JPH06213964A - 自動テスト装置のデジタルテスターの拡張装置 - Google Patents
自動テスト装置のデジタルテスターの拡張装置Info
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- JPH06213964A JPH06213964A JP5323360A JP32336093A JPH06213964A JP H06213964 A JPH06213964 A JP H06213964A JP 5323360 A JP5323360 A JP 5323360A JP 32336093 A JP32336093 A JP 32336093A JP H06213964 A JPH06213964 A JP H06213964A
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Abstract
キャン方式論理テスト装置を与える。 【構成】本テスト装置はコンピューターのバススロット
中に差し込み可能なテストカードの形で実施される。テ
ストカードはI/Oインターフェース制御器を含み、こ
れがコンピューターの永久メモリからのスキャン方式パ
ターンデータの取り出しと、テスターがテストカードに
制御信号を与えることを可能にするため、これら両者に
対しインターフェースを行なう。テストカードはさらに
SRAMメモリを含み、I/Oインターフェース制御が
永久メモリからスキャン方式パターンデータを受信する
と、そのSRAMメモリにこれを格納する。テストカー
ドは又、テストするICデバイスをSRAMメモリ及び
I/Oインターフェース制御に結合するためのICデバ
イスインターフェースを含む。この応答シリアル出力パ
ターンデータは予想シリアル出力パターンデータと比較
されて当該ICデバイスについて合格/不合格の決定を
する。
Description
ted Test Equipment)に関し、特にかかる自動テスト装
置の能力及び容量を拡張する装置に関する。
り、それと共にそれらをテストすることが益々困難にな
っている。多くの近代的な大集積回路(LSI)及び超
大集積回路(VLSI)は非常に高密度の半導体デバイ
スを含むので、そのような集積回路(IC)又はそれに
関連して接続されている回路の正常な動作を観察するこ
とによって完全にテストを行なうことはもはや不可能で
ある。
はいえ、非常に競争の激しい市場を前にして品質管理を
確保するためにはそれらデバイスを広範囲にテストする
ことが依然として必要である。非常に重要なテストに付
随するこの問題を解決する一つの方法は、自動テスト装
置に設けられているいわゆる「境界スキャンテスト手順
(boundary scan test procedrues)」と呼ばれる手順
を利用することである。IEEE標準1149.1 は、IC
内の各コンポーネントがIC又はそれに接続された回路
の正常な動作を観察することによっては評価することが
できないほどに多数の素子又はコンポーネントを含む一
個以上のICに対する境界スキャンテスト手順を定めて
いる。
集積回路のピンもしくは外部端子が、設計した回路の周
辺にシフトレジスタテェイン(shift register chain)
を構成するように相互接続される。相互接続されたその
線路にはシリアル入力及びシリアル出力が設けられ、適
当なクロック信号と制御信号が与えられる。この相互接
続線路を使って当該IC又は接続された回路にテスト指
令及び関連のテストデータが印加される。これらの指令
を実行した結果が、やはり相互接続線路を介して各々の
回路から読み出される。もしも回路を構成するのに使用
されたすべてのコンポーネントが境界スキャンテストレ
ジスタをもっていれば、すべての当該コンポーネント出
力ピンに関連した境界スキャンレジスタセルにテストデ
ータがシフトされ、コンポーネント相互接続を介してこ
れら入力ピンに関連するこれらセル中に並列にロードさ
れる。
と、内部的自己テストを行ないながらも周辺のコンポー
ネントから受信する刺激からオンチップシステム論理回
路を孤立させることができる。もしも境界スキャンテス
トレジスタが適切に設計されていれば、遅く限定した速
度でオンチップシステム論理回路の静的テストを行なう
