JPH06207849A - 赤外線検知器 - Google Patents

赤外線検知器

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Publication number
JPH06207849A
JPH06207849A JP5019712A JP1971293A JPH06207849A JP H06207849 A JPH06207849 A JP H06207849A JP 5019712 A JP5019712 A JP 5019712A JP 1971293 A JP1971293 A JP 1971293A JP H06207849 A JPH06207849 A JP H06207849A
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JP
Japan
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infrared
imaging device
vacuum container
light
infrared imaging
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Withdrawn
Application number
JP5019712A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Kato
茂 加藤
Naofumi Fushimi
直文 伏見
Kenzo Chiaki
謙三 千秋
Norihide Omoto
憲英 大元
Kazuaki Aoto
和明 青砥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Publication of JPH06207849A publication Critical patent/JPH06207849A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空容器の内壁面などからの放射光が窓やコ
−ルドシ−ルドに反射して赤外線撮像素子へ入射するの
を防ぎ、赤外線撮像素子のＳ／Ｎを向上させて不要光に
よる画像への影響を抑える。 【構成】 赤外線撮像素子１と、赤外線撮像素子１を収
容する真空容器２と、真空容器２の外部からの赤外光を
赤外線撮像素子１へ入射させるために、真空容器２に設
けた窓３と、真空容器２内で赤外線撮像素子１を包囲し
て赤外線撮像素子１への不要光の入射を防ぐためのコ−
ルドシ−ルド４と、赤外線撮像素子１及びコ−ルドシ−
ルド４を冷却するコ−ルドステ−ジ６とを備え、真空容
器２の窓３と対向するコ−ルドシ−ルド４の窓対向面４
ａを、非反射面にした。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は赤外線検知器に関し、
特に赤外線撮像素子を極低温に冷却して使用する赤外線
検知器に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５は従来の赤外線検知器の断面を示す
模式図である。赤外線撮像素子１１は真空容器１２内に
収容され、外界から熱的に遮蔽される。真空容器１２は
赤外線撮像素子１１を極低温（約８０Ｋ）に冷却するた
め内部を１０-3〜１０-4 torr以上の真空に保つ。真空容
器１２には窓１３が設けられ、窓１３を通じて赤外光が
赤外線撮像素子１１へ導かれる。また、赤外線撮像素子
１１への不要光の入射を防ぐため、赤外線撮像素子１１
はコ−ルドシ−ルド１４によって包囲されている。コ−
ルドシ−ルド１４は赤外線撮像素子１１とともにコ−ル
ドステ−ジ１６上に載置されて不図示の冷却装置により
極低温に冷却され、コ−ルドシ−ルド１４自身からの赤
外光放射を防いでいる。また、コ−ルドシ−ルド１４
は、不図示の赤外光学系により赤外線撮像素子１１へ集
