。ヒートシンク部３の取り付け面３
ａにはボルト４ａ、４ｂ及び図示されていない他のボル
トが設けられ、そのボルト４ａ、４ｂ等によって励起光
出力部１０の半導体レーザ装置１７及び保持管１１、並
びにハウジング２が一体に固定されている。なお、その
ボルト締め部分で保持管１１とハウジング２との間には
断熱部材５が設けられている。ヒートシンク部３は、図
では励起光出力部１０の一端側にのみ設けてあるが、実
際はさらにハウジング２全体を被うように形成され、ヒ
ートシンク部３の外周に設けた多数の放熱フィン３ｂに
よって装置内部の熱を放熱している。

【００１３】励起光出力部１０は、半導体レーザ装置１
７、コリメートレンズ１３及び集光レンズ１４から成
る。半導体レーザ装置１７は、ガリウム・ヒ素レーザで
あり、波長８０８ｎｍのレーザ光を励起光として出力す
る。コリメートレンズ１３及び集光レンズ１４は、レン
ズ保持管１２に嵌合挿入され、両者１３、１４間の距離
はスペーサ１５で一定に保たれている。レンズ保持管１
２は、フランジ部分１２ａ、抑えリング１９、ネジ１６
ａ、１６ｂ及び図示されていない他のネジによって保持
管１１内に位置決めされている。ネジ１６ａ、１６ｂ等
によるレンズ保持管１２の位置調整は、ネジ１６ａ、１
６ｂ等に対応してハウジング２に設けた貫通穴２ａ、２
ｂ等からドライバーを入れて行なう。この位置調整によ
って、コリメートレンズ１３及び集光レンズ１４の光軸
を後述するレーザ媒体２１の光軸に一致させることがで
きる。

【００１４】レーザ光発振部２０は励起光出力部１０の
後段に設けられ、レーザ媒体（例えばＮｄ：ＹＡＧ）２
１、非線形光学素子（例えばＫＴＰ）２２及び出力ミラ
ー２９から成る。ハウジング２には、図に示すように、
光軸に沿って貫通穴２ｃが設けられる。この貫通穴２ｃ
の一端側にはレーザ媒体２１が固定され、他端側には非
線形光学素子用マウント（以下、「素子用マウント」と
いう）２３が装着されている。素子用マウント２３は石
英から成り、その中央には非線形光学素子２２が一体に
接着されている。

【００１５】非線形光学素子２２は、第２高調波を発生
するのに最適な角度、すなわち位相整合条件を満足する
方向にカットされているので、その使用に際しては角度
調整を行なって位相整合をとることが必要となる。そこ
で、素子用マウント２３を回転させて非線形光学素子２
２の角度調整を行なうための角度調整用リング２５が、
素子用マウント２３の後段に設けられている。この素子
用マウント２３と角度調整用リング２５の一端側との間
には、角度調整用リング２５の回転を素子用マウント２
３に伝達するためのＯリング２７が介在している。この
Ｏリング２７はゴム材で形成されている。なお、ここで
は、Ｏリング２７を使用するようにしたが、角度調整用
リング２５と素子用マウント２３との間に回転伝達のた
めに必要な所定の摩擦力を与えるものであれば、例えば
ゴムワッシャのような他の部材を使用するようにしても
よい。

【００１６】角度調整用リング２５の他端側に設けた段
差部分２５１には、図に示す３個の穴２５１ａ、２５１
ｂ、２５１ｃと図２に示すもう１個の穴２５１ｄとの合
計４個の穴が設けられている。この４個の穴２５１ａ等
は、角度調整用リング２５を回転させる際に、調整用ピ
ンを挿入するための穴である。この角度調整方法につい
ての詳細は後述する。段差部分２５１の後段には、スプ
リング（圧縮コイルバネ）２８が当接して設けられ、ス
プリング２８は、角度調整用リング２５をＯリング２７
及び素子用マウント２３側に常時付勢している。