ことができる。その理由は、境界スキャンテスト手順に
よればテストデータをコンポーネントに送り、そのテス
ト結果を検査することが可能であるからである。
ネントまたはICの端子に広範囲に接続せずに、現在回
路内テスターが目標としている欠陥の多くを検出可能に
する。そのようなテストは非常に好ましく、VLSIで
は特に好ましい。というのはVLSIではコンポーネン
ト数が非常に多く、任意の具体的なICの出力ピン数が
非常に大きく、したがって実質上回路の各機能をテスト
することができないからである。
ような境界スキャン装置はマルチプレクサ回路を含む
が、この回路は境界スキャン入力信号又は正規のデータ
ソースから与えられる在来のデータ信号のいずれかを当
該ICが選択することができるようにするものである。
このようにして境界スキャンに対応できるICはテスト
モードあるいは正規動作モードのいずれかに使用するこ
とができる。
デジタルテスターは、実際には上記のICテストを行な
うものである。そのような自動テスト装置(Automated
TestEquipment, ATE)がICのスキャン方式によるテス
ト(scan-based testing ofICs、以下、スキャン方式テ
ストと言う)を行なうことができるためには、試験する
当該IC又はデバイスはもちろんIEEE1149.1 標準
その他の注文設計スキャン論理回路仕様に従うテストを
許容するように設計されていなければならない。図1に
は自動テスト装置(ATE)デバイスでテストしている
そのようなICが示されている。
デジタルテスターは通常、テスト用ICへの入力データ
として使用されるテストパターンを発生する。このテス
トパターンは当該ICの境界周辺のシフトレジスタチェ
ーン(test register chain)を構成するフリップフロ
ップを既知の状態に設定するのに使用される。次いでそ
のICを動作させ、その結果が出力テストデータとして
与えられる。そのテストデータは予想テストデータと比
較される。もしも実際の出力テストデータが予想テスト
データと一致しないならば、そのICは不合格である。
スキャン方式に論理回路設計すると非常に高度な欠陥発
見率を実現できるが、これに符合してそのような設計は
非常に複雑なパターン依存性を有する。典型的なパター
ンサイズは数十万ないし数百万テストベクトルになりえ
る。
であるが、IEEE1149.1 は又、ATEテスターによ
るICの内部的スキャニングも規定している。すなわ
ち、ICに完全に内部的なスキャンまたは一部内部的な
スキャンを行なって試験的に動作させ、IC中のコンポ
ーネントをテストする。前述したものと同様、1と0の
組み合わせからなるテストパターンが発生される。その
テストパターンがシリアルデータとして試験中のICに
印加される。テスト中のICから出力される1及び0は
シリアル出力データを形成する。そのシリアルデータは
予想結果と比較され、テスト中のICデバイスの合格/
不合格を決定するのに使用される。「ベクトル」という
用語は、一入力テストパターンの一ライン又は一サイク
ルを意味する。一ベクトルはある特定のテスト中のデバ
イスの各信号ピンにテスト信号を与えるための十分な数
のビットを含んでいる。一テストパターンは非常に多数
のベクトルから成り、それらのベクトルを合わせたもの
は、試験中のデバイスの内部コンポーネントを完全に試
験的動作をさせるシリアルデータセットを形成する。
モリは、しばしばかなり小さい。ATEパターンメモリ
はテスター内に配置されており、通常、深さ512Kな
いし1Mの範囲にある。このような能力のATEデジタ
ルテスターがLSI及びVLSI集積回路の完全な又は
部分的な内部テストに必要とされる大きなシリアルベク
トル及びテストパターンを処理することは、しばしば困
難である。ATEテスターに上記のメモリ限界があるた
め、一時に二つのチップを受容できる二つのテストヘッ
ドを物理的に備えたATEデジタルテスターが、しばし
ば二つのLSI及びVLSIチップを同時にテストする
ことができない事情に遭遇する。
題は、ATEデジタルテスターに拡張されたメモリ能力
を与えることである。
テスターに二つのLSI又はVLSI集積回路の同時テ
スト能力を与えることである。
ナルコンピューターがATEデジタルテスターに付加的