光される被写体からの赤外光の入射を妨げず、且つ真空
容器１２の内壁面からの直接放射などの不要光が赤外線
撮像素子１１へ入射することを防止している。
【０００３】ところで、一般に赤外線撮像素子１１は所
望の赤外波長域だけに感度を有するに止まらず、それ以
外の波長域においても感度を有する。そこで、できるだ
け赤外線撮像素子１１に近い位置に、赤外光以外の光を
遮断する赤外光フィルタを配置する必要があった。赤外
光フィルタを使用しなければ、出力画像に所望の波長以
外の光によるゴ−ストが発生する。赤外光フィルタは真
空容器１２内の様々な位置に取付け可能であるが、赤外
光フィルタを真空容器１２の窓１３と兼用させる構造が
所望の赤外光の透過率を極力高めるという点などから考
えて最適である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】赤外光フィルタは不要
波長域の除去法により吸収型と反射型とに分けられる
が、吸収型には、不要光によりフィルタ自身が温度上昇
するため、必要波長域においてフィルタ自身の赤外光放
射が赤外線撮像素子１１に入射するという問題があっ
た。また、反射型には、そのような問題はないものの、
図５に示すように、例えば真空容器１２の内壁面からの
不要波長域の放射光がフィルタで反射され、赤外線撮像
素子１１に入射するという問題があった。もっとも、吸
収型フィルタやそれ以外の窓材（フィルタの機能をもた
ない窓材）によっても、真空容器１２の内壁面からの不
要波長域の放射光が反射されて赤外線撮像素子１１に入
射する。この不要光は窓１３における一次反射（図５の
Ｌ4 ）だけでなく、窓１３と対向するコ−ルドシ−ルド
１４の窓対向面１４ａでの反射をも含めた多重反射（図
５のＬ5 ）によっても入射し、画像への影響を一層大き
くしている。特に、赤外線撮像素子１１がＰｔ−Ｓｉシ
ョットキ−バリア型素子の場合、図４に示すように、実
用波長域（３〜５μｍ）に対し、短波長側で高感度を示
し、その不要光の入射が画質に大きな悪影響を与える。
【０００５】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は真空容器の内壁面などからの放射
光が窓やコ−ルドシ−ルドに反射して赤外線撮像素子へ
入射するのを防ぎ、赤外線撮像素子のＳ／Ｎを向上させ
て不要光による画像への影響を抑えることができる赤外
線検知器を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の赤外線検知器は、赤外線撮像素
子と、前記赤外線撮像素子を収容する真空容器と、前記
真空容器の外部からの赤外光を前記赤外線撮像素子へ入
射させるために、前記真空容器に設けた窓と、前記真空
容器内で前記赤外線撮像素子を包囲して前記赤外線撮像
素子への不要光の入射を防ぐためのコ−ルドシ−ルド
と、前記赤外線撮像素子及び前記コ−ルドシ−ルドを冷
却する冷却手段とを備えた赤外線検知器において、少な
くとも、前記真空容器の窓と対向する前記コ−ルドシ−
ルドの窓対向面を、非反射面にした。
【０００７】また、請求項２記載の発明の赤外線検知器
は、赤外線撮像素子と、前記赤外線撮像素子を収容する
真空容器と、前記真空容器の外部からの赤外光を前記赤
外線撮像素子へ入射させるために、前記真空容器に設け
た窓と、前記真空容器内で前記赤外線撮像素子を包囲し
て前記赤外線撮像素子への不要光の入射を防ぐためのコ
−ルドシ−ルドと、前記赤外線撮像素子及び前記コ−ル
ドシ−ルドを冷却する冷却手段とを備えた赤外線検知器
において、前記コ−ルドシ−ルドが、前記窓で反射して
前記コ−ルドシ−ルドの開口縁から前記赤外線撮像素子
の受光縁部に達する放射光を遮断する大きさ又は形状に
設定した。
【０００８】更に、請求項３記載の発明の赤外線検知器
は、赤外線撮像素子と、前記赤外線撮像素子を収容する
真空容器と、前記真空容器の外部からの赤外光を前記赤
外線撮像素子へ入射させるために、前記真空容器に設け