【００１７】また、角度調整用リング２５の外周にはＶ
溝２５０が形成されている。上記の角度調整が完了した
ときに、このＶ溝２５０に当接するネジ２６を締め込む
ことにより、素子用マウント２３はＯリング２７を介し
てより強く押し付けられ完全に固定されるようになる。
この固定方法についての詳細も後述する。

【００１８】ハウジング２の他端側に、ハウジング３０
の一端側が部分的に嵌合挿入されている。このハウジン
グ３０の中央には、一体になった出力ミラー用ホルダー
３１とガイド３２が挿入される。出力ミラー用ホルダー
３１には、出力ミラー２９が接着固定され、出力ミラー
２９の位置は、ネジ３３ａ、３３ｂ等によって調整され
る。ハウジング３０の他端側には、板バネ３５がネジ３
４ａ、３４ｂ等で固定され、ガイド３２はその板バネ３
５で内側に押し付けられている。上記ハウジング３０等
の詳細構成及び出力ミラー２９の位置調整についての詳
細はさらに後述する。

【００１９】上記構成の固体レーザ装置１において、励
起光出力部１０の半導体レーザ装置１７から射出された
レーザ光は、コリメートレンズ１３で略平行光とされた
後、集光レンズ１４で集光され、レーザ光発振部２０の
レーザ媒体２１（Ｎｄ：ＹＡＧ）に入射しレーザ媒体２
１を励起する。

【００２０】レーザ媒体２１の入射端側及び出力ミラー
２９の出射端側には、光学薄膜が被着されている。レー
ザ媒体２１の入射端側に被着される光学薄膜は、上記半
導体レーザ装置１７からの波長８０８ｎｍの励起光を透
過すると共に、レーザ媒体２１自身が励起して出力する
波長１０６ｎｍのレーザ光、及び非線形光学素子２２に
おいて波長変換されて得られた波長５３２ｎｍのレーザ
光の双方を反射する光学特性を有している。また、出力
ミラー２９の出射端側に被着される光学薄膜は、レーザ
媒体２１から発振した波長１０６ｎｍのレーザ光を実質
的に全反射し、且つ非線形光学素子２２において波長変
換された波長５３２ｎｍのレーザ光を透過する光学特性
を有している。このレーザ媒体２１と出力ミラー２９と
で共振器が構成され、レーザ媒体２１で励起されて出射
したレーザ光は、非線形光学素子２２で波長変換されて
第２高調波となり、共振器内で増幅されたのち一部が出
力ミラー２９から外部に出力される。

【００２１】次に、非線形光学素子２２の角度調整につ
いての詳細を説明する。図２は図１のＢ−Ｂ断面を示す
図である。図に示すように、角度調整用リング２５外周
のハウジング２には、円弧状溝２ｄが形成されている。
角度調整用リング２５を回転させて非線形光学素子２２
の角度調整を行なう際には、この円弧状溝２ｄから調整
用ピンを入れ、そのときの円弧状溝２ｄに面している
穴、図では穴２５１ｄに調整用ピンを挿入して、角度調
整用リング２５全体を回転させる。調整幅は、円弧状溝
２ｄの円弧角度分となる。角度調整用リング２５が回転
すると、その回転力は、スプリング２８の付勢によって
効果的にＯリング２７に伝達される。非線形光学素子２
２は、Ｏリング２７の摩擦によって回転し、その回転に
よって角度調整が行なわれる。角度調整後、その調整し
た角度に非線形光学素子２２を固定する方法を図３を用
いて説明する。

【００２２】図３は非線形光学素子の固定方法の説明図
である。図において、角度調整用リング２５の側面外周
に設けられたＶ溝２５０は、少なくとも非線形光学素子
２２側（図で左側）の斜面２５０ａが、角度調整用リン
グ２５の側面に対して、９０°以上の鈍角を成すように
形成されている。このＶ溝２５０の斜面２５０ａには、
上述したように、ハウジング２に設けたネジ２６が当接
している。上記の角度調整が完了したときに、このネジ
２６を締め込むと、図中矢印Ｄで示す方向に角度調整用
リング２５が移動する。この移動は、ネジ２６のテーパ
状先端部分２６ａがＶ溝２５０の斜面２５０ａに食い込
んでいくことによる。矢印Ｄ方向への移動によって、Ｏ
リング２７は、より強く素子用マウント２３を押し付
け、非線形光学素子２２をその調整角度に完全に固定す
る。