テスト能力を与えることができるように適合させるため
の装置を与えることである。
き、スキャン方式論理ICデバイスをテストする自動テ
スト装置(ATE)のデジタルテスターに使用するスキ
ャン方式論理テスト装置が与えられる。このテスト装置
は第一永久メモリを含むコンピューターのバススロット
中に差し込まれる。このテスト装置は上記第一永久メモ
リに格納されているスキャン方式パターンデータにアク
セスするため、コンピューターに結合するカプラーを含
んでいる。スキャン方式パターンデータはシリアル入力
パターンと予想シリアル出力パターンデータとを含む。
このテスト装置はさらに、前記第一永久メモリからスキ
ャン方式パターンデータを取り出すことができるように
するため、又制御信号を当該装置に与えることができる
ようにするため、コンピューターとこの装置との間のイ
ンターフェースを果たすカプラーに結合される。スキャ
ン方式パターンデータはシリアル入力パターンデータお
よび予想シリアル出力パターンデータを含んでいる。こ
のテスト装置はさらに、カプラーに結合されたI/Oイ
ンターフェース制御回路を含む。このカプラーはコンピ
ューターが上記第一永久メモリからスキャン方式パター
ンデータを取り出すことができるようにこの装置をコン
ピューターに対してインターフェースするためのもので
あり、又テスターが制御信号を本装置に与えることがで
きるようにするためのものである。本テスト装置は又、
上記I/Oインターフェース制御回路に結合されたSR
AM(static RAM)を含む。このSRAMはI/Oイン
ターフェース制御回路が第一永久メモリからシリアル入
力パターンデータ及び予想シリアル出力パターンデータ
を含むスキャン方式パターンデータを受信したとき、こ
れを格納するためのものである。本テスト装置はさらに
当該ICをSRAMメモリおよびI/Oインターフェー
ス制御回路に結合するためのICデバイスインターフェ
ースを含むが、これは、シリアル入力パターンデータが
ICデバイスに与えられ、実際のシリアル出力パターン
データをICから集めてこれを予想シリアル出力パター
ンデータと比較してそのICデバイスの合格/不合格を
決定することができるようにするためである。
方式論理ICデバイスをテストするためのスキャン方式
論理テストシステムが与える。本テストシステムは、ア
ダプターカードを受承するためのバススロットを有する
コンピューターを含む。このコンピューターはさらにシ
リアル入力パターンデータ及び予想シリアル出力パター
ンデータを含むスキャン方式パターンデータを格納する
ための第一永久メモリを含む。本テストシステムは又、
第二永久メモリを有するATEデジタルテスターを含
む。本システムはさらに、バススロット内に置かれるス
キャン方式論理テストカードを含む。本テストカードは
該バススロットに結合されたI/Oインターフェース制
御回路を含むが、このインターフェース回路はコンピュ
ーターが該第一永久メモリからスキャン方式パターンデ
ータを取り出すことができるようにするため該カードへ
のインターフェースを成し、また該テスターが制御信号
を本装置に与えることができるようにするため本装置を
デジタルテスターにインターフェースするためのもので
ある。このテストカードは又、I/Oインターフェース
制御回路に結合されたSRAMメモリを含むが、このS
RAMはI/Oインターフェース制御回路が第一永久メ
モリからシリアル入力パターンデータ及び予想シリアル
出力パターンデータを含むスキャン方式パターンデータ
を受信したとき、これを格納するためのものである。こ
のテストカードはさらに当該ICをSRAMメモリおよ
びI/Oインターフェース制御回路に結合するためのI
Cデバイスインターフェースを含むが、これは、シリア
ル入力パターンデータがICデバイスに与えられ、実際
のシリアル出力パターンデータをICから集めてこれを
予想シリアル出力パターンデータと比較してそのICデ
バイスの合格/不合格を決定することができるようにす
るためである。
特許請求の範囲に記載してある。しかし、本発明の構成
のみならずオペレーションの方法は以下の説明および添
付の図面からよく理解されよう。
キャンテスト装置10を表している。スキャンテスト装
置10は在来のパーソナルコンピューター20のスロッ