た窓と、前記真空容器内で前記赤外線撮像素子を包囲し
て前記赤外線撮像素子への不要光の入射を防ぐためのコ
−ルドシ−ルドと、前記赤外線撮像素子及び前記コ−ル
ドシ−ルドを冷却する冷却手段とを備えた赤外線検知器
において、少なくとも前記コ−ルドシ−ルドの内壁面
を、非反射面にした。
【０００９】また、請求項４の発明の赤外線検知器は、
赤外線撮像素子と、前記赤外線撮像素子を収容する真空
容器と、前記真空容器の外部からの赤外光を前記赤外線
撮像素子へ入射させるために、前記真空容器に設けた窓
と、前記真空容器内で前記赤外線撮像素子を包囲して前
記赤外線撮像素子への不要光の入射を防ぐためのコ−ル
ドシ−ルドと、前記赤外線撮像素子及び前記コ−ルドシ
−ルドを冷却する冷却手段とを備えた赤外線検知器にお
いて、少なくとも前記コ−ルドシ−ルドの内壁面を、非
反射面にした。
【００１０】更に、請求項５記載の発明の赤外線検知器
は、赤外線撮像素子、前記赤外線撮像素子を保持するホ
ルダと、前記赤外線撮像素子を前記コ−ルドシ−ルドと
共に収容する真空容器と、前記真空容器の外部からの赤
外光を前記赤外線撮像素子へ入射させるために、前記真
空容器に設けた窓と、前記真空容器内で前記赤外線撮像
素子を包囲して前記赤外線撮像素子への不要光の入射を
防ぐためのコ−ルドシ−ルドと、前記赤外線撮像素子及
び前記コ−ルドシ−ルドを冷却する冷却手段とを備えた
赤外線検知器において、前記真空容器の窓と対向する前
記コ−ルドシ−ルドの窓対向面と前記コ−ルドシ−ルド
の内壁面とを、非反射面にした。
【００１１】また、請求項６の発明の赤外線検知器は、
前記コ−ルドシ−ルドの非反射面は、前記赤外線撮像素
子の感度内の波長域の光についてのみ非反射である。
【００１２】
【作用】真空容器の内壁面などからの放射光が窓で反射
してコ−ルドシ−ルドの窓対向面に達すると、放射光は
コ−ルドシ−ルドの窓対向面で吸収されるので、放射光
の多重反射は起こらず、赤外線撮像素子へは入射しな
い。
【００１３】また、コ−ルドシ−ルドを、窓で反射して
コ−ルドシ−ルドの開口縁から赤外線撮像素子の受光縁
部に達する放射光を遮断する大きさ又は形状に設定にす
ることにより、真空容器の内壁面からの放射光の窓にお
ける一次反射光が赤外線撮像素子へ入射するのを防ぐこ
とができる。
【００１４】更に、コ−ルドシ−ルドの内壁面を非反射
面にすることにより、真空容器の内壁面などからの放射
光がコ−ルドシ−ルドの内壁面に入射したとき、その放
射光を吸収し、赤外線撮像素子へ入射するのを防ぐこと
ができる。
【００１５】また、コ−ルドシ−ルドの内壁面及びホル
ダの表面を非反射面にすることにより、真空容器の内壁
面などからの放射光が赤外線撮像素子へ入射するのをよ
り確実に防ぐことができる。
【００１６】更に、コ−ルドシ−ルドの窓対向面とコ−
ルドシ−ルドの内壁面とを、非反射面にすることによ
り、真空容器の内壁面などからの放射光が赤外線撮像素
子へ入射するのをより確実に防ぐことができる。
【００１７】また、コ−ルドシ−ルドの非反射面を、赤
外線撮像素子の感度内の波長域の光についてのみ非反射
にすることにより、コ−ルドシ−ルドの温度上昇を抑制
することができる。
【００１８】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【００１９】図１はこの発明の第１実施例に係る赤外線
検知器の断面を示す模式図である。赤外線撮像素子１は
真空容器２内に収容され、外界から熱的に遮蔽される。
真空容器２には、不図示の被写体からの赤外光を赤外線
撮像素子１へ透過する窓３が設けられている。通常窓３
としては、赤外光以外を反射する赤外光フィルタが使用
されている。
【００２０】赤外線撮像素子１への不要光の入射を防ぐ
ため、赤外線撮像素子１は箱形のコ−ルドシ−ルド４に
よって包囲されている。窓３と対向するコ−ルドシ−ル
ド４の面（窓対向面）４ａには開口５が形成されてい