【００２３】このように、非線形光学素子２２の角度を
調整するために、角度調整用リング２５を設け、穴２５
１ａ等に調整用ピンを挿入して角度調整用リング２５を
回転可能に構成した。このため、非線形光学素子２２の
角度調整を他の光学部品から切り離して独立に行なうこ
とができ、また固体レーザ装置１に組み込んだ後でも、
高精度の調整が可能となる。

【００２４】また、この非線形光学素子２２と角度調整
用リング２５との間には、弾性材料から成るＯリング２
７を設けたので、角度調整用リング２５の回転は、Ｏリ
ング２７を介して非線形光学素子２２に伝達される。し
たがって、角度調整の際に、非線形光学素子２２に余分
の応力や歪みを与えることもなく、また、他の光学部品
にもミスアライメントを生じさせるようなことはない。

【００２５】さらに、非線形光学素子２２の角度調整後
も、スプリング２８やネジ２６等で素子用マウント２３
を強くハウジング２側に押圧して密着させているので、
非線形光学素子２２で発生した熱は効果的にハウジング
２側に流れ、その分冷却効果を上げることもでき、レー
ザ光の安定化に寄与することができる。

【００２６】上記構成の固体レーザ装置１において、レ
ーザ光の出射端側に位置する出力ミラー２９では、出力
ミラー２９に至るまでのレーザ媒体２１や非線形光学素
子２２等の各光学部品との僅かな光軸のズレが影響して
くるため、出力ミラー２９の位置調整がどうしても必要
になる。そこで、本実施例では、その光軸のズレに合わ
せて出力ミラー側を調整可能に構成した。以下に、本発
明に係るハウジング３０等の構成及び出力ミラーの位置
調整方法について図４〜図９を用いて説明する。

【００２７】図４は図１のＣ−Ｃ断面を示す図である。
図に示すように、ハウジング３０の中央部３０ｆにはガ
イド３２がＸ方向にスライド可能に収納され、そのガイ
ド３２には、出力ミラー２９を接着固定した出力ミラー
用ホルダー３１がＹ方向にスライド可能に収納されてい
る。また、ハウジング３０の外周に沿ってネジ穴３０
ａ、３０ｂ、３０ｃ及び３０ｄが設けられている。この
ネジ穴３０ａ等には、上述したように、ネジ３４ａ等が
締め込まれて板バネ３５がハウジング３０に固定され
る。さらに、出力ミラー２９の位置調整用に、ネジ３３
ａ及び３３ｂが出力ミラー用ホルダー３１に当接して設
けられ、ネジ３３ｃ及び３３ｄがガイド３２に当接して
設けられる。

【００２８】図５はハウジング３０の外観を示す図であ
る。ハウジング３０の一端部３０ｅは、上述したよう
に、ハウジング２の他端側に嵌合挿入される。このハウ
ジング３０の中央部３０ｆは、図に示すように凹状に形
成されており、この中央部３０ｆにガイド３２、出力ミ
ラー用ホルダー３１及び出力ミラー２９が収納される。
また、ハウジング３０の側面には、上記出力ミラー２９
の位置調整用ネジ３３ａ〜３３ｄに対応してネジ穴３３
１ａ〜３３１ｄが設けられる。

【００２９】図６は出力ミラー用ホルダー３１の外観を
示す図である。図に示すように、出力ミラー用ホルダー
３１の中央には、貫通穴３１ａが設けられ、この貫通穴
３１ａに出力ミラー２９が接着固定される。また、出力
ミラー用ホルダー３１の一部には、図に示すように、稜
線に沿って面取り部分３１ｂが設けられる。