ト15中に差し込まれて、やはりスキャンテスト装置1
0に結合されているATEテスター25のテスト能力を
拡張する。本発明の好ましい実施例ではスキャンテスト
装置10は工業標準アーキテクチャー(Industry Stand
ard Architecture, ISA)に準拠したバススロット15
に差し込まれる。しかしながら当業者は本発明が拡張工
業標準アーキテクチャー(Extended Industry Standard
Ardhitecture, EISA)、マイクロチャンネルアーキテ
クチャーその他のバスアーキテクチャーに従うコンピュ
ーターに直ちに本発明を適合させることができることを
了解できよう。(マイクロチャンネル(MICRO CHANNE
L)はIBMコーポレーションの商標名である。)コン
ピューター20はマイクロプロせッサ26、コンピュー
ターマイクロコードを格納するための読み取り専用メモ
リ(ROM)27、主システムメモリRAM28、および
ハードディスク29を含む。
に結合されているコンピューターバス35に対し装置1
0をインターフェースする比較/制御論理回路30を含
む。比較/制御論理回路30は在来の標準ISA入力/
出力(I/O)オペレーションを使用して装置10とパ
ーソナルコンピューター20との間のオペレーションを
演算する。
論理設計されたICデバイスをテストすることができる
ATEデジタルテスター25に結合される。さらに特定
すると、装置10の比較/制御論理回路30はロード
(LOAD)線40、データ(DATA)線45、シフトクロッ
ク(SHIFTCLK)線50、不合格(FAIL)線55、及びリ
セット(RESET)線60によってATEテスター25に
結合される。これらの線の実際のオペレーション及び機
能は後で詳しく述べる。
ーフェース70により試験中のデバイス(device under
test, DUT)65に結合される。DUT65は実際にテ
スト中のデバイス、すなわち一つまたは二つのLSIも
しくはVLSI集積回路等である。
レスジェネレーター75に結合され、n-ビットアドレ
スジェネレーター75の出力はSRAM(static RAM)
メモリ80の入力に結合される。本発明の一実施例では
SRAMメモリ80は2n×3ビット高速SRAMメモ
リである。ここにnは約1メガバイトないし約4ギガバ
イトのアドレス空間に対して約20ないし約32の間に
あるものと定義される数である。SRAMメモリ80は
駆動データ(DRIVE DATA)ブロック85、コンピュータ
ーデータ(COMP DATA)ブロック90、マスクデータ(M
ASK DATA)ブロック95を含む。SRAMメモリ80の
出力はDUTインターフェース70の入力に結合され
る。この特定の実施例では、SRAMメモリ80として
1MのSRAMが使用される。ただしさらにメモリの拡
張をするためにもっと大きなSRAMを使用することも
できる。
ジタルテスター内に配置されている正規テストパターン
に対する拡張もしくは拡大を与える。既に述べたように
ATEテスター25の様なデジタルテスター内に通常含
まれている512Kないし1Mのメモリは、非常にパタ
ーン性の高いテストパターンのためにはしばしば不十分
である。スキャンテスト装置として使用するためのシリ
アルテストメモリとして実質上制約のないメモリ量をテ
スター10に与えるため、スキャンテスト装置10はA
TEテスター25とタンデムとなって作業を行なう。
インテリジェン(Intelligen)とか特注のATPGソフ
トウェアツール等の市販のATPGソフトウェアツール
からシリアルスキャンテストベクトルを受容できる。こ
れらのスキャンテストベクトルは次いで正規ATEテス
トベクトル(ATE test vectors)とPC準拠シリアルテ
ストベクトル(PC-based serial test vectors)とに分
割する。このATEテストベクトルはこれらが制御ベク
トルと並列である点でPC準拠ベクトルと区別できる。
DUT65を実際にテストするときはPC準拠シリアル
テストベクトルは後で使用するためにハードディスク2
9に永久的に格納される。ATEテストベクトルはAT
Eデジタルテスター25のデータ線DATA45に結合され
たハードディスク100に格納される。ハードディスク
100はATEテストベクトルに用いる永久的メモリを