る。開口５の大きさは、真空容器２の外部に配設された
図示しない赤外光学系により集光される赤外光の入射が
妨げられないように決定される。コ−ルドシ−ルド４は
赤外線撮像素子１とともにコ−ルドステ−ジ６上に載置
されて不図示の冷却機により極低温に冷却され、コ−ル
ドシ−ルド４自身からの赤外光放射を防ぐと共に、赤外
線撮像素子１の熱雑音を防いでいる。コ−ルドシ−ルド
４の窓対向面４ａは、例えば黒色塗料を塗布するなどし
て非反射面にされる。この実施例では、赤外線撮像素子
１の感度外の波長域の光をも吸収する黒色塗料に代え
て、光沢のない白色塗料を塗布して、非反射面を赤外線
撮像素子１の感度外の波長域の光については反射する構
造にした。なお、この白色塗料に代えてフィルタと同様
に、赤外線撮像素子１の感度内の波長域の光のみ吸収す
る薄膜で作成することも可能である。
【００２１】また、コ−ルドシ−ルド４の窓対向面４ａ
は、窓３で反射してそのままコ−ルドシ−ルド４の開口
５の縁から赤外線撮像素子１の受光縁部に達する方向性
をもつ真空容器２からの放射光を遮断するように大きさ
を制限するように構成されている。
【００２２】真空容器２の内壁面からの放射光がコ−ル
ドシ−ルド４の窓対向面４ａに達すると、放射光は窓対
向面４ａで吸収されるので、放射光の多重反射は起こら
ず、赤外線撮像素子１へは入射しない。このことは真空
容器２の外部から窓３を通してコ−ルドシ−ルド４の窓
対向面４ａに不要光が入り込んだ場合も同じである。
【００２３】窓３における反射光で赤外線撮像素子１へ
入射し得る光としては、例えば図１に示すような光路を
もつコ−ルドシ−ルド４からの光Ｌ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 があ
るが、窓対向面４ａを非反射面にしたので、コ−ルドシ
−ルド４で反射する光は存在しない。なお、前述のよう
に、本実施例の非反射面は赤外線撮像素子１の感度外の
波長域の光については反射する構造としたので、赤外線
撮像素子１の感度外の波長域の光は赤外線撮像素子へ入
射するが、画像への影響はない。
【００２４】この実施例の赤外線検知器によれば、真空
容器２の内壁面からの放射光が窓３やコ−ルドシ−ルド
４に反射して赤外線撮像素子１へ入射するのを防ぐこと
ができるので、赤外線撮像素子１のＳ／Ｎを向上させて
不用光による画像への影響を抑えることができる。
【００２５】また、コ−ルドシ−ルド４の窓対向面４ａ
を赤外線撮像素子１の感度外の波長域の光については反
射するような非反射構造としたので（逆にいえば、赤外
線撮像素子１感度内の波長域の光についてのみ非反
射）、窓対向面４ａを全波長域の光について反射する非
反射構造とした場合に較べ、コ−ルドシ−ルド４の温度
上昇を抑制することができ、冷却系の熱負荷を小さくす
ることができる。
【００２６】更に、窓３として赤外光フィルタを使用し
たので、赤外光フィルタを真空容器２の外部に配設した
場合に較べ、コ−ルドシ−ルド４の窓対向面４ａへ入射
する光が減り、コ−ルドシ−ルド４の温度上昇を抑制す
ることができ、冷却系の熱負荷を小さくすることができ
る。
【００２７】前述実施例では、赤外光フィルタを窓３と
して兼用した場合について述べたが、これに代え、赤外
光フィルタと窓３とを別体とし、赤外光フィルタをコ−
ルドシ−ルド４と窓３との間、又は窓３と外部赤外光学
系との間に配置するようにしてもよく、その場合にはコ
−ルドシ−ルド４の開口の大きさを周辺部材の放射光の
影響を除去できるように決定することにより、前述実施
例の実施例と同様の効果を得ることができる。
【００２８】なお、前述実施例では、コ−ルドシ−ルド
４の窓対向面４ａを従来のコ−ルドシ−ルドよりも大き
くして真空容器２の内壁面からの放射光が直接若しくは
窓３で反射して赤外線撮像素子１へ入射しないように構
成した場合について述べたが、これに代え、コ−ルドシ
−ルド４の窓対向面４ａに、真空容器２の内壁面からの