【００３０】図７はガイド３２の外観を示す図である。
図に示すように、ガイド３２は断面略コ字状に形成さ
れ、その内側に出力ミラー用ホルダー３１が収納され
る。底面側には、出力ミラー２９用の穴３２ａが設けら
れている。また、ガイド３２の一部には、図に示すよう
に、突出部分３２ａが設けられ、出力ミラー用ホルダー
３１を収納したときに、出力ミラー用ホルダー３１の面
取り部分３１ｂを抑えるようになっている。

【００３１】図８は出力ミラーの収納状態を示す図であ
る。上述したように、ガイド３２に出力ミラー用ホルダ
ー３１が収納され、その出力ミラー用ホルダー３１に出
力ミラー２９が収納されている。出力ミラー用ホルダー
３１の面取り部分３１ｂは、ガイド３２の突出部分３２
ｂによって抑えられている。

【００３２】図９は図１のＡ矢視図である。上述したよ
うに、ハウジング３０（図１）の他端側には、板バネ３
５がボルト３４ａ〜３４ｄで固定されている。この板バ
ネ３５は、中心から放射状に切り欠き３５ａを有してい
る。ガイド３２はその板バネ３５で内側に押し付けら
れ、飛び出しを防止されている。

【００３３】ここで、図４に戻って出力ミラー２９の位
置調整を説明する。上記構成のハウジング３０におい
て、出力ミラー２９を図４のＹ軸方向に調整するとき
は、対向した２本のネジ３３ａ及び３３ｂで調整する。
出力ミラー用ホルダー３１は、ガイド３２に沿ってスラ
イドし、ネジ３３ａ及び３３ｂで位置決めされる。

【００３４】また、出力ミラー２９を図４のＸ軸方向に
調整するときは、対向した２本のネジ３３ｃ及び３３ｄ
で調整する。ガイド３２は、ハウジング３０の中央部３
０ｆ内でＸ軸方向にスライドし、ネジ３３ｃ及び３３ｄ
で位置決めされる。なお、ネジ３３ｃ及び３３ｄを締め
込むと、ガイド３２の突出部分３２ｂは、出力ミラー用
ホルダー３１の面取り部分３１ｂを押し付けるので、出
力ミラー用ホルダー３１を確実に固定できるようにな
る。

【００３５】上記出力ミラー２９のＸ方向、Ｙ方向の位
置調整は、微弱な出力でレーザ光を発振させて外部に出
射したレーザ光を検出しながら行なう。すなわち、検出
したレーザ光のモードが最善のモードとなるように、例
えばマルチモードであればシングルモードになるように
出力ミラー２９をＸ，Ｙ方向に移動させて行なう。

【００３６】上記の対向する２本のネジ３３ａと３３ｂ
の内、１本を圧縮コイルバネに置き換えるようにして
も、上記と同じ調整を行なうことができる。このこと
は、対向する２本のネジ３３ｃと３３ｄについても同様
である。

【００３７】このように、出力ミラー２９のホルダー３
１をＹ方向にスライド可能にガイド３２に収納すると共
に、そのガイド３２もＸ方向にスライド可能にハウジン
グ３０に収納するようにしたので、出力ミラー２９はレ
ーザ光の光軸に対して交差する同一平面（Ｘ−Ｙ平面）
内を移動することができる。このホルダー３１及びガイ
ド３２の移動は、ハウジング３０の中で行なわれる。し
たがって、出力ミラー２９を固体レーザ装置１に組み込
んだ後でも、その位置調整を他の光学部品から切り離し
て独立に高精度で行なうことができる。

【００３８】例えばハウジング２に嵌合挿入されている
レーザ媒体２１がその嵌合の機械的精度内で僅かに出力
ミラー２９の光軸とズレた場合でも、出力ミラー２９
を、光軸に対して交差するＸ−Ｙ平面内において移動さ
せることで、十分にそのズレ量に対応して調整すること
ができる。また、非線形光学素子２２が、上記の回転角
度調整によって出力ミラー２９の光軸とズレた場合で
も、同様にそのズレ量に対応して調整することができ
る。