与える。
常に、SRAMメモリ80内にPC準拠シリアルテスト
ベクトルを格納するため、ロードユーティリティープロ
グラムが使用される。これらのPC準拠シリアルテスト
ベクトルはシリアル入力データ(例えばJTAG-TD
I用のもの)およびシリアル出力データ(例えばJTA
G-TDO用のもの)を含む。JTAGとは、結合テス
トアクショングループ(Joint Test Action Group)の
呼称で、IEEE1149.1 に詳細に規定されているスキ
ャン方式論理テスト標準を定めているテスト標準機関で
ある。JTAG-TDIはJTAG-テストデータ入力
(JTAG-Test Data Input)を指し、JTAG-TDOは
JTAG-テストデータ出力(JTAG-Test Data Output)
を指す。このシリアル出力データは比較データ及び非決
定的スキャンチェーン(non-deterministic scan chain
s)が許容されるようにするためのマスクデータを含
む。このシリアルデータはSRAMメモリ80内で一ス
キャンチェーンとして使用される3ビット幅のSRAM
ブロックを要求する。ATEに二つのスキャンチェーン
を処理させたいときは、SRAMメモリ80は二つの3
ビット幅SRAMブロックに構成する。SRAMメモリ
80は比較/制御論理回路30を介してコンピューター
20によって制御される。他方、シリアル入力テストパ
ターンはハードディスク29からSRAMメモリ80に
ロードされる。しかし、DUT65の実際のテスト期間
中はSRAMメモリ80はn-ビットアドレスジェネレ
ーターn-ビットアドレスジェネレーター75により制
御される。すなわちテスター25から与えられるシフト
クロック信号SHIFTCLK及びリセット制御信号RESET に応
答して、比較/制御論理回路がSRAMメモリ80にビ
ットシーケンスの形で格納されているシリアルテストパ
ターンデータのアドレスをアドレス指定することをn-
ビットアドレスジェネレーター75に指令する。そのア
ドレスにより当該シリアルテストパターンデータがSR
AMメモリ80から読み出され、DUT65に与えられ
る。
スジェネレーター75をリセットしてクロック(調時)
するに必要な制御信号を与える。さらに特定すると、A
TEテスター25は RESET 線60を介してリセット信
号を与え、さらに、ハードディスク29からSRAMメ
モリ80へのシリアルテストパターンの転送及びSRA
Mメモリ80からDUT65への転送を制御するため、
SHIFTCLK 線50を介してクロック信号を与える。
フェースブロック70を介してSRAMメモリ80から
DUT65に適当なシリアル入力データ(シリアルテス
トパターン)を与える。このシリアル入力データは図示
するように実際には DRV_TDI線105を介してDUT6
5に与えられる。このシリアル入力データに応答して、
DUT65はシリアル出力データを発生し、その出力デ
ータが CMP_TDO 線110を介してDUTインターフェ
ース70に与えらる。スキャンテスト装置10はハード
ディスク29から比較/制御論理回路30に予想シリア
ル比較データを与える。比較/制御論理回路30は次い
で(上記シリアル入力データに応答して)DUT65か
ら受信されるシリアル出力データをこの予想シリアル比
較データと比較してそのDUT65に関する合格/不合
格決定を行なう。PC準拠シリアルテストベクトルを実
際のDUTシリアル出力データに比較した結果として F
AIL 線55上に合格/不合格信号が与えられる。ATE
テスター25は次いでATEテストベクトルで FAIL 線
55をストローブ作動させ、実際のDUT合格/不合格
決定を行なう。
リが本来処理しようと試みる大きなシリアルテストベク
トルはコンピューター20にロードされるので、ATE
テスター25はそのタスクから開放される。ATEテス
ター25はスキャンテスト装置10との間でリセット、
クロック及び不合格解析を行なうための制御ベクトルに
のみ対処すれば足りる。このようにして、25は以前よ
りも著しく大きなテストベクトル及びシリアルテストパ
ターンを許容することにより、ATEテスター25の解
析能力は著しく拡大される。
ることのできるATEデジタルテスターの一例は、トリ