放射光が直接若しくは窓３で反射して赤外線撮像素子１
へ入射しないように上開き状の遮蔽板を立設したり、或
いはコ−ルドシ−ルド４の窓対向面４ａと窓３との隙間
を狭くしたりすることにより、真空容器２からの放射光
を遮断するようにしてもよい。
【００２９】図２はこの発明の第２実施例に係る赤外線
検知器の断面図である。赤外線撮像素子２１は真空容器
２２内に収容され、外界から熱的に遮蔽される。真空容
器２２には、不図示の被写体からの赤外光を赤外線撮像
素子１へ透過する窓２３が設けられている。赤外線撮像
素子２１はホルダ２７に保持されている。ホルダ２７は
コ−ルドインタ−フェイス２６の素子載置面６ａ上に載
置されている。コ−ルドインタ−フェイス２６は冷却機
２８により冷却されているので、赤外線撮像素子２１は
冷却機２８からの冷熱により極低温に冷却される。
【００３０】赤外線撮像素子１はコ−ルドシ−ルド２４
によって包囲されている。窓２３と対向するコ−ルドシ
−ルド２４の上面には開口２５が形成されている。開口
２５の大きさは、真空容器２２の外部に配設された図示
しない赤外光学系により集光される赤外光の入射が妨げ
られないように決定される。コ−ルドシ−ルド２４は、
ホルダ２７とともにコ−ルドインタ−フェイス２６上に
載置されて極低温に冷却され、コ−ルドシ−ルド２４自
身からの赤外光放射を防いでいる。コ−ルドシ−ルド２
４の内壁面２４ａ、ホルダ２７の表面２７ａ及びコ−ル
ドインタ−フェイス２６の素子載置面２６ａは、例えば
黒色塗料を塗布するなどして非反射面にされる。この実
施例では、赤外線撮像素子１の感度外の波長域の光をも
吸収する黒色塗料に代えて、光沢のない白色塗料を塗布
して、非反射面を赤外線撮像素子１の感度外の波長域の
光については反射する構造にした。なお、この白色塗料
に代えてフィルタと同様に、赤外線撮像素子１の感度内
の波長域の光のみ吸収する薄膜で作成することも可能で
ある。
【００３１】なお、コ−ルドシ−ルド２４の温度上昇を
抑制するためコ−ルドシ−ルド２４の上面を除く外壁面
は反射面にされている。
【００３２】上述のように構成したので、真空容器２２
の内壁面からの放射光が、直接又は窓やコ−ルドシ−ル
ド２４の上面で反射して、コ−ルドシ−ルド２４の内壁
面２４ａ、ホルダ２７の表面２７ａ及びコ−ルドインタ
−フェイス２６の素子載置面２６ａに入射したとき、放
射光の内、赤外線撮像素子２１の感度内の波長域の光は
吸収されるので、その放射光がコ−ルドシ−ルド２４の
内壁面２４ａなどで反射して赤外線撮像素子２１へ入射
することはなくなり、赤外線撮像素子２１のＳ／Ｎが向
上して不用光による画像への影響は除去される。
【００３３】一方、コ−ルドシ−ルド２４の内壁面２４
ａなどに入射した放射光の内、赤外線撮像素子２１の感
度外の波長域の光は反射されるので、コ−ルドシ−ルド
２４の内壁面２４ａなどを全波長域の光について反射す
るような非反射構造とした場合に較べ、コ−ルドシ−ル
ド２４やホルダ２７の温度上昇を抑制することができ、
冷却機の熱負荷を小さくすることができ、冷却機２８の
小型化に資する。
【００３４】図３はこの発明の第３実施例に係る赤外線
検知器の断面図であって、真空容器を省略した図であ
る。前述の実施例と共通する部分には同一符号を付して
説明を省略する。前述の実施例ではホルダ３７がコ−ル
ドインタ−フェイス２６の素子載置面２６ａの中央部に
載置され、素子載置面２６ａのコ−ルドシ−ルド２４内
の空間に露出する部分を非反射面にした場合について述
べたが、これに代え、図５に示すように、ホルダ３７を
コ−ルドインタ−フェイス２６の素子載置面２６ａの寸
法に合わせて成型し、コ−ルドインタ−フェイス２６の
素子載置面２６ａ全体をホルダ３７で覆うようにしても
よい。このようにすれば、非反射面の形成がコ−ルドシ
−ルド２４内壁面とホルダ３７の表面３７ａだけとな
り、製作が容易になる。
【００３５】なお、この発明の他の実施例として、コ−