【００３９】この位置調整は、同一平面内での移動によ
って行なわれるので、移動機構も簡単なものとなる。上
記の説明では、レーザ媒体２１の入射端側に被着された
光学薄膜と、出射端側に設けた出力ミラー２９とで共振
器を構成するようにしたが、レーザ媒体２１の光学薄膜
を全反射鏡として分離させ独立した光学部品として構成
してもよい。その場合、全反射鏡にも、上記の出力ミラ
ー２９に対して設けたスライド機構と同じ機構を設ける
ことができ、出力ミラー２９と同様に、その位置調整を
光軸と交差する平面内において独立して行なうことがで
きるようになる。

【００４０】また、非線形光学素子を共振器内に位置さ
せたが、共振器外に位置させるように構成した固体レー
ザ装置においても、本発明を適用することができる。さ
らに、レーザ媒体の励起を半導体レーザ装置を用いてエ
ンドポンピングで行なうようにしたが、フラッシュラン
プを用いてサイドポンピングで行なうように構成したも
のにも、本発明を適用することができる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、保持部
材に設けた共振器用ミラー保持部材に、共振器用ミラー
を支持する支持部材と、その支持部材を移動自在に保持
する第１の案内部材と、その第１の案内部材を移動自在
に保持する第２の案内部材とを設けた。この第１及び第
２の案内部材の各移動方向は、互いに異方向であり、レ
ーザ光の光軸に対して交差する同一平面内に設定され
る。

【００４２】このため、共振器用ミラーは第１及び第２
の案内部材の移動に応じて、レーザ光の光軸に対して交
差する同一平面内で移動することができる。この第１及
び第２の案内部材の移動は、保持部材の中で行なわれ
る。したがって、共振器用ミラーを固体レーザ装置に組
み込んだ後でも、その位置調整を他の光学部品から切り
離して独立に高精度で行なうことができる。例えば保持
部材に嵌合挿入されている固体レーザ媒体がその嵌合の
機械的精度内で僅かに共振器用ミラーの光軸とズレた場
合でも、共振器用ミラーを、光軸に対して交差する同一
平面内において移動させることで、十分にそのズレ量に
対応して調整することができる。

【００４３】この位置調整は、同一平面内での移動によ
って行なわれるので、その移動機構も簡単に構成するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の固体レーザ装置の全体構成を示す図で
ある。

【図２】図１のＢ−Ｂ断面を示す図である。

【図３】非線形光学素子の固定方法の説明図である。

【図４】図１のＣ−Ｃ断面を示す図である。

【図５】ハウジング３０の外観を示す図である。

【図６】出力ミラー用ホルダー３１の外観を示す図であ
る。

【図７】ガイド３２の外観を示す図である。

【図８】出力ミラーの収納状態を示す図である。

【図９】図１のＡ矢視図である。

【符号の説明】

１ 固体レーザ装置 ２ ハウジング ２ｄ 円弧状溝 ３ ヒートシンク部 １０ 励起光出力部 １７ 半導体レーザ装置 ２０ レーザ光発振部 ２１ レーザ媒体 ２２ 非線形光学素子 ２３ 素子用マウント ２５ 角度調整用リング ２６ ネジ ２７ Ｏリング ２８ スプリング ２９ 出力ミラー ３０ ハウジング ３１ 出力ミラー用ホルダー ３２ ガイド ３３ａ〜３３ｄ ネジ ２５０ Ｖ溝 ２５１ 角度調整用リングの段差部分 ２５１ａ〜２５１ｄ 穴

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固体レーザ媒体を保持部材に嵌合挿入し
   て保持すると共に、前記保持部材に共振器用ミラーを有
   する共振器用ミラー保持部材を着脱自在に設けた固体レ
   ーザ装置において、 前記共振器用ミラー保持部材は、前記共振器用ミラーを
   支持する支持部材と、該支持部材を移動自在に保持する
   第１の案内部材と、該第１の案内部材を第１の案内部材
   の移動方向とは異方向に移動自在に保持する第２の案内
   部材とを備え、前記第１の案内部材と前記第２の案内部
   材とは、レーザ光の光軸に対して交差する同一平面内を
   移動するようにしたことを特徴とする固体レーザ装置。