ウムインコーポレーテッド(Trillium, Inc.)で製造さ
れている商品名 LTX-Trillium というデジタルテスター
である。しかし、装置10は例示の目的で言及した上記
特定のテスター以外のテスターと使用することもでき
る。
を詳細に議論する前に次のことを再度述べておく。すな
わち、入力線 DRV_TDI105は、DUT65にシリアル
入力スキャンテストパターンを与えるための、DUT6
5への入力線であり、また出力線 CMP_TDO 110は応
答としてシリアル出力パターンを出すための、DUT6
5からの出力線である。言い換えると、出力 CMP_TDO
はスキャン論理設計されたDUT65のスキャンチェー
ン出力である。
65をテストすべく標準のもしくは特注のATEデジタ
ルテスター25を使って動作するときのスキャンテスト
オペレーションの流れをステップごとに説明する流れ図
である。ステップ300に示すとおり、準備的セットア
ップ過程の一部として、テスト中の特定ICであるDU
T65に特有のテストパターンが在来のインテリジェン
ト自動テストパターンジェネレーター(ATPG)ツー
ルを使って発生される。このテストパターンは次いでブ
ロック305で制御ベクトルであるシリアル入力パター
ン(これはDUT65に与えられる)と予想シリアル出
力パターン(これはDUT65の応答として予想される
もの)とに分離される。実際には適当なコンピューター
補助デザイン(Computer Aided Design)テストソフト
ウェアを走らせているコンピューターがこの分離を行な
う。ブロック310に述べるように、これらの制御ベク
トルはATEテスター25内のハードディスク100に
永久的に格納される。シリアル入力パターン及び予想結
果シリアル出力パターンはブロック315に示すように
コンピューター20のハードディスク29に永久的に格
納される。ハードディスク29に格納されたパターンデ
ータはこのシリアル入力データに含まれるドライブデー
タを含むと共にさらに、予想シリアル出力データに格納
されている比較データ及びマスクデータを含む。
スト中のICDUT65に対する特定のテストプログラ
ムがATEテスター25にロードされる。コンピュータ
ー20上に常駐するソフトウェアが次いでブロック32
5及び330にそれぞれ記載するように、ハードディス
ク29に格納されているシリアル入力パターンデータ及
びシリアル出力パターンデータをSRAMメモリ80中
にロードする。ハードディスク29からシリアル入力パ
ターンデータ及びシリアル出力パターンデータが取り出
されて格納のためSRAMメモリ80に送られるとき
は、このデータ転送を達成するための標準ISAコンパ
チブルI/O読み取り/書き込みオペレーションが比較
/制御論理回路30内に用意されることに留意された
い。SRAMメモリ80にシリアル入力パターン及び予
想シリアル出力パターンがロードされるシーケンスのこ
の時点で、コンピューター20上に駐在する前記のプロ
グラムがブロック335に示すようにその制御を放棄
し、ブロック340に示すように制御はスキャンテスト
装置10からATEテスター25に引き渡される。
ーがATEテスター25のテストプログラムを開始す
る。この時点で、ATEテスター25はブロック350
に示すようにDUT65に標準デバイステストを行な
う。そのような標準デバイステストは通常、連続性テス
ト、機能テスト、スピードテスト、DCパラメトリック
テスト等から成る。DUT65のスキャン方式テストは
未だ開始されていなかったことに注目されたい。
と、ブロック355に示すようにATEテスター25は
次いでコンピューター20及びスキャンテスト装置10
に制御ベクトルを送り、SRAMメモリ80に格納され
ているシリアル入力テストパターンをDUT65中にロ
ードさせる。テスター25は SHIFTCLK 線50及び RES
ET 線60を介してスキャンテスト装置10にクロック
信号およびリセット信号を送る。このアクションはSR
AMメモリ80内に格納されているシリアル入力データ
パターンをクロック信号 SHIFTCLK のクロック速度でシ
リアルにDUT65中にクロック入力させる。
線、 DATA 線、 SHIFTCLK 線、および RESET 線を介し
てスキャンテスト装置10のオペレーションを制御す