ルドシ−ルドの窓対向面とコ−ルドシ−ルドの内壁面と
を、非反射面にするようにしてもよい。このようにすれ
ば真空容器の内壁面などからの放射光が赤外線撮像素子
へ入射するのをより一層確実に防ぐことができる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明の赤外線検
知器によれば、真空容器の内壁面からの放射光が窓やコ
−ルドシ−ルドに反射して赤外線撮像素子へ入射するの
を防ぐことができるので、赤外線撮像素子のＳ／Ｎを向
上させて不用光による画像への影響を抑えることができ
る。
【００３７】また、コ−ルドシ−ルドを、窓で反射して
コ−ルドシ−ルドの開口縁から赤外線撮像素子の受光縁
部に達する方向性をもつ真空容器からの放射光を遮断す
る大きさ又は形状に設定することにより、真空容器の内
壁面からの放射光の窓における一次反射光が赤外線撮像
素子に入射するようなことはないので、赤外線撮像素子
のＳ／Ｎを向上させて不用光による画像への影響を抑え
ることができる。
【００３８】更に、コ−ルドシ−ルドの内壁面を非反射
面にしたので、真空容器の内壁面などからの放射光がコ
−ルドシ−ルドの内壁面に反射して赤外線撮像素子へ入
射するのを防ぎ、赤外線撮像素子の出力Ｓ／Ｎを向上さ
せて不要光による画像への影響を抑えることができる。
【００３９】また、コ−ルドシ−ルドの内壁面及びホル
ダの表面を非反射面にすることにより、真空容器の内壁
面などからの放射光が赤外線撮像素子へ入射するのをよ
り確実に防ぐことができる。
【００４０】更に、コ−ルドシ−ルドの窓対向面とコ−
ルドシ−ルドの内壁面とを、非反射面にすることによ
り、真空容器の内壁面などからの放射光が赤外線撮像素
子へ入射するのをより確実に防ぐことができる。
【００４１】また、コ−ルドシ−ルドの非反射面を、赤
外線撮像素子の感度内の波長域の光についてのみ非反射
にすることにより、コ−ルドシ−ルドの温度上昇を抑制
することができるので、冷却手段の熱負荷を小さくする
ことができるので、冷却手段の小型化に資する。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１はこの発明の一実施例に係る赤外線検知器
の断面を示す模式図である。
【図２】図２はこの発明の第２実施例に係る赤外線検知
器の断面図である。
【図３】図３はこの発明の第３実施例に係る赤外線検知
器の断面図である。
【図４】図４はＰｔ−Ｓｉショットキ−バリア型素子の
波長感度特性を示す曲線図である。
【図５】図５は従来の赤外線検知器の断面を示す模式図
である。
【符号の説明】
１，２１ 赤外線撮像素子 ２，２２ 真空容器 ３，２３ 窓 ４，２４ コ−ルドシ−ルド ４ａ 窓対向面 ６，２６ コ−ルドステ−ジ ２４ａ コ−ルドシ−ルドの内壁面 ２７，３７ ホルダ ２７ａ、３７ａ ホルダの表面 ２８ 冷却機
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大元 憲英 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内 (72)発明者 青砥 和明 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 株 式会社ニコン内

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 赤外線撮像素子と、前記赤外線撮像素子
    を収容する真空容器と、前記真空容器の外部からの赤外
    光を前記赤外線撮像素子へ入射させるために、前記真空
    容器に設けた窓と、前記真空容器内で前記赤外線撮像素
    子を包囲して前記赤外線撮像素子への不要光の入射を防
    ぐためのコ−ルドシ−ルドと、前記赤外線撮像素子及び
    前記コ−ルドシ−ルドを冷却する冷却手段とを備えた赤
    外線検知器において、 少なくとも、前記真空容器の窓と対向する前記コ−ルド