る。 LOAD 線40がアクティブ高であるとき、DATA 線
45からのデータが SHIFTCLK 線50によりATEテス
ター25からスキャンテスト装置10中にシリアル的に
送られる。ATEテスター25によりスキャンテスト装
置10に与えられるこのシリアルデータは、スキャンテ
スト装置10に対する内部SRAMアドレス、すなわち
SRAMメモリ80内に格納されているシリアル入力パ
ターンデータのアドレスであってDUT65に与えられ
るべきアドレス、を形成する。 LOAD 線40がアクティ
ブ低となると、テスター25からのシリアルアドレスデ
ータはアドレスジェネレーター75中にラッチ留めされ
る。このシリアルデータは次いでSRAMメモリ80に
至るアドレス線上に出現し、SRAMメモリ80が所望
のシリアル入力テストパターンをDUT65に与えるよ
うにさせる。
Eデジタルテスター並列パターンが並列DUTピン(そ
れは標準的なので図示してなし)を制御する。テスター
25は SHIFTCLK 線50を制御してSRAMメモリ80
から送られるシリアル入力テストパターンをDUT65
の DRV_TDI 線105に送る。DUT65から送られる
シリアルスキャン出力データは、SRAMメモリ80内
に格納されている予想シリアル出力パターンと比較する
ため、出力 CMP_TDO を介してDUT65からスキャン
テスト装置10に送り返される。DUT65から得られ
る実際のシリアル出力パターンデータはブロック360
に示すように実時間で予想シリアル出力パターンデータ
と比較される。比較/制御論理回路30により行なわれ
るこの比較の結果、ブロック365に示すように FAIL
線55上に合格/不合格信号が発生される。
0に示すようにATEテスター25がDUT65に対し
て実際に合格/不合格の決定をなしえるようにDUT6
5の合格/不合格ステータスを監視するため、ATEテ
スター25により常時ストローブ作動されている。AT
EATEテスター25の並列パターンが常時ストローブ
作動できるように、シリアルデータマスキングはスキャ
ンテスト装置10内で処理される。ATEテスター25
は、ブロック375に示すように、 FAIL 線55上に不
合格信号が出現するか否かを決定する。もしも不合格が
FAIL 線55上に示されると、ブロック380に示すよ
うにATEテスター25によるテストは停止する。もし
もブロック375で不合格が発見されないと、ブロック
385に示すようにテストは続行する。ATEテスター
25が RESET 線60上にリセット信号 RESET を発行す
る(これはテストのためスキャンテスト装置10に新た
なDUT65が接続されている場合であろう)と、上記
プロセスは再び初めから始められる。言い換えると、ブ
ロック390に示すようにテストのためスキャンテスト
装置10に新たなDUT65が接続されると、ブロック
395に示すようにATEテスター25は RESET 線6
0上にリセット信号 RESET を発行する。スキャンテス
ト装置10はリセットされ、ATEテスター25が図3
に示す別のテストシーケンスを開始するブロック350
までオペレーションが戻る。
置及びテストシステムについて説明したが、上記の開示
はスキャン方式論理ICデバイスをテストする自動テス
ト装置(ATE)のデジタルテスターに付加的パターン
メモリを与える方法を記載していることが明らかであ
る。この方法は、第一永久メモリ及びスキャン方式論理
テストカードを備えたコンピューターを与えるステップ
を含む。このテストカードはその中にスキャン方式パタ
ーンを格納するためのSRAMパターンメモリを含む。
このテストカードはスキャン方式論理ICデバイスに結
合される。本方法はさらに、コンピューターの上記第一
永久メモリ内にシリアル入力パターンデータ及び予想シ
リアル出力パターンデータを格納するステップを含む。
この方法は又、そのカードから与えられるシリアル入力
パターンデータを前記ICデバイスへの転送を開始し、
制御するため、デジタルテスターの第二永久メモリ内に
制御ベクトルを格納するステップを含む。本方法はさら
に、前記第一永久メモリ内のシリアル入力パターンデー
タ及び予想シリアル出力パターンデータをSRAMパタ
ーンメモリへ転送するステップを含む。本方法は又、上