    シ−ルドの窓対向面を、非反射面にしたことを特徴とす
    る赤外線検知器。
  2. 【請求項２】 赤外線撮像素子と、前記赤外線撮像素子
    を収容する真空容器と、前記真空容器の外部からの赤外
    光を前記赤外線撮像素子へ入射させるために、前記真空
    容器に設けた窓と、前記真空容器内で前記赤外線撮像素
    子を包囲して前記赤外線撮像素子への不要光の入射を防
    ぐためのコ−ルドシ−ルドと、前記赤外線撮像素子及び
    前記コ−ルドシ−ルドを冷却する冷却手段とを備えた赤
    外線検知器において、 前記コ−ルドシ−ルドが、前記窓で反射して前記コ−ル
    ドシ−ルドの開口縁から前記赤外線撮像素子の受光縁部
    に達する放射光を遮断する大きさ又は形状に設定したこ
    とを特徴とする赤外線検知器。
  3. 【請求項３】 赤外線撮像素子と、前記赤外線撮像素子
    を収容する真空容器と、前記真空容器の外部からの赤外
    光を前記赤外線撮像素子へ入射させるために、前記真空
    容器に設けた窓と、前記真空容器内で前記赤外線撮像素
    子を包囲して前記赤外線撮像素子への不要光の入射を防
    ぐためのコ−ルドシ−ルドと、前記赤外線撮像素子及び
    前記コ−ルドシ−ルドを冷却する冷却手段とを備えた赤
    外線検知器において、 少なくとも前記コ−ルドシ−ルドの内壁面を、非反射面
    にしたことを特徴とする赤外線検知器。
  4. 【請求項４】 赤外線撮像素子、前記赤外線撮像素子を
    保持するホルダと、前記赤外線撮像素子を前記コ−ルド
    シ−ルドと共に収容する真空容器と、前記真空容器の外
    部からの赤外光を前記赤外線撮像素子へ入射させるため
    に、前記真空容器に設けた窓と、前記真空容器内で前記
    赤外線撮像素子を包囲して前記赤外線撮像素子への不要
    光の入射を防ぐためのコ−ルドシ−ルドと、前記赤外線
    撮像素子及び前記コ−ルドシ−ルドを冷却する冷却手段
    とを備えた赤外線検知器において、 少なくとも前記コ−ルドシ−ルドの内壁面及び前記ホル
    ダの表面を、非反射面にしたことを特徴とする赤外線検
    知器。
  5. 【請求項５】 赤外線撮像素子、前記赤外線撮像素子を
    保持するホルダと、前記赤外線撮像素子を前記コ−ルド
    シ−ルドと共に収容する真空容器と、前記真空容器の外
    部からの赤外光を前記赤外線撮像素子へ入射させるため
    に、前記真空容器に設けた窓と、前記真空容器内で前記
    赤外線撮像素子を包囲して前記赤外線撮像素子への不要
    光の入射を防ぐためのコ−ルドシ−ルドと、前記赤外線
    撮像素子及び前記コ−ルドシ−ルドを冷却する冷却手段
    とを備えた赤外線検知器において、 前記真空容器の窓と対向する前記コ−ルドシ−ルドの窓
    対向面と前記コ−ルドシ−ルドの内壁面とを、非反射面
    にしたことを特徴とする赤外線検知器。
  6. 【請求項６】 前記コ−ルドシ−ルドの非反射面は、前
    記赤外線撮像素子の感度内の波長域の光についてのみ非
    反射であることを特徴とする請求項１、３又は５に記載
    の赤外線検知器。
JP5019712A 1993-01-12 1993-01-12 赤外線検知器 Withdrawn JPH06207849A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004536639A (ja) * 2001-06-19 2004-12-09 ザ・トラステイーズ・オブ・ザ・ユニバーシテイ・オブ・ペンシルベニア 侵襲性カテーテルの配置用の光学的案内システム

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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