記ATEデジタルテスターから得られる制御ベクトルに
応答して前記SRAMメモリからICデバイスへシリア
ル入力パターンデータをカード入力するステップを含
む。本方法はさらに、上記シリアル入力パターンデータ
に応答してICデバイスから出されるシリアル出力デー
タをカードに受信してその応答シリアル出力データを予
想シリアル出力パターンデータに比較し、当該ICデバ
イスに関して合格/不合格の決定をなすステップを含
む。
タルテスターに使用してそのメモリ能力を拡大すること
ができる。このため二つのLSI又はVLSIを同時的
にテストすることができる。
ジタルテスターに付加的テスト能力を与えるように在来
のパソコンを適合させるテスト装置を与えることができ
る。
スト装置デジタルテスターのブロック線図である。
線図である。
コンピューターに係わる、図2のスキャンテスト装置の
動作の流れを示す流れ図である。
Claims (3)
- 【請求項1】スキャン方式論理ICデバイスをテストす
る自動テスト装置(ATE)デジタルテスターに使用す
べく、第一永久メモリを含むコンピューター内のバスス
ロット中に差し込みできるスキャン方式論理テスト装置
であって、 該装置を該コンピューターに結合して該コンピューター
の該第一永久メモリに格納されているスキャン方式パタ
ーン出たにアクセスすることを可能にするための結合手
段と、 該第一永久メモリから該スキャン方式パターン出たの取
り出しを可能にするため該コンピューターに対し該装置
をインターフェースすべく、かつ該テスターが該装置に
制御信号を与えることができるようにするため該デジタ
ルテスターに対して該装置をインターフェースすべく、
該結合手段に結合されたI/Oインターフェース制御手
段と、 シリアル入力パターンデータと該第一永久メモリから予
想シリアル出力パターンデータとを含む該スキャン方式
パターンデータを、該I/Oインターフェース制御手段
が該スキャン方式パターンデータを受信したときに格納
するための、該I/Oインターフェース制御手段に結合
されたSRAMメモリと、 該シリアル入力パターンデータが該IC出張に与えられ
ると共に、実際のシリアル出力パターンデータが該予想
シリアル出力パターンデータとの比較のため該IC出張
から集められたて当該ICデバイスに関する合格/不合
格の決定をなすことができるよう、該ICデバイスを該
SRAMメモリ及び該I/Oインターフェース制御手段
に結合させるICデバイスインターフェース手段とを含
むスキャン方式論理テスト装置。 - 【請求項2】スキャン方式論理集積回路をテストするシ
ステムであって、 テストするデバイス(テストデバイスと言う))の少な
くとも数個の外部端子に信号線を接続するコネクタを有
すると共に制御ベクトルを格納する手段を含むデジタル
テスターと、 該テスターと該テストデバイスの少なくとも一外部端子
とに結合されると共に、スキャンテストベクトルを格納
する手段を含むスキャンテスト装置と、 該スキャンテスト装置が該テストベクトルを該デバイス
中にダウンロードすることができるようにさせるため該
テスター内で動作することができる手段とを含むシステ
ム。 - 【請求項3】自動テスター上でスキャン方式集積回路を
テストする方法であって、 テスト信号を制御信号と予定通りに選択されたデータ信
号とに分離するステップと、 該テスターと別個のコンピューター内に該データ信号を
格納するステップと、 該テスターから該コンピューターにコマンド信号を転送
するため、かつっでた信号を該コンピューターと該テス
ターとの間で転送するため、データリンクを介して該テ
スターを該コンピューターに結合するステップと、 テストスキャン羃デバイスを該テスターに接続するステ
ップと、 該デバイスをテストモードに置くべく制御信号を発生す
るステップと、 該データ信号に応答して該デバイスにより発生された出
力信号を該データリンクを介して該デバイスから該コン
ピューターに転送するステップと、 該コンピューター内で該出力信号を予定の理想的出力信
号に比較するステップと、 該比較ステップに応答して該コンピューターから該テス
ターにステップ信号を与えるステップとゐ含むテスト方
法。